JP2010047797A - 硬質皮膜形成部材 - Google Patents
硬質皮膜形成部材 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010047797A JP2010047797A JP2008212116A JP2008212116A JP2010047797A JP 2010047797 A JP2010047797 A JP 2010047797A JP 2008212116 A JP2008212116 A JP 2008212116A JP 2008212116 A JP2008212116 A JP 2008212116A JP 2010047797 A JP2010047797 A JP 2010047797A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- film
- thickness
- hard film
- wear resistance
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0676—Oxynitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0641—Nitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/0664—Carbonitrides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
- C23C28/042—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material including a refractory ceramic layer, e.g. refractory metal oxides, ZrO2, rare earth oxides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/04—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material
- C23C28/044—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D only coatings of inorganic non-metallic material coatings specially adapted for cutting tools or wear applications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C28/00—Coating for obtaining at least two superposed coatings either by methods not provided for in a single one of groups C23C2/00 - C23C26/00 or by combinations of methods provided for in subclasses C23C and C25C or C25D
- C23C28/40—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition
- C23C28/42—Coatings including alternating layers following a pattern, a periodic or defined repetition characterized by the composition of the alternating layers
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/24—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.]
- Y10T428/24942—Structurally defined web or sheet [e.g., overall dimension, etc.] including components having same physical characteristic in differing degree
- Y10T428/2495—Thickness [relative or absolute]
- Y10T428/24967—Absolute thicknesses specified
- Y10T428/24975—No layer or component greater than 5 mils thick
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/26—Web or sheet containing structurally defined element or component, the element or component having a specified physical dimension
- Y10T428/263—Coating layer not in excess of 5 mils thick or equivalent
