JP2010061776A - 半導体集積回路および半導体記憶装置 - Google Patents

半導体集積回路および半導体記憶装置 Download PDF

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Abstract

【課題】チップの内部バスやチップ間を接続する外部バスにおける消費電力の低減や、データ転送速度の向上を実現する。
【解決手段】論理レベル‘H’か‘L’かその中間レベルとなる‘M’を採り得る複数本のバスDB[0]〜DB[n−1]と、データD[0]〜D[m−1]を符号化し、これに基づいて複数本のバスのそれぞれを論理レベル‘H’、‘L’、‘M’のいずれかに駆動する送信回路TXと、複数本のバスを互いにショートするバスイコライズ回路BEQを設ける。送信回路TXは、データの符号化を行う際に、論理レベル‘H’に駆動するバスの本数(k本)と論理レベル‘L’に駆動するバスの本数(k本)が同数となるような組み合わせを用いる。バスイコライズ回路BEQは、データが送信された後にショート動作を行うことで、各バスを論理レベル‘M’にプリチャージする。
【選択図】図1

Description

本発明は、半導体集積回路および半導体記憶装置に関し、特に複数本のバスを有する半導体集積回路および半導体記憶装置に関するものである。
例えば、特許文献1および非特許文献1には、同時に駆動されるバスの本数を減らすためのバス駆動方式が示されている。また、特許文献2には、バス信号を低振幅化するバス駆動方式が示されている。
特開平10−241371号公報 特開平08−320746号公報 J.D.Ihm、他28名、"An 80nm 4Gb/s/pin 32b 512Mb GDDR4 Graphics DRAM with Low-Power and Low-Noise Data-Bus Inversion"、2007 IEEE International Solid-State Circuits Conference Digest of Technical Papers、2007年2月、p.492−493
近年、携帯機器、デジタルテレビ、カーナビゲーションシステムなどに搭載される組み込み機器の低消費電力化、高性能化の要求に伴い、それらに搭載される半導体記憶装置や半導体集積回路の低消費電力化、高速化が強く求められている。一般に半導体記憶装置や半導体集積回路の中で、バスは多大な電力を消費する構成要素の一つである。これは、バスが、データ、命令あるいはアドレスなどのビット幅に相当する多数本の配線からなり、しかもチップの寸法と同程度あるいはそれ以上の長さに渡って引き回されているため、大きな配線容量を有しているためである。したがって、バスの低消費電力化は、半導体記憶装置や半導体集積回路を低消費電力化するための重要な要素である。
こうした中、バスの低消費電力化を実現するためには、例えば、特許文献1、特許文献2、または非特許文献1に記載のバス駆動方式を用いることが考えられる。本発明者等は、これらのバス駆動方式について、データ送信時におけるバスの最大放電本数の比較を行った。説明を簡単にするため、2bitのデータ(D[0],D[1])を送信する場合について検討を行った。図23は、本発明の前提として検討した従来技術のバス駆動方式を示す説明図であり、(a)〜(d)はそれぞれ異なる方式を示すものである。
図23(a)は、一般的なバス駆動方式を用いた場合において、データ(D[0],D[1])とバス(DB[0],DB[1])の論理レベルの対応表と、消費電力がワーストの場合の2サイクル分のバスの駆動波形を示している。このバス駆動方式では、例えば1サイクル目で二つのバスが放電されるパタンが消費電力を最も消費する。したがって、一般的なバス駆動方式を用いた場合、バスの最大放電本数は、1サイクル当たり平均1本である。
図23(b)は、特許文献1に開示されているバス駆動方式を用いた場合において、データ(D[0],D[1])とバス(DB[0]〜DB[3])の論理レベルの対応表と、消費電力がワーストの場合の2サイクル分のバスの駆動波形を示している。このバス駆動方式では、データを所謂プリデコードして送信する。このようにして、バスの駆動本数を抑制し、バスの消費電力を低減している。このバス駆動方式では、1サイクル目で一つのバスが放電され、2サイクル目で別のバスが充電されるパタンが消費電力を最も消費する。したがって、特許文献1に開示されているバス駆動方式を用いた場合、バスの最大放電本数は、1サイクル当たり平均1本であり、図23(a)のバス駆動方式と変わらない。
図23(c)は、非特許文献1に開示されているバス駆動方式を用いた場合において、データ(D[0],D[1])とバス(DB[0]〜DB[1],FLAG)の論理レベルの対応表と、消費電力がワーストの場合の2サイクル分のバスの駆動波形を示している。このバス駆動方式では、例えば論理レベル‘L’に駆動されるバスの本数が半分以上の場合に、FLAGを活性化し、送信データを反転して送信する。このようにして、バスの駆動本数を抑制し、バスの消費電力を低減している。このバス駆動方式では、1サイクル目で一つのバスが放電され、2サイクル目で別のバスが充電されるパタンが消費電力を最も消費する。したがって、非特許文献1に開示されているバス駆動方式を用いた場合、バスの最大放電本数は、1サイクル当たり平均1本であり、図23(a),(b)のバス駆動方式と変わらない。
図23(d)は、特許文献2に開示されているバス駆動方式を用いた場合において、データ(D[0],D[1])とバス(DB[0]〜DB[1])の論理レベルの対応表と、消費電力がワーストの場合の2サイクル分のバスの駆動波形を示している。このバス駆動方式では、バスの信号振幅を、図23(a)等のバス駆動方式の半分にしてデータを送信している。具体的には、バスDB[0]の信号振幅を論理レベル‘M’から論理レベル‘H’とし、バスDB[1]の信号振幅を論理レベル‘L’から論理レベル‘M’としている。ここで、論理レベル‘M’の電圧レベルは、論理レベル‘L’に対応する接地電圧VSSと論理レベル‘H’に対応する電源電圧VCCの中間電圧VCC/2に設定される。この中間電圧VCC/2は、データ送信後にバスDB[0]とDB[1]をそれぞれ論理レベル‘H’と論理レベル‘L’にプリチャージした後、データ送信前にバスをショートすることにより生成する。このようにして、バスの信号振幅を半減し消費電力を抑制している。
この特許文献2に開示されているバス駆動方式では、1サイクル目と2サイクル目でバスDB[1]が放電されるパタンが消費電力を最も消費する。しかし、どのサイクルにおいてもバスの駆動振幅は、他のバス駆動方式の半分なので、このバス駆動方式のバスの最大放電本数は、1サイクル当たり平均0.5本となる。これは、上述したどの方式よりも小さい値であり、バスの低消費電力化の効果が大きいことを示している。しかしながら、この特許文献2に開示されているバス駆動方式では、データを送信してから次のデータを送信可能にするためには、データを送信した後、バスのプリチャージとバスのショートという二つの動作を連続して行う必要があるため、データ転送速度を向上するのが困難となる。
そこで、本発明の目的の一つは、バスを備えた半導体集積回路または半導体記憶装置において、消費電力の低減や、データ転送速度の向上を実現することにある。本発明の前記並びにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面から明らかになるであろう。
本願において開示される発明のうち、代表的な実施の形態の概要を簡単に説明すれば、次のとおりである。すなわち、本実施の形態の半導体集積回路は、互いにショート可能であり、論理レベル‘H’か論理レベル‘L’かその中間レベルとなる論理レベル‘M’かを採り得る複数本のバスと、2値の複数ビットの送信データを符号化し、これに基づいて複数本のバスのそれぞれを論理レベル‘H’、‘L’、‘M’のいずれかに駆動する送信回路とを有するものとなっている。ここで、送信回路は、送信データの符号化を行う際に、論理レベル‘H’に駆動するバスの本数と論理レベル‘L’に駆動するバスの本数が同数となるような組み合わせを用いる。
このような構成を用いると、各サイクルにおいて放電される(論理レベル‘L’に駆動される)バスの本数が、最大時でもバスの全本数の半分となるため、例えば、全てのバスが‘L’に駆動されるような場合と比較して消費電力を低減できる。また、各バスは、論理レベル‘M’から論理レベル‘H’、‘L’、‘M’のいずれかに遷移するように駆動されるため、最大振幅が論理レベル‘H’と‘L’間の振幅の半分となり、消費電力を低減できる。さらに、論理レベル‘H’に駆動されるバスの本数と論理レベル‘L’に駆動されるバスの本数が同数であるため、データ送信後に各バスを互いにショートするだけで、バスを中間電圧(論理レベル‘M’)にプリチャージすることができる。この結果、データ転送速度を向上させることができる。さらに、論理レベル‘H’に駆動されるバスの電荷をプリチャージのための電荷として再利用できるので、バスのプリチャージに要する消費電力を低減することができる。
本願において開示される発明のうち、代表的な実施の形態によって得られる効果を簡単に説明すると、バスを備えた半導体集積回路または半導体記憶装置において、消費電力の低減や、データ転送速度の向上が実現可能になる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、実施の形態を説明するための全図において、同一の部材には原則として同一の符号を付し、その繰り返しの説明は省略する。また、図面において、PMOSトランジスタにはゲートに矢印の記号を付すことで、NMOSトランジスタと区別することとする。また、図面において、MOSトランジスタの基板電位の接続は明記していないが、MOSトランジスタが正常動作可能な範囲であれば、その接続方法は特に限定しない。さらに、以下の実施の形態においては、MIS(Metal Insulator Semiconductor)トランジスタの一例としてMOS(Metal Oxide Semiconductor)トランジスタを用いることとする。
