JP2010052361A5 - - Google Patents

Claims (9)

1. 複数の発熱抵抗体と、
   該複数の発熱抵抗体を発熱させる駆動回路部と、
   前記複数の発熱抵抗体と前記駆動回路部とを接続する配線と、
   前記複数の発熱抵抗体、前記駆動回路部及び前記配線を覆うように形成される保護膜と、が同一基板上に配されたサーマルヘッドにおいて、
   前記発熱抵抗体と前記基板との間にはシリコン酸化膜が配されており、
   前記発熱抵抗体と前記シリコン酸化膜との間に、前記シリコン酸化膜よりも熱伝導率が小さく、前記基板から発熱抵抗体に向けて凸形状を有する断熱層が配されていることを特徴とするサーマルヘッド。
2. 前記断熱層は、熱伝導率が０.５Ｗ／ｍ・Ｋよりも小さく、かつ前記凸形状の最大膜厚が１０μｍ以上であることを特徴とする請求項１に記載のサーマルヘッド。
3. 前記断熱層上に絶縁層が設けられ、
   前記断熱層は前記シリコン酸化膜と前記絶縁層との間に挟まれることを特徴とする請求項１又は２に記載のサーマルヘッド。
4. 前記断熱層の断面形状は、少なくとも一つの曲線部分を有する形状であることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のサーマルヘッド。
5. 前記複数の発熱抵抗体の各間隙には、前記断熱層が設けられていないことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のサーマルヘッド。
6. 前記複数の発熱抵抗体の各間隙には、前記断熱層が設けられ、
   該各間隙に設けられる断熱層の膜厚は、前記発熱抵抗体の直下に設けられる前記断熱層の膜厚よりも薄いことを特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載のサーマルヘッド。
7. 前記複数の発熱抵抗体の各々の前記保護膜上に熱伝導率が前記保護膜よりも大きい熱伝導体が配置されることを特徴とする請求項１から６のいずれか１項に記載のサーマルヘッド。
8. 前記基板は単結晶シリコンからなることを特徴とする請求項１から７のいずれか１項記載のサーマルヘッド。
9. 請求項１から５のいずれか１項に記載のサーマルヘッドを備え、インクシートのインクを該サーマルヘッドにより記録媒体に転写するサーマルプリンタ。