JP2009516117A - 膜ポンプ - Google Patents

Abstract

本発明は、ポンプ容器の内部の少なくとも１つの吸入口および少なくとも１つの放出口に少なくとも１つのポンプ室（１５）が形成され、ポンプ容器の切妻とポンプ容器の壁に連結する少なくとも１つの完全に密封された膜（１４）との間で区切られるポンプ室（１５）から構成される液体またはガスを注入するための電磁駆動膜ポンプである。膜は、該ポンプ容器の軸方向に運転する心棒（１３）に取り付けられ、心棒は、少なくとも２つの該心棒の縦方向に分離された緩衝において吊るされる。
緩衝の少なくとも１つは、ポンプ容器の壁（４）の方へ外側に半径方向において心棒に取り付けられる薄板バネ（９）で構成される。心棒は、縦方向の振動のため、電磁石（７）からの磁場によって駆動され、対応する往復運動で膜を動かす磁性材料で構成される。薄板バネ（９）は内側のおよび少なくとも1つの外側の部分で構成され、その外側の部分はポンプ容器および心棒（１３）の内側の部分に取り付けられる。これらの部分は、バネが心棒（１３）に取り付けられる点の各々の側面に配置される２つの弾性脚部によって互いに連結される。

【選択図】図１

Description

本発明は、電磁駆動膜ポンプに関する。特に本発明は、請求項の電磁駆動膜ポンプに関する。

圧力または陰圧を適用する膜ポンプは、多種多様な種類およびサイズで提供され、大きい工業用膜ポンプから医療用のきわめて小さい膜ポンプまで、多くの異なる用途で用いられる。小さい膜ポンプの開発における重要な問題は、製造の費用効率的な方法と長寿命および高性能レベルとを結合する膜ポンプを作成することが困難であることである。

実在する膜ポンプにおける最も一般的なタイプは、偏心器を用いて薄膜に往復ポンピング動作を実行させる、回転モータによって駆動されるものである。電気モータによる膜ポンプへの電力供給の利点は、ロータの直径が、ポンピング、往復動作を実行するのに必要とされる動力を達成するため、適切なレバーを作成するように選ぶことができることである。レバーの長さを調整することによって、例えば、高圧が最小のモータ出力で達成できるように、膜ポンプが生み出す圧力と一致させるため、モータの出力を変えるギアを選ぶことができる。この種の膜ポンプの他の利点は、膜がポンプ・ストロークの明確な終了点に達することである。

回転モータの膜ポンプに電力供給する主な不都合は、ポンプの寿命が、使用されるモータのタイプ次第で大きく影響されることである。膜ポンプの寿命および効率のための本質的要素は、膜ポンプのモータが軸受において動かされる方法、および、モータがブラシレスなどである場合である。膜ポンプの寿命は、膜またはポンプの他の部分にはそれほど影響されない。長寿命の膜ポンプのモータの費用は、膜ポンプの総費用の有意な部分を占める結果になる。長寿命のモータが多くの付随する細部を有して機械的および電子的に製造される場合、モータが費用の有意な部分を占める理由を理解するのは容易である。この問題は、これらのタイプのポンプにおいて類似した議論が示される特許文献１にも記載される。
米国特許第６５８９０２８号明細書

以前から、膜ポンプが１以上の電磁石を用いて駆動されてもよいことは公知であった。電磁石は、膜にポンピング運動を生じさせる前後の運動を生み出す。回転モータの代わりに電磁石による膜ポンプへの電力供給は、一見したところ、より良好な解決法であるように見える。電磁駆動膜ポンプの利点は、回転モータにより電力供給される膜ポンプと比較して、実際のポンプ本体におけるストロークの長さ、回数および速度において、よりよく制御することが可能になるように、それらが膜に密接に連結されることである。

電磁ポンプは、それらが製造するのに論理的により安価であり、回転モータ駆動のポンプより容易に制御されるにもかかわらず、まだ一般的でない。これは、電磁石が回転モータと比較して膜ポンプへの電力供給が明らかによくはないという事実から一緒に生じるいくつかの問題が原因である。電磁駆動ポンプの重大な問題は、磁気駆動本体がその直線運動を失うことなく力を入れるのが困難であることである。これにより多くの場合、軸受に取付けるのに費用のかかる、追加的な摩擦点が生じる結果になる。

