JP2010052210A - 気泡制御ユニット、液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】クリーニング動作の実行回数を低減して液体の消費を抑制することが可能な気泡制御ユニット、液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズル形成基板３６に形成されたノズル開口４３からインクを噴射する液体噴射ヘッド１０用の気泡制御ユニット５３であって、ノズル開口に液体を供給するインク導入路５１を備え、インク導入路は、フィルタ室６８と、フィルタ室よりも上流側に配置される圧力室６６と、圧力室から鉛直上方に延びる気泡室６９を有し、
圧力室の第１連通路入口７１ａから圧力室内の液体をフィルタ室に流入させる第１連通路７１と、第１連通路入口よりも下方に第２連通路入口７４ａが第１連通路入口とは別個に設けられ、第２連通路入口から第２の部屋内の液体を第１の部屋に流入させる第２連通路７４と、を有する。
【選択図】図４

Description

本発明は、インクジェット式記録ヘッドなどノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッドに用いられる気泡制御ユニット、液体噴射ヘッド、及び、これらを備えた液体噴射装置に関する。

圧力室内の液体に圧力変動を生じさせることでノズル開口から液滴として吐出（噴射）させる液体噴射ヘッドとしては、例えば、インクジェット式記録装置（以下、単にプリンタという）等の画像記録装置に用いられるインクジェット式記録ヘッド（以下、単に記録ヘッドという）、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレー、ＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材噴射ヘッド、バイオチップ（生物化学素子）の製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等がある。

例えば、上記の記録ヘッドでは、液体状のインクを封入したインクカートリッジ（以下、単にカートリッジという）に、先端が鋭角なインク導入針を挿入することで、このインク導入針の先端に開設された導入孔を通じてカートリッジ内のインクを記録ヘッドの圧力室に導入している。

上記構成の記録ヘッドでは、インク導入針から記録ヘッドのノズル開口までに至るインク流路がインクで満たされている状態が理想的であるが、記録ヘッド内へのインクの充填（初期充填）やインクカートリッジの交換等でインク流路内に気泡が入りこむことがある。このため、気泡の混入を完全に阻止することは困難である。インク流路内に入り込んだ気泡は、次第に成長して大きくなり、過度に成長した気泡の一部がインクの流れによって圧力室側に移動すると、吐出動作時の圧力変動を気泡が吸収することによる圧力損失や、気泡が流路を塞ぐことによるインクの供給不足等の不具合を招く虞がある。

このような気泡による不具合を防止するため、インク導入針とヘッド本体との間のインク流路にフィルタを装着した記録ヘッドが提案されている（例えば、特許文献１参照）。この記録ヘッドは、インク導入針の内面に溝が設けられ、インク導入針内に滞留した気泡によりインク流路が塞がれることを防止できるように構成されている。

特開２００７−１３６６８７号公報

しかしながら、上記記録ヘッドでは、フィルタはノズル開口が形成されたノズル面に対して平行に配置されており、近年の記録ヘッドの小型化によって、インク導入針内の気泡を溜める空間を増やすことや、フィルタの面積を拡大することが困難であった。そのため、気泡を排出するためのクリーニング動作を頻繁に行う必要が生じてしまっていた。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、クリーニング動作の実行回数を低減して液体の消費を抑制することが可能な気泡制御ユニット、液体噴射ヘッド、及び、液体噴射装置を提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明の液体噴射ヘッド用の気泡制御ユニットは、上記目的を達成するために提案されたものであり、ノズル面に形成されたノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド用の気泡制御ユニットであって、
前記ノズル開口に液体を供給する液体流路を備え、
前記液体流路は、
第１の部屋と、
前記第１の部屋よりも上流側に配置される第２の部屋と、
前記第１の部屋から上方に延びる気泡室を有し、前記第２の部屋の第１連通路入口から第２の部屋内の液体を前記第１の部屋に流入させる第１連通路と、
前記第１連通路入口よりも下方に第２連通路入口が第１連通路入口とは別個に設けられ、該第２連通路入口から第２の部屋内の液体を前記第１の部屋に流入させる第２連通路と、
を有することを特徴とする。
なお、本発明における下方（鉛直下方）とは、少なくとも液体が液体流路を流れている状態における重力方向に等しい側である。また、本発明における上方（鉛直上方）とは、鉛直下方とは反対の側であって、少なくとも液体が液体流路を流れている状態における重力方向とは反対側である。

