JP2010010531A - 基板搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板の姿勢維持に優れた基板搬送装置を提供する。
【解決手段】基板入口4から搬入された基板Bを基板出口5から搬出する一対のガイド部材41と、一対のガイド部材41の間で基板Bを移動させる基板移送機構を備えた基板搬送装置において、一対のガイド部材41が、基板Bの両側面とそれぞれ対向する一対のガイド面28と、一対のガイド面28の基板入口4側で、基板Bの搬送方向と垂直な方向にローラ部材支持軸30を有し、一対のガイド面28の延長上に外周面が位置するローラ部材31と、一対のガイド面28の基板出口5側で、一対のガイド面28と同一平面上で連続する面45を有する治具43を備えた。
【選択図】図7
【解決手段】基板入口4から搬入された基板Bを基板出口5から搬出する一対のガイド部材41と、一対のガイド部材41の間で基板Bを移動させる基板移送機構を備えた基板搬送装置において、一対のガイド部材41が、基板Bの両側面とそれぞれ対向する一対のガイド面28と、一対のガイド面28の基板入口4側で、基板Bの搬送方向と垂直な方向にローラ部材支持軸30を有し、一対のガイド面28の延長上に外周面が位置するローラ部材31と、一対のガイド面28の基板出口5側で、一対のガイド面28と同一平面上で連続する面45を有する治具43を備えた。
【選択図】図7
Description
本発明は、一対のガードレールの間で基板を搬送する基板搬送装置に関するものである。
実装分野において、基板搬送装置は、基板の両側面とそれぞれ対向するガイド面を備えた一対のガイドレールの間で基板を移動させる形態のものが広く用いられている。ガイドレールは、実装ラインを構成する各装置、例えば、半田を基板に印刷する装置や電子部品を基板に搭載する装置等に独立して備わっている。実装ラインは、各装置にそれぞれに備わっているガイドレールを前後に連結させた状態に各装置を工程順に配置し、各ガイドレールを跨いで基板を搬送することで、一つの基板に半田印刷や電子部品搭載を行っている。一対のガイドレールは、基板の搬送方向を規制する役割も担うため、それぞれに備わるガイド面の間の距離は基板の幅と略同等であることが要求されるが、ガイドレールを跨いだ基板の搬送を円滑にするため、ガイドレールの基板の搬送方向において上流側に、端部に向けてガイド面の間隔を漸増させた形状となる導入面を設け、基板をガイドレールに円滑に搬入できるようにしている(特許文献1参照)。
特許第3133581号公報
ところで、実装ラインを構成する各装置のレイアウトの関係上、ガイドレールにはどちらの方向からも基板が搬入される可能性があるので、ガイドレールの両端に導入面を設けておくことが望ましい。しかし、基板の搬送方向においてガイドレールの下流側では導入面は必要なものではなく、むしろ存在しない方が搬送時の基板の姿勢を一定に維持する点で好都合である。
本発明は、基板の姿勢維持に優れた基板搬送装置を提供することを目的とする。
請求項1に記載の基板搬送装置は、一方の端部から搬入された基板を他方の端部から搬出する一対のガイドレールと、前記一対のガイドレールの間で基板を移動させる基板移送機構を備えた基板搬送装置において、前記一対のガイドレールが、基板の両側面とそれぞれ対向する一対のガイド面と、前記一対のガイド面の前記一方の端部側で、基板の搬送方向と垂直な方向に回転軸を有し、前記一対のガイド面の延長上に外周面が位置するローラ部材と、前記一対のガイド面の前記他方の端部側で、前記一対のガイド面と同一平面上で連続する面を有する治具を備えた。
請求項2に記載の基板搬送装置は請求項1に記載の基板搬送装置であって、基板の搬送方向の変更に対応して、基板の搬送方向の上流側に前記ローラを配置し、下流側に前記治具を配置できるようにした。
本発明では、基板入口に供給された基板が、左右のガイド部材によって規定される基板移動領域に対して横方向の位置ずれを起こしていた場合には、基板の左右の先端部の一方が左右のローラ部材の一方の外周面に当接してそのローラ部材が上下軸回りに回転し、基板全体が基板移動領域の内側方向に移動させられることによってその位置ずれが修正されるのであるが、基板と当接したときにローラ部材が受ける衝撃は、ローラ部材自身の回転