図1は、本発明の一実施の形態による半導体集積回路の一例を示すものであり、(a)はその主要部の構成例を示す回路図、(b)は(a)の動作例を示す波形図である。図1(a)中のDB[0]〜DB[n−1]はn本からなるバス、D[0]〜D[m−1]はバスを介して送受信するmビットのデータ、TXは送信回路、RXは受信回路、BEQはバスイコライズ回路である。
送信回路TXは、制御論理回路CLGと複数のバス駆動回路DRVから構成される。送信回路TXは、送信回路活性化信号ACTにより活性化され、論理レベル‘H’に駆動するバスの本数と論理レベル‘L’に駆動するバスの本数が同数となるように符号化してデータを送信する回路である。バス駆動回路DRVは、対応するバスを論理レベル‘H’に対応する電圧VCC、論理レベル‘L’に対応する接地電圧VSS、論理レベル‘H’と論理レベル‘L’の中間電圧VCC/2の3状態に駆動可能な回路である。
バスイコライズ回路BEQは、バスイコライズ信号BEQTにより活性化され、バスDB[0]〜DB[n−1]をショートし、中間電圧VCC/2に保持する回路である。バスイコライズ回路BEQは、バス同士をショートするNMOSトランジスタME0〜ME(n−2)と、対応するバスの電圧を中間電圧VCC/2に保持するNMOSトランジスタMPR0〜MPR(n−1)から構成される。NMOSトランジスタMEi(i=0,1,…,n−2)のドレインとソースは、バスDB[i]とバスDB[i+1]にそれぞれ接続され、ゲートはバスイコライズ信号BEQTに接続される。MPRi(i=0,1,…,n−1)のドレインはバスDB[i]に接続され、ソースは中間電圧VCC/2に接続され、ゲートはバスイコライズ信号BEQTに接続される。受信回路RXは、受信した符号化データを元のデータD[0]〜D[m−1]に復号する回路である。
この図1(a)の回路は、図1(b)のように動作する。時刻t0のときはデータの送受信が行われていない状態であり、バスイコライズ信号BEQTは論理レベル‘H’に、送信回路活性化信号ACTは論理レベル‘L’にそれぞれ駆動されている。このとき、バスイコライズ回路BEQは活性化しており、送信回路TXは非活性化している。バスDB[0]〜DB[n−1]は、バスイコライズ回路BEQによりショートされ、中間電圧VCC/2に保持される。
データを送受信するときは、バスイコライズ信号BEQTは論理レベル‘L’に駆動され(時刻t1)、バスイコライズ回路BEQは非活性化される。その後、送信回路活性化信号ACTが論理レベル‘H’に駆動され(時刻t2)、送信回路TXが活性化される。活性化された送信回路TXは、送信するデータD[0]〜D[m−1]を符号化し、論理レベル‘H’に駆動するバスの本数(k本)と論理レベル‘L’に駆動するバスの本数(k本)が同数となるようにバスDB[0]〜DB[n−1]を駆動する。なお、「k」はn/2以下の任意の整数であり、‘H’にも‘L’にも駆動されないバスは、中間電圧VCC/2に駆動される。受信回路RXは、バスを介して送信された符号化データを受信し、復号する。
データの送受信が完了した後は、送信回路活性化信号ACTが論理レベル‘L’に駆動され(時刻t3)、送信回路TXが非活性化される。その後、バスイコライズ信号BEQTが論理レベル‘H’に駆動され(時刻t4)、バスイコライズ回路BEQが活性化される。活性化されたバスイコライズ回路BEQにより、バスDB[0]〜DB[n−1]がショートされ、バスは中間電圧VCC/2にプリチャージされる。
以上のように、論理レベル‘H’に駆動するバスの本数と論理レベル‘L’に駆動するバスの本数が同数となるように符号化してデータを送信することの効果をまとめると次の通りである。第一に、論理レベル‘L’に駆動されるバスの本数が、最大時でもバスの本数の半分(n/2本)になるので、消費電力を低減することができる。また、バスの最大振幅は、中間電圧VCC/2となるので、バスの消費電力はさらに低減される。第二に、論理レベル‘H’に駆動するバスの本数と論理レベル‘L’に駆動するバスの本数が同数なので、データ送信後にバスをショートすることにより、データを送信可能な電圧レベル(VCC/2)にプリチャージすることができる。この際には、論理レベル‘H’の電荷を論理レベル‘L’のプリチャージのための電荷として再利用することができる。これらの結果、データ転送速度を向上することができ、プリチャージに要する消費電力を低減することができる。
次に、データを送信するときのデータの論理レベルとバスの論理レベルの対応表を具体的に示す。図2は、図1の送信回路TXにおける符号化動作の一例を示すものであり、2bitのデータ(D[0]〜D[1])とバスの関係の一例を示す対応表である。図2より、データ幅よりも1bit多い3bitのバス幅(DB[0]〜DB[2])があれば2bitのデータを送信可能であることがわかる。図2において、論理レベル‘L’に対応する電圧レベルは接地電圧VSS、論理レベル‘M’に対応する電圧レベルは中間電圧VCC/2、論理レベル‘H’に対応する電圧レベルは電源電圧VCCである。
図3は、図1の送信回路TXにおける符号化動作の一例を示すものであり、3bitのデータ(D[0]〜D[2])とバスの関係の一例を示す対応表である。図3より、2bitのデータを送信する場合と同様に、データ幅よりも1bit多い4bitのバス幅(DB[0]〜DB[3])があれば3bitのデータを送信可能であることがわかる。図4は、4bitのデータ(D[0]〜D[3])とバスの関係の一例を示す対応表である。図4より、2bitまたは3bitのデータを送信する場合と異なり、4bitのデータを送信する場合は、少なくともデータ幅と同じ4bitのバス幅(DB[0]〜DB[3])があれば4bitのデータを送信可能であることがわかる。図5は、5bitのデータ(D[0]〜D[4])とバスの関係の一例を示す対応表である。図5より、4bitのデータを送信する場合と同様に、少なくとも5bitのバス幅(DB[0]〜DB[4])があれば5bitのデータを送信可能である。
図2〜図5より判るように、本実施の形態の半導体集積回路では、適用するデータ幅を増やすことにより必要なバス幅が抑制されることがわかる。また、データ幅の大きさによっては、バス幅をデータ幅よりも小さくすることもできる。この場合、バス幅の削減に伴い、バスの充放電電力を低減可能になる。
次に、2bitのデータ(D[0]〜D[1])を3本のバス(DB[0]〜DB[2])で送信する場合の送信回路TXの構成例について述べる。図6は、図1の送信回路TXの詳細を示すものであり、(a)はその構成例を示す回路図、(b)は(a)の動作例を示す説明図である。図6(a)に示すように、送信回路TXは、制御論理回路CLGと複数のバス駆動回路DRVから構成される。制御論理回路CLGは、送信回路活性化信号ACTにより活性化され、データD[0]〜D[1]から複数のバス駆動回路制御信号NLi,NMi,NHi(i=0,1,2)を生成する。
バス駆動回路DRVは、二つのNMOSトランジスタML0,MM0と一つのPMOSトランジスタMH0から構成される。NMOSトランジスタML0のゲートはバス駆動回路制御信号NLiに接続され、ドレインはバスDB[i]に接続され、ソースは接地電圧VSSに接続される。NMOSトランジスタMM0のゲートはバス駆動回路制御信号NMiに接続され、ドレイン(又はソース)はバスDB[i]に接続され、ソース(又はドレイン)は中間電圧VCC/2に接続される。PMOSトランジスタMH0のゲートはバス駆動回路制御信号NHiに接続され、ドレインはバスDB[i]に接続され、ソースは電源電圧VCCに接続される。
図6(b)には、データ送信時のバスDB[i](i=0,1,2)の論理レベルとバス駆動回路制御信号NLi,NMi,NHiの論理レベルの対応が示されている。ここで、論理レベル‘L’に対応する電圧レベルは接地電圧VSS、論理レベル‘M’に対応する電圧レベルは中間電圧VCC/2、論理レベル‘H’に対応する電圧レベルは電源電圧VCCである。複数あるバス駆動回路は、制御論理回路CLGで生成されたバス駆動制御信号を元に、例えば図2に示すデータとバスの論理レベルの対応表を満たすようにバスを駆動する。送信回路TXが非活性の場合には、例えば、バス駆動回路制御信号NLiとNMiは論理レベル‘L’に駆動され、バス駆動回路制御信号NHiは論理レベル‘H’に駆動される。
ところで、送信回路TXが非活性化しているときのNMOSトランジスタMM0のゲート・ソース間電圧は中間電圧VCC/2の分だけ逆バイアスされるので、NMOSトランジスタMM0のしきい値を、NMOSトランジスタML0のしきい値よりも中間電圧VCC/2だけ低くできる。このようにすることで、NMOSトランジスタMM0のチャネル幅を、しきい値を低くする前よりも小さくできるので、バス駆動回路DRVを小さくすることができる。この結果、送信回路TXを小さくすることができる。