- Y10T428/264—Up to 3 mils
- Y10T428/265—1 mil or less
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Cutting Tools, Boring Holders, And Turrets (AREA)
- Drilling Tools (AREA)
Abstract
【解決手段】基材1上に硬質皮膜4を備えた硬質皮膜形成部材10aであって、硬質皮膜4は、組成がTivM1−v(CxNyOz)(ただし、Mは所定の元素、v、x、y、zは所定量の原子比)を満足するA層2と、組成がTivCrwM1−v−w(CxNyOz)(ただし、Mは所定の元素、v、w、x、y、zは所定量の原子比)を満足するB層3とを含み、A層2とB層3がこの順に交互に積層され、1層のA層2と、その上部の1層のB層3の積層構造を1単位としたときに、2単位以上の積層構造を有し、A層2の1層の厚みに対するB層3の1層の厚みの比率が2以上、A層2の1層の厚みが0.1〜3μm、B層3の1層の厚みが1〜10μm、B層3の厚みの合計が5μm以上であることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
前記のような切削工具や治工具等の部材を用いた成形加工においては、生産性向上のために、より高速、かつ高面圧下での加工が行なわれており、しかも環境問題の観点からより少ない潤滑剤を使用して加工される傾向にある。特に、近年における鋼板の高強度化に伴い、硬質皮膜の摩耗が著しいものとなっている。
なお、図1(a)、(b)では、積層構造を2単位とした場合について図示している。
以下、具体的に説明する。
基材1としては、超硬合金、金属炭化物を有する鉄基合金、サーメット、高速度工具鋼等が挙げられる。しかし、基材1としては、これらに限定されるものではなく、チップ、ドリル、エンドミル等の切削工具や、プレス、鍛造金型、成型用金型、打ち抜きパンチ等の治工具等の部材に適用できるものであれば、どのようなものでもよい。
A層2は、組成がTivM1−v(CxNyOz)からなり、前記Mは、4族、5族、6族、Si、Al、BおよびYから選ばれる少なくとも1種以上(ただし、Ti除く)の元素であり、前記v、x、y、zが原子比であるときに、「0.6≦v≦1」(金属元素中、以下同じ)、「0≦z≦0.1」、「x+y+z=1」を満足する層である。
Tiは、A層2の除膜性を向上させるために添加する。
Tiの窒化物、炭化物、炭窒化物、酸窒化物、酸炭化物あるいは酸炭窒化物からなる膜においては、Tiを原子比で0.6以上含有する場合、電気化学反応を利用した除膜液にて漬浸法で除膜を行う際の除膜液に対する耐食性が低く、除膜が容易である。これに対して、Tiの原子比が0.6未満では、除膜液に対する耐食性が高く、除膜に長時間かかり、除膜性が低下する。したがって、Tiの原子比は、0.6以上1以下とする。
前記したTiに加えて、4族、5族、6族、Si、Al、BおよびYから選ばれる少なくとも1種以上(ただし、Ti除く)の元素であるMをA層2中に添加することで、添加する元素に応じて皮膜4の耐酸化性、耐摩耗性、除膜性の向上等を図ることができる。特に、AlやWを添加すると、除膜性が向上するため、Al、Wを添加することが推奨される。なお、Tiが原子比で0.6以上含有されていれば、除膜性に優れるため、Mを添加する場合は、原子比で0.4以下とする。
皮膜4のA層2は、窒化物、炭化物、炭窒化物、酸窒化物、酸炭化物あるいは酸炭窒化物の形態を含むものである。
C、Nは、高硬度の化合物を形成する成分である。なお、Oが所定量含まれていてもよいが、原子比で0.1を超えて含有すると、A層2に導電性がなくなり、除膜性が低下する。したがって、Oの原子比は、0以上0.1以下とする。
B層3は、組成がTivCrwM1−v−w(CxNyOz)からなり、前記Mは、4族、5族、6族、Si、Al、BおよびYから選ばれる少なくとも1種以上(ただし、Ti、Cr除く)の元素であり、前記v、w、x、y、zが原子比であるときに、「0≦v<0.6」、「0.05≦w」、「v+w≦1」、「0≦x≦0.5」、「0≦z≦0.1」、「x+y+z=1」を満足する層である。
B層3は、耐摩耗性を付与する目的のために形成させる層であるが、Tiの原子比が0.6以上では、耐摩耗性が低下する。したがって、Tiの原子比は、0以上0.6未満とする。
Crは、耐摩耗性を向上させる元素である。Crの原子比が0.05未満では、耐摩耗性が低下する。したがって、Crの原子比は、0.05以上とする。なお、より効果的なのは、Crを0.1以上含有する場合である。
前記したTi、Crに加えて、4族、5族、6族、Si、Al、BおよびYから選ばれる少なくとも1種以上(ただし、Ti、Cr除く)の元素であるMをB層3中に添加することで、添加する元素に応じて皮膜4の耐酸化性、耐摩耗性、除膜性の向上等を図ることができる。特に、Siを添加することで、耐摩耗性の向上を図ることができる。なお、Siを原子比で0.01以上含有する場合、除膜液中でSi水酸化物を形成して、B層3自体の除膜性が低下する傾向にある。しかしながら、A層2と、B層3の積層構造とすることによって、皮膜4全体としては除膜性低下の問題を解消することができる。
皮膜4のB層3は、窒化物、炭化物、炭窒化物、酸窒化物、酸炭化物あるいは酸炭窒化物の形態を含むものである。