上記構成によれば、ノズル開口に液体を供給する液体流路を備え、液体流路は、第１の部屋と、第１の部屋よりも上流側に配置される第２の部屋と、第１の部屋から上方に延びる気泡室を有し、第２の部屋の第１連通路入口から第２の部屋内の液体を第１の部屋に流入させる第１連通路と、第１連通路入口よりも下方に第２連通路入口が第１連通路入口とは別個に設けられ、第２連通路入口から第２の部屋内の液体を第１の部屋に流入させる第２連通路と、を有するので、液体流路内で成長した気泡を気泡室及び第２の部屋内に滞留させて保持することができる。これにより、クリーニング動作の実行回数を低減して液体の消費を抑制することができる。また、第１連通路及び第２連通路の２本の連通路が第２の部屋と第１の部屋との間を独立して連通させたので、第１連通路が気泡などによって塞がれてしまっても、第２の部屋内の液体を第２連通路を通過させて第１の部屋へ供給することができる。これにより、気泡によるドット抜け等の吐出不良が発生することを防止できる。

上記構成において、前記液体流路の途中にフィルタが配置され、
前記第１の部屋の下流側に前記フィルタが設けられていることが望ましい。

上記構成によれば、第１の部屋の下流側にフィルタが配置されるので、第１の部屋内の気泡によってフィルタが塞がれることを防止できる。

上記構成において、前記気泡室の下流側において、前記第２連通路出口が第１連通路に連通することが望ましい。

上記構成によれば、気泡室の下流側に第２連通路出口が連通するので、気泡によって第２連通路出口が塞がれることを防止できる。

上記構成において、前記第１の部屋に接続する第１連通路出口よりも下方に、前記第１の部屋に接続する前記第２連通路の第２連通路出口を設けることが望ましい。

上記構成によれば、滞留した気泡が成長したとしても第１連通路とは別に第２連通路から直接第１の部屋に液体を流下させることができる。

上記構成において、前記第２の部屋の上面を、前記第１連通路入口よりも高い位置に形成して、当該第２の部屋の上部に副気泡室を設けることが望ましい。

上記構成によれば、第２の部屋の鉛直上方に副気泡室を設けたので、第２の部屋の鉛直上方に気泡を溜めることができ、気泡の保持量を増加させることができる。

そして、本発明の液体噴射ヘッドは、上記各構成の気泡制御ユニットが設けられた液体導入流路部材と、
該液体導入流路部材から供給された液体をアクチュエータの作動により前記ノズル開口を有するヘッド本体と、
を備えたことを特徴とする。

上記構成によれば、気泡制御ユニットが設けられた液体導入流路部材と、ノズル開口を有するヘッド本体と、を備えたので、液体流路内の気泡の挙動を液体の流速によって容易に制御できるようになり、ノズル開口から液体を噴射する通常の流速のときには、気泡によって液体流路が遮断されることを抑制でき、ノズル開口から吸引するなどして流速を速めるクリーニング動作のときには、気泡室内に溜まった気泡を第１の部屋に流下してフィルタを通過させて下流側に排出し易くできる。

上記構成において、前記フィルタを前記ノズル面に対して垂直に配置することが望ましい。

上記構成によれば、フィルタをノズル面に対して垂直に配置したので、液体噴射ヘッドの平面視面積を小さくでき、これにより小型化することができる。

そして、本発明の液体噴射装置は、上記各構成の液体噴射ヘッドと、
前記液体供給部へ供給する液体を貯留する液体貯留部と、
を備えたことを特徴とする。

以下、本発明を実施するための最良の形態を、添付図面等を参照して説明する。なお、以下に述べる実施の形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの態様に限られるものではない。また、本実施形態では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッド（以下、「記録ヘッド」という）を例に挙げて説明する。