実在する電磁駆動膜ポンプの追加的な問題は、磁石または磁性導体で構成される、膜を駆動する可動部品の緩衝装置取付けおよび軸受支えから構成される。電磁駆動膜ポンプができるだけ効率的であるのと同様に長寿命を達成するため、可動部品ができる限り低摩擦である、好ましくは全く摩擦を有さないことが最高である。膜ポンプの寿命を最大にするため、膜および可動部品（心棒等）間の連結における回転に反作用することはさらに重要である。膜の寿命を最大にするため、曲がる位置に当たる膜引伸しへの反作用と同様に、膜の寿命を減少する可能性がある横断方向の負荷に反作用することも、さらに重要である。ポンプがその静止位置にある場合、膜が明確な中立点を有し、複雑な製造の間、性能における同等性が達成されることもまた非常に重要である。

電磁石に基づいたポンプの上述した問題により、製造にきわめて費用がかかる多くの細部で構成される、きわめて複雑なデザインが生じる。このようなデザインの例は、例えば特許文献２に記載される。この特許の設計は、本発明とはきわめて異なる。
米国特許第５３６０３２３号明細書

特許文献３において、液体の圧力を増加させる意図のポンプ設計が記載される。設計は、ピストン、シリンダおよびポンプ室で構成される。薄板ばねで吊るされるピストンは、ソレノイドを用いて操作される。この薄板バネは、ポンプ室の密閉と同様にピストンを戻すための戻しバネで構成される。特許文献に記載される薄板バネは、それが均一であり、脚部を欠いているので、本発明とは非常に異なる。小さい膜ポンプで均一のバネを使用する際の問題は、電磁石により放出される電力がとても小さいので、バネ鋼板は、膜ポンプが機能するためにきわめて薄くなければならないということである。小さい膜ポンプで均一の薄板バネの使用の間、他の問題が生じる。問題は、電力がそこに適用される場合、均一のプレートがバネの中央において本質的に弾性的であるということである。したがって、大きな応力およびアタッチメント上の損耗を招くバネの弾力性を制御することができない。この損耗により、ポンプの寿命を大いに短縮する作用が生じる可能性がある。さらに、材料におけるすべてのひずみは、力が向けられ、バネ全体に均一に分配されない制限された領域に集中している。これは、バネおよび膜ポンプの寿命をさらに短縮する一因となる。均一のバネは、したがって、より小さい膜ポンプにおいて適切でない。本発明によって使用されるバネが非常に長いバネ緩衝長を有するので、この設計はまださらに本発明と異なる。本発明のバネのバネ緩衝長は、半径および弾性脚部の円形の長さの両方で構成される。
米国特許第３５７２９８０号明細書

たとえ実在している電磁駆動膜ポンプがしばしばそこで目的を達成したとしても、これらのいずれも、回転モータによって駆動される膜ポンプおよび電磁石によって駆動される膜ポンプの両方からの利点を、両方のタイプに伴う不都合を有さずに結合するというわけではない。本発明の目的はしたがって、本質的にあらゆる不都合のない、膜ポンプのそれぞれのタイプの利点を含む膜ポンプを達成することである。

本発明は、例証の目的で本発明の実施態様を示す、同封した概略図面を参照して以下のテキストにおいて詳述される。

図１に関して、陰圧を発するために最適化された電磁駆動膜ポンプの第１の好適な実施態様が示される。膜ポンプは、ケーシング（閉じたカバー）で構成され、以下、本質的に第１の切妻１、フランジ２、第１の中間部３、第２の中間部４および第２の切妻５で構成されるポンプ容器と呼ばれる。ポンプ容器において、内側の空間１１は、ポンプ容器の内側の壁に連結される膜１４によって切り離されるように作成され、それによって、膜および第２のフランジ間にポンプ室１５の形で空間を作成する。ポンプ容器の壁への膜の接続は、フランジ２および中間部３間で膜を圧縮することによって好ましくは完成することができる。膜の圧縮によって、膜およびポンプ容器の壁間の連結は密閉され、それはこの例でフランジおよび中間部によって構成される。膜はその外部がより厚く設計されることができ、それによって、膜は、膜の半径方向において固定された位置において保たれる。膜のより厚い部分により、膜およびポンプ容器間の密閉もまた、改善される。ポンプ室は、それを通じて注入された媒体（液体、ガスその他）がそれぞれ膜ポンプへ／から流れることができる、切妻１およびフランジ２の吸入および放出口でそれぞれ接続されるフランジ２におけるチャネル経由である。流れの方向を制御するために、ポンプは、それぞれ吸入および放出のため逆止め弁（逆止め弁、一方向弁、または逆流を妨げる他の装置）１２を備えている。本実施態様において、吸入および放出のための逆止め弁は、それぞれ単一のユニットに好ましくは一体化される。代替的に、逆止め弁は放出口からと同様に吸入口から切り離されてもよい。逆止め弁は、目的に適している公知の材料で作成することができる。吸入は、ホースまたは管（図示せず）が連結部に接続されるように、切妻１の放出口と同様に好ましくは管状に形成される。代替的に、他の適切な形状が連結のために使われてもよい。