C、Nは、高硬度の化合物を形成する成分であり、Oが所定量含まれていてもよい。
なお、B層3については、C、N、Oの原子比は、耐摩耗性との兼ね合いで決まる。Cの原子比が、0.5を超えると、B層3の硬度が低下する。したがって、Cの原子比は、0以上0.5以下とする。Oの原子比は、耐摩耗性との兼ね合いから、0以上0.1以下とする。
<A層とB層の積層構造:2単位以上>
本発明では、A層2と、B層3を交互に積層することにより、電気化学反応を利用した除膜液にて漬浸法で除膜を行う除膜過程において、B層3中に存在するポア等のB層3を貫通する欠陥を透過した除膜液によりA層2がB層3の下部で溶解除去されると共に、B層3も同時に除去される構造としている。これにより、皮膜4全体の除膜性が向上する。本発明ではこの構造が2単位以上繰り返されることを特徴とするので、最上層のA層2の除去後は、その下層のB層3の欠陥を通じて、このB層3の下層のA層2が溶解除去される。この工程が繰り返されることで、皮膜4が除去される。なお、B層3の除膜性が悪い場合でも、積層構造により、A層2がB層3の間に形成されているため、皮膜4全体としては、除膜性を改善できる。また、積層構造が2単位未満では、除膜性の向上効果が十分に得られないため、積層構造は、2単位以上とする。
B層3は、耐摩耗性を具備する層であるため、B層3の1層の厚みがA層2の1層の厚みに対して、所定の比率より低くなると、皮膜4の耐摩耗性が低下する。具体的には、A層2に対するB層3の厚みの比率が2未満では、皮膜4中に占めるA層2の割合が多くなり、皮膜4の耐摩耗性が低下する。したがって、A層2に対するB層3の厚みの比率は、2以上とする。なお、好ましくは、5以上である。
A層2の1層の厚みが0.1μm未満では、A層2の上下に位置するB層3が、A層2により十分に被覆されず、積層構造が不十分になることから、除膜性が低下する。一方、3μmを超えると、除膜時間が長くかかり、除膜性が低下する。したがって、A層2の厚みは、0.1〜3μmとする。なお、好ましくは、0.5〜2μmである。
B層3は、耐摩耗性を付与する目的のために形成させる層であることから、1μm以上の厚みは必要である。しかし、10μmを超えると、下層にA層2を形成しても、除膜速度の向上効果が低くなり、除膜性が低下する。したがって、B層3の1層の厚みは、1〜10μmとする。なお、好ましくは、1〜5μm、より好ましくは、1〜3μmである。
前記した皮膜4の除去方法は、B層3を合計で厚く設ける場合に有効であり、B層3の厚みが合計で5μm以上の場合に特に有効である。B層の厚みの合計が5μm未満では、耐摩耗性が低下する。したがって、B層3の厚みの合計は、5μm以上とする。なお、好ましくは、8μm以上である。
A層2は、組成がTiNである。TiNとすることで、Tiの含有量が多いことから、除膜性が十分に向上する。また、A層2として、添加元素Mを含まないTiNを使用すれば、ターゲットとして安価なTiを多く使用することができるため、工業的に有利である。
B層3は、後記するTiCrAl系皮膜、または、NbCrAl系皮膜である。以下、TiCrAl系皮膜およびNbCrAl系皮膜について具体的に説明する。
TiCrAl系皮膜の場合、B層3は、組成が(TiaCrbAlcSidBe)(CxNy)からなり、前記a、b、c、d、e、x、yが原子比であるときに、「0.05≦a≦0.3」、「0.1≦b≦0.4」、「0.4≦c≦0.75」、「0≦d≦0.15」、「0≦e≦0.1」、「a+b+c+d+e=1」、「0.5≦y≦1」、「x+y=1」を満足する層である。
Tiは、B層3の酸化摩耗を抑制し、耐摩耗性を向上させるための元素である。Tiを添加する場合、耐摩耗性を向上させるため、原子比で、0.05以上添加する。ただし、Tiを過度に添加すると、相対的にAl量が減少して耐摩耗性が低下しやすいことから、Tiの添加量は、0.3以下とする。
B層3は、Al単独ではB層3の結晶構造が軟質な六方晶になるため、Crを原子比で、0.1以上添加してB層3を高硬度化し、摺動摩耗を抑制する必要がある。ただし、Crを過度に添加すると、Al量が相対的に減少して、酸化摩耗が抑制されないため、耐摩耗性が低下しやすいことから、Cr添加量は、0.4以下とする。
する。
Alは、B層3に耐摩耗性を付与する元素である。Alの原子比が0.4未満では、B層3の酸化摩耗が抑制されず、耐摩耗性が不十分となりやすい。一方、Al量が多くなると、B層3が軟質化して摺動摩耗が抑制されず、耐摩耗性が低下しやすいことから、Alの添加量は、0.75以下とする。
Siを添加することで、耐摩耗性の向上を図ることができる。ただし、前記したように、Siを含有する場合、除膜液中でSi水酸化物を形成して、B層3の除膜性が低下する傾向にある。しかしながら、A層2と、B層3の積層構造とすることによって、皮膜4全体としては除膜性低下の問題を解消することができる。なお、Siを過度に添加すると、硬度が低下しやすいことから、Siの添加量は、0.15以下とする。また、Siは添加しなくてもよいが、添加する場合、効果を発揮させるためには、原子比で0.01以上添加する必要がある。
Bの添加により、B層3が高硬度化する。ただし、添加量が、原子比で0.1を超えると、B層3の高硬度化が不十分となりやすいことから、Bの添加量は、0.1以下とする。なお、Bは添加しなくてもよいが、添加する場合、効果を発揮させるためには、原子比で0.01以上添加する必要がある。