動作によって吸収されるため、ローラ部材には打痕そのものが生じにくく、ローラ部材に打痕が生じてその打痕に基板の先端部が引っ掛かることがあったとしても、ローラ部材が回転することによって、基板全体が左右のガイド部材の間に挟まってしまうような事態は避けられるので、基板詰まりは極めて発生しにくい。更に、ローラ部材はガイド部材とは別部材として構成されるので、ローラ部材に打痕が生じたとしてもその場合にはローラ部材だけを交換すればよく、ガイド部材全体を交換する必要はない。
動作によって吸収されるため、ローラ部材には打痕そのものが生じにくく、ローラ部材に打痕が生じてその打痕に基板の先端部が引っ掛かることがあったとしても、ローラ部材が回転することによって、基板全体が左右のガイド部材の間に挟まってしまうような事態は避けられるので、基板詰まりは極めて発生しにくい。更に、ローラ部材はガイド部材とは別部材として構成されるので、ローラ部材に打痕が生じたとしてもその場合にはローラ部材だけを交換すればよく、ガイド部材全体を交換する必要はない。
また、ローラ部材はガイド部材とは別部材として構成されることから、ローラ部材(ローラ部材の外周面の部分)の材料と、ガイド部材(ガイド部材のガイド面の部分)の材料とを異ならせることができ、ローラ部材をガイド部材よりも硬質の材料とすれば、コストを大きく増大させることなく、より一層ローラ部材に打痕が生じにくくすることができる。
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1は本発明の一実施の形態における基板搬送装置を備えた部品実装機の斜視図、図2は本発明の一実施の形態における部品実装機の平面図、図3は本発明の一実施の形態における基板搬送装置の(a)斜視図及び(b)断面図、図4は本発明の一実施の形態における基板搬送装置の一部の(a)平面図(b)側面図(c)断面図、図5(a),(b),(c)は本発明の一実施の形態における基板搬送装置の部分拡大平面図、図6は本発明の一実施の形態における基板搬送装置を備えた複数の部品実装機から成る部品実装ラインの平面図、図7(a),(b)は本発明の他の実施の形態における基板搬送装置の斜視図である。
図1及び図2において、部品実装機1は基台2上に本発明の一実施の形態における基板搬送装置3を備えており、この基板搬送装置3によって基板入口4に供給された基板Bが水平面内の一の方向(X軸方向)に搬送され、基板出口5から排出される。基板搬送装置3の上方にはY軸テーブル6がX軸方向と水平に直交する方向(Y軸方向)に延びて設けられている。Y軸テーブル6の側面には2本の平行なスライドガイド7がY軸方向に延びて設けられており、これら2本のスライドガイド7には2つのY軸スライダ8がスライドガイド7に沿って(すなわちY軸方向に)移動自在に設けられている。各Y軸スライダ8にはX軸方向に延びたX軸テーブル9の一端部が取り付けられており、各X軸テーブル9にはX軸テーブル9に沿って(すなわちX軸方向に)移動自在な移動ステージ10が設けられている。
各移動ステージ10には搭載ヘッド11が取り付けられており、各搭載ヘッド11には複数の吸着ノズル12が上下方向(Z軸方向)の下方に延びて設けられている。基板搬送装置3のY軸方向の側方領域には搭載ヘッド11に部品(図示せず)を供給する複数のパーツフィーダ13がX軸方向に並んで設けられている。各搭載ヘッド11には撮像面を下方に向けた基板カメラ14が設けられており、基台2上には撮像面を上方に向けた部品カメラ15が設けられている。
部品実装では、先ず、基板搬送装置3によって基板BがX軸方向に搬送され、所定の実装作業位置に位置決めされる。移動ステージ10は、X軸テーブル9のY軸方向への移動と移動ステージ10自身のX軸方向への移動とによって実装作業位置に位置決めされた基板Bに対して相対移動され、基板カメラ14が基板Bの上方に位置される。そして、基板カメラ14によって基板Bの位置検出マーク(図示せず)の画像認識が行われ、基板Bの基準位置からの位置ずれ量が求められる。
基板Bの位置ずれ量が求められたら、搭載ヘッド11が備える吸着ノズル12によってパーツフィーダ13により供給される部品がピックアップされる。そして、そのピックア
ップされた部品は搭載ヘッド11の移動によって部品カメラ15の上方(部品カメラ15の視野内)に移動され、部品カメラ15により部品の画像認識が行われた後、基板B上に搭載される。このとき、基板Bの位置検出マークの画像認識によって得られた基板Bの位置ずれと、部品の画像認識によって得られた部品の吸着ノズル12に対するずれ(吸着ずれ)が修正されるので、部品は基板B上の正しい位置に搭載される。