また、バスにおける論理レベル‘H’の電圧レベル(電源電圧VCC)は、バス駆動回路制御信号NLi,NMi,NHiにおける論理レベル‘H’の電圧レベルより低くてもよい。バス駆動回路DRVは、高い電圧を低い電圧に変換するレベル変換回路としても機能するので、図6(a)に示した構成を変更することなく実現できる。このようにすることで、バスの振幅をさらに小さくできるので、消費電力をさらに低減することができる。さらに、このようにした場合、PMOSトランジスタMH0のしきい値の絶対値を、NMOSトランジスタML0,MM0のしきい値よりも低くしてもよい。この理由は、送信回路TXが非活性化しているときのPMOSトランジスタMH0のゲート・ソース間は逆バイアスされるので、PMOSトランジスタMH0のしきい値の絶対値を逆バイアスの分だけ低くしてもリーク電流は変化しないからである。この結果、バスの振幅を小さくしても高速にデータを送信することができる。また、NMOSトランジスタMM0は、バスDB[0]が送信前に中間電圧VCC/2にプリチャージされるため、場合によっては省略することも可能である。ただし、DB[0]にリーク電流等が生じると中間電圧VCC/2に誤差が生じる恐れがあり、また外来ノイズ等による電圧変動も考えられるため、これらを低減するためには設ける方が望ましい。
次に、3本のバス(DB[0]〜DB[2])から2bitのデータ(D[0]〜D[1])を受信する場合の受信回路RXの構成例について述べる。図2に示す2bitのデータを送信するときのデータの論理レベルとバスの論理レベルの対応表において、バスDB[0]の論理レベルが論理レベル‘M’よりも低いときを論理レベル‘L’に対応させ、高いときを論理レベル‘H’に対応させることにより、データD[0]を復号できることがわかる。一方、バスDB[1]の論理レベルがバスDB[2]の論理レベルよりも低いときを論理レベル‘L’に対応させ、高いときを論理レベル‘H’に対応させることにより、データD[1]を復号できることがわかる。この比較動作はラッチアンプを用いて実現することができる。
図7は、図1の受信回路RXの詳細な一例を示すものであり、(a)はその構成例を示す回路図、(b)は(a)の動作例を示す波形図である。図7(a)には、ラッチアンプを用いた受信回路RXの回路構成例が示されている。受信回路RXは、二つのラッチアンプLAと、コモンソースドライバCSPDRVから構成される。ラッチアンプLAは、二つのPMOSトランジスタMP72,MP73、ラッチ回路LAT、データイコライズ回路DEQから構成される。MP72のソースはノードNPに接続され、ドレインはノードN70に接続される。MP73のソースはノードNPに接続され、ドレインはノードN71に接続される。データD[0]を復号するラッチアンプLAでは、MP72のゲートはバスDB[0]に接続され、MP73のゲートは中間電圧VCC/2に接続される。データD[1]を復号するラッチアンプLAでは、MP72のゲートはバスDB[1]に接続され、MP73のゲートはバスDB[2]に接続される。
ラッチ回路LATは、二つのPMOSトランジスタMP70,MP71と二つのNMOSトランジスタMN70,MN71から構成される。MP70のソースはノードN70に接続され、ドレインはデータの反転信号D0BまたはD1Bに接続され、ゲートはデータD[0]またはD[1]に接続される。MP71のソースはノードN71に接続され、ドレインはデータD[0]またはD[1]に接続され、ゲートはデータの反転信号D0BまたはD1Bに接続される。MN70のソースは接地電圧VSSに接続され、ドレインはデータの反転信号D0BまたはD1Bに接続され、ゲートはデータD[0]またはD[1]に接続される。MN71のソースは接地電圧VSSに接続され、ドレインはデータD[0]またはD[1]に接続され、ゲートはデータの反転信号D0BまたはD1Bに接続される。
データイコライズ回路DEQは、三つのNMOSトランジスタMN72,MN73,MN74から構成される。MN72のソースは接地電圧VSSに接続され、ドレインはデータの反転信号D0BまたはD1Bに接続され、ゲートはデータイコライズ信号DEQTに接続される。MN73のソースは接地電圧VSSに接続され、ドレインはデータD[0]またはD[1]に接続され、ゲートはデータイコライズ信号DEQTに接続される。MN74のソースまたはドレインの一方はデータD[0]またはD[1]に接続され、もう一方はデータの反転信号D0BまたはD1Bに接続され、ゲートはデータイコライズ信号DEQTに接続される。
コモンソースドライバCSPDRVは、PMOSトランジスタMP74から構成される。MP74のソースは電源電圧VCCに接続され、ドレインはノードNPに接続され、ゲートは受信回路活性化信号ACTRBに接続される。
この図7(a)の回路は、図7(b)のように動作する。時刻t0のときはデータの送受信が行われていない状態であり、受信回路活性化信号ACTRBは論理レベル‘H’に駆動され、データイコライズ信号DEQTは論理レベル‘H’に駆動される。これにより、コモンソースドライバCSPDRVが非活性化され、ラッチ回路LATが非活性化される。また、データイコライズ回路DEQは活性化され、データD[0]とD[1]、D0BとD1Bがそれぞれ接地電圧VSSに保持される。
データを受信するときは、データイコライズ信号DEQTが論理レベル‘H’から論理レベル‘L’に駆動され(時刻t1)、データイコライズ回路DEQは非活性化される。次に、送信回路TXによりバスDB[0]〜DB[2]が駆動され、PMOSトランジスタMP72とMP73のゲート電圧の差が十分に得られた後、受信回路活性化信号ACTRBが論理レベル‘H’から論理レベル‘L’に駆動され(時刻t2)、ラッチ回路LATが活性化される。MP72とMP73により、バスDB[0]と中間電圧VCC/2の対と、バスDB[1]とバスDB[1]の対の電圧がそれぞれ比較されデータが復号される。復号されたデータがラッチ回路LATに保持される。
データの受信が完了した後は、受信回路活性化信号ACTRBが論理レベル‘L’から論理レベル‘H’に駆動され(時刻t3)されラッチ回路LATが非活性化される。その後、データイコライズ信号DEQTが論理レベル‘L’から論理レベル‘H’に駆動される(時刻t4)。これにより、データイコライズ回路DEQが活性化され、データD[0]とD[1]、D0BとD1Bがそれぞれ接地電圧VSSに保持される。
ここで、図7(a)に示した受信回路RXは、二つの入力信号の電圧を比較してデータを復号するため、バスの論理レベル‘H’に対応する電圧は電源電圧VCCより低くてもよい。この場合、図7(a)のMP73のゲート電圧(VCC/2)は、バスの論理レベル‘H’の電圧レベルの1/2に設定する。そうすると、図6に示した送信回路TXと図7(a)に示した受信回路RXを用いることにより、電源電圧VCCよりも小さな振幅で符号化データを送受信することができるので、バスの消費電力をさらに低減することができる。
図7(a)に示した受信回路RXでは、PMOSトランジスタのゲートにバス(DB[0]〜DB[2])あるいは中間電圧VCC/2を接続してデータを復号したが、NMOSトランジスタのゲートに接続してデータを復号することもできる。図8は、図7の変形例を示すものであり、(a)はその構成例を示す回路図、(b)は(a)の動作例を示す波形図である。図8(a)に示すように、受信回路RXは、二つのラッチアンプLAと、コモンソースドライバCSNDRVから構成される。ラッチアンプLAは、二つのNMOSトランジスタMN77,MN78、ラッチ回路LAT、データイコライズ回路DEQから構成される。MN77のソースはノードNNに接続され、ドレインはノードN72に接続される。MN78のソースはノードNNに接続され、ドレインはノードN73に接続される。データD[0]を復号するラッチアンプLAでは、MN77のゲートはバスDB[0]に接続され、MN78のゲートは中間電圧VCC/2に接続される。データD[1]を復号するラッチアンプLAでは、MN77のゲートはバスDB[1]に接続され、MN78のゲートはバスDB[2]に接続される。
ラッチ回路LATは、二つのPMOSトランジスタMP78,MP79と二つのNMOSトランジスタMN75,MN76から構成される。MP78のソースは電源電圧VCCに接続され、ドレインはデータD[0]またはD[1]に接続され、ゲートはデータの反転信号D0BまたはD1Bに接続される。MP79のソースは電源電圧VCCに接続され、ドレインはデータの反転信号D0BまたはD1Bに接続され、ゲートはデータD[0]またはD[1]に接続される。MN75のソースはノードN72に接続され、ドレインはデータD[0]またはD[1]に接続され、ゲートはデータの反転信号D0BまたはD1Bに接続される。MN76のソースはノードN73に接続され、ドレインはデータの反転信号D0BまたはD1Bに接続され、ゲートはデータD[0]またはD[1]に接続される。
データイコライズ回路DEQは、三つのPMOSトランジスタMP75,MP76,MP77から構成される。MP75のソースは電源電圧VCCに接続され、ドレインはデータD[0]またはD[1]に接続され、ゲートはデータイコライズ信号DEQBに接続される。MP76のソースは電源電圧VCCに接続され、ドレインはデータの反転信号D0BまたはD1Bに接続され、ゲートはデータイコライズ信号DEQBに接続される。MP77のソースまたはドレインの一方はデータD[0]またはD[1]に接続され、もう一方はデータの反転信号D0BまたはD1Bに接続され、ゲートはデータイコライズ信号DEQBに接続される。
コモンソースドライバCSNDRVは、NMOSトランジスタMN79から構成される。MN79のソースは接地電圧VSSに接続され、ドレインはノードNNに接続され、ゲートは受信回路活性化信号ACTRに接続される。