C、Nは、高硬度の化合物を形成する成分である。Nの原子比が0.5未満では、B層3の高硬度化が不十分となりやすいことから、Nの添加量は、0.5以上とする。
NbCrAl系皮膜の場合、B層3は、組成が(NbfCrgAlhSiiBj)(CxNy)からなり、前記f、g、h、i、j、x、yが原子比であるときに、「0.05≦f≦0.3」、「0.1≦g≦0.4」、「0.4≦h≦0.7」、「0≦i≦0.15」、「0≦j≦0.1」、「f+g+h+i+j=1」、「0.5≦y≦1」、「x+y=1」を満足する層である。
Nbは、B層3の酸化摩耗を抑制し、耐摩耗性を向上させるための元素である。Nbの原子比が0.05未満では、相対的にAl量が増加し、B層3が軟質化して摺動摩耗が抑制されないため、耐摩耗性が低下しやすい。一方、0.3を超えると、相対的にAl量が減少し、酸化摩耗が抑制されないため、耐摩耗性が低下することから、Nbの添加量は、0.3以下とする。
図2(b)に示すように、硬質皮膜形成部材10bは、基材1と、硬質皮膜4の間に、CrNからなる0.5μm以上の保護膜5を備える。
基材1として、超硬合金基材あるいは金属炭化物を有する鉄基合金基材を用いた場合、この基材1上の皮膜4を電気化学的手法により除去すると、超硬合金基材ではWCそのものが、金属炭化物を有する鉄基合金基材では金属炭化物が除膜の際に皮膜4と同時に溶解、除去されてしまい、基材1の表面が荒れる等の問題が生じる。したがって、基材1と皮膜4の間に耐食性に優れる保護膜(CrN膜)5を形成し、除膜プロセスでは保護膜5より上の皮膜4だけを除去することで、除膜液による基材1の溶解、損傷を抑制することができる。なお、保護膜5を形成した場合の基材1の保護性は、保護膜5の膜厚に依存することから、保護膜5の厚みとしては、0.5μm以上は必須であり、より好ましくは2μm以上、さらに好ましくは5μm以上である。なお、膜厚が厚いほうが耐食性、すなわち基材1の保護性に優れるが、10μm以上では耐食性の向上効果が飽和することから、上限の目安を10μmとする。
図2に示すように、複合成膜装置100は、真空排気する排気口11と、成膜ガスおよび希ガスを供給するガス供給口12とを有するチャンバー13と、アーク式蒸発源14に接続されたアーク電源15と、スパッタ蒸発源16に接続されたスパッタ電源17と、成膜対象である被処理体(図示省略)を支持する基材ステージ18上の支持台19と、この支持台19と前記チャンバー13との間で支持台19を通して被処理体に負のバイアス電圧を印加するバイアス電源20とを備えている。また、その他、ヒータ21、放電用直流電源22、フィラメント加熱用交流電源23等を備えている。
なお、アーク式蒸発源14を用いることにより、アークイオンプレーティング蒸発(AIP)、スパッタ蒸発源16を用いることにより、アンバランスド・マグネトロン・スパッタリング蒸発(UBM)を行うことができる。
[第1実施例]
複合成膜装置のカソードに、各種合金、あるいは金属のターゲットを取り付け、さらに、基材ステージ上の支持台上に鏡面研磨したJIS−SKD11基材を取り付け、チャンバー内を真空引き(1×10−3Pa以下に排気)し、真空状態にした。その後、ヒータで被処理体の温度を約400℃に加熱し、スパッタ蒸発源により、Arイオンを用いてスパッタクリーニングを実施し、A層を形成した。その後、アーク式蒸発源により、φ100mmのターゲットを用い、アーク電流150Aとし、全圧力4PaのN2雰囲気、炭素を含有する場合にはCH4雰囲気、あるいはこれらの混合ガス雰囲気、酸素を含有する場合には酸素ガスを加えた雰囲気中にて、アークイオンプレーティングを実施し、B層を形成した。
<皮膜組成>
A層およびB層中の金属元素の成分組成を、EPMA(Electron Probe Micro Analyzer)により測定した。
耐摩耗性の評価は、以下の条件で高温摺動試験を行い、摩耗深さを測定することにより行った。摩耗深さが5μm未満のものを耐摩耗性が良好、5μm以上ものを耐摩耗性が不良とした。
装置:ベーンオンディスク型摺動試験装置
ベーン:SKD61鋼(HRC50)
ディスク:SKD11鋼(HRC60)に皮膜形成したもの
摺動速度:0.2m/秒
荷重:500N
摺動距離:2000m
試験温度:400℃
10mol%の水酸化ナトリウムを含む水溶液(温度50℃)にサンプルを漬浸し、皮膜が全面除去される時間を算出した。なお、このサンプルと同一膜厚で、A層がないもの(対照部材)を準備し、同様に除膜時間を算出した。
そして、「サンプルの除膜時間÷対照部材の除膜時間」により、除膜性の向上効果を評価した。この数値が小さいほど、本願発明による除膜速度の向上効果が高いといえる。数値が0.7未満のものを除膜性の向上効果が良好、0.7以上ものを除膜性の向上効果が不良とした。
これらの結果を表1、2に示す。なお、表中、本発明の範囲を満たさないものは、数値等に下線を引いて示す。
なお、No.2〜4の結果から、除膜性の向上効果の観点からは、A層の厚みは、0.5〜2μmが好ましいことが示された。また、No.11〜15の結果から、B層の厚みは、5μm以下が好ましく、3μm以下がより好ましいことが示された。さらに、No.28〜37の結果から、B層がSiを含む場合に、除膜性の向上効果が顕著なことが示された。
No.1は、A層の厚みが下限値未満のため、除膜性の向上効果に劣った。No.5は、A層の厚みが上限値を超えるため、また、A層に対するB層の厚みの比率が下限値未満のため、耐摩耗性、除膜性の向上効果に劣った。No.6は、B層の厚みが下限値未満のため、また、A層に対するB層の厚みの比率が下限値未満のため、耐摩耗性に劣った。