ップされた部品は搭載ヘッド11の移動によって部品カメラ15の上方(部品カメラ15の視野内)に移動され、部品カメラ15により部品の画像認識が行われた後、基板B上に搭載される。このとき、基板Bの位置検出マークの画像認識によって得られた基板Bの位置ずれと、部品の画像認識によって得られた部品の吸着ノズル12に対するずれ(吸着ずれ)が修正されるので、部品は基板B上の正しい位置に搭載される。
次に、図3及び図4を用いて部品実装機1に備えられた基板搬送装置3の構成及び動作について説明する。図3(a)は基板搬送装置3の斜視図であり、図3(b)は図3(a)における矢視V1−V1から見た断面図である。また、図4は基板搬送装置3の基板入口4側の一部を示しており、図4(a)はその平面図、図4(b)は側面図、図4(c)は図4(a)の矢視V2−V2から見た断面図である。
図3(a),(b)において、基板搬送装置3は、基板入口4に供給された基板Bを一定の方向(X軸方向)に移動させて基板出口5から排出させる基板移動手段としてのベルトコンベア機構20を備えている。ベルトコンベア機構20は、基台2上にX軸方向に延びて設けられた左右の基部21及び左右の基部21に取り付けられた左右の搬送ベルト22を有しており、各搬送ベルト22は左右の基部21に設けられた複数のプーリ23に掛け渡されている。プーリ23に掛け渡されて上下2段になっている搬送ベルト22の上段の部分は、基部21の内面側にX軸方向に延びて設けられたベルト支持部21aによってその下面(搬送ベルト22の内周面)側が支持されている(図4(b),(c)も参照)。
図3(a),(b)において、搬送ベルト22が掛け渡されている複数のプーリ23のうちの1つには、基部21に固定された駆動モータ24の回転軸24aが連結されており、これらの駆動モータ24を駆動することにより、各搬送ベルト22をX軸方向に走行させて、左右の搬送ベルト22の上面に左右の端部が載置された基板Bを搬送することができる(図1、図2及び図3中に示す矢印A1参照)。なお、基板入口4は基板搬送装置3の基板Bの走行方向(X軸方向)の上流側の端部に相当し、基板出口5は基板搬送装置3の基板Bの走行方向の下流側の端部に相当する。
図3(a),(b)において、左右の基部21それぞれの上面側には、ガイド部材27がX軸方向に延びて設けられている。各ガイド部材27は搬送ベルト22の外端部側を上方から覆っており、その内側の垂直な側端縁は、搬送ベルト22によって搬送される基板Bの左右の側端面S(図1)をガイドして搬送中の基板Bを一定の姿勢に保持するガイド面28となっている。
図3(a),(b)及び図4(a),(b),(c)において、左右のガイド部材27の基板入口4側の端部には、上下軸(上下方向に延びた軸)から成るローラ部材支持軸30が設けられており、このローラ部材支持軸30にはローラ部材31が回転自在に支持されている。
ローラ部材31は、ガイド部材27のガイド面28の基板入口4側の端部P(図4(a),(b)参照)よりも手前側(図4(a),(b)では紙面の左側)の部分において、その円筒状の外周面であるローラ面32がガイド部材27のガイド面28の延長面28a(図4(a)参照)に接するように設けられている。
図4(b),(c)において、ベルト支持部21aによって支持されている搬送ベルト22の上面は、その上方に位置するローラ部材31の下面との間に若干のクリアランスΔを有しており、駆動モータ24によって搬送ベルト22が走行されている間、ローラ部材31が搬送ベルト22に引きずられてローラ部材支持軸30回りに回転することがないよ
うになっている。
うになっている。
図4(a)に示すように、ローラ部材31はガイド部材27の基板入口4側の一部を切り欠いて形成されたスペースSPに設けられており、ガイド部材27のうち、ローラ部材31よりも手前側に位置する先端部分33の内面34は、ガイド面28よりも外側(Y軸方向の外側。図4(a)では紙面上側)に位置している。
ここで、左右の先端部材33の内面34同士の間隔は、左右のガイド部材27のガイド面28同士の間隔よりも大きくなっており、左右のローラ部材31のローラ面32は基板入口4側にその一部を露出させた状態となっている。このため、基板入口4より供給された基板Bが、左右のガイド部材27によって規定される基板移動領域R(左右のガイド面28の間の領域。図3(b)参照)に対して横方向(基板Bの搬送方向と直交する水平方向であり、ここではY軸方向)の位置ずれを起こしていた場合には、基板Bの左右の先端部の一方が、左右のローラ部材31の一方のローラ面32に当接することになる。