この図8(a)の回路は、図8(b)のように動作する。図8(b)の動作波形は、図7(b)と比較して、受信回路活性化信号ACTRとデータイコライズ信号DEQBの論理レベルと、データイコライズ回路DEQが活性化しているときのデータとその反転信号のプリチャージレベルが異なっており、それ以外は同様である。図8(a)に示す受信回路RXにおいても図7(a)に示した受信回路RXと同じ効果を得ることができる。すなわち、図6に示した送信回路TXと図8(a)に示した受信回路RXを用いることにより、電源電圧VCCよりも小さな振幅で符号化データを送受信することができるので、バスの消費電力をさらに低減することができる。また、データ(D[0]〜D[1])とその反転信号(D0B,D1B)を駆動するMOSトランジスタをNMOSトランジスタ(MN77,MN78,MN79)にできるので、PMOSトランジスタを用いている図7(a)の構成よりも小さな面積で受信回路RXを構成できる。
次に、データの復号を高速化できるコモンソースドライバ(CSPDRV,CSNDRV)の他の構成例を示す。図9は、図7におけるコモンソースドライバCSPDRVの変形例を示すものであり、(a)はその構成例を示す回路図、(b)は(a)の動作例を示す波形図である。図9(a)に示すように、コモンソースドライバCSPDRVは、二つのインバータINV90,INV91、三つのNMOSトランジスタMN90,MN91,MN92、六つのPMOSトランジスタMP90〜MP95から構成される。INV90、INV91は、それぞれデータイコライズ信号DEQTを入力とし、その反転信号を出力する。INV90の出力信号の論理レベル‘H’に対応する電圧は中間電圧VCC/2であり、論理レベル‘L’に対応する電圧は接地電圧VSSである。一方、INV91の出力信号の論理レベル‘H’に対応する電圧は電源電圧VCCであり、論理レベル‘L’に対応する電圧は接地電圧VSSである。
NMOSトランジスタMN90のドレインはノードN90に接続され、ソースはバスDB[0]に接続され、ゲートはインバータINV90の出力に接続される。NMOSトランジスタMN91のドレインはノードN91に接続され、ソースはバスDB[1]に接続され、ゲートはインバータINV90の出力に接続される。NMOSトランジスタMN92のドレインはノードN92に接続され、ソースはバスDB[2]に接続され、ゲートはインバータINV90の出力に接続される。
PMOSトランジスタMP90のドレインはノードN90に接続され、ソースは電源電圧VCCに接続され、ゲートはインバータINV91の出力に接続される。PMOSトランジスタMP92のドレインはノードN91に接続され、ソースは電源電圧VCCに接続され、ゲートはインバータINV91の出力に接続される。PMOSトランジスタMP94のドレインはノードN92に接続され、ソースは電源電圧VCCに接続され、ゲートはインバータINV91の出力に接続される。PMOSトランジスタMP91のドレインはノードNPに接続され、ソースは電源電圧VCCに接続され、ゲートはノードN90に接続される。PMOSトランジスタMP93のドレインはノードNPに接続され、ソースは電源電圧VCCに接続され、ゲートはノードN91に接続される。PMOSトランジスタMP95のドレインはノードNPに接続され、ソースは電源電圧VCCに接続され、ゲートはノードN92に接続される。
この図9(a)の回路は、図9(b)のように動作する。時刻t0のときはデータの送受信が行われていない状態であり、データイコライズ信号DEQTは論理レベル‘H’に駆動される。これにより、NMOSトランジスタMN90,MN91,MN92のゲートは、インバータINV90により接地電圧VSSに駆動され、PMOSトランジスタMP90,MP92,MP94のゲートは、インバータINV91により接地電圧VSSに駆動される。この結果、MN90,MN91,MN92は非活性化され、ノードN90,N91,N92とそれらに対応するバスDB[0],DB[1],DB[2]はそれぞれ分離される。また、MP90,MP92,MP94は活性化され、それらに対応するノードN90,N91,N92は電源電圧VCCに保持される。
データを受信するときは、データイコライズ信号DEQTは論理レベル‘H’から論理レベル‘L’に駆動される(時刻t1)。このとき、NMOSトランジスタMN90,MN91,MN92のゲートは、インバータINV90により中間電圧VCC/2に駆動され、PMOSトランジスタMP90,MP92,MP94のゲートは、インバータINV91により電源電圧VCCに駆動される。符号化されたデータが送信されるまでは、バス(DB[0]〜DB[2])は中間電圧VCC/2に保持されるので、MN90,MN91,MN92は非活性化状態のままである。
一方、PMOSトランジスタMP90,MP92,MP94は非活性化される。送信回路TXにより符号化データが送信されると(時刻t2)、3本あるバスのうちの一本が接地電圧VSSに駆動され、接地電圧VSSに駆動されるバスに接続されるNMOSトランジスタが活性化される。これにより、ノードN90,N91,N92のうちの一つが接地電圧VSSに駆動され、PMOSトランジスタMP91,MP93,MP95のうちの一つが活性化される。この結果、ラッチ回路LATが活性化され、データの復号が行われる。データの受信が完了した後は、データイコライズ信号DEQTは論理レベル‘L’から論理レベル‘H’に駆動される(時刻t3)。これにより、ノードN90,N91,N92と、それらに対応するバスDB[0],DB[1],DB[2]は分離され、ノードN90,N91,N92は電源電圧VCCに駆動・保持される。
以上に説明したコモンソースドライバCSPDRVの効果をまとめると次の通りである。このコモンソースドライバCSPDRVを用いることにより、ラッチアンプLA内のラッチ回路LATをデータ送信時に自動で活性化することができるので、図7(a)で示した構成で必要であった受信回路活性化信号ACTRBを不要にできる。この結果、データイコライズ信号DEQTと受信回路活性化信号ACTRBのタイミングマージンをなくすことができるので、データ転送速度を向上させることができる。
図10は、図8におけるコモンソースドライバCSNDRVの変形例を示すものであり、(a)はその構成例を示す回路図、(b)は(a)の動作例を示す波形図である。図10(a)に示すように、コモンソースドライバCSNDRVは、二つのインバータINV92,INV93、三つのPMOSトランジスタMP96,MP97,MP98、六つのNMOSトランジスタMN93〜MN98から構成される。INV92,INV93は、それぞれデータイコライズ信号DEQBを入力とし、その反転信号を出力する。INV92の出力信号の論理レベル‘H’に対応する電圧は電源電圧VCCであり、論理レベル‘L’に対応する電圧は接地電圧VSSである。一方、INV93の出力信号の論理レベル‘H’に対応する電圧は電源電圧VCCであり、論理レベル‘L’に対応する電圧は中間電圧VCC/2である。
PMOSトランジスタMP96のドレインはノードN93に接続され、ソースはバスDB[0]に接続され、ゲートはインバータINV93の出力に接続される。PMOSトランジスタMP97のドレインはノードN94に接続され、ソースはバスDB[1]に接続され、ゲートはインバータINV93の出力に接続される。PMOSトランジスタMP98のドレインはノードN95に接続され、ソースはバスDB[2]に接続され、ゲートはインバータINV93の出力に接続される。
NMOSトランジスタMN93のドレインはノードN93に接続され、ソースは接地電圧VSSに接続され、ゲートはインバータINV92の出力に接続される。NMOSトランジスタMN95のドレインはノードN94に接続され、ソースは接地電圧VSSに接続され、ゲートはインバータINV92の出力に接続される。NMOSトランジスタMN97のドレインはノードN95に接続され、ソースは接地電圧VSSに接続され、ゲートはインバータINV92の出力に接続される。NMOSトランジスタMN94のドレインはノードNNに接続され、ソースは接地電圧VSSに接続され、ゲートはノードN93に接続される。NMOSトランジスタMN96のドレインはノードNNに接続され、ソースは接地電圧VSSに接続され、ゲートはノードN94に接続される。NMOSトランジスタMN98のドレインはノードNNに接続され、ソースは接地電圧VSSに接続され、ゲートはノードN95に接続される。
この図10(a)の回路は、図10(b)のように動作する。図10(b)の動作波形は、図9(b)と比較して、データイコライズ信号DEQBの論理レベルと、ノードN93,N94,N95のプリチャージレベルが異なっており、それ以外は同様である。
以上で説明したコモンソースドライバCSNDRVの効果をまとめると次の通りである。このコモンソースドライバCSNDRVを用いることにより、ラッチアンプLA内のラッチ回路LATをデータ送信時に自動で活性化することができるので、図8(a)で示した構成で必要であった受信回路活性化信号ACTRを不要にできる。この結果、データイコライズ信号DEQBと受信回路活性化信号ACTRのタイミングマージンをなくすことができるので、データ転送速度を向上させることができる。また、NMOSトランジスタ数が、図9(a)の構成よりも多いので、小さな面積でコモンソースドライバを構成できる。