第2実施例では、保護膜を設けた場合の影響について調べた。
第1実施例と同様の方法で、基材上に皮膜を形成した。基材としては、鏡面研磨したJIS−SKD11基材(表中、SKD11と記載)、または、超硬合金基材(表中、超硬と記載)を使用した。また、一部については、基材と皮膜の間に、所定厚さの保護膜(CrN膜)を設けた。なお、保護膜は、Crターゲットを取り付け、N2雰囲気を用い、アークイオンプレーティングにて形成した。
<皮膜組成>
A層およびB層中の金属元素の成分組成を、EPMA(Electron Probe Micro Analyzer)により測定した。
除膜前と除膜後の基材の表面粗度を、表面粗度計で計測した。
計測条件は、走査長:1mm、走査時間:15秒、測定粗さ:平均粗さ(Ra)とした。評価基準としては、除膜前後における表面粗度の変化がRaで±0.02μm以下を合格とした。
これらの結果を表3に示す。
2 A層
3 B層
4 硬質皮膜
5 保護膜
10a、10b 硬質皮膜形成部材
Claims (3)
- 基材上に硬質皮膜を備えた硬質皮膜形成部材であって、
前記硬質皮膜は、組成がTivM1−v(CxNyOz)からなり、前記Mは、4族、5族、6族、Si、Al、BおよびYから選ばれる少なくとも1種以上(ただし、Ti除く)の元素であり、前記v、x、y、zが原子比であるときに、
0.6≦v≦1
0≦z≦0.1
x+y+z=1
を満足するA層と、
組成がTivCrwM1−v−w(CxNyOz)からなり、前記Mは、4族、5族、6族、Si、Al、BおよびYから選ばれる少なくとも1種以上(ただし、Ti、Cr除く)の元素であり、前記v、w、x、y、zが原子比であるときに、
0≦v<0.6
0.05≦w
v+w≦1
0≦x≦0.5
0≦z≦0.1
x+y+z=1
を満足するB層とを含み、
前記A層と前記B層がこの順に交互に積層され、1層のA層と、その上部の1層のB層の積層構造を1単位としたときに、2単位以上の積層構造を有し、
前記A層の1層の厚みに対する前記B層の1層の厚みの比率が2以上であり、
前記A層の1層の厚みが0.1〜3μm、前記B層の1層の厚みが1〜10μm、前記B層の厚みの合計が5μm以上であることを特徴とする硬質皮膜形成部材。 - 前記A層は、組成がTiNであり、
前記B層は、組成が(TiaCrbAlcSidBe)(CxNy)からなり、前記a、b、c、d、e、x、yが原子比であるときに、
0.05≦a≦0.3
0.1≦b≦0.4
0.4≦c≦0.75
0≦d≦0.15
0≦e≦0.1
a+b+c+d+e=1
0.5≦y≦1
x+y=1
を満足するか、または、
前記A層は、組成がTiNであり、
前記B層は、組成が(NbfCrgAlhSiiBj)(CxNy)からなり、前記f、g、h、i、j、x、yが原子比であるときに、
0.05≦f≦0.3
0.1≦g≦0.4
0.4≦h≦0.7
0≦i≦0.15
0≦j≦0.1
f+g+h+i+j=1
0.5≦y≦1
x+y=1
を満足することを特徴とする請求項1に記載の硬質皮膜形成部材。 - 前記基材と、前記硬質皮膜の間に、CrNからなる0.5μm以上の保護膜が形成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の硬質皮膜形成部材。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008212116A JP5027760B2 (ja) | 2008-08-20 | 2008-08-20 | 硬質皮膜形成部材 |
US12/494,784 US8025958B2 (en) | 2008-08-20 | 2009-06-30 | Material with hard coating film formed on substrate surface thereof |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008212116A JP5027760B2 (ja) | 2008-08-20 | 2008-08-20 | 硬質皮膜形成部材 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010047797A true JP2010047797A (ja) | 2010-03-04 |
JP5027760B2 JP5027760B2 (ja) | 2012-09-19 |
Family
ID=41696640
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008212116A Expired - Fee Related JP5027760B2 (ja) | 2008-08-20 | 2008-08-20 | 硬質皮膜形成部材 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8025958B2 (ja) |
JP (1) | JP5027760B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012115924A (ja) * | 2010-11-30 | 2012-06-21 | Osg Corp | 切削工具用硬質被膜及び硬質被膜被覆切削工具 |