このような構成の基板搬送装置3の基板入口4に基板Bを供給すると、その基板Bは左右の搬送ベルト22によって受け取られた後、基板移動領域R内に引き込まれる。そして、左右の側端面Sが左右のガイド部材27のガイド面28にガイドされて一定の姿勢に保持された状態で搬送され、基板出口5から基板搬送装置3の外部に排出される。
ここで、基板入口4に供給された基板Bが左右のガイド部材27に対して横方向の位置ずれを起こしていなかった場合には、基板Bは左右の先端部を左右のローラ部材31のいずれにも当接させることなく、そのまま基板移動領域R内をX軸方向に進むが、基板Bが基板移動領域Rに対して横方向の位置ずれを起こしていた場合には、上述のように、基板Bの左右の一方の先端部が左右のローラ部材31の一方に当接することになる(図5(a))。そうすると、基板Bが当接した側のローラ部材31は基板Bからの押圧力を受けてローラ部材支持軸30回りに回転し(図5(a),(b)中に示す矢印A2)、これに伴って基板Bはその全体が基板移動領域Rの内側方向(横方向)に移動させられるので、基板Bの横方向の位置ずれは修正され、基板Bは基板移動領域R内をX軸方向に進むことができるようになる。すなわち左右のローラ部材31は、この基板搬送装置3において、基板Bの横方向の位置ずれを修正して基板Bの左右の側端面Sがガイド部材27のガイド面28に沿うように基板B全体を案内する基板案内部として機能している。
上記のように、本実施の形態における基板搬送装置3は、基板入口4に供給された基板Bを一定の方向(X軸方向)に移動させて基板出口5から排出させる基板移動手段としてのベルトコンベア機構20と、ベルトコンベア機構20によって移動される基板Bの左右の側端面Sを基板Bの搬送方向(X軸方向)に延びたガイド面28によりガイドして搬送中の基板Bを一定の姿勢に保持する左右のガイド部材27を備え、更に、左右のガイド部材27それぞれの基板入口4側の端部に、上下軸(ローラ部材支持軸30)回りに回転自在でその外周面であるローラ面32がガイド部材27のガイド面28の延長面28aに接するローラ部材31を備えている。
そして、上述したように、基板入口4に供給された基板Bが、左右のガイド部材27によって規定される基板移動領域Rに対して横方向の位置ずれを起こしていた場合には、基板Bの先端部の一方が左右のローラ部材31の一方の外周面(ローラ面32)に当接してそのローラ部材31がローラ部材支持軸30回りに回転し、基板B全体が基板移動領域Rの内側方向に移動させられることによってその位置ずれが修正されるのであるが、基板Bと当接したときにローラ部材31が受ける衝撃は、ローラ部材31自身の回転動作によって吸収されるため、ローラ部材31には打痕そのものが生じにくく、ローラ部材31に打痕が生じてその打痕に基板Bの先端部が引っ掛かることがあったとしても、ローラ部材3
1が回転することによって、基板B全体が左右のガイド部材27の間に挟まってしまうような事態は避けられるので、基板詰まりは極めて発生しにくい。更に、ローラ部材31はガイド部材27とは別部材として構成されるので、ローラ部材31に打痕が生じたとしてもその場合にはローラ部材31だけを交換すればよく、ガイド部材27全体を交換する必要はない。
1が回転することによって、基板B全体が左右のガイド部材27の間に挟まってしまうような事態は避けられるので、基板詰まりは極めて発生しにくい。更に、ローラ部材31はガイド部材27とは別部材として構成されるので、ローラ部材31に打痕が生じたとしてもその場合にはローラ部材31だけを交換すればよく、ガイド部材27全体を交換する必要はない。
また、ローラ部材31はガイド部材27とは別部材として構成されることから、ローラ部材31(ローラ面32の部分)の材料と、ガイド部材27(ガイド面28の部分)の材料とを異ならせることができ、ローラ部材31をガイド部材28よりも硬質の材料とすれば、コストを大きく増大させることなく、より一層ローラ部材31に打痕が生じにくくすることができる。