図１は記録ヘッド１０を搭載するインクジェット式記録装置の構成を示す平面図である。まず、記録ヘッドを搭載するインクジェット式記録装置（以下、プリンタという）の概略構成について、図１を参照して説明する。例示したプリンタ１は、記録紙等の記録媒体（着弾対象物：図示せず）の表面へ液体状のインクを吐出して画像等の記録を行う装置である。このプリンタ１は、フレーム２と、このフレーム２内に配設されたプラテン３とを備えており、紙送りモータの駆動により回転する紙送りローラ（何れも図示せず）によってプラテン３上に記録紙が搬送されるようになっている。また、フレーム２内には、プラテン３と平行にガイドロッド４が架設されており、このガイドロッド４には、記録ヘッド１０を収容したキャリッジ５が摺動可能に支持されている。このキャリッジ５は、パルスモータ６の駆動によって回転する駆動プーリ７と、この駆動プーリ７とはフレーム２における反対側に設けられた遊転プーリ８との間に架設されたタイミングベルト９に接続されている。そして、キャリッジ５は、パルスモータ６を駆動することで、ガイドロッド４に沿って紙送り方向と直交する主走査方向に往復移動するように構成されている。

フレーム２の一側には、インクカートリッジ１３（液体貯留部の一種）を着脱可能に搭載するカートリッジホルダ１４が設けられている。インクカートリッジ１３は、エアチューブ１５を介してエアポンプ１６と接続されており、このエアポンプ１６からの空気が各インクカートリッジ１３内に供給される。そして、この空気によるインクカートリッジ１３内の加圧により、インク供給チューブ１７を通じて記録ヘッド１０側にインクが供給（圧送）されるように構成されている。

インク供給チューブ１７は、例えば、シリコーン等の合成樹脂で作製された可撓性を有する中空部材であり、このインク供給チューブ１７の内部には、各インクカートリッジ１３に対応するインク流路が形成されている。また、プリンタ１本体側と記録ヘッド１０側との間には、プリンタ１本体側の制御部（図示せず）から記録ヘッド１０側に駆動信号等を伝送するためのＦＦＣ（フレキシブルフラットケーブル）１８が配線されている。

次に、記録ヘッド１０の構成について説明する。ここで、図２はキャリッジ５に取り付けられる記録ヘッド１０の概略斜視図、図３は記録ヘッド１０のヘッド本体２０の要部断面図である。例示した記録ヘッド１０は、ヘッド本体２０と液体導入流路部材２１の一種）を主な構成要素としている。ヘッド本体２０は、ヘッドケース２５、振動子ユニット２６、流路ユニット２７、及び駆動基板２８から構成されている。

ヘッドケース２５は、中空箱体状部材であり、その先端面（下面）には流路ユニット２７を固定し、ケース内部に形成された収容空部１２内には、アクチュエータの一種である振動子ユニット２６を収容し、先端面とは反対側の上面側には、駆動基板２８と液体導入流路部材２１が配置される。このヘッドケース２５の上面は、即ちヘッド本体２０の基端面である。またヘッドケース２５の内部には、その高さ方向を貫通してケース流路３４が形成されている。このケース流路３４は、液体導入流路部材２１側からのインクを共通インク室４０に供給するための流路であり、１つの共通インク室４０に対して２本ずつ設けられている。本実施形態における記録ヘッド１０は２条のノズル列（ノズル群）に対応して２つの共通インク室４０を有しており、合計４本のケース流路３４がヘッドケース２５内部に形成されている。そして、ヘッドケース２５の上面には、各ケース流路３４の上流端として流入開口部３５が突設されている。この流入開口部３５には、液体導入流路部材２１のインク導入路５１が接続される。

振動子ユニット２６は、櫛歯状に列設された複数の圧電振動子３１と、この圧電振動子３１に駆動基板２８からの駆動信号を供給するためのフレキシブルケーブル３２（配線部材）と、圧電振動子３１を固定する固定板３３から構成される。圧電振動子３１は、圧力発生室４２の一部を区画する可撓面（振動板３８）に接合されている。そして、この圧電振動子３１は、駆動信号の印加により伸縮して圧力発生室４２の容積を膨張又は収縮することで、圧力発生室４２内のインクに圧力変動を生じさせ、この圧力変動の制御によりノズル開口４３からインクを噴射させることができる。