JP2012166320A (ja) * | 2011-02-16 | 2012-09-06 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp | 表面被覆切削工具 |
WO2015125898A1 (ja) * | 2014-02-21 | 2015-08-27 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜およびその形成方法 |
JP2017148930A (ja) * | 2015-11-20 | 2017-08-31 | セコ ツールズ アクティエボラーグ | コーティングされた切断ツール |
JP2020020030A (ja) * | 2018-07-31 | 2020-02-06 | 和田山精機株式会社 | 硬質皮膜被覆部材、及び硬質皮膜被覆工具 |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012011393A (ja) * | 2010-06-29 | 2012-01-19 | Kobe Steel Ltd | せん断用金型及びその製造方法 |
DE112011104820B4 (de) * | 2011-02-01 | 2016-10-27 | Osg Corporation | Hartlaminarbeschichtung |
US8409734B2 (en) | 2011-03-04 | 2013-04-02 | Kennametal Inc. | Coated substrates and methods of making same |
US8475943B2 (en) * | 2011-07-08 | 2013-07-02 | Kennametal Inc. | Coated article having yttrium-containing coatings applied by physical vapor deposition and method for making the same |
DE102012017694A1 (de) * | 2012-09-07 | 2014-03-13 | Oerlikon Trading Ag, Trübbach | Mo-haltige Beschichtungen auf Werkzeugen für das direkte Presshärten |
CN105051245B (zh) * | 2013-03-28 | 2017-05-17 | Osg株式会社 | 加工工具用硬质被膜及硬质被膜被覆金属加工工具 |
JP6059640B2 (ja) * | 2013-11-21 | 2017-01-11 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜および硬質皮膜形成用ターゲット |
JP6491031B2 (ja) * | 2014-06-24 | 2019-03-27 | 株式会社神戸製鋼所 | 積層型硬質皮膜および切削工具 |
JP6376466B2 (ja) * | 2014-11-13 | 2018-08-22 | 三菱マテリアル株式会社 | 表面被覆切削工具 |
KR102346955B1 (ko) | 2015-01-30 | 2022-01-04 | 삼성디스플레이 주식회사 | 가요성 윈도우 기판 및 이를 구비한 가요성 표시 장치 |
KR102305462B1 (ko) | 2015-04-30 | 2021-09-27 | 삼성디스플레이 주식회사 | 가요성 윈도우 기판 및 이를 구비한 가요성 표시 장치 |
US10030773B2 (en) * | 2016-03-04 | 2018-07-24 | Mahle International Gmbh | Piston ring |
KR102376545B1 (ko) | 2017-08-01 | 2022-03-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | 플렉시블 디스플레이 윈도우 |
KR20210156917A (ko) | 2020-06-18 | 2021-12-28 | 삼성디스플레이 주식회사 | 윈도우 및 이를 포함하는 표시 장치 |
US20220122815A1 (en) * | 2020-10-15 | 2022-04-21 | Oem Group, Llc | Systems and methods for unprecedented crystalline quality in physical vapor deposition-based ultra-thin aluminum nitride films |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11152583A (ja) * | 1997-11-17 | 1999-06-08 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 被覆金型 |
JP2003321764A (ja) * | 2002-05-01 | 2003-11-14 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 耐高温酸化に優れた高耐摩耗性・高硬度皮膜 |