膜は、シリコン、ゴム、または、目的のために適切な他のタイプの材料で作成されてもよい。

膜は、膜を膜ポンプの軸方向において移動させるように配置される心棒１３に取り付けられ（代替的に、留めるまたは、固定される）、それによって、ポンプ室の容積はそれぞれ増減されることができる。膜および心棒は、最適には膜の保持部分と心棒嵌合により、適切に互いに固定される。代替的に、膜への心棒の取付けは、取付けに適切な公知の他のタイプの装置によって完成することが可能である。

軸方向に心棒を進めるため、心棒は、少なくとも２つの緩衝点で少なくとも１つの緩衝において吊るされる。緩衝は軸方向に心棒の運動を進めるために存在し、本実施態様において、膜は、心棒の緩衝のための少なくとも２つの緩衝の１つとして機能する。心棒の第２の緩衝は、少なくとも１つの弾性要素９で構成される。弾性要素は、薄板バネで好ましくは構成される。心棒は薄板バネを貫き、係止部１０で薄板バネに固定される。係止部は、係止リング、または、目的のために適切な取付け装置で構成されてもよい。最適には、バネは、ポンプ室壁の方へ主に半径方向において外へ伸び、そして、ポンプ室壁に固定される。本実施態様において、薄板バネは、中間部３および他の中間部４の間で最適に取り付けられる。代替的に、バネは、適切な他の取付け方法により、および、ポンプにおいて配置する目的のために適切な他の方法により、取り付けられてもよい。

薄板バネは、少なくとも１つの弾性脚部を備えている。薄板バネは、好ましくは４つの弾性脚部を備えている。１つのみの脚部の使用における不都合は、心棒の中心に関してバネの角度を変えずに軸方向の運動を達成できないことである。２つの弾性脚部を有する薄板バネは一方向において強固であるが、他方向におけるねじれ抵抗はより劣る。

心棒は強磁性材料でできていて；代替的に、強磁性材料は心棒に適合される、または、他の方法で心棒に適用されてもよい。用語については、強磁性材料は、磁性伝導材料および／または永久的な磁性材料の両方を意味する。

したがって、心棒は磁気的に駆動される要素である、または、代替的に、心棒は磁気的に駆動される要素のキャリアである可能性がある。心棒の完成における好ましい形状において、心棒は、磁気的に駆動される要素である。心棒は磁気的に伝導する材料でできていて、最適には、電磁石において通常使用される柔軟な磁性材料でできている。

少なくとも１つの電磁石７からの磁場に影響を受ける心棒は、膜ポンプの軸方向に心棒（可動部分）を駆動する（移動する）。電磁石は、金属またはメタルコアを含まないコイルで構成される、その最も単純な形状であることが可能である。電磁石は好ましくは、メタルコア６を有しコイル７で構成される。電磁石は、好ましくは中空である。ポンプ頻度のポンプの範囲のために調整される高い透磁率の心棒は、電磁石が生じる磁場に電磁石が近いという必要性によって移動される。心棒の電磁石および磁気的な伝導材料間の力を最適化するために、心棒は、ディスク型の部分８を最適に備えている。電磁石のコイル、代替的にコイルは、適切な配線のために電気エネルギ源に慣習的な方法で接続される（図示せず）。

電磁石がディスク型の部分でそれ自体の方へ心棒を引く場合、エネルギが薄板バネにおいて蓄積されると、ポンプ室の容積は同時に増加する。ポンプ室の容積が増加する場合、ポンプ室に陰圧が作成され、それによって、液体またはガスが吸入口の中に流れるのを可能にする。放出口は、ポンプ室の容積が増加する場合、放出口を通じて液体またはガスが流れるのを止める逆止め弁を備えている。電磁石がそれ自体の方へ心棒をもはや引かない場合、薄板バネに蓄積されたエネルギにより、心棒はその初期の位置（中立点）に戻り、それによって、ポンプ室の容積を減少する。ポンプ室の容積が減少する場合、ポンプ室の圧力は増加し、液体またはガスが放出口を通じて外へ流れることを可能にする。吸入口は、ポンプ室の容積が減少する場合、液体またはガスが吸入口を通じて流れ出るのを止める逆止め弁を備えている。膜からの力と結合する薄板バネからの弾性力により、心棒は特定の中立点に戻ろうとする。ここで、心棒は電磁石に影響を受けない。特定の中立点は、ポンプが非常な精度および性能で連続的に製造されるのを可能にし、バネはポンプ・ストロークのそれぞれの終了点の方へ心棒および膜の運動を緩衝する。バネの制動の効果のおかげで、膜の損耗は最小化される。