次に、受信回路RXの他の構成例を示す。図11は、図1の受信回路RXの他の詳細な一例を示すものであり、(a)はその構成例を示す回路図、(b)は(a)の入出力関係を示す説明図である。この図11(a)の受信回路RXは、2bitのデータ(D[0]〜D[1])を送信するときのデータの論理レベルとバス(DB[0]〜DB[2])の論理レベルの対応が前述した図2と異なり、図11(b)に示すように当該データの復号を行うものである。図11(b)において、バスDB[0]とデータD[0]の論理レベルに着目すると、論理レベル‘M’を論理レベル‘L’に、論理レベル‘L’を論理レベル‘H’に変換することにより、データを復号できることがわかる。一方、バスDB[2]とデータD[1]の論理レベルに着目すると、論理レベル‘L’と‘M’を論理レベル‘L’に、論理レベル‘H’を論理レベル‘H’に変換することにより、データを復号できることがわかる。これらの変換はレベル変換回路を用いて実現することができる。この結果、図7(a)と図8(a)に示した構成よりも面積の小さい受信回路RXを実現することができる。また、レベル変換回路は活性化信号を必要としないので、図7(a)と図8(a)に示した構成よりも高速にデータを復号することができる。
図11(a)は、このレベル変換回路を用いた受信回路RXの構成例である。図11(a)に示す受信回路RXは、二つのNMOSトランジスタMN112,MN115、二つのPMOSトランジスタMP112,MP115、一つのインバータINV110、二つのレベル変換回路LCN,LCPから構成される。MN112のドレインとソースの一方はバスDB[0]に接続され、もう一方はノードN111に接続され、ゲートは受信回路活性化信号ACTRに接続される。MN115のドレインはノードN113に接続され、ソースは接地電圧VSSに接続され、ゲートはインバータINV110の出力に接続される。MP112のドレインはノードN111に接続され、ソースは電源電圧VCCに接続され、ゲートは受信回路活性化信号ACTRに接続される。MP115のドレインとソースの一方はバスDB[2]に接続され、もう一方はノードN113に接続され、ゲートはINV110の出力に接続される。INV110は、受信回路活性化信号ACTRを入力としその反転信号を生成する。
レベル変換回路LCNは、二つのNMOSトランジスタMN110,MN111と二つのPMOSトランジスタMP110,MP111から構成される。MN110のドレインとソースの一方はノードN110に接続され、もう一方はノードN111に接続され、ゲートは中間電圧VCC/2に接続される。MN111のドレインはデータD[0]に接続され、ソースは接地電圧VSSに接続され、ゲートはノードN111に接続される。MP110のドレインはノードN110に接続され、ソースは電源電圧VCCに接続され、ゲートはデータD[0]に接続される。MP111のドレインはデータD[0]に接続され、ソースは電源電圧VCCに接続され、ゲートはノードN110に接続される。
レベル変換回路LCPは、二つのNMOSトランジスタMN113,MN114と二つのPMOSトランジスタMP113,MP114から構成される。MN113のドレインはデータD[1]に接続され、ソースは接地電圧VSSに接続され、ゲートはノードN112に接続される。MN114のドレインはノードN112に接続され、ソースは接地電圧VSSに接続され、ゲートはデータD[1]に接続される。MP113のドレインとソースの一方はデータD[1]に接続され、もう一方はノードN113に接続され、ゲートは中間電圧VCC/2に接続される。MP114のドレインはノードN112に接続され、ソースは電源電圧VCCに接続され、ゲートはノードN113に接続される。
次に、図11(a)に示した受信回路RXの動作を説明する。データを受信する場合、受信回路活性化信号ACTRは論理レベル‘L’から論理レベル‘H’に駆動される。これにより、NMOSトランジスタMN115とPMOSトランジスタMP112は非活性化され、NMOSトランジスタMN112とPMOSトランジスタMP115により、バスDB[0],DB[2]と二つのレベル変換回路LCN,LCPが接続される。LCNはバスDB[0]からデータD[0]を復号し、LCPはバスDB[2]からデータD[1]を復号する。データを受信してから次に受信するまでの間は、受信回路活性化信号ACTRは論理レベル‘H’から論理レベル‘L’に駆動される。これにより、MN112とMP115は非活性化され、バスDB[0],DB[2]とレベル変換回路LCN,LCPが切り離される。また、MN115とMP112は活性化され、レベル変換回路LCN,LCPの入力が不定とならないように、ノードN111とN113の電圧がそれぞれ電源電圧VCCと接地電圧VSSに保持される。電圧の保持方法はこれに限定されない。ノードN111を接地電圧VSSに保持する構成としても良いし、ノードN113を電源電圧VCCに保持する構成としても良い。
図11(a)に示した受信回路RXは、4個のMOSトランジスタで構成できるレベル変換回路で構成されるため、図7(a)と図8(a)に示した構成よりも面積の小さい受信回路を実現することができる。また、レベル変換回路は活性化信号を必要としないので、図7(a)と図8(a)に示した構成よりも高速にデータを復号することができる。
次に、これまでに説明した本実施の形態によるバス駆動方式を半導体記憶装置に適用した場合の構成例について述べる。図12は、本発明の一実施の形態による半導体記憶装置において、その1つのメモリブロック(バンク)の構成例を示すものであり、(a)は回路全体の概略構成例を示すブロック図、(b)は論理的な配置例を示すレイアウト図である。図12(a)に示す半導体記憶装置CHIPMは、シンクロナスDRAM(SDRAM)となっている。データレートがSDRAMの約2倍のダブルデータレート(DDR)SDRAM、データレートがDDR−SDRAMの2倍のDDR2−SDRAM、データレートがDDR2−SDRAMの2倍のDDR3−SDRAMなどにも同様に適用可能である。
図12(a)において、各回路ブロックは、タイミング信号生成回路TCGで形成される内部制御信号のタイミングで動作する。TCGは、カラムタイミング制御回路やロウタイミング制御回路を含む。TCGに入力される制御信号には、クロック信号CLKのタイミングで入力される、チップ選択信号/CS、ロウアドレスストローブ信号/RAS、カラムアドレスストローブ信号/CAS、ライトイネーブル信号/WEがある。また、SDRAMの動作モード(例えば、カラムレイテンシ(CL)のクロック数、出力データ方式、ライトリカバリクロック数の指定値)がアドレスピンを利用して記憶されているモードレジスタMRがある。モードレジスタMRの特定の値、例えば、カラムレイテンシ(CL)、ライトリカバリクロック数などもTCGに入力される。
また、外部ピン(例えば、チップ選択信号/CS、ロウアドレスストローブ信号/RAS、カラムアドレスストローブ信号/CAS、ライトイネーブル信号/WEなどの制御信号とアドレス信号)の組合せはコマンドと呼ばれる。クロックイネーブル信号CKEは、クロック信号の有効無効を決定する。また、入出力マスク信号DQMは、入出力端子DQ0,…,DQnから入出力されるデータをマスクするためにデータ入出力バッファI/OBを制御するための信号である。データストローブ信号DQSは、データ入出力に際して同期を行うための信号である。電源発生回路VGは、外部電源VDDと外部接地電源GNDからワード線選択電圧VPP、周辺回路電源電圧VCL、アレイ電圧VDL、ビット線プリチャージ電圧VBLR、プレート電圧VPLT、ワード線非選択電圧VKK、基板電圧VBBなどを生成し、各回路に供給する。ビット線プリチャージ電圧VBLRは、通常、アレイ電圧VDLの中点VDL/2に設定される。
SDRAMでは、アドレス入力端子A0,A1,…,AnからロウアドレスXA0,XA1,…,XAnやカラムアドレスYA0,YA1,…,YAnが時分割に入力されるアドレスマルチプレックス方式が採られる。アドレス入力端子からロウアドレスバッファXABに入力されたロウアドレスは、XプリデコーダPXDECでプリデコードされた後、ロウアドレスデコーダXDECでデコードされ、一つのメモリアレイARY中の特定ワード線が選択される。それに応じて1ワード分のメモリセルが選択状態となる。引き続き、カラムアドレスがカラムアドレスバッファYABに入力されると、YプリデコーダPYDECでプリデコードされた後、カラムアドレスデコーダYDECにより、読み出し又は書き込みを行うメモリセルが更に選択される。尚、SDRAMは通常バンクアドレスで指定される複数のメモリアレイ(又はメモリバンク)を持つ。例えば、DDR2−SDRAMでは、512Mb以下の容量で4バンク、1Gb以上の容量では8バンクである。この図では一つのメモリアレイARY(BANK0)だけを代表的に示した。
送信回路TXと受信回路RXは、それぞれメインアンプ列MAAとグローバルI/O線GIO間、グローバルI/O線GIOとデータ入出力バッファI/OBの間に配置される。この送信回路TXと受信回路RXに、これまでに説明したような本実施の形態によるバス駆動方式が適用される。送信回路TXと受信回路RXの電源電圧と中間電圧は、それぞれ電源発生回路VGにより生成される。例えば、電源電圧として周辺回路電源電圧VCLを用い、中間電圧として周辺回路電源電圧VCLと接地電圧VSSの中間電圧VCL/2を用いる。送信回路TXと受信回路RXの制御信号はタイミング信号生成回路TCGにより生成される。
選択されたメモリセルからデータを読み出す場合、読み出されたデータは、入出力制御回路I/O_CTLおよびメインI/O線MIOを介してメインアンプ列MAAに入力され増幅される。増幅されたデータは、送信回路TXにより符号化され、グローバルI/O線GIOを介して送信される。符号化されたデータは受信回路RXにより元のデータに復号され、データ入出力バッファI/OBにより半導体記憶装置CHIPMの外部に出力される。一方、選択されたメモリセルにデータを書き込む場合は、データは半導体記憶装置CHIPMの外部からデータ入出力バッファI/OB介して半導体記憶装置の内部に入力される。入力されたデータは、送信回路TXにより符号化され、グローバルI/O線GIOを介して送信される。符号化されたデータは受信回路RXにより元のデータに復号され、メインアンプ列MAAに入力され増幅される。増幅されたデータは、メインI/O線MIOおよび入出力制御回路I/O_CTLを介してメモリアレイに入力され、選択されたメモリセルに書き込まれる。データの送受信が完了してから次にデータの送受信が行われるまでは、グローバルI/O線GIOは、図1に示したバスイコライズ回路BEQによりショートされ、中間電圧VCL/2に保持される。