ところで、上記基板搬送装置3を備えた部品実装機1は複数台を並べて図6に示すような部品実装ライン40を構成することができる。このような部品実装ライン40では複数台の基板搬送装置3が基板Bの搬送方向に直列に配置され、基板Bは隣接する基板搬送装置3の間で受け渡されながら上流側の部品実装機1から下流側の部品実装機1へ向けて搬送される。このとき、基板Bは上流側の部品実装機1の基板搬送装置3の基板出口5から排出された後、そのまま下流側の部品実装機1の基板搬送装置3の基板入口4に供給されることになるが、隣接する基板搬送装置3の間での基板Bの受け渡し時に基板Bが横方向の位置ずれを起こしていたとしても、その基板Bの位置ずれは各基板搬送装置3が備えるローラ部材31によって修正されるので、隣接する基板搬送装置3の間でスムーズな基板Bの受け渡しが可能となる。この効果は、部品実装ライン40のように複数台の部品実装機1の間で基板搬送装置3が直列に配置される場合だけでなく、1つの部品実装機1の中に設けられた複数台の基板搬送装置3が直列に配置される場合においても得られる。
これまで本発明の実施の形態について説明してきたが、本発明は上述の実施の形態に示したものに限定されない。例えば、上述の実施の形態では、ローラ部材31はガイド部材27の基板入口4側の一部を切り欠いて形成されたスペースSPに設けられるとしていたが、ローラ部材31はガイド部材27の基板入口4側の端部に、上下軸(ローラ部材支持軸30)回りに回転自在で外周面(ローラ面32)がガイド部材27のガイド面28の延長面28aに接するように設けられていればよく、必ずしもガイド部材27の一部を切り欠いて形成されたスペースSPに設けられなければならないわけではない。
また、上述の実施の形態では、ベルト支持部21aによって支持された搬送ベルト22の上面は、その上方に位置するローラ部材31の下面との間に若干のクリアランスΔを有し、駆動モータ24によって搬送ベルト22が走行されている間、ローラ部材31が搬送ベルト22に引きずられてローラ部材支持軸30回りに回転することがないようにしていたが、これとは反対に、ベルト支持部21aによって支持された搬送ベルト22の上面が、その上方に位置するローラ部材31の下面と接触するようにし、搬送ベルト22が走行されている間、ローラ部材31が搬送ベルト22に引きずられて基板Bの横方向の位置ずれを修正する回転方向(図5(a),(b)中に示す矢印A2の方向)に常時回転するようにしてもよい。このようにローラ部材31を常時基板Bの横方向の位置ずれを修正する回転方向に回転させておくことにより、基板Bの横方向の位置ずれを修正する機能を妨げることなく、基板Bの先端部がローラ部材31に当接したときの衝撃を弱めてローラ部材31に打痕が生じにくくすることができる。
また、上述の実施の形態では、基板入口4に供給された基板Bを一定の方向に移動させて基板出口5から排出させる基板移動手段は、複数のプーリ23の間に掛け渡した搬送ベルト22を一定の方向に駆動し、基板Bを載置して搬送するベルトコンベア機構20であるとしていたが、この基板移動手段はベルトコンベア機構20に限定されず、他の構成を
有する機構(例えば、ガイド部材27に沿って移動する移動部材によって基板Bを基板出口5側に向かって押す機構や、基板入口4に供給された基板Bの一部を引っ掛けて基板出口5側に向けて引っ張る機構など)であってもよい。また、本発明の基板搬送装置は、本実施の形態で示した部品実装機1に限られず、スクリーン印刷装置や基板検査装置等の、基板を搬送して作業を行うあらゆる装置に適用することができる。
有する機構(例えば、ガイド部材27に沿って移動する移動部材によって基板Bを基板出口5側に向かって押す機構や、基板入口4に供給された基板Bの一部を引っ掛けて基板出口5側に向けて引っ張る機構など)であってもよい。また、本発明の基板搬送装置は、本実施の形態で示した部品実装機1に限られず、スクリーン印刷装置や基板検査装置等の、基板を搬送して作業を行うあらゆる装置に適用することができる。
次に本発明の他の実施の形態について説明する。上述した実施の形態では、例えば図6に示すように、基板Bは一定の方向A1に搬送されることを前提としているが、これとは逆方向に基板Bを搬送することも可能である。この場合、各部品実装機1の基板搬送装置3に備えられたガイド部材27(図2参照)は、搬送方向A1に対する上流側となる端部だけではなく、これとは逆の方向に対する上流側、すなわち搬送方向A1に対して下流側となる端部にもローラ部材31を装着できるようになっていることが望ましい。