膜ポンプは、公知の制御システムのいくつかのタイプにおける制御システムによって制御されてもよい。代替的に、目的のために適切な、将来開発される形の制御システムがポンプを制御するために使われてもよい。特定の中立点により、膜ポンプは制御システムによる制御にきわめて適切になる。

図２は、陽圧を生じるために最適化される、本発明による膜ポンプの製作の代替的な形状を示す。設計は本質的に第１の形状の製作と一致するが、切妻１、フランジ２および中間部３が切妻５を有して場所を移し、心棒１３は第１の形状の完成よりもずっと長いことにおいて異なる。心棒は、一方の端部が膜に取り付けられる。心棒は中空の電磁石７および６を貫き、薄板バネ９において吊るされる。この形状の製作において、電磁石は、心棒のディスク型の部分および膜の間に配置される。

電磁石が心棒のディスク型の部分を引く場合、心棒は電磁石の中空の部分で押され、このように取り付けられた膜に影響を及ぼす。心棒の運動により、エネルギが薄板バネにおいて蓄積されると、膜はポンプ室の容積が同時に減少するように影響を及ぼす。ポンプ室の容積が減少する場合、ポンプ室において陽圧が作成され、それによって、液体またはガスが放出口を通じて外へ流れることができる。吸入口は、ポンプ室の容積が減少する場合、吸入口を通じて液体またはガスが流れ出るのを止める逆止め弁を備える。電磁石が心棒のディスク型の部分をそれ自体の方へもはや引かない場合、薄板バネに蓄積されたエネルギによって、心棒はその初期の位置（中立点）に戻り、それによって、ポンプ室の容積が増加する。ポンプ室の容積が増加すると、ポンプ室の圧力が減少し、それによって、液体またはガスが吸入口を通じて流れることができる。放出口は、ポンプ室の容積が増加する場合、吸入口を通じた液体またはガスの流入を止める逆止め弁を備えている。薄板バネからの弾性力により、心棒は特定の中立点に戻ろうし、ここで、心棒は電磁石の力による影響を受けない。

膜ポンプが本質的に同じタイプの構成要素で構成されるので、圧力が最適化され、陰圧が最適化された設計の両方とも、ポンプの単純な改造により、陰圧が最適化されたポンプから陽圧が最適化されるポンプに作り直すことができることを示す。ポンプは、切妻５が場所を移し、切妻１、フランジ２および中間部３によって作り直すことができる。さらに、心棒はより短いものから長い心棒に交換される必要がある。ポンプを逆転させるのに決定的に重要なことは、電磁石が中空であるということである。心棒は電磁石における中空の空洞に引っ張られ、心棒は薄板バネおよび膜に取り付けることができる。

図３に関して、薄板バネの第１の特別に好ましい実施態様が示される。あらゆる力に影響を受けない場合、バネは本質的に平らである。バネの平坦さは、良好な横安定を提供する。疲労および寿命に関して、バネは、最適にはバネ鋼板でできているが、例えばいくつかのタイプのポリマーまたは合成物のような他の適切な弾性体でできていてもよい。バネは、その中心において、心棒が孔を貫通するようにその直径が調整された孔を有する。バネは、少なくとも１つの脚部によって、好ましくは図３で示されるように４つ脚部によって、互いに連結された外側および内側のリング型の部分を有する。各々の脚部は部分２２、１６および２３で構成され、端部は外輪および内輪によって連結される。

４つの弾性脚部を有するバネは、材料に最小の応力をかけ、同時に、対の脚部を反転する能力を有し、それによって軸方向のストローク（運動）の間、心棒の回転が発生しないことを確実にするバネであることを示す。加えて、４つの脚部は、全方向に類似したねじり安定性を提供するため、内輪に十分な量の付着点を提供する。