JP2005042146A (ja) * | 2003-07-25 | 2005-02-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 高耐摩耗性高硬度皮膜 |
JP2005097651A (ja) * | 2003-09-22 | 2005-04-14 | Seiko Epson Corp | 装飾品の表面処理方法および装飾品 |
WO2008040694A2 (de) * | 2006-10-04 | 2008-04-10 | Federal-Mogul Burscheid Gmbh | Kolbenring für verbrennungskraftmaschinen |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0592986B1 (en) * | 1992-10-12 | 1998-07-08 | Sumitomo Electric Industries, Limited | Ultra-thin film laminate |
JP2000005904A (ja) * | 1998-06-18 | 2000-01-11 | Sumitomo Metal Mining Co Ltd | 表面処理鋼系切削工具 |
SE0004203D0 (sv) * | 2000-11-16 | 2000-11-16 | Haakan Hugosson | A surface coating |
ES2273772T3 (es) * | 2000-12-28 | 2007-05-16 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | Una pelicula dura para herramientas de corte. |
JP4112836B2 (ja) | 2001-06-19 | 2008-07-02 | 株式会社神戸製鋼所 | 切削工具用硬質皮膜を形成するためのターゲット |
US6660133B2 (en) * | 2002-03-14 | 2003-12-09 | Kennametal Inc. | Nanolayered coated cutting tool and method for making the same |
CN100419117C (zh) * | 2004-02-02 | 2008-09-17 | 株式会社神户制钢所 | 硬质叠层被膜、其制造方法及成膜装置 |
SE0402180D0 (sv) * | 2004-09-10 | 2004-09-10 | Sandvik Ab | Deposition of Ti1-xAlxN using Bipolar Pulsed Dual Magnetron Sputtering |
DE102006004394B4 (de) * | 2005-02-16 | 2011-01-13 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.), Kobe-shi | Hartfilm, Mehrschichthartfilm und Herstellungsverfahren dafür |
JP4699978B2 (ja) * | 2006-08-09 | 2011-06-15 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜被覆材 |
JP5096715B2 (ja) * | 2006-09-21 | 2012-12-12 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜および硬質皮膜被覆工具 |
-
2008
- 2008-08-20 JP JP2008212116A patent/JP5027760B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-06-30 US US12/494,784 patent/US8025958B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11152583A (ja) * | 1997-11-17 | 1999-06-08 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 被覆金型 |
JP2003321764A (ja) * | 2002-05-01 | 2003-11-14 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 耐高温酸化に優れた高耐摩耗性・高硬度皮膜 |
JP2005042146A (ja) * | 2003-07-25 | 2005-02-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 高耐摩耗性高硬度皮膜 |
JP2005097651A (ja) * | 2003-09-22 | 2005-04-14 | Seiko Epson Corp | 装飾品の表面処理方法および装飾品 |