流路ユニット２７は、ノズル開口４３が開設されたノズル形成基板３６、インク流路を形成する流路形成基板３７、流路形成基板３７の開口面を封止する振動板３８を積層した状態で接合して一体化することにより作製されており、共通インク室４０からインク供給口４１及び圧力発生室４２を通りノズル開口４３に至るまでの一連のインク流路（液体流路）を形成するユニット部材である。共通インク室４０から分岐する圧力発生室４２は、ノズル開口４３毎に形成されており、液体導入流路部材２１側からケース流路３４及び共通インク室４０を介してインクが供給されるように構成されている。この流路ユニット２７は、ノズル形成基板３６を下側（プリンタ本体のプラテン３側）に向けた姿勢でヘッドケース２５の先端面に接合される。したがって、このノズル形成基板３６がヘッドユニット２０におけるノズル形成面（ノズル面の一種）となる。

ヘッドケース２５の先端部には、さらにノズル形成基板３６の外側からその周縁部を包囲するようにヘッドカバー４５が取り付けられる。このヘッドカバー４５は、例えば金属製の薄板部材によって作製されている。このヘッドカバー４５は、流路ユニット２７やヘッドケース２５の先端部を保護すると共に、ノズル形成基板３６の帯電を防止する機能を有する。

駆動基板２８は、一端にフレキシブルケーブル３２が半田付け等によって電気的に接続され、他端にプリンタ本体側からのＦＦＣ１８が接続されており、このＦＦＣ１８を通じて制御部側から駆動信号を受け、この駆動信号をフレキシブルケーブル３２を通じて圧電振動子側へ供給するように構成されている。この駆動基板２８は、液体導入流路部材２１に設けられた基板保持部６１によって姿勢を保持され、ヘッドケース２５の上面の中央部に、当該上面に対して起立すると共に基板の面がノズル列方向に平行となる状態で配置されている。そして、この駆動基板２０は、パッキンとして機能するシート部材４７を介してヘッドケース２５に取り付けられる。

次に、インクカートリッジ７内のインクをヘッド本体２０に導入する液体導入流路部材２１の構成について説明する。図４は、液体導入流路部材２１のフィルム６２を外した状態の正面図である。液体導入流路部材２１は、合成樹脂等によってノズル列方向に長い箱状に成型された導入流路部材本体５０と、ヘッド本体２０にインクを供給するインク導入路５１（本発明における液体流路に相当）及びインク導入路５１の途中に配置されるフィルタ５２を備えた気泡制御ユニット５３により構成されている。この液体導入流路部材２１は、ヘッドケース２５の上面（ヘッド本体２０の基端面）にノズル面に対して垂直な姿勢で重ねられた状態で配置され、長手方向の両端に形成された貫通孔にヘッド本体２０側から挿入したネジ５４にナット５５を螺合させて固定されている。

導入流路部材本体５０には、上面の長手方向の両側に、パッキン５７を介してインク供給チューブ１７と接続されるインク導入孔５８が形成され、下面の長手方向の両側に、ヘッド本体２０の流入開口部３５と接続される排出孔５９が形成され、インク導入路５１を含む一連の流路がそれぞれのインク導入孔５８及び排出孔５９の間に形成されている。なお、導入流路部材本体５０の中央部には、上下に貫通した基板保持部６１が設けられ、基板保持部６１に挿通された駆動基板２８を保持するように構成されている。

インク導入路５１は、導入流路部材本体５０の両側面にフィルム６２を溶着することで、導入流路部材本体５０とフィルム６２との間に形成される流路である。インク導入路５８は、封止弁６５が設けられた圧力室６６（第２の部屋の一種）と、フィルタ５２を下流側に配置したフィルタ室６８（第１の部屋の一種）と、フィルタ室６８から鉛直上方に延びる気泡室６９を有し、圧力室６６とフィルタ室６８との間を連通する第１連通路７１と、この第１連通路７１が圧力室６６の一側上端部分に接続する第１連通路入口よりも鉛直下方（すなわち、低い位置）に前記第１連通路入口とは別個に設けられた第２連通路入口から圧力室６６内のインクをフィルタ室６８に流入させる第２連通路７４と、を備えている。

