JP2010032457A - 絶縁検査装置および絶縁検査方法 - Google Patents

絶縁検査装置および絶縁検査方法 Download PDF

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Abstract

【課題】絶縁状態を検査する際の検査コストを低減する。
【解決手段】検査対象体の所定部位に検査用電圧を供給する電圧供給部と、所定部位に所定電圧値の検査用電圧が供給されている状態においてその絶縁状態を検査する検査部と、電圧供給部を制御して所定部位に検査用電圧を供給させると共に検査部を制御して検査対象体の絶縁状態を検査させる絶縁検査処理20を実行する制御部と、所定部位に対する検査用電圧の供給によって検査対象体において発生する部分放電を検出する検出部とを備え、制御部は、絶縁検査処理20時において、電圧供給部を制御して所定部位に供給させる検査用電圧の電圧値を所定電圧値まで徐々に上昇させると共に(ステップ22)、検出部によって検出された部分放電の発生回数が予め規定された所定条件を満たしたときに(ステップ24)電圧供給部を制御して検査用電圧の供給を停止させる(ステップ25)。
【選択図】図2

Description

本発明は、検査対象体に検査用電圧を供給してその絶縁状態を検査する絶縁検査装置および絶縁検査方法に関するものである。
この種の絶縁検査装置として、特許3546046号公報に開示された絶縁検査装置が知られている。この絶縁検査装置は、回路基板に形成された配線パターン間に出力電圧を印加したときに、電圧計で検出される配線パターン間の電圧値と、電流計で検出された配線パターン間を流れる電流値とに基づいて配線パターン間の抵抗値を算出し、この抵抗値が閾値以上であるか否かを判別することで、回路基板の良否を判定可能に構成されている。また、この絶縁検査装置は、検査用電圧の印加に伴って配線パターン間でスパーク(放電)が発生したか否かを、電圧計から出力される電圧信号に基づいて検出するスパーク検出回路を備えて構成されている。この場合、この絶縁検査装置では、スパーク検出回路によってスパークの発生が検出されたときには、配線パターン間の抵抗値が閾値以上であるか否かに拘わらず検査対象の回路基板を不良と判定している。
特許3546046号公報(第5−9頁、第1図)
ところが、上記の絶縁検査装置には、以下の問題点がある。すなわち、従来の絶縁検査装置では、電圧計から出力される電圧信号に基づいてスパークが発生したか否かを判別して、スパークの発生が検出されたときには、その回路基板を不良と判定する構成を採用している。この場合、検査用電圧の印加に伴って配線パターン間でスパークが発生したときには、回路基板に対して検査用電圧を印加するための検査用プローブ(検査用治具)に破損や汚損が生じる。具体的には、スパークの発生時に大電流が導通することに起因して検査用プローブの先端部が炭化したり、大電流の導通によって炭化した回路基板(炭化した配線パターンやレジスト)が検査用プローブに付着したりする。この場合、その後の絶縁検査処理時において破損や汚損が生じた検査用プローブを使用した場合には、絶縁状態を正確に検査するのが困難となる。したがって、破損や汚損の状態に応じて検査用プローブ(検査用治具)を短期間で交換する必要が生じる。このため、従来の絶縁検査装置では、高価な検査用プローブの交換サイクルが短いことに起因して、回路基板の検査コストが高騰しているという問題点がある。
本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、検査対象体の絶縁状態を検査する際の検査コストを十分に低減し得る絶縁検査装置および絶縁検査方法を提供することを主目的とする。
上記目的を達成すべく請求項1記載の絶縁検査装置は、検査対象体の所定部位に検査用電圧を供給する電圧供給部と、前記所定部位に所定電圧値の前記検査用電圧が供給されている状態において前記検査対象体の絶縁状態を検査する検査部と、前記電圧供給部を制御して前記所定部位に前記検査用電圧を供給させると共に前記検査部を制御して前記検査対象体の絶縁状態を検査させる検査処理を実行する制御部とを備えた絶縁検査装置であって、前記所定部位に対する前記検査用電圧の供給によって前記検査対象体において発生する部分放電を検出する検出部を備え、前記制御部は、前記検査処理時において、前記電圧供給部を制御して前記所定部位に供給させる前記検査用電圧の電圧値を前記所定電圧値まで徐々に上昇させると共に、前記検出部によって検出された前記部分放電の発生回数が予め規定された所定条件を満たしたときに当該電圧供給部を制御して当該検査用電圧の供給を停止させる。
請求項2記載の絶縁検査装置は、請求項1記載の絶縁検査装置において、前記制御部が、前記検査処理時において、前記電圧供給部を制御して前記検査用電圧の電圧値を一定の上昇率で徐々に線的に上昇させる。
請求項3記載の絶縁検査装置は、請求項1または2記載の絶縁検査装置において、前記制御部が、前記検査処理時において、前記検査用電圧の供給開始から前記所定電圧値まで上昇させるのに要する時間を分割した複数の単位時間毎に前記部分放電の発生回数をカウントして、いずれかの当該単位時間内において当該部分放電の発生回数が規定回数に達したときに前記所定条件が満たされたとして前記検査用電圧の供給を停止させる。
請求項4記載の絶縁検査装置は、請求項1から3のいずれかに記載の絶縁検査装置において、前記制御部が、前記部分放電の発生回数が前記所定条件を満たして前記検査用電圧の供給を停止させたときに、当該所定条件を満たした前記検査対象体に絶縁不良が生じているとする。
請求項5記載の絶縁検査方法は、検査対象体の所定部位に所定電圧値の検査用電圧を供給した状態において当該検査対象体の絶縁状態を検査する絶縁検査方法であって、前記所定部位に供給する前記検査用電圧の電圧値を前記所定電圧値まで徐々に上昇させると共に、当該所定部位に対する当該検査用電圧の供給によって前記検査対象体において発生する部分放電を検出し、当該部分放電の発生回数が予め規定された所定条件を満たしたときに前記検査用電圧の供給を停止する。
請求項1記載の絶縁検査装置および請求項5記載の絶縁検査方法によれば、検査対象体の所定部位に供給する検査用電圧の電圧値を所定電圧値まで徐々に上昇させると共に、所定部位に対する検査用電圧の供給によって検査対象体において発生する部分放電を検出し、部分放電の発生回数が予め規定された所定条件を満たしたときに検査用電圧の供給を停止することにより、検査対象体の所定部位等に絶縁不良が生じている場合において、検査用電圧の電圧値の上昇に伴って部分放電の発生頻度が高くなり、この部分放電の発生回数が所定条件を満たした時点において検査用電圧の供給が停止されて、スパークが発生するおそれのある所定の電圧値まで検査用電圧の電圧値が上昇する事態を回避することができる。したがって、請求項1記載の絶縁検査装置および請求項5記載の絶縁検査方法によれば、検査処理時におけるスパークの発生を回避することができるため、スパークの発生に起因する検査用プローブの破損や汚損を回避することができる結果、検査用プローブの交換サイクルを十分に長期間として、検査対象体の絶縁状態を検査する際の検査コストを十分に低減することができる。
また、請求項2記載の絶縁検査装置によれば、検査用電圧の電圧値を一定の上昇率で徐々に線的に上昇させることにより、検査用電圧の電圧値を段階的に徐々に上昇させる構成および方法とは異なり、スパークが発生するおそれのある電圧値まで検査用電圧の電圧値が一気に上昇させられる事態を回避することができるため、検査処理時におけるスパークの発生を確実に回避することができる。
さらに、請求項3記載の絶縁検査装置によれば、単位時間内における部分放電の発生回数が規定回数に達したときに上記の所定条件が満たされたとして検査用電圧の供給を停止することにより、例えば、部分放電の発生回数が規定回数に達するのに要した時間が所定時間以下のときに所定条件が満たされたとして検査用電圧の供給を停止する構成とは異なり、部分放電の発生時刻を記録する煩雑な処理を行うことなく、検査用電圧の電圧値の上昇に伴って部分放電の発生頻度が高くなったときに、検査用電圧の供給を確実に停止させて、スパークの発生を確実に回避することができる。
また、請求項4記載の絶縁検査装置によれば、部分放電の発生回数が上記の所定条件を満たして検査用電圧の供給を停止したときに、所定条件を満たした検査対象体に絶縁不良が生じているとすることにより、絶縁不良が生じて検査処理時にスパークが発生するおそれのある検査対象体が再検査されることで再検査時に発生したスパークによって検査用プローブに破損や汚損が生じる事態を回避することができる。
以下、本発明に係る絶縁検査装置および絶縁検査方法の最良の形態について、添付図面を参照して説明する。
最初に、絶縁検査装置1の構成について、図面を参照して説明する。
図1に示す絶縁検査装置1は、本発明に係る絶縁検査装置の一例であって、本発明に係る絶縁検査方法に従って回路基板100等の絶縁状態を検査可能に構成されている。具体的には、絶縁検査装置1は、プローブ機構2、電圧供給部3、測定部4、検出部5、操作部6、表示部7、制御部8および記憶部9を備えている。この場合、回路基板100は、本発明における検査対象体の一例であって、導体パターン110a,110b・・等の複数の導体パターン110が形成されている。プローブ機構2は、回路基板100における各導体パターン110上に規定された各検査ポイントの位置に応じて図示しないプローブ保持部に植設された複数の検査用プローブ2a,2a・・と、制御部8の制御に従ってプローブ保持部を移動させることによって各検査用プローブ2a,2aを回路基板100(各検査ポイント)に対して接触または離間させる移動機構2bとを備えている。
電圧供給部3は、本発明における電圧供給部の一例であって、制御部8の制御に従って上記の検査用プローブ2a,2aを介して回路基板100(導体パターン110)に検査用電圧(直流電圧)Vを供給する。測定部4は、電圧測定部4aおよび電流測定部4bを備えて、制御部8と相俟って本発明における検査部を構成する。電圧測定部4aは、検査用電圧Vの供給によって生じる導体パターン110と接地電位との間の電圧(電位差)を検出して、その電圧値を示す測定データDvを制御部8に出力する。電流測定部4bは、検査用電圧Vの供給によって導体パターン110,110間を導通する電流を検出して、その電流値を示す測定データDiを制御部8に出力する。
検出部5は、本発明における検出部の一例であって、アンテナ11、アンプ12、フィルタ13、タイマ14およびカウンタ15を備えている。アンテナ11は、検査用電圧Vの供給によって回路基板100に部分放電が発生したときに生じる電磁波Seを検出して検出信号Sdを出力する。アンプ12は、アンテナ11から出力された検出信号Sdを増幅する。フィルタ13は、一例としてバントパスフィルタで構成されてアンプ12によって増幅された検出信号Sdからノイズ等を除去して出力する。タイマ14は、タイマ信号Stをカウンタ15に出力する。カウンタ15は、フィルタ13を通過した検出信号Sdとタイマ14から出力されるタイマ信号Stとに基づき、後述するようにして、検査用電圧Vの供給開始から電圧値V1(本発明における所定電圧値)まで上昇させるのに要する時間を分割した複数の単位時間毎に部分放電の発生回数をカウントしてカウントデータDcを生成し、生成したカウントデータDcを制御部8に出力する。操作部6は、電源スイッチや検査開始スイッチ等の各種のスイッチを備えて構成されて、各スイッチの操作に対応する操作信号を出力する。表示部7は、制御部8の制御に従って検査結果等の各種の画像を表示する。記憶部9は、制御部8によって算出(測定)される抵抗値を記憶する。
制御部8は、本発明における制御部の一例であって、絶縁検査装置1を総括的に制御する。具体的には、制御部8は、操作部6から出力される操作信号に従って図2に示す絶縁検査処理20を実行することにより、回路基板100(導体パターン110,110間)の絶縁状態を検査する。より具体的には、制御部8は、後述するようにして、電圧供給部3を制御して回路基板100に検査用電圧Vを供給させる。また、制御部8は、測定部4を制御して測定処理を実行させ、電圧測定部4aから出力される測定データDvと電流測定部4bから出力される測定データDiとに基づいて導体パターン110,110の間の抵抗値を演算する。さらに、制御部8は、検出部5のカウンタ15から出力されたカウントデータDcに基づき、いずれかの単位時間内において部分放電の発生回数が規定回数に達したと判別したときに、電圧供給部3を制御して回路基板100に対する検査用電圧Vの供給を停止させる。また、制御部8は、演算した抵抗値と基準抵抗値とを比較して回路基板100の良否(各導体パターン110,110の間の絶縁状態)を検査する。記憶部9は、制御部8の動作プログラム(検査処理手順のデータ)や絶縁検査処理において用いられる検査用基準値(基準抵抗値)などを記憶する。
次に、絶縁検査装置1を用いて回路基板100の絶縁状態を検査する絶縁検査方法およびその際の絶縁検査装置1の動作について、図面を参照して説明する。なお、本発明についての理解を容易とするために、回路基板100における各導体パターン110のうちの導体パターン110a,110bの間(図1参照)の絶縁状態を検査する例について以下に説明する。
まず、検査対象の回路基板100を図外の基板保持部に保持させた後に、操作部6を操作して検査開始を指示する。この際には、制御部8が、操作部6から出力された操作信号に従って、図2に示す絶縁検査処理20を開始する。この絶縁検査処理20では、制御部8は、移動機構2bに制御信号S1を出力することにより、各検査用プローブ2a,2a・・を回路基板100上の各検査ポイント(各導体パターン110)に接触させる(回路基板100に対するプロービングの実行:ステップ21)。この際には、図1に示すように、各検査用プローブ2a,2aのうちの所定の2本が導体パターン110a,110bにそれぞれ接触させられる。次いで、制御部8は、電圧供給部3に制御信号S2を出力することにより、上記の2本の検査用プローブ2a,2aを介して導体パターン110a,110b(本発明における「検査対象体の所定部位」の一例)に対する検査用電圧Vの供給を開始させると共に、検出部5のカウンタ15に制御信号S3を出力することにより、回路基板100において発生する部分放電の発生回数のカウントを開始させる(ステップ22)。
この場合、この絶縁検査装置1では、図3,4に示すように、電圧供給部3が制御部8の制御に従って、検査用電圧Vの供給を開始した時点t0から、検査用電圧Vが電圧値V1(導体パターン110a,110b間の絶縁状態を検査するのに適した電圧値:本発明における所定電圧値の一例)に達する時点t4まで検査用電圧Vの電圧値を一定の上昇率で徐々に線的に上昇させる構成が採用されている。また、この種の検査時においては、供給する検査用電圧Vの電圧値の上昇に伴って導体パターン110a,110b間における部分放電の発生頻度が徐々に高くなる傾向がある。この部分放電の発生頻度は、導体パターン110a,110b間の絶縁状態が良好な回路基板100の検査時(図4参照)よりも、導体パターン110a,110b間に絶縁不良が生じている回路基板100の検査時(図3参照)の方が高くなる傾向がある。さらに、検査用電圧Vを供給している導体パターン110a,110bの間に絶縁不良が生じているときには、図3に破線で示すように、検査用電圧Vの電圧値が電圧値V1に達した後の例えば時点t5aにおいて、導体パターン110a,110bの間にスパークが発生して、検査用プローブ2a,2a間に電流値Ixの大電流が導通する。
したがって、この絶縁検査装置1では、検査用電圧Vの電圧値を徐々に線的に上昇させるのと並行して、時点t0から時点t1までの時間T、時点t1から時点t2までの時間T、時点t2から時点t3までの時間T、および時点t3から時点t4までの時間Tの各時間T内(一例として、0.5秒:本発明における単位時間内の一例)における部分放電の発生回数をカウントし、一例として、時間T内において10回の部分放電が検出されたとき(発生回数が10回に達したとき)に検査用電圧Vの供給を停止する構成が採用されている。具体的には、制御部8は、電圧供給部3から供給させている検査用電圧Vの電圧値が電圧値V1(規定電圧値)に達したか否か(ステップ23)、および、上記の時間T内における部分放電の発生回数が10回(規定回数)に達したか否かを監視する(ステップ24)。
この際に、図3に示すように、例えば、時点t3から時点t4までの時間T内(時点t3を経過してから時点t4が到来するまでの間)において部分放電の発生回数が10回に達したときには、制御部8は、カウンタ15から出力されたカウントデータDcに基づき、時間T内における部分放電の発生回数が規定回数に達したと判別する(本発明における所定条件が満たされた状態の一例:ステップ24)。この際に、制御部8は、電圧供給部3に制御信号S2を出力して検査用電圧Vの供給を停止させると共に(ステップ25)、その回路基板100(導体パターン110a,110b間)に絶縁不良が生じていると判定して(ステップ26)、この絶縁検査処理20を終了する。これにより、導体パターン110a,110b間に供給している検査用電圧Vの電圧値が、スパークが発生する可能性のある電圧値V1まで上昇させられることなく絶縁検査処理20が終了するため、検査用プローブ2a,2aにスパークに起因する破損や汚損が生じる事態が回避される。
一方、図4に示すように、各時間T内における部分放電の発生回数が10回に達することなく、検査用電圧Vの電圧値が電圧値V1(規定電圧値)に達したときには(ステップ23)、制御部8は、電圧値V1の検査用電圧Vの供給を維持させつつ、予め規定された時間T1(一例として、1秒)だけ待機した後に(ステップ27)、測定部4から出力された測定データDv,Diに基づいて、導体パターン110a,110b間の抵抗値(絶縁抵抗値)を演算する(ステップ28)。この際に、検査用電圧Vの電圧値が電圧値V1に達した時点t4から時点t5bまでの時間T1に亘って電圧値V1の検査用電圧Vを供給した状態を維持することにより、電圧値や電流値が十分に安定した状態において測定部4による測定処理が実行されるため、絶縁状態についての検査精度を十分に高めることができる。次いで、制御部8は、電圧供給部3に制御信号S2を出力して検査用電圧Vの供給を停止させると共に(ステップ29)、演算した絶縁抵抗値と、記憶部9に記憶されている基準抵抗値(検査用基準値)とを比較して、導体パターン110a,110b間の絶縁状態を検査する(ステップ30)。
この際に、演算した絶縁抵抗値が基準抵抗値以上のときには、制御部8は、導体パターン110a,110b間の絶縁状態が良好と判定して(ステップ31)、この絶縁検査処理20を終了する。一方、演算した絶縁抵抗値が基準抵抗値に満たないときには、制御部8は、導体パターン110a,110b間に絶縁不良が生じていると判定して(ステップ26)、この絶縁検査処理20を終了する。この後、制御部8は、他の導体パターン110,110間についても上記の一連の検査処理と同様に検査すると共に、すべての検査処理時において導体パターン110,110間の絶縁状態が良好と判定したときに、その回路基板100が良品の回路基板100であると判定する。
このように、この絶縁検査装置1および絶縁検査装置1による絶縁検査方法によれば、検査対象の回路基板100における所定部位(この例では、導体パターン110a,110b)に供給する検査用電圧Vの電圧値を所定電圧値まで徐々に上昇させると共に、導体パターン110a,110bに対する検査用電圧Vの供給によって回路基板100において発生する部分放電を検出し、部分放電の発生回数が予め規定された所定条件を満たしたときに検査用電圧Vの供給を停止することにより、絶縁不良が生じている導体パターン110a,110b間の検査時において、検査用電圧Vの電圧値の上昇に伴って部分放電の発生頻度が高くなり、この部分放電の発生回数が所定条件を満たした時点において検査用電圧Vの供給が停止されて、スパークが発生するおそれのある電圧値V1まで検査用電圧Vの電圧値が上昇する事態を回避することができる。したがって、この絶縁検査装置1および絶縁検査装置1による絶縁検査方法によれば、検査処理時におけるスパークの発生を回避することができるため、スパークの発生に起因する検査用プローブ2a,2a・・の破損や汚損を回避することができる結果、検査用プローブ2a,2a・・の交換サイクルを十分に長期間として、回路基板100の絶縁状態を検査する際の検査コストを十分に低減することができる。
また、この絶縁検査装置1および絶縁検査装置1による絶縁検査方法によれば、検査用電圧Vの電圧値を一定の上昇率で徐々に線的に上昇させることにより、検査用電圧Vの電圧値を段階的に徐々に上昇させる構成および方法とは異なり、スパークが発生するおそれのある電圧値まで検査用電圧Vの電圧値が一気に上昇させられる事態を回避することができるため、検査処理時におけるスパークの発生を確実に回避することができる。
さらに、この絶縁検査装置1および絶縁検査装置1による絶縁検査方法によれば、単位時間内(この例では、時間T内)における部分放電の発生回数が規定回数(一例として、10回)に達したときに本発明における所定条件が満たされたとして検査用電圧Vの供給を停止することにより、例えば、部分放電の発生回数が規定回数に達するのに要した時間が所定時間以下のときに本発明における所定条件が満たされたとして検査用電圧Vの供給を停止する構成とは異なり、部分放電の発生時刻を記録する煩雑な処理を行うことなく、検査用電圧Vの電圧値の上昇に伴って部分放電の発生頻度が高くなったときに、検査用電圧Vの供給を確実に停止させて、スパークの発生を確実に回避することができる。
また、部分放電の発生回数が本発明における所定条件を満たして検査用電圧Vの供給を停止したときに、その回路基板100に絶縁不良が生じているとすることにより、絶縁不良が生じて検査処理時にスパークが発生するおそれのある回路基板100が再検査されることで再検査時に発生したスパークによって検査用プローブ2a,2a・・に破損や汚損が生じる事態を回避することができる。
なお、本発明は、上記の構成に限定されない。例えば、回路基板100(導体パターン110,110)に対して供給する検査用電圧Vの電圧値を一定の上昇率で徐々に線的に上昇させる絶縁検査装置1について説明したが、本発明はこれに限定されず、回路基板100(導体パターン110,110)に対して供給する検査用電圧Vの電圧値を徐々に段階的に上昇させる構成を採用することもできる。このような構成を採用する場合には、上記の例における各時点t(本発明における「単位時間」の起点および終点)と、検査用電圧Vの電圧値を変化させる時点とを一致させることで、各電圧値の検査用電圧Vを供給した状態における部分放電の発生回数を正確にカウントすることができる。また、各時間T内における部分放電の発生回数が規定回数(10回)に達した時点において本発明における所定条件が満たされたとして検査用電圧Vの供給を停止させる構成の絶縁検査装置1について説明したが、本発明はこれに限定されず、検査用電圧Vの供給開始時点からの部分放電の累積発生回数が所定回数に達した時点において検査用電圧Vの供給を停止させる構成を採用することもできる。
また、単位時間内の部分放電の発生回数が規定回数に達したとき、または、検査用電圧の供給開始からの部分放電の累積発生回数が規定回数に達したときに検査用電圧の供給を停止させる構成および方法に限定されず、部分放電の発生回数が規定回数に達するまでに要した時間が所定時間以下のときに、本発明における所定条件が満たされたとして検査用電圧の供給を停止させる構成および方法を採用することもできる。
絶縁検査装置1の構成を示すブロック図である。 絶縁検査処理20のフローチャートである。 絶縁不良が生じている回路基板100についての検査処理時における検査用電圧Vの電圧値、検査用プローブ2a,2a間を導通する電流の電流値、および導体パターン110a,110b間で発生する部分放電の相互の関係について説明するための説明図である。 絶縁状態が良好な回路基板100についての検査処理時における検査用電圧Vの電圧値、検査用プローブ2a,2a間を導通する電流の電流値、および導体パターン110a,110b間で発生する部分放電の相互の関係について説明するための説明図である。
符号の説明
1 絶縁検査装置
2a 検査用プローブ
3 電圧供給部
4 測定部
5 検出部
8 制御部
11 アンテナ
12 アンプ
13 フィルタ
14 タイマ
15 カウンタ
20 絶縁検査処理
100 回路基板
110,110a,110b 導体パターン
Dc カウントデータ
Dv,Di 測定データ
V 検査用電圧
V1 電圧値
S1〜S3 制御信号
Sd 検出信号
Se 電磁波
St タイマ信号
T,T1 時間

Claims (5)

  1. 検査対象体の所定部位に検査用電圧を供給する電圧供給部と、前記所定部位に所定電圧値の前記検査用電圧が供給されている状態において前記検査対象体の絶縁状態を検査する検査部と、前記電圧供給部を制御して前記所定部位に前記検査用電圧を供給させると共に前記検査部を制御して前記検査対象体の絶縁状態を検査させる検査処理を実行する制御部とを備えた絶縁検査装置であって、
    前記所定部位に対する前記検査用電圧の供給によって前記検査対象体において発生する部分放電を検出する検出部を備え、
    前記制御部は、前記検査処理時において、前記電圧供給部を制御して前記所定部位に供給させる前記検査用電圧の電圧値を前記所定電圧値まで徐々に上昇させると共に、前記検出部によって検出された前記部分放電の発生回数が予め規定された所定条件を満たしたときに当該電圧供給部を制御して当該検査用電圧の供給を停止させる絶縁検査装置。
  2. 前記制御部は、前記検査処理時において、前記電圧供給部を制御して前記検査用電圧の電圧値を一定の上昇率で徐々に線的に上昇させる請求項1記載の絶縁検査装置。
  3. 前記制御部は、前記検査処理時において、前記検査用電圧の供給開始から前記所定電圧値まで上昇させるのに要する時間を分割した複数の単位時間毎に前記部分放電の発生回数をカウントして、いずれかの当該単位時間内において当該部分放電の発生回数が規定回数に達したときに前記所定条件が満たされたとして前記検査用電圧の供給を停止させる請求項1または2記載の絶縁検査装置。
  4. 前記制御部は、前記部分放電の発生回数が前記所定条件を満たして前記検査用電圧の供給を停止させたときに、当該所定条件を満たした前記検査対象体に絶縁不良が生じているとする請求項1から3のいずれに記載の絶縁検査装置。
  5. 検査対象体の所定部位に所定電圧値の検査用電圧を供給した状態において当該検査対象体の絶縁状態を検査する絶縁検査方法であって、
    前記所定部位に供給する前記検査用電圧の電圧値を前記所定電圧値まで徐々に上昇させると共に、当該所定部位に対する当該検査用電圧の供給によって前記検査対象体において発生する部分放電を検出し、当該部分放電の発生回数が予め規定された所定条件を満たしたときに前記検査用電圧の供給を停止する絶縁検査方法。
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