ところで、図12(a)において、ビット線プリチャージ電圧VBLRは、通常、アレイ電圧VDLの中点VDL/2に設定されるので、データ送受信時のバスの論理レベル‘H’に対応する電圧をアレイ電圧VDL、論理レベル‘M’に対応する電圧をビット線プリチャージ電圧VBLR、送信回路と受信回路のその他電圧を周辺回路電源電圧VCL(>VDL)としてもよい。このようにすることで、グローバルI/O線GIOの振幅を小さくでき、消費電力をさらに削減することができる。この結果より低消費電力な半導体記憶装置を実現することができる。また、この場合、周辺回路電源電圧VCLの中間電圧VCL/2を発生する必要がないので、電源発生回路VGを小さくでき、小面積な半導体記憶装置を実現することができる。
次に、図12(b)に示すように、SDRAMの1つのメモリバンク(BANK)は、行アドレスからワード線を選択するロウアドレスデコーダXDECと列アドレスからデータ線を選択するカラムアドレスデコーダYDECで囲われたメモリ領域からなり、そのメモリ領域はマトリクス状に配置された複数のメモリアレイARYを含む。特に制限されないが、この複数のメモリアレイARYは、階層ワード線方式を採り、メモリ領域の一辺(ここではXDECとの間)にはメインワードドライバ列MWDAが配置される。MWDAに接続されるメインワード線は、複数のメモリアレイARYに渡ってまたがるように上層の金属配線層に形成される。また、カラム方向の選択は、YDECから出力される複数の列選択線(YS)が複数のメモリアレイARYに渡ってまたがるように形成される共通Yデコーダ方式が採られる。また、複数のメモリアレイARYのそれぞれは、複数のサブワードドライバからなるサブワードドライバ列SWDAと複数のセンスアンプからなるセンスアンプ列SAAと複数のクロスエリアXPによって囲まれた構成となっている。
ここで、図12(a)に示したグローバルI/O線GIOの実際のレイアウト構成例について述べる。図19は、図12の半導体記憶装置を含んだチップ全体の概略構成例を示すレイアウト図である。図19に示す半導体記憶装置CHIPMは、8個のメモリバンク(BANK)を備え、長辺の一方と他方に沿ってそれぞれ4個ずつのメモリバンクが配置される。また、各メモリバンクにそれぞれ対応して送信回路TXおよび受信回路RXが設けられ、この互いに対応するメモリバンクと送信回路TXおよび受信回路RXとが近接して配置される。グローバルI/O線GIOは、この長辺の一方側に配置された4個のメモリバンクと他方側に配置された4個のメモリバンクの間で、長辺方向に延伸するように配置される。このグローバルI/O線GIOの一端部分には、図12(a)に示したデータ入出力バッファI/OBに対応する送信回路TXおよび受信回路RXが配置される。この送信回路TXおよび受信回路RXは、グローバルI/O線GIOを介して、前述した各メモリバンクに対応する受信回路RXおよび送信回路TXとの間で通信を行う。
図19に示すように、グローバルI/O線GIOは、チップの寸法と同程度あるいはそれ以上の長さに渡って引き回されているため、大きな配線容量を有している。このため、本実施の形態によるバス駆動方式を用いることで、グローバルI/O線GIOで消費する電力を削減することができ、半導体記憶装置の消費電力を低減することができる。
図13および図14は、図12の半導体記憶装置において、そのメモリアレイARYの構成の一例を示す回路図である。図13および図14に示すように、メモリアレイARYは、複数のメモリセルMCから構成されている。各メモリセルMCは、DRAMメモリセルとなっており、1個のMOSトランジスタ(メモリセルトランジスタ)および1個のキャパシタCsで構成される。
図13では、折返し型ビット線方式のアレイが用いられ、全てのワード線WLとビット線の交点の半分にメモリセルMCが配置されている。また、互いに隣接するビット線BLTおよびBLBがビット線対としてセンスアンプSAに接続されている。メモリセルトランジスタのソース・ドレインの一方は、BLT又はBLBに接続され、ソース・ドレインの他方は、蓄積ノードSNに接続され、ゲートはワード線WLに接続される。キャパシタCsの一方の端子は、蓄積ノードSNに接続され、他方の端子は共通プレートPLに接続される。共通プレートPLは図12のプレート電圧VPLTで駆動される。このアレイ方式は、動作時のノイズが小さく、動作マージンが大きいという利点がある。
一方、図14では、開放型ビット線方式のアレイが用いられ、全てのワード線とビット線の交点にメモリセルMCが配置されている。このためメモリセルサイズを縮小できる効果がある。図14では、互いに隣接する別のメモリアレイ内のビット線BLTおよびBLBがビット線対としてセンスアンプSAに接続されている。各メモリセルMCの構成は、図13と同様である。また、メモリアレイARY内の各ビット線BLT,BLBは、交互に異なるセンスアンプ列SAAに接続され、各センスアンプSAは、両側に隣接するメモリアレイ内のビット線で共有される。これに伴い各センスアンプ列SAA内では、隣接するセンスアンプSAがビット線1本分のスペースを挟んで配置されることになる。このような配置をとることにより、センスアンプSA間のピッチが緩和されるためレイアウトが容易となり、微細化が可能となる。
図15は、図12の半導体記憶装置において、そのセンスアンプ列SAAとサブワードドライバ列SWDAの詳細な配置関係の一例を示す平面図である。図15に示すように、各メモリアレイARY内の複数のビット線対(BLT/BLB)は、両側に隣接するセンスアンプ列SAAに対して交互に接続され、センスアンプ列SAA内の各センスアンプSAは、両側に隣接するメモリアレイARY内のビット線対(BLT/BLB)に共通接続される。同様に、各メモリアレイARY内の複数のワード線WLは、両側に隣接するサブワードドライバ列SWDAに対して交互に接続され、サブワードドライバ列SWDA内の各サブワードドライバSWDは、両側に隣接するメモリアレイARY内のワード線WLに共通接続される。このように配置することにより、サブワードドライバ列SWDA内において、サブワードドライバSWD間のピッチを、メモリアレイARY内のワード線WL間のピッチの2倍に広げることができる。したがって、微細化が容易となる。
またセンスアンプ列SAAには、ローカルI/O線LIOが配置され、LIOは、クロスエリアXPでスイッチSWを介して、メインI/O線MIOと接続される。リード時には、センスアンプSA中のデータがLIOとMIOを介してSDRAM外に読み出され、ライト時には、SDRAM外からMIOとLIOを介してセンスアンプSAにデータが書き込まれる。
図16は、図13におけるセンスアンプSAの構成例を示す回路図である。各センスアンプSA内には、トランスファーゲートTGCと、プリチャージ回路PCCと、クロスカップル・アンプCCと、読み出し・書き込みポートIOPとが含まれている。トランスファーゲートTGCは、センスアンプ分離信号(SHR信号)が活性化された時にセンスアンプSAとメモリアレイARY間を接続する回路である。プリチャージ回路PCCは、ビット線プリチャージ信号(BLEQ信号)が活性化された時に対となるビット線BLT,BLB間をイコライズし、ビット線プリチャージ電圧VBLRにプリチャージする。ビット線プリチャージ電圧VBLRは、通常、ビット線振幅の電圧VDL(チップ外部からの電源電圧VDDと同レベルかまたはそれを降圧したレベル)の中点VDL/2に設定される。
クロスカップル・アンプCCは、ビット線BLT,BLB上にメモリセルMCからの微小な読出し信号が発生した後に、P側共通ソース線CSPをアレイ電圧VDLに、N側共通ソース線CSNを接地電圧VSSに駆動して、BLTとBLBのうちの電圧の高い方をVDLに、低い方をVSSに増幅し、増幅された電圧をラッチする回路である。読み出し・書き込みポートIOPは、列選択線YSが活性化されたときにローカルI/O線(LIOT/LIOB)とビット線対(BLT/BLB)を接続する回路である。なお、LIOT/LIOBは、非選択センスアンプ列SAAでの電流消費を防止するために、待機時にはプリチャージレベルに保持される。
図17は、図12の半導体記憶装置において、そのサブワードドライバ列SWDAの構成例を示す回路図である。サブワードドライバ列SWDAは、複数のサブワードドライバSWDによって構成される。図12(b)等にも示したように、サブワードドライバ列SWDAは、メモリアレイARYの周辺に配置される。サブワードドライバSWDは両側に配置されるメモリアレイARY内のワード線WLを駆動する。また、図15で説明したように、サブワードドライバ列SWDAは、メモリアレイARY内の複数のワード線WLに対して交互配置されているため、メモリアレイARY内のワード線WL(サブワード線)は、1本おきに左右のサブワードドライバSWDに接続される。
