JP2010006649A - 無アルカリガラス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の無アルカリガラスは、ガラス組成として、下記酸化物換算の質量%で、SiO2 58〜75%、Al2O3 15〜19%、B2O3 7〜11%、MgO+CaO+SrO+BaO 7〜11%、MgO 0〜2%、CaO 7〜10%、SrO 0〜2%、BaO 0〜2%、SnO2 0.001〜1%含有し、実質的にアルカリ金属酸化物を含有せず、質量比Al2O3/B2O3の値が1.6〜2.2、モル比(CaO+SrO+BaO)/Al2O3の値が0.85〜1.2であり、密度が2.45g/cm3未満、歪点が680℃以上、102.5dPa・sにおける温度が1640℃以下、熱膨張係数(30〜380℃)が25〜35×10−7/℃、液相粘度が105.0dPa・s以上であることを特徴とする。
【選択図】なし
Description
(1)熱処理工程で成膜された半導体物質中にアルカリイオンが拡散する事態を防止するため、実質的にアルカリ金属酸化物を含有しないこと
(2)自重による撓み量を抑えるため、密度が低いこと
(3)ガラス基板を低廉化するため、生産性に優れること、特に耐失透性や溶融性に優れること
(4)p−Si・TFTの製造工程において、熱膨張差から生じる熱応力を低減するため、低い熱膨張係数を有すること
(5)p−Si・TFTの製造工程において、熱収縮を低減するため、歪点が高いこと。
Claims (7)
- ガラス組成として、下記酸化物換算の質量%で、SiO2 58〜75%、Al2O3 15〜19%、B2O3 7〜11%、MgO+CaO+SrO+BaO 7〜11%、MgO 0〜2%、CaO 7〜10%、SrO 0〜2%、BaO 0〜2%、SnO2 0.001〜1%含有し、
実質的にアルカリ金属酸化物を含有せず、
質量比Al2O3/B2O3の値が1.6〜2.2、モル比(CaO+SrO+BaO)/Al2O3の値が0.85〜1.2であり、
密度が2.45g/cm3未満、歪点が680℃以上、102.5dPa・sにおける温度が1640℃以下、熱膨張係数(30〜380℃)が25〜35×10−7/℃、液相粘度が105.0dPa・s以上であることを特徴とする無アルカリガラス。 - ガラス組成として、下記酸化物換算の質量%で、SiO2 58〜75%、Al2O3 15〜19%、B2O3 7.5〜10.5%、MgO+CaO+SrO+BaO 8.5超〜11%、MgO 0〜2%、CaO 7.5超〜10%、SrO 0〜1.5%、BaO 0〜1.5%、SnO2 0.01〜0.5%含有し、
実質的にアルカリ金属酸化物を含有せず、
質量比Al2O3/B2O3の値が1.7〜2.1、モル比(CaO+SrO+BaO)/Al2O3の値が0.9〜0.98であり、
密度が2.42g/cm3未満、歪点が685℃以上、102.5dPa・sにおける温度が1630℃以下、熱膨張係数(30〜380℃)が31〜34×10−7/℃、液相粘度が105.3dPa・s以上であることを特徴とする請求項1に記載の無アルカリガラス。 - ガラス組成として、下記酸化物換算の質量%で、SiO2 60〜70%、Al2O3 16.5〜18%、B2O3 8.5超〜10%未満、MgO+CaO+SrO+BaO 8.5超〜10.5%、MgO 0〜2%、CaO 8〜10%、SrO 0〜1%、BaO 0〜1%、SnO2 0.01〜0.5%含有し、
実質的にアルカリ金属酸化物を含有せず、
質量比Al2O3/B2O3の値が1.8〜2.1、モル比(CaO+SrO+BaO)/Al2O3の値が0.92〜0.97であり、
密度が2.40g/cm3未満、歪点が685℃以上、102.5dPa・sにおける温度が1625℃以下、熱膨張係数(30〜380℃)が31〜34×10−7/℃、液相温度が1150℃以下、液相粘度が105.5dPa・s以上であることを特徴とする請求項1に記載の無アルカリガラス。 - 基板形状を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の無アルカリガラス。
- 板厚が0.6mm以下であることを特徴とする請求項4に記載の無アルカリガラス。
- オーバーフローダウンドロー法で成形されてなることを特徴とする請求項4または5に記載の無アルカリガラス。
- 有機ELディスプレイに用いることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の無アルカリガラス。
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