圧力室６６は、フィルタ室６８よりも上流側に配置され、導入流路部材本体５０の側面の鉛直上方片半に形成された厚さの薄い部屋である。そして、この圧力室６６は、フィルム６２と対向する面の中央に封止弁６５を備え、この封止弁６５を介して上流に副フィルタ７５及びインク導入孔５８を有する上流流路（図示せず）と連通している。この封止弁６５は、ヘッド本体２０側のノズル開口４３からインクが吐出されて、圧力室６６内の圧力が相対的に低下した際に、閉状態から開状態に変換されるように構成されており、インクカートリッジ１３（上流）側からのインクの圧力を調整する。

第１連通路７１は、第１連通路入口７１ａから導入流路部材本体５０の中央に向かって水平に延びる水平部７６と、水平部７６とフィルタ室６８との間に鉛直方向に延びた気泡室６９と、を備えている。気泡室６９は、水平部７６よりも幅広に形成されており、インクに溶け込んだ気泡（図５中に符号Ａで示す）を溜める（捕捉する）ように構成されている。この気泡室６９の鉛直下方（すなわち、下流側）には、第２連通路７４の第２連通路出口７４ｂが接続され、ここで第１連通路７１と第２連通路７４とが合流してフィルタ室６８に連通する。また、第２連通路７４は、第１連通路７４と略同じ幅に形成されており、第２連通路入口７４ａから導入流路部材本体５０の中央に向かって、第１連通路７４の下方に水平に延びており、この第１連通路７４と平行になるように配置されている。

フィルタ室６８は、圧力室６６よりも下流側に配され、導入流路部材本体５０の側面の鉛直下方中央に形成された薄い部屋である。このフィルタ室６８は、鉛直上方の上流側から鉛直下方の下流側に向けて次第に拡幅するテーパー状に作製されており、最も高い頂部に第１連通路７４の第１連通路出口７１ｂが設けられている。そして、フィルタ室６８は、フィルム６２と対向する面に、ノズル形成基板３６に対して垂直に配置されたフィルタ５２が貼設されており、このフィルタ５２介して、排出孔５９を下流に有する下流流路（図示せず）と連通している。

このように、インク導入路５１は、インク導入孔５８から導入流路部材本体５０内に導入したインクを、開状態となった封止弁６５から圧力室６６内に供給し、圧力室６６から第１連通路７１及び第２連通路７４を通してフィルタ室６８に流入可能であり、フィルタ５２を介して排出孔５９まで供給するように構成されている。

次に、気泡制御ユニット５３内に気泡Ａが混入した場合について説明する。図５は、気泡制御ユニット５３内のインクの流下を説明する説明図である。まず、封止弁６５側から圧力室６６内に浸入した気泡Ａは、圧力室６６の鉛直上方側の上面に滞留する。一方、フィルタ室６８内の気泡Ａは、フィルタ室６８から鉛直上方に向かって浮上して気泡室６９に滞留する。この状態で、インク導入路５１に通常の流速（ノズル開口からインク滴を噴出して印字する状態）でインクを流下させると、第１連通路７１及び第２連通路７４を流下するインクによって押し退けられた気泡Ａが、気泡室６９及び圧力室６６の鉛直上方の隅に移動する（図５（ａ））。そして、使用時間の経過に伴って次第に気泡Ａが成長すると、成長した気泡Ａは、気泡室６９及び圧力室６６の鉛直上方側に滞留し、第１連通路７１の上流側にこの気泡Ａが充満する（図５（ｂ））。この状態で、インク導入路５１に通常の流速でインクを流下させると、インクは圧力室６６から第２連通路７４を流下し、気泡室６９の下流側の第２連通路出口７４ｂを通り、フィルタ室６８内に流入させることができる。そして、この通常の流速では、第１連通路７１の上流側と気泡室６９内に気泡が存在して、この第１連通路７１をインクが通らない。したがって、滞留した気泡がフィルタ室６８側に気泡が移動することを防止できる。