図7(a)は他の実施の形態の基板搬送装置を示した斜視図である。基板搬送装置50は、ガイド部材41以外は図3に示した基板搬送装置3と構造を一にしている(同一の部材については図3と同じ符号を付している)。ガイド部材41は、基板Bの搬送方向の両端部にローラ部材支持軸30を備え、何れの端部にもローラ部材31を着脱自在にしている。これにより、相対する2つの搬送方向A1、A3のどちらに基板Bが搬送される場合であっても、搬送方向に対して必ず上流側にローラ部材31を配置することができる。図7(a)は基板Bが搬送方向A3に搬送される場合のローラ部材31の配置を示している。
ガイド部材41は、ローラ部材31を装着する空間42の存在によってガイド面28が両端部で断絶している。どちらの搬送方向A1、A3に対しても上流側にはローラ部材31が装着されるので、ローラ部材31に案内された基板Bは円滑に搬入されるが、下流側でガイド面28が断絶されたままとなっていては、搬出時の基板Bの姿勢を規制することができない。そのため、ガイド部材41は、空間42に治具43を装着し、ガイド面28を末端まで延長できるようになっている。治具43はローラ部材支持軸30に嵌合する孔44と平面45を備え、孔44をローラ部材支持軸30に嵌合させてガイド部材41に装着される。ガイド部材41に装着された治具43の平面45は、ガイド面28と同一平面上で連続する面を形成する。
このように、本発明の他の実施の形態の基板搬送装置は、基板の搬送方向が何れの方向であっても、必ず上流側に基板の搬入を円滑にするローラ部材31を配置し、下流側にはガイド面28を延長する治具43を配置することができるように構成されているので、基板Bを円滑に搬入するとともに、搬出時の末端に至るまで一定の姿勢に保持した状態で搬送することができる。
基板詰まりが発生しにくい基板搬送装置を提供する。
3 基板搬送装置
4 基板入口
5 基板出口
20 ベルトコンベア機構(基板移動手段)
27、41 ガイド部材
28 ガイド面
28a ガイド面の延長面
30 ローラ部材支持軸(上下軸)
31 ローラ部材
32 ローラ面(外周面)
43 治具
45 平面
B 基板
S 基板の側端面
4 基板入口
5 基板出口
20 ベルトコンベア機構(基板移動手段)
27、41 ガイド部材
28 ガイド面
28a ガイド面の延長面
30 ローラ部材支持軸(上下軸)
31 ローラ部材
32 ローラ面(外周面)
43 治具
45 平面
B 基板
S 基板の側端面
Claims (2)
- 一方の端部から搬入された基板を他方の端部から搬出する一対のガイドレールと、前記一対のガイドレールの間で基板を移動させる基板移送機構を備えた基板搬送装置において、
前記一対のガイドレールが、基板の両側面とそれぞれ対向する一対のガイド面と、前記一対のガイド面の前記一方の端部側で、基板の搬送方向と垂直な方向に回転軸を有し、前記一対のガイド面の延長上に外周面が位置するローラ部材と、前記一対のガイド面の前記他方の端部側で、前記一対のガイド面と同一平面上で連続する面を有する治具を備えたことを特徴とする基板搬送装置。 - 基板の搬送方向の変更に対応して、基板の搬送方向の上流側に前記ローラを配置し、下流側に前記治具を配置できるようにしたことを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
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JP2008170066A JP2010010531A (ja) | 2008-06-30 | 2008-06-30 | 基板搬送装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2019188008A1 (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-03 | 東レエンジニアリング株式会社 | 基板搬送装置 |
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2008
- 2008-06-30 JP JP2008170066A patent/JP2010010531A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2019188008A1 (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-03 | 東レエンジニアリング株式会社 | 基板搬送装置 |
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