JP2010002777A - マイクロミラーデバイス、光走査装置及び画像形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】マイクロミラーデバイスは、トーションバーと、トーションバーの一端に支持されたミラーと、トーションバーの他端が結合された基板と、ミラーを揺動させる揺動部とを備える。ミラーは、母材と、母材の表面粗さを平滑化するための平滑化層と、平滑化層の上に形成された反射面とを備える。
【選択図】図7
Description
(1)式より、共振周波数は可動ミラー3の慣性モーメントやトーションバー1のバネ定数に大きく依存していることがわかる。慣性モーメントやバネ定数は、部材の物性的要素だけではなく、外形形状にも大きく依存する。
トーションバーと、
該トーションバーの一端に支持されたミラーと、
該トーションバーの他端が結合された基板と、
前記基板に設けられ、前記ミラーを揺動させる揺動部と
を備えたマイクロミラーデバイスであって、
前記ミラーは、
母材と、
該母材の表面粗さを平滑化するための平滑化層と、
該平滑化層の上に形成された反射面と
を備えたことを特徴とする。
本実施形態は、図1ないし図6を用いて説明した光走査装置を改良発展させたものである。よって、既に説明した箇所には同一の参照符号を付与することで、説明を簡潔にする。なお、可動ミラー3は、捩りバネ(トーションバー1)の一端に支持されたミラーの一例である。また、基板30やジンバル8などは、トーションバー1の他端が結合された基板の一例である。また、固定コイル6、可動磁石7、圧電体31などは、基板に設けられ、ミラーを揺動させる揺動部の一例である。
図7は、反射面を平滑するための平滑化層の断面図である。図7が示しているように、可動ミラー3の母材23の表面には凹凸がある。仮に、平滑化層24を設けることなく母材23の上に直接的に反射面25を形成してしまうと、反射面25にも凹凸が生じる。そこで、図7が示すように、ミラー面の母材23の上に平滑化層24を設け、その上に反射面25を形成すれば、反射面25の凹凸が大幅に軽減される。よって、可動ミラー3の母材23に鏡面加工等を施さなくても、反射面25を鏡面にすることが可能となる。
光走査装置などに使用されるマイクロミラーデバイスの反射層25としては、例えば、チタン(Ti)やアルミニウム(Al)、銅(Cu)、銀(Ag)、金(Au)などの金属膜が用いられる。これらの金属膜は、蒸着やスパッタといった真空蒸着法などにより形成される。
厚さ300μmのSUS材(例:SUS304)の板に鏡面加工を加え、プレス加工により3×1mmの矩形板を切り出す。この矩形板がミラー面となる。本実施形態ではSUS材をプレス加工したが、本発明はこれに限られることはない。例えば、セラミックス材ならば成形法などが採用される。このように、材料やその後の工程によって最適なプロセスを選択すれば良い。
図8は、板波を利用した光走査装置を示す図である。厚さ300μmのSUS304板(基板30)から、プレス加工により図8に示したような形状を打ち抜く。すなわち、基板30、トーションバー1及び可動ミラーとが同一の素材により一体的に構成されている。すなわち、基板30、トーションバー1及び可動ミラーとが1枚の金属板を打ち抜くことで形成されている。なお、素材は、例えば、ステンレス鋼(SUS)である。
(光走査装置)
図10は、片持ち2振動子モデルの光走査装置を示した図である。この光走査装置も実施形態1と同様の方法で作製した。
上述した光走査装置は、光ビームを射出する光源と、光ビームを走査するマイクロミラーデバイスとを備える。このような光走査装置を画像形成装置に採用してもよい。画像形成装置は、光走査装置と、光走査装置により画像信号に応じた潜像を表面に形成される像担持体と、潜像を現像しトナー像を形成する現像装置と、トナー像を記録媒体上に転写する転写装置と、トナー像を記録媒体に定着させる定着装置とを備えている。
Claims (8)
- トーションバーと、
該トーションバーの一端に支持されたミラーと、
該トーションバーの他端が結合された基板と、
前記基板に設けられ、前記ミラーを揺動させる揺動部と
を備えたマイクロミラーデバイスであって、
前記ミラーは、
母材と、
該母材の表面粗さを平滑化するための平滑化層と、
該平滑化層の上に形成された反射面と
を備えたことを特徴とするマイクロミラーデバイス。 - 前記基板、前記トーションバー及び前記ミラーとが同一の素材により一体的に構成されていることを特徴とする請求項1に記載のマイクロミラーデバイス。
- 前記トーションバーと、前記ミラーと、前記基板とが、1枚の金属板を打ち抜くことで形成されていることを特徴とする請求項2に記載のマイクロミラーデバイス。
- 前記金属板は、SUSであることを特徴とする請求項3に記載のマイクロミラーデバイス。
- 前記揺動部は、前記ミラーを揺動させるための板波を前記基板に発生させる板波発生素子であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載のマイクロミラーデバイス。
- 前記板波発生素子は、圧電素子であることを特徴とする請求項5に記載のマイクロミラーデバイス。
- 光走査装置であって、
光ビームを射出する光源と、
前記光ビームを走査する、請求項1ないし6のいずれか1項に記載のマイクロミラーデバイスと
を含むことを特徴とする光走査装置。 - 画像形成装置であって、
請求項7に記載の光走査装置と、
前記光走査装置により画像信号に応じた潜像を表面に形成される像担持体と、
前記潜像を現像しトナー像を形成する現像装置と、
前記トナー像を記録媒体上に転写する転写装置と、
前記トナー像を前記記録媒体に定着させる定着装置と
を含むことを特徴とする画像形成装置。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012073321A (ja) * | 2010-09-28 | 2012-04-12 | Brother Ind Ltd | 光スキャナ |
JP2012242810A (ja) * | 2011-05-24 | 2012-12-10 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 光走査素子 |
JP2014508653A (ja) * | 2011-02-25 | 2014-04-10 | ハルティング コマンデイトゲゼルシャフト アウフ アクチエン | 省スペース使用のための、取り外し可能なマイクロ素子およびナノ素子 |
JP2014123123A (ja) * | 2012-12-12 | 2014-07-03 | Fraunhofer Ges | マイクロメカニカル共振装置 |
WO2023053341A1 (ja) | 2021-09-30 | 2023-04-06 | パイオニア株式会社 | 光走査装置及びセンサ装置 |
