JP2010060341A - 磁気センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板11上には、磁気抵抗素子MR1を構成する感磁部121〜124と、磁気抵抗素子MR2を構成する感磁部131〜134とが形成されている。感磁部121〜124,131〜134は長尺状の半導体膜により形成されており、さらに感磁部121〜124の半導体膜上には導電性材料からなる短絡電極が長尺方向に沿って所定間隔で形成されている。感磁部121〜124,131〜134は、それぞれの長尺方向が平行に並び且つ近接するように形成される。この際、感磁部121〜124,131〜134は、磁気抵抗素子MR2の感磁部131,132、磁気抵抗素子MR1の感磁部121,122、磁気抵抗素子MR2の感磁部133,134、磁気抵抗素子MR1の感磁部123,124の順に配列されるように、形成される。
【選択図】図1
Description
基板41における磁気検出部40の形成領域の第一方向(図5(A)における縦方向)に沿った一方端には、電圧入力用電極491、グランド接続用電極492が形成されており、他方端には、電圧出力用電極493が形成されている。
基板51における磁気検出部50の形成領域の第二方向(図6(A)における横方向)に沿った一方端には、電圧入力用電極5911,5912、グランド接続用電極5921,5922が形成されており、他方端には、電圧出力用電極5931,5932が形成されている。
Claims (6)
- 通過磁束により抵抗値の変化する感磁部を基板表面に形成してなる複数の磁気抵抗素子を直列接続し、該直列接続された複数の磁気抵抗素子によって分圧される電圧を出力信号とする磁気検出部を備えた磁気センサであって、
前記磁気抵抗素子のそれぞれは、長尺状に形成された複数の前記感磁部と、該複数の前記感磁部を直列接続する接続導体部と、を有し、
前記複数の磁気抵抗素子をそれぞれ構成する複数の感磁部は、一方向に並んで配置され、
一つの磁気抵抗素子を構成する少なくとも一つの感磁部が当該一つの磁気抵抗素子を構成する他の複数の感磁部に対して両側から隣り合わないように、全ての磁気抵抗素子の感磁部が配置されている、磁気センサ。 - 前記複数の磁気抵抗素子は異なる感度を有し、
前記一つの磁気抵抗素子の一つの感磁部と、前記一つの磁気抵抗素子と感度の異なる別の磁気抵抗素子の一つの感磁部とが隣り合うように配置された一対の配列が複数形成されている、請求項1に記載の磁気センサ。 - 前記複数の磁気抵抗素子をそれぞれ構成する複数の感磁部は、前記長尺方向に垂直な方向に沿って平行になるように配置されている、請求項1または請求項2に記載の磁気センサ。
- 前記長尺方向が被検出体の搬送方向に平行である、請求項1〜請求項3のいずれかに記載の磁気センサ。
- 前記感磁部を接続する接続電極は、前記基板の前記感磁部を有する面とともに、当該面に対して前記感磁部を覆うように形成された絶縁層の表面にも形成されている、請求項1〜請求項4のいずれかに記載の磁気センサ。
- 前記磁気検出部を複数備え、該複数の磁気検出部に対して、前記一つの磁気抵抗素子を構成する一つの感磁部が当該一つの磁気抵抗素子を構成する他の複数の感磁部に対して両側から隣り合わないように、全ての磁気抵抗素子の感磁部を配置する、請求項1〜請求項5のいずれかに記載の磁気センサ。
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