サブワードドライバSWDは、2個のNMOSトランジスタと1個のPMOSトランジスタで構成される。一方のNMOSトランジスタは、ゲートにメインワード線MWLBが接続され、ドレインにワード線WLが接続され、ソースに電圧VKKが接続される。他方のNMOSトランジスタはゲートに相補サブワードドライバ選択線FXB、ドレインにワード線WLが接続され、ソースに電圧VKKが接続される。PMOSトランジスタは、ゲートにメインワード線MWLBが接続され、ドレインにワード線WLが接続され、ソースにサブワードドライバ選択線FXが接続される。一つのサブワードドライバ列SWDA上に4組のサブワードドライバ選択線FX0〜3が配線され、一本のメインワード線MWLBで選択される4個のサブワードドライバSWDのうちいずれか1個を選択して1本のワード線WLが活性化される。
図18は、図12の半導体記憶装置において、そのクロスエリアXPの構成例を示す回路図である。クロスエリアXPには、SHR信号ドライバSHDと、LIO線プリチャージ回路REQと、リードライトゲートRGCと、CS線ドライバCSDと、CS線プリチャージ回路SEQと、BLEQ信号ドライバEQDと、FX線ドライバFXDが配置される。SHR信号ドライバSHDは、SHR0信号の相補信号SHR0BとSHR1信号の相補信号SHR1Bが入力され、その反転信号を出力する。LIO線プリチャージ回路REQは、リードライトイネーブル信号RWEが非活性状態のVSSレベルのときに、ローカルI/O線LIOT,LIOBを電圧VBLRにプリチャージする。リードライトゲートRGCは、リードライトイネーブル信号RWEが活性状態の電圧VCL(外部VDDレベルと同じかまたはそれを降圧したレベルで周辺回路用電源電圧として用いられる)のときにローカルI/O線LIOT,LIOBとメインI/O線MIOT,MIOBとを接続する回路である。
CS線ドライバCSDは、N側センスアンプイネーブル信号SANが活性状態のときに、N側共通ソース線CSNを接地電圧VSSに駆動し、P側センスアンプイネーブル信号SAP1Bが活性状態(VSSレベル)のときに、P側共通ソース線CSPを電圧VDL(ビット線の‘H’レベル)に駆動する回路である。CS線プリチャージ回路SEQは、BLEQ信号が活性化されたときにP側およびN側共通ソース線CSP,CSNをVBLR(=VDL/2)にプリチャージする回路である。BLEQ信号ドライバEQDは、プリチャージ信号BLEQの相補信号BLEQBが入力され、その反転信号を出力する。FX線ドライバFXDは、信号FXBが入力され、その相補信号をサブワードドライバ選択線FXに出力する。
次に、半導体記憶装置に本実施の形態によるバス駆動方式を適用することによって得られる効果をまとめる。第一に、大きな配線容量を有するグローバルI/O線GIOで消費する電力を削減することができるので、半導体記憶装置の消費電力を低減することができる。第二に、データ送受信時のバスの論理レベル‘H’に対応する電圧をアレイ電圧VDL、論理レベル‘M’に対応する電圧をビット線プリチャージ電圧VBLR、その他の回路の供給電圧を周辺回路電源電圧VCLとすることにより、グローバルI/O線GIOの消費電力をさらに削減することができる。この理由は、グローバルI/O線GIOの振幅を小さくできるからである。この結果、より低消費電力な半導体記憶装置を実現することができる。また、この場合、周辺回路電源電圧VCLの中間電圧VCL/2を発生する必要がないので、電源発生回路VGを小さくでき、小面積な半導体記憶装置を実現することができる。
本実施の形態によるバス駆動方式は、マイクロプロセッサやDSP(Digital Signal Processor)などの半導体集積回路の内部バスにも適用可能である。図20は、本発明の一実施の形態による半導体集積回路において、その概略構成例を示す全体ブロック図である。図20に示す半導体集積回路は、マイクロプロセッサMPUとなっており、その内部バスに本実施の形態によるバス駆動方式が適用される。マイクロプロセッサMPUは、中央処理装置CPU、メモリMEM、論理回路LGC、インタフェースIFから構成される。これらの回路ブロックのそれぞれに対して、これまでに述べたような送信回路TXおよび受信回路RXが設けられ、各回路ブロックは、自身の送信回路TXおよび受信回路RXを用いて、n本からなる内部バスDB[0]〜DB[n−1]を介して回路ブロック間のデータ送受信を行う。回路ブロック間のデータ送受信が行われてから次のデータ送受信が行われるまでの間は、内部バスDB[0]〜DB[n−1]は図1に示したバスイコライズ回路BEQにより中間電圧にプリチャージされる。このように、内部バスに本実施の形態によるバス駆動方式を適用することで、半導体集積回路の消費電力を低減することができる。
本実施の形態によるバス駆動方式は、パッケージやボード上に搭載される複数の半導体チップ間を接続する外部バスにも適用可能である。図21は、本発明の一実施の形態による半導体集積回路において、その他の概略構成例を示す全体ブロック図である。図21に示す半導体集積回路は、例えば、複数の半導体チップCHIP1,CHIP2が1つのパッケージPKG内に搭載されたSIP(System In Package)等の構成例となっており、その半導体チップ間の外部バスに本実施の形態によるバス駆動方式が適用される。これらの半導体チップのそれぞれに対して、これまでに述べたような送信回路TXおよび受信回路RXが設けられ、各半導体チップは、自身の送信回路TXおよび受信回路RXを用いて、n本からなる外部バスDB[0]〜DB[n−1]を介して半導体チップ間のデータ送受信を行う。半導体チップ間のデータ送受信が行われてから次のデータ送受信が行われるまでの間は、外部バスDB[0]〜DB[n−1]は図1に示したバスイコライズ回路BEQにより中間電圧にプリチャージされる。このように半導体チップ間を接続する外部バスに本実施の形態によるバス駆動方式を適用することにより、外部バスの消費電力を低減することができる。
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
例えば、図7〜図11には、図1の受信回路RXの構成例を示したが、図22に示すような受信回路RXとすることも可能である。図22は、図1の受信回路RXの更に他の詳細な構成例を示す概略図である。ここでは、3本のバス(DB[0]〜DB[2])から2bitのデータ(D[0]〜D[1])を受信する場合を例としている。図22の受信回路RXは、3本のバスにそれぞれ対応する3個の3値判定回路JGEと、この3個のJGEの判定結果からデータを復号するデータデコーダDDECから構成される。
3値判定回路JGEのそれぞれは、2個の比較回路CMPh,CMPlを含み、CMPhは、例えば3/4×VCCを基準にバスの電圧レベルを比較し、CMPlは、例えば1/4×VCCを基準にバスの電圧レベルを比較する。この比較結果により、論理レベル‘L’、‘M’、‘H’の3値判定が可能となる。その後は、例えば図2等の真理値表に基づいて、データデコーダDDECがデータを復号すればよい。
このような構成例を用いると、様々な真理値表の論理に対して広く対応可能となるが、場合によってはデータデコーダDDECの論理が複雑化し、回路面積の増大や動作速度の低下などが懸念される。このような場合に、図7〜図11に示すような受信回路RXを用いることが有益となる。また、図22のような構成例を用いる場合でも、その比較回路CMPh,CMPlに図7および図8で述べたようなラッチアンプを用い、このラッチアンプを図9および図10で述べたような回路を用いて自動で活性化させることで、動作速度の向上が図れる。
本発明の半導体集積回路は、SDRAMなどの半導体記憶装置に適用して特に有益な技術であり、これに限らず、マイクロプロセッサやDSP(Digital Signal Processor)などの半導体集積回路の内部バスや、パッケージやボードに搭載される複数のチップ間を接続する外部バスに対しても適用可能である。
本発明の一実施の形態による半導体集積回路の一例を示すものであり、(a)はその主要部の構成例を示す回路図、(b)は(a)の動作例を示す波形図である。 図1の送信回路における符号化動作の一例を示すものであり、2bitのデータとバスの関係の一例を示す対応表である。 図1の送信回路における符号化動作の一例を示すものであり、3bitのデータとバスの関係の一例を示す対応表である。 図1の送信回路における符号化動作の一例を示すものであり、4bitのデータとバスの関係の一例を示す対応表である。 図1の送信回路における符号化動作の一例を示すものであり、5bitのデータとバスの関係の一例を示す対応表である。 図1の送信回路の詳細を示すものであり、(a)はその構成例を示す回路図、(b)は(a)の動作例を示す説明図である。 図1の受信回路の詳細な一例を示すものであり、(a)はその構成例を示す回路図、(b)は(a)の動作例を示す波形図である。 図7の変形例を示すものであり、(a)はその構成例を示す回路図、(b)は(a)の動作例を示す波形図である。 図7におけるコモンソースドライバの変形例を示すものであり、(a)はその構成例を示す回路図、(b)は(a)の動作例を示す波形図である。 図8におけるコモンソースドライバの変形例を示すものであり、(a)はその構成例を示す回路図、(b)は(a)の動作例を示す波形図である。 図1の受信回路の他の詳細な一例を示すものであり、(a)はその構成例を示す回路図、(b)は(a)の入出力関係を示す説明図である。 本発明の一実施の形態による半導体記憶装置において、その1つのメモリブロック(バンク)の構成例を示すものであり、(a)は回路全体の概略構成例を示すブロック図、(b)は論理的な配置例を示すレイアウト図である。 図12の半導体記憶装置において、そのメモリアレイの構成の一例を示す回路図である。 図12の半導体記憶装置において、そのメモリアレイの他の構成の一例を示す回路図である。 図12の半導体記憶装置において、そのセンスアンプ列とサブワードドライバ列の詳細な配置関係の一例を示す平面図である。 図13におけるセンスアンプの構成例を示す回路図である。 図12の半導体記憶装置において、そのサブワードドライバ列の構成例を示す回路図である。 図12の半導体記憶装置において、そのクロスエリアの構成例を示す回路図である。 図12の半導体記憶装置を含んだチップ全体の概略構成例を示すレイアウト図である。 本発明の一実施の形態による半導体集積回路において、その概略構成例を示す全体ブロック図である。 本発明の一実施の形態による半導体集積回路において、その他の概略構成例を示す全体ブロック図である。 図1の受信回路の更に他の詳細な構成例を示す概略図である。 本発明の前提として検討した従来技術のバス駆動方式を示す説明図であり、(a)〜(d)はそれぞれ異なる方式を示すものである。