WO2023053342A1 (ja) | 2021-09-30 | 2023-04-06 | パイオニア株式会社 | 光走査装置及びセンサ装置 |
Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0671808A (ja) * | 1992-08-26 | 1994-03-15 | Kobe Steel Ltd | 成形加工性に優れた反射体用めっき金属板 |
JPH07191207A (ja) * | 1993-11-17 | 1995-07-28 | Asahi Optical Co Ltd | 反射型複合光学素子 |
JPH09101474A (ja) * | 1995-10-06 | 1997-04-15 | Denso Corp | 光スキャナ装置 |
JP2005099638A (ja) * | 2003-09-26 | 2005-04-14 | Kyocera Corp | ガルバノミラー及びこれを用いた映像プロジェクタ装置 |
JP2005326822A (ja) * | 2004-04-13 | 2005-11-24 | Canon Inc | 光学素子及びその加工方法 |
JP2006293116A (ja) * | 2005-04-13 | 2006-10-26 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 光走査装置 |
JP2006308836A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Mitsubishi Electric Corp | スキャンミラー、その製造方法およびレーザ加工機 |
JP2007535706A (ja) * | 2004-04-30 | 2007-12-06 | シンボル テクノロジーズ, インコーポレイテッド | 圧電作動スキャニングミラー |
JP2008040304A (ja) * | 2006-08-09 | 2008-02-21 | Funai Electric Co Ltd | 形状可変ミラーの製造方法 |
JP2008046477A (ja) * | 2006-08-18 | 2008-02-28 | Toyo Kohan Co Ltd | 液晶バックライト用反射板 |
WO2008044470A1 (en) * | 2006-10-12 | 2008-04-17 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Optical scanning device |
-
2008
- 2008-06-20 JP JP2008162575A patent/JP5539628B2/ja active Active
Patent Citations (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0671808A (ja) * | 1992-08-26 | 1994-03-15 | Kobe Steel Ltd | 成形加工性に優れた反射体用めっき金属板 |
JPH07191207A (ja) * | 1993-11-17 | 1995-07-28 | Asahi Optical Co Ltd | 反射型複合光学素子 |
JPH09101474A (ja) * | 1995-10-06 | 1997-04-15 | Denso Corp | 光スキャナ装置 |
JP2005099638A (ja) * | 2003-09-26 | 2005-04-14 | Kyocera Corp | ガルバノミラー及びこれを用いた映像プロジェクタ装置 |
JP2005326822A (ja) * | 2004-04-13 | 2005-11-24 | Canon Inc | 光学素子及びその加工方法 |
JP2007535706A (ja) * | 2004-04-30 | 2007-12-06 | シンボル テクノロジーズ, インコーポレイテッド | 圧電作動スキャニングミラー |
JP2006293116A (ja) * | 2005-04-13 | 2006-10-26 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 光走査装置 |
JP2006308836A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Mitsubishi Electric Corp | スキャンミラー、その製造方法およびレーザ加工機 |
JP2008040304A (ja) * | 2006-08-09 | 2008-02-21 | Funai Electric Co Ltd | 形状可変ミラーの製造方法 |
JP2008046477A (ja) * | 2006-08-18 | 2008-02-28 | Toyo Kohan Co Ltd | 液晶バックライト用反射板 |
WO2008044470A1 (en) * | 2006-10-12 | 2008-04-17 | National Institute Of Advanced Industrial Science And Technology | Optical scanning device |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012073321A (ja) * | 2010-09-28 | 2012-04-12 | Brother Ind Ltd | 光スキャナ |
JP2014508653A (ja) * | 2011-02-25 | 2014-04-10 | ハルティング コマンデイトゲゼルシャフト アウフ アクチエン | 省スペース使用のための、取り外し可能なマイクロ素子およびナノ素子 |
JP2012242810A (ja) * | 2011-05-24 | 2012-12-10 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 光走査素子 |
JP2014123123A (ja) * | 2012-12-12 | 2014-07-03 | Fraunhofer Ges | マイクロメカニカル共振装置 |
WO2023053341A1 (ja) | 2021-09-30 | 2023-04-06 | パイオニア株式会社 | 光走査装置及びセンサ装置 |
WO2023053342A1 (ja) | 2021-09-30 | 2023-04-06 | パイオニア株式会社 | 光走査装置及びセンサ装置 |
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