そして、気泡室６９内に気泡が溜まった状態で、インク導入路５１のインクの流速を速めるクリーニング動作を行うと、気泡Ａはフィルタ室６８へまとまった容積で運ばれ、フィルタ５２の広い面積を覆い、この気泡で覆った状態になるとフィルタ５２の上流側と下流側との圧力差が増大し、この大きな圧力差によってフィルタ５２から下流側へ一気に排出されることとなる。なお、クリーニングによりフィルタ室６７から気泡を一気に排出しても、実際には小さな気泡がフィルタ室６７内に残るが、この小さな気泡は、クリーニングの吸引が停止されると浮力によりフィルタ室６７内を浮上し、傾斜した上縁に沿って移動し、遂には頂部から上方に延びた第１連通路７１を浮上して気泡室６９内に貯留される。したがって、クリーニングで排出されずに残った気泡がケース流路３４側に運ばれてノズル開口を塞ぐなどの不都合は生じない。

気泡制御ユニット５３によるインク導入路５１内の気泡の制御について図５（ｂ）を用いて説明する。まず、第１連通路７１内に多くの気泡Ａが滞留した状態における圧力室６６の圧力をＰ１、気泡室６９の圧力をＰ２、気泡室６９側の気泡断面積Ｓ２とし、第２連通路７４の抵抗計数ｋとする。第２連通路７４内に流量Ｑの流れが発生しているとき、気泡Ａにかかる力は、浮力Ｆｆと、ＦΔＰによる吸引力である。ここで、圧力室６６側の浮力、吸引力の影響を微小であるとすると、ＦΔＰ＝Ｐ２×Ｓ２となる。そして、Ｆｆ＞ＦΔＰであるときに気泡Ａが浮遊して停滞させ、一方、Ｆｆ＜ＦΔＰであるときに気泡Ａが下流に流されるように、第２連通路７４の抵抗計数ｋを設定すると、印字中などの通常の噴射状態では気泡を気泡室６９に停滞させておき、クリーニング時などの流速を与えることで気泡室６９内の気泡をフィルタ室６８に移動してフィルタ６７を大きく覆って一気に通過させて排出するというように、気泡制御ユニット５３の気泡Ａを制御することができる。

このように、本実施形態の気泡制御ユニット５３は、インク導入路５１内で成長した気泡Ａを気泡室６９及び圧力室６６内に滞留させて保持することができ、クリーニング動作の実行回数を低減してインクの消費を抑制することができる。また、圧力室６６と気泡室６９とが第１連通路７１及び第２連通路７４によって連通されているので、第１連通路７１が気泡Ａなどによって塞がれてしまっても、圧力室６６内のインクを第２連通路７４を通過させてフィルタ室６８へ供給することができる。これにより、気泡Ａによるドット抜け等の吐出不良が発生することを防止できる。

ところで、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲の記載に基づいて種々の変形が可能である。図６は液体導入流路部材の変形例の平面図である。
上記実施形態においては、第２連通路７４の第２連通路出口７４ｂを気泡室６９の下流端に接続して第１連通路７１に合流させてからフィルタ室６８に連通する例を示したが、本発明は、これには限らず、第１連通路入口７１ａよりも低い位置で第１連通路入口７１ａとは別個に圧力室６６に接続する第２連通路７４を備えていればよい。例えば、圧力室６６の第１連通路入口７１ａよりも鉛直下方であって圧力室６６の最も低い位置に第２連通路入口７４ａを設けても、ここから延びる第２連通路７４´の第２連通路出口７４ｂをフィルタ室６８の傾斜した上縁に第２連通路出口７４ｂを設けて接続しても良い。即ち、第２連通路７４´は、圧力室６６とフィルタ室６８とを第１の連通路７１とは入口から出口まで独立させた状態で別個に連通させても良い。これにより、フィルタ室６８から鉛直上方に向かって上昇する気泡Ａによって第２連通路出口７４ｂが塞がれることを確実に防止できる。