WO2008040694A2 (de) * | 2006-10-04 | 2008-04-10 | Federal-Mogul Burscheid Gmbh | Kolbenring für verbrennungskraftmaschinen |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012115924A (ja) * | 2010-11-30 | 2012-06-21 | Osg Corp | 切削工具用硬質被膜及び硬質被膜被覆切削工具 |
JP2012166320A (ja) * | 2011-02-16 | 2012-09-06 | Sumitomo Electric Hardmetal Corp | 表面被覆切削工具 |
WO2015125898A1 (ja) * | 2014-02-21 | 2015-08-27 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜およびその形成方法 |
JP2015157975A (ja) * | 2014-02-21 | 2015-09-03 | 株式会社神戸製鋼所 | 硬質皮膜およびその形成方法 |
JP2017148930A (ja) * | 2015-11-20 | 2017-08-31 | セコ ツールズ アクティエボラーグ | コーティングされた切断ツール |
JP2020020030A (ja) * | 2018-07-31 | 2020-02-06 | 和田山精機株式会社 | 硬質皮膜被覆部材、及び硬質皮膜被覆工具 |
JP7029700B2 (ja) | 2018-07-31 | 2022-03-04 | 和田山精機株式会社 | 硬質皮膜被覆部材、及び硬質皮膜被覆工具 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8025958B2 (en) | 2011-09-27 |
JP5027760B2 (ja) | 2012-09-19 |
US20100047545A1 (en) | 2010-02-25 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5027760B2 (ja) | 硬質皮膜形成部材 | |
KR100186910B1 (ko) | 내마모성이 우수한 경질의 피막 및 경질피막 피복부재 | |
JP5730535B2 (ja) | 硬質皮膜形成部材および硬質皮膜の形成方法 | |
JP6015663B2 (ja) | 摺動特性に優れた被覆部材 | |
JP5303816B2 (ja) | 硬質皮膜被覆工具 | |
JP2005042146A (ja) | 高耐摩耗性高硬度皮膜 | |
JP2010099735A (ja) | 塑性加工用被覆金型 | |
JP4704970B2 (ja) | 除膜性に優れた硬質皮膜 | |
JP2017179580A (ja) | 硬質皮膜及び硬質皮膜被覆部材 | |
JP2004351586A (ja) | 切削工具用硬質皮膜 | |
WO2012057000A1 (ja) | 硬質皮膜形成部材および硬質皮膜の形成方法 | |
JP2012097304A (ja) | 硬質皮膜形成部材および硬質皮膜の形成方法 | |
WO2016181813A1 (ja) | 硬質皮膜および硬質皮膜被覆部材 | |
EP2937439A1 (en) | Hard coating film having excellent adhesion resistance to soft metal | |
US10265776B2 (en) | Cutting tool | |
JP6273161B2 (ja) | 耐摩耗性に優れた積層皮膜 | |
KR101727420B1 (ko) | 내마모성이 우수한 적층 피막 | |
JP2011080101A (ja) | 硬質皮膜、塑性加工用金型、塑性加工方法、及び硬質皮膜用ターゲット | |
JP5297267B2 (ja) | 切削工具用または成型用金型用の耐摩耗性に優れる酸化物皮膜被覆材 | |
JP2009035784A (ja) | 酸化物皮膜、酸化物皮膜被覆材および酸化物皮膜の形成方法 | |
JP2007083370A (ja) | 被覆部材、被覆部材の被覆方法 | |
JP2017043813A (ja) | 硬質皮膜及び硬質皮膜被覆部材 | |
JP2005139515A (ja) | 耐摩耗性硬質皮膜 | |
JP5267790B2 (ja) | 表面被覆切削工具 | |
JP2004066402A (ja) | 切削工具及びこれを備えた切削装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110204 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120607 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120612 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120622 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150629 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5027760 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |