JP2010010595A - 複合半導体装置、プリントヘッド及び画像形成装置 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 104
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims description 39
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 17
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 9
- 238000000034 method Methods 0.000 description 14
- 239000010408 film Substances 0.000 description 8
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 8
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 8
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 6
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 239000000463 material Substances 0.000 description 5
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 3
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 3
- 229910000980 Aluminium gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001151 AlNi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910017150 AlTi Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000789 Aluminium-silicon alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/435—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material
- B41J2/447—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material using arrays of radiation sources
- B41J2/45—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of radiation to a printing material or impression-transfer material using arrays of radiation sources using light-emitting diode [LED] or laser arrays
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2202/50—Embodiments of processes related to optical heads
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- Engineering & Computer Science (AREA)
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- General Health & Medical Sciences (AREA)
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- Power Engineering (AREA)
- Printers Or Recording Devices Using Electromagnetic And Radiation Means (AREA)
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- Led Device Packages (AREA)
Abstract
【解決手段】 ダイシング位置のデバイス形成領域10側近傍において、半導体基板3上に形成された複数の配線層2同士を接合する接合部8を設ける。この接合部8により、ダイシングの際の外力による配線層2の剥離を防止する。
【選択図】 図1
Description
一般的に、半導体ウエハを分割する場合、ブレードを高速回転させて切断するダイシングブレードが使用されるが、切断の際に切断位置に加わる外力で、半導体チップにクラックやチッピングが生じる。
このような、ダイシング時に生じる半導体チップのクラックやチッピングを防止し、歩留まりを向上する技術として、例えば、特許文献1が開示されている。特許文献1には、ダイシング領域に分離パターンを設けることによりクラック等を防止するクラック防止構造が開示されている。
図1中、符号3は半導体基板(例えば、Si基板)、符号2はこの半導体基板3に複数層(本実施例では4層)形成された配線層を示し、図示しない導電膜(配線パターン)と絶縁膜により構成されている。符号15は配線層2の最上層の上方に設けられた半導体薄膜層、符号1は半導体薄膜層15が備える半導体素子としてのLED素子である。
符号10は半導体ウエハ上に形成され、上記半導体素子1が複数搭載されたデバイス形成領域、符号11は各デバイス形成領域間に形成されたY方向(紙面の縦方向)のダイシング領域、符号12はダイシング領域11内に設定されたY方向のダイシングライン(ダイシング位置)を示している。
また、上記半導体薄膜層15として、III−V族化合物半導体層(例えば、GaAs、AlGaAs等)やIII−V族窒化物半導体層(例えば、GaN、AlGaN等)等の半導体材料が用いられる。
本実施例では、駆動回路となる配線層2の形成と同時に分離パターン7を形成しているが、ウエハ上面の平坦性を確保することが可能であれば、駆動回路の配線層2とは別の金属層を用いて分離パターン7を形成してもよい。
従来構造では、図8に示すように、ダイシングの際、切断箇所に発生したクラック4は、その極近傍に存在する配線層2に伝搬され、配線層2に剥離を生じさせながら半導体チップ内部に及ぶが、本構成では、図2に示すように、ダイシングの際に切断箇所で発生したクラック4は配線層2に伝搬されるものの、接合部8の優れた密着性により、接合部8において配線層2の剥離の進行が阻止され、クラック4が半導体チップ内部にまで及ぶことが防止される。
この場合、当然のことではあるが、本発明のポイントとなる接合部8は、常にダイシング位置より内側(デバイス形成領域10側)に位置することになり、ダイシング時に直接ブレードの衝撃を受ける危険性はない。
LEDアレイチップのように、複数のLEDチップを密に並べて実装するような場合、隣接するLEDチップの最終端部の発光ピッチ(発光部間の距離)がチップ内部の発光ピッチと同等になるようにする必要があることから、LEDチップの繋ぎ部分においては、高精細のダイシングとしてしばしば傾斜ダイシングが要求されるのである。
図4中、符号1はLED素子、符号3は半導体基板、符号2は配線層2、符号7は分離パターン、符号8は接合部、符号10はデバイス形成領域、符号11はダイシング領域である。
ダイシングの際に切断箇所で発生したクラック4は、配線層2に伝搬されるが、接合部8の優れた密着性により配線層2の剥離が阻止され、クラック4が半導体チップ内部に及ぶことが防止されると共に、ダイシング時の外力により配線層2内に発生する応力は、切断箇所の近傍に分割部9を設けてその伝搬経路を断つことで、半導体チップ内部への応力伝搬が阻止される。
また、この場合も、本発明のポイントとなる接合部8と分割部9は、常にダイシング位置より内側(デバイス形成領域10側)に位置することになり、ダイシング時に直接ブレードの衝撃を受ける危険性はない。
図6(a)〜(f)は上述した本実施例による複合半導体装置の製造行程を示す図である。
先ず、図6(a)に示すように、例えば、Siから成る半導体ウエハ21を用意する。この半導体ウエハ21には、既に駆動回路(図示せず)が形成されている。
III−V族化合物半導体、例えば、GaAs、AlGaAs等が使用される。
尚、ダイシングの際には、分割された個々のチップ(複合半導体装置26)が分散しないよう、UV硬化型ダイシングテープ25等にて一括固定しておく。
図10に示すように、本発明のLEDヘッド500は、ベース部材501を有し、このベース部材501上にLEDユニット502が搭載されている。
図12に示すように、プリンタ600内には、イエロー、マゼンタ、シアン、ブラックの各色の画像を各々に形成する四つのプロセスユニット601〜604が記録媒体605の搬送経路620に沿って、その上流側から順に配置されている。これらプロセスユニット601〜604の内部構造は共通であるため、シアンのプロセスユニット603を例に、それらの構成を説明する。
先ず、用紙カセット606に収納されている記録媒体605がホッピングローラ607によって、上から1枚ずつ分離されて搬送される。続いて、この記録媒体605は、レジストローラ610、611及びピンチローラ608、609に挟持されて、プロセスユニット601の感光体ドラム601a及び転写ローラ612に搬送される。その後、記録媒体605は、感光体ドラム601a及び転写ローラ612に挟持された状態で、その記録面に感光体ドラム601a上のトナー像が転写されると共に、感光体ドラム601aの回転により下流方向に搬送される。
以上の過程を経て、高品質のカラー画像が記録媒体605上に形成される。
2 配線層
3 半導体基板
8 接合部
9 分割部
10 デバイス形成領域
11 ダイシング領域
12ダイシングライン(ダイシング位置)
500 LEDヘッド(プリントヘッド)
502e 実装基板(基板)
503 ロッドレンズアレイ(レンズアレイ)
600 プリンタ(画像形成装置)
601a〜604a 感光体ドラム(像担持体)
Claims (5)
- 半導体ウエハの上面に半導体素子が搭載された複数のデバイス形成領域が形成され、各デバイス形成領域間のダイシング領域に沿ってダイシングされる複合半導体装置において、
半導体基板と、該半導体基板上に形成され、導電膜及び絶縁膜により構成される複数の配線層を有し、ダイシング位置のデバイス形成領域側近傍において、各々積層方向に隣接する前記配線層同士が接合されて、ダイシング時の前記配線層の剥離を防止する接合部が形成されていることを特徴とする複合半導体装置。 - 前記配線層の前記接合部より前記デバイス形成領域側の部位に、該配線層を分割する分割部が形成されていることを特徴とする請求項1に記載の複合半導体装置。
- 前記配線層の端部は、ダイシングの切断角度に合わせて設定されており、且つ、ダイシング位置よりデバイス形成領域側に位置していることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の複合半導体装置。
- 請求項1から請求項3までの何れかに記載の複合半導体装置を複数直線状に配列させた基板と、これら複数の複合半導体装置に対向して配置され、各複合半導体装置から放射される光を集光させるレンズアレイとを備えることを特徴とするプリントヘッド。
- 請求項4に記載のプリントヘッドと、該プリントヘッドにて露光され、表面に潜像が形成される像担持体とを備えることを特徴とする画像形成装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008171008A JP2010010595A (ja) | 2008-06-30 | 2008-06-30 | 複合半導体装置、プリントヘッド及び画像形成装置 |
EP09161214.3A EP2141022B1 (en) | 2008-06-30 | 2009-05-27 | Composite semiconductor device, print head and image forming apparatus |
CN200910145514.5A CN101621048B (zh) | 2008-06-30 | 2009-05-27 | 复合半导体器件、印头以及图像形成装置 |
US12/457,019 US8130253B2 (en) | 2008-06-30 | 2009-05-29 | Composite semiconductor device, print head and image forming apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008171008A JP2010010595A (ja) | 2008-06-30 | 2008-06-30 | 複合半導体装置、プリントヘッド及び画像形成装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010010595A true JP2010010595A (ja) | 2010-01-14 |
Family
ID=41128558
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008171008A Pending JP2010010595A (ja) | 2008-06-30 | 2008-06-30 | 複合半導体装置、プリントヘッド及び画像形成装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8130253B2 (ja) |
EP (1) | EP2141022B1 (ja) |
JP (1) | JP2010010595A (ja) |
CN (1) | CN101621048B (ja) |
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-
2008
- 2008-06-30 JP JP2008171008A patent/JP2010010595A/ja active Pending
-
2009
- 2009-05-27 CN CN200910145514.5A patent/CN101621048B/zh active Active
- 2009-05-27 EP EP09161214.3A patent/EP2141022B1/en active Active
- 2009-05-29 US US12/457,019 patent/US8130253B2/en active Active
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2141022A3 (en) | 2012-08-08 |
CN101621048B (zh) | 2014-07-30 |
CN101621048A (zh) | 2010-01-06 |
US20090322852A1 (en) | 2009-12-31 |
EP2141022B1 (en) | 2014-03-26 |
US8130253B2 (en) | 2012-03-06 |
EP2141022A2 (en) | 2010-01-06 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100319 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100831 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100902 |
|
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|
A02 | Decision of refusal |
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