符号の説明
DB,FLAG バス
D データ
D0B,D1B データの反転信号
TX 送信回路
RX 受信回路
DRV バス駆動回路
CLG 制御論理回路
ACT 送信回路活性化信号
BEQ バスイコライズ回路
BEQT バスイコライズ信号
ME,MPR,ML,MM,MN NMOSトランジスタ
MH,MP PMOSトランジスタ
NM,NH,NL バス駆動回路制御信号
ACTRB,ACTR 受信回路活性化信号
DEQT,DEQB データイコライズ信号
LA ラッチアンプ
DEQ データイコライズ回路
LAT ラッチ回路
N,NP,NN ノード
CSPDRV,CSNDRV コモンソースドライバ
INV インバータ
LCN,LCP レベル変換回路
CHIPM 半導体記憶装置
ARY メモリアレイ
BANK メモリバンク
I/OB データ入出力バッファ
MAA メインアンプ列
XDEC ロウアドレスデコーダ
YDEC カラムアドレスデコーダ
I/O_CTL 入出力制御回路
XAB ロウアドレスバッファ
YAB カラムアドレスバッファ
PXDEC Xプリデコーダ
PYDEC Yプリデコーダ
MR モードレジスタ
A0〜An アドレスピン
DQ0〜DQn データ入出力ピン
GIO グローバルI/O線
XP クロスエリア
VG 電源発生回路
TCG タイミング信号生成回路
VPP ワード線選択電圧
VCL 周辺回路電源電圧
VDL アレイ電圧
VBLR ビット線プリチャージ電圧
VPLT プレート電圧
VCC 電源電圧
VSS 接地電圧
VKK ワード線非選択電圧
VBB 基板電圧
VDD 外部電源
GND 外部接地電源
CLK クロック
CKE クロックイネーブル
/CS チップセレクトピン
/RAS ロウアドレスストローブ信号
/CAS カラムアドレスストローブ信号
/WE ライトネーブル信号
DQM 入出力マスク信号
DQS データストローブ信号
SWDA サブワードドライバ列
SAA センスアンプ列
MWDA メインワードドライバ列
SWD サブワードドライバ
SA センスアンプ
MC メモリセル
SN 蓄積ノード
Cs キャパシタ
PL 共通プレート
BL,BLT,BLB ビット線
WL ワード線
LIO,LIOT,LIOB ローカルI/O線
MIO,MIOT,MIOB メインI/O線
SW スイッチ
TGC トランスファーゲート
IOP 読み出し・書き込みポート
CC クロスカップル・アンプ
PCC プリチャージ回路
SHR センスアンプ分離信号
CSP P側共通ソース線
CSN N側共通ソース線
BLEQ,BLEQB ビット線プリチャージ信号
YS 列選択線
MWLB メインワード線
FX,FXB サブワードドライバ選択線
SAN N側センスアンプイネーブル信号
SAP1B P側センスアンプイネーブル信号
RGC リードライトゲート
REQ LIO線プリチャージ回路
SHD SHR信号ドライバ
CSD CS線ドライバ
SEQ CS線プリチャージ回路
EQD BLEQ信号ドライバ
FXD FX線ドライバ
MPU マイクロプロセッサ
CPU 中央処理装置
MEM メモリ
LGC 論理回路
IF インタフェース
PKG パッケージ
CHIP 半導体チップ
CMP 比較回路
JGE 3値判定回路
DDEC データデコーダ

Claims (12)

  1. 互いにショート可能である複数本のバスと、
    2値の複数ビットからなる送信データを符号化し、この符号化の結果に基づいて前記複数本のバスのそれぞれを、第1電圧か、第2電圧か、前記第1電圧と前記第2電圧の中間電圧である第3電圧かに駆動することで前記送信データを送信する送信回路とを有し、
    前記送信回路は、前記第1電圧に駆動するバスの本数と前記第2電圧に駆動するバスの本数が同数となるように前記送信データの符号化を行うことを特徴とする半導体集積回路。
  2. 請求項1記載の半導体集積回路において、
    さらに、前記送信データが送信された後に、前記複数本のバスを互いにショートすることで前記複数本のバスを前記第3電圧にプリチャージする第1回路を有することを特徴とする半導体集積回路。
  3. 請求項2記載の半導体集積回路において、
    前記送信回路は、
    前記第1電圧と前記複数本のバスのうち対応するバスとの間に接続された第1MISトランジスタと、
    前記第2電圧と前記複数本のバスのうち対応するバスとの間に接続された第2MISトランジスタと、
    前記第3電圧と前記複数本のバスのうち対応するバスとの間に接続された第3MISトランジスタとを含み、
    前記送信データを送信する際、前記第1MISトランジスタと前記第2MISトランジスタと前記第3MISトランジスタのうちのいずれか一つを活性化し、対応するバスを前記第1電圧、前記第2電圧、前記第3電圧のいずれか一つで駆動することを特徴とする半導体集積回路。
  4. 請求項2記載の半導体集積回路において、
    さらに、前記送信回路によって送信された前記複数本のバス上のデータを受信し、このデータから前記送信データを復号化する受信回路を有することを特徴とする半導体集積回路。
  5. 請求項4記載の半導体集積回路において、
    前記受信回路は、
    前記複数本のバスのいずれか2本の電位差を増幅してラッチする第1ラッチアンプ回路と、
    前記複数本のバスのいずれか1本の電圧と前記第3電圧との電位差を増幅してラッチする第2ラッチアンプ回路とを含み、
    前記第1ラッチアンプ回路と前記第2ラッチアンプ回路をそれぞれ単数または複数設けることで復号化を行うように構成されたことを特徴とする半導体集積回路。
  6. 請求項4記載の半導体集積回路において、
    前記受信回路は、前記複数本のバスのいずれか1本の電圧を、それ以上の電圧またはそれ以下の電圧に変換するレベル変換回路を含み、前記レベル変換回路を複数設けることで復号化を行うように構成されたことを特徴とする半導体集積回路。
  7. 請求項4記載の半導体集積回路において、
    前記受信回路は、
    前記複数本のバス同士の電位差、または前記複数本のバスのいずれか1本と固定電圧との電位差を増幅してラッチするラッチアンプ回路と、
    前記複数本のバス内の少なくとも1本以上の電圧が前記第3電圧から前記第1電圧または前記第2電圧に遷移したことを検出し、前記ラッチアンプ回路を活性化する第2回路とを有することを特徴とする半導体集積回路。
  8. 請求項4記載の半導体集積回路において、
    前記半導体集積回路は、CPUブロックおよびメモリブロックが形成された1個の半導体チップで構成され、
    前記複数本のバスは、前記CPUブロックと前記メモリブロックとを接続する配線であることを特徴とする半導体集積回路。
  9. 請求項4記載の半導体集積回路において、
    前記半導体集積回路は、互いに通信を行う複数の半導体チップを含んで構成され、
    前記複数本のバスは、前記複数の半導体チップ間で通信を行う際に使用される配線であることを特徴とする半導体集積回路。
  10. 1個の半導体チップ上に形成され、
    複数本のバスと、
    2値の複数ビットからなる送信データを符号化し、この符号化の結果に基づいて前記複数本のバスのそれぞれを、第1電圧か、第2電圧か、前記第1電圧と前記第2電圧の中間電圧である第3電圧かに駆動することで前記送信データを送信し、前記送信データの符号化の際には、前記第1電圧に駆動するバスの本数と前記第2電圧に駆動するバスの本数が同数となるような組み合わせを用いる送信回路と、
    前記送信回路によって送信された前記複数本のバス上のデータを受信し、このデータから前記送信データを復号化する受信回路と、
    前記送信回路から前記送信データが送信された後に、前記複数本のバスを互いにショートすることで前記複数本のバスを前記第3電圧にプリチャージする第1回路とを有することを特徴とする半導体記憶装置。
  11. 請求項10記載の半導体記憶装置において、
    前記半導体記憶装置は、それぞれが、複数のワード線、複数のビット線、および前記複数のワード線と前記複数のビット線の交点に設けられる複数のDRAMメモリセルを含んだ複数のメモリバンクを備え、
    前記複数本のバスは、前記複数のメモリバンクが外部データ入出力端子との間で書き込みデータまたは読み出しデータを送受信する際に共通で使用するグローバルI/O線であることを特徴とする半導体記憶装置。
  12. 請求項11記載の半導体記憶装置において、
    前記第1電圧は、接地電圧であり、
    前記第2電圧は、前記複数のDRAMメモリセルへの高電位側の書き込み電圧となるアレイ電圧であり、
    前記第3電圧は、前記複数のビット線をプリチャージする際のビット線プリチャージ電圧であることを特徴とする半導体記憶装置。
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