また、図７は、気泡ユニットの変形例を説明する説明図である。この実施形態では、圧力室６６の鉛直上方側の上面を、第１連通路入口７１ａよりも鉛直上方（高い位置）に形成して、圧力室６６の上部に副気泡室７９を設けてある。この様にして、圧力室６６の上部副気泡室７９を形成すると、気泡Ａを上流側で溜め易くなり、また、気泡Ａの保持量を増加させることができる。

以上は、液体噴射装置の一種であるプリンタ１を例に挙げて説明したが、本発明は他の液体噴射装置にも適用することができる。例えば、液晶ディスプレー等のカラーフィルタを製造するディスプレー製造装置、有機ＥＬ（Electro Luminescence）ディスプレーやＦＥＤ（面発光ディスプレー）等の電極を形成する電極製造装置、バイオチップ（生物化学素子）を製造するチップ製造装置等にも適用することができる。

プリンタの構成を説明する平面図である。 記録ヘッドの構成を説明する分解斜視図である。 ヘッド本体の要部断面図である。 液体導入流路部材の平面図である。 気泡ユニット内のインクの流下を説明する説明図である。 液体導入流路部材の変形例の平面図である。 気泡ユニットの変形例を説明する説明図である。

符号の説明

１…プリンタ，１０…記録ヘッド，１４…インクカートリッジ，２０…ヘッド本体，２１…液体導入流路部材，３４…ケース流路，３６…ノズル形成基板，４３…ノズル開口，５１…インク導入路，５２…フィルタ，５３…気泡制御ユニット，６６…圧力室，６８…フィルタ室，６９…気泡室，７１…第１連通路，７１ａ…第１連通路入口，７１ｂ…第１連通路出口，７４…第２連通路，７４ａ…第２連通路入口，７４ｂ…第２連通路出口，７９副気泡室，Ａ…気泡

Claims (8)

1. ノズル面に形成されたノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド用の気泡制御ユニットであって、
   前記ノズル開口に液体を供給する液体流路を備え、
   前記液体流路は、
   第１の部屋と、
   前記第１の部屋よりも上流側に配置される第２の部屋と、
   前記第１の部屋から上方に延びる気泡室を有し、前記第２の部屋の第１連通路入口から第２の部屋内の液体を前記第１の部屋に流入させる第１連通路と、
   前記第１連通路入口よりも下方に第２連通路入口が第１連通路入口とは別個に設けられ、該第２連通路入口から第２の部屋内の液体を前記第１の部屋に流入させる第２連通路と、
   を有することを特徴とする気泡制御ユニット。
2. 前記液体流路の途中にフィルタが配置され、
   前記第１の部屋の下流側に前記フィルタが設けられていることを特徴とする請求項１に記載の気泡制御ユニット。
3. 前記気泡室の下流側において、前記第２連通路出口が第１連通路に連通していることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の気泡制御ユニット。
4. 前記第１の部屋に接続する第１連通路出口よりも下方に、前記第１の部屋に接続する前記第２連通路の第２連通路出口を設けたことを特徴とする請求項１又は請求項２に記載の気泡制御ユニット。
5. 前記第２の部屋の上面を、前記第１連通路入口よりも高い位置に形成して、当該第２の部屋の上部に副気泡室を設けたことを特徴とする請求項１乃至請求項４の何れか一項に記載の気泡制御ユニット。
6. 請求項１乃至請求項５の何れか一項に記載の気泡制御ユニットが設けられた液体導入流路部材と、
   該液体導入流路部材から供給された液体をアクチュエータの作動により前記ノズル開口から噴出するヘッド本体と、
   を備えたことを特徴とする液体噴射ヘッド。
7. 前記フィルタを前記ノズル面に対して垂直に配置したことを特徴とする請求項６に記載の液体噴射ヘッド。
8. 請求項６又は請求項７に記載の液体噴射ヘッドと、
   前記気泡制御ユニットの液体流路へ供給する液体を貯留する液体貯留部と、
   を備えたことを特徴とする液体噴射装置。

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