図３および５のバネは、図４および６のバネと比較して、さらに改善されたものである。図４および６の脚部は、ほぼ同等の長さ１７の２つの部分に分割される。この分割は、内側と外側のリングの付着点に大きなひずみを生じる。これは例えば、外輪のための取付けが配置される付着点１８で発生する。脚部が異なる長さの３つの部分に分割されるように、図３の脚部は設計される。脚部の部分１６は２つの他の部分２２および２３よりずっと長く、中間部２２および２３において配置される。これの目的は、部分１６が位置２４および２５において最も大きなねじり動力を作成することである。この結果は、脚部の短い部分（２２および２３）が最も長い脚部（１６）の動力が作成するものと同じねじれで曲がるようにされ、より長い脚部はそれによって、より急勾配の傾斜（角度）を達成し、これが結局より長いストロークを提供することである。さらに、この脚部の分割は、外部のおよび内側のリングの付着点、例えば外輪の取付けが配置される付着点２１でひずみを作成しない。位置２４および２５上のひずみは、位置１９および２０の面取りを用いて、材料において大きい領域を通じてさらに分散することができる。

図４に関して、３つの弾性脚部を有する本質的に平らなバネの別の実施態様が示される。３つの脚部は、４つの脚部を有するバネとして類似した曲がり安定性を提供してもよいが、それは対の脚部の反転の可能性を提供しない。代替的に、バネは、プラスチックまたは合成物のような他のタイプの弾性体でできていてもよい。

図６は、６つの弾性脚部を有する本発明の実施の第２の代替的な形状を示す。６つの脚部を有するバネは、軸方向におけるその運動の間、心棒の回転が発生しないことを確実にするため、対の脚部の反転の可能性を提供する。６つの脚部を有する薄板バネは、しかしながら４つの脚部を有する薄板バネの場合よりも短い脚部の長さを提供し、ストロークあたりにつき、材料により多くのひずみを生じる。
（発明の利点）

本発明による電磁駆動膜ポンプでは、電気モータによって駆動される膜ポンプよりずっと安価でかつ製造が容易である膜ポンプが提供される。

薄板バネが薄いプレートから作成されるので、正確に定義された中立点（バネの初期の位置）を有するバネになる。このバネの設計で、製造されるバネのすべてが確実に同じ中立点を受容し、性能および品質が保証される。

さらに、本発明による膜ポンプは、類似した性能および寿命を有するポンプより少ない構成要素でできている。

少なくとも２つの緩衝装置における心棒の緩衝を有し、少なくとも１つが少なくとも１つの薄板バネで構成され、それによって、表面は、伝統的な滑り軸受または類似した軸受が載置される必要はない。この設計により、伝統的に載置された軸受なしで、長寿命を有し、かつ低コストでポンプを製造することが可能になる。

互いに反転される少なくとも４つの脚部を有する少なくとも１つの薄板バネにおける心棒の緩衝を有する利点は、その幅によりバネが心棒に半径方向においてきわめて良好な横安定を提供し、同時に、軸方向における運動の容易さを提供することである。さらに、対の脚部が反転した薄板バネにより、軸方向の運動の間、心棒のあらゆる回転を伝達しない。

優れた位置決め精度を有する薄板バネからなる膜ポンプの設計により、類似した性能の実在する膜ポンプより比較的短いストロークの使用に結びつく。バネの優れた位置決め精度は、短いストロークのポンプの生成を可能にし、心棒が電磁石により近くで機能することを可能にし、より高圧の力が生じる。さらに、短いストロークにより、より長寿命を提供するように、膜における損耗が少なくなる。

優れた位置決め精度を有する薄板バネは、ポンプ回転位置における膜の減速の間、使用されるバネからの力のおかげで膜に長寿命を提供する。さらに、薄板バネに吸収される力は、伸張力および横圧を吸収することができるバネのおかげで、長寿命を有する比較的薄い膜の構造を提供する。

永久磁石の使用に比較して磁性の抵抗を使用する利点は、詳細部品をほとんど有さずに単純な設計を作ることが可能であるということである。
（実施の代替的な形状）

特定の好適な実施態様が詳述されてきたが、本発明の範囲内の変形物および変形例は当業者に明瞭であり、このような変形物および変形例のすべては、本発明の範囲内に含まれるとみなされる。したがって、心棒の重量または膜において発生する横圧が膜の強度を超える膜ポンプは、心棒の緩衝のため、追加的な薄板バネを備えていてもよい。

同様に、２つの電磁石がディスクの各々の側面に配置され、ポンプが真空および陽圧の両方のために強度を必要とする場合に使用されてもよい。

心棒は、さらに永久的な磁性の材料のキャリアであってもよい、または、永久的な磁性材料でできていてもよい。単一の外側のコイルの設置により、磁石が二方向において駆動されるのを可能にする。さらに、磁場は柔軟な磁性材料を用いて、それが軸方向の運動の一端で存在しない限り、磁石は止め具に引張られてもよいので、コイルを囲むように集中することができる。この設計により、比較的長いストロークが少ない力によって提供されることができる。永久磁石およびより複雑な詳細部品を使用するので、この設計はより費用がかかる。

バネの平面形状、および、少なくとも２つの脚部による構成は、設計のためには最高であるが、もちろん円形のような他の形状を有してもよい。バネはまた、３つの脚部のバネと同じ特徴を提供するため、心棒の長さに沿って同じ位置への取付けの目的で、各々が少なくとも１つの脚部で構成されるいくつかのバネに分割されることができる。

陰圧を発するために最適化された電磁駆動膜ポンプの第１の実施態様の横断面を示す。 陽圧を発するために最適化された電磁駆動膜ポンプの第２の実施態様の横断面を示す。 ４つの脚部を有する薄板バネを示す。 ３つの脚部を有する薄板バネを示す。 ２つの脚部を有する薄板バネを示す。 ６つの脚部を有する薄板バネを示す。

Claims (11)

1. ポンプ容器の内部の少なくとも１つの吸入口および少なくとも１つの放出口に少なくとも１つのポンプ室（１５）が形成され、
   該ポンプ容器の切妻と該ポンプ容器の壁に連結する少なくとも１つの完全に密封された膜（１４）との間で区切られるポンプ室（１５）から構成される液体またはガスを注入するための電磁駆動膜ポンプであって、
   該膜は、該ポンプ容器の軸方向に運転する心棒（１３）に取り付けられ、
   該心棒は、少なくとも２つの該心棒の縦方向に分離された緩衝において吊るされ、
   該緩衝の少なくとも１つは、該ポンプ容器の壁（４）の方へ放射方向に動作し取り付けられる該心棒に取り付けられる薄板バネ（９）で構成され、
   該心棒は、その縦方向の振動のため、電磁石（７）からの磁場によって駆動される磁性材料から部分的または完全に構成されまたは含みまたは担持し、該膜を対応する往復運動で動かす、液体またはガスを注入するための電磁駆動膜ポンプであって、
   該薄板バネ（９）が、内側および少なくとも１つの外側の部分で構成され、該外側の部分は、該ポンプ容器および該心棒（１３）の該内側の部分に取り付けられ、該バネが該心棒（１３）に取り付けられる点の反対側に配置する２つの弾性脚部によって互いに固定され、
   代替的には、該薄板バネ（９）が、１つの内側および少なくとも１つの外側の部分で構成され、前記外側の部分は、該ポンプ容器および該心棒（１３）の該内側の部分に取り付けられ、該バネが該心棒（１３）に取り付けられる点周辺で配置する少なくとも３つの弾性脚部によって互いに固定される、ことを特徴とする電磁駆動膜ポンプ。
2. 前記心棒の前記緩衝のうちの１つは前記膜で構成され、少なくとも１つの他の第２の緩衝は薄板バネで構成されることを特徴とする請求項１に記載の電磁駆動膜ポンプ。
3. 前記心棒の前記緩衝のうちの１つは薄板バネで構成され、第２の緩衝は薄板バネで構成されることを特徴とする請求項１に記載の電磁駆動膜ポンプ。
4. 前記薄板バネは偶数の量の脚部を有し、該脚部のうち半分は、他の半分に関して反転されていることを特徴とする請求項１から３のいずれかに記載の電磁駆動膜ポンプ。
5. 前記薄板バネは４つの脚部を有することを特徴とする請求項１から４のいずれかに記載の電磁駆動膜ポンプ。
6. 前記脚部は、各々の側面が比較的短い部分（２２）および（２３）によって連結される比較的長い部分（１６）で構成されることを特徴とする請求項１から５のいずれかに記載の電磁駆動膜ポンプ。
7. 前記薄板バネはばね鋼からなることを特徴とする請求項１から６のいずれかに記載の電磁駆動膜ポンプ。
8. 前記薄板バネは弾性プラスチックからなることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の電磁駆動膜ポンプ。
9. 前記薄板バネは弾性合成物からなることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の電磁駆動膜ポンプ。
10. 前記吸入口および前記放出口は逆止め弁を備えていることを特徴とする請求項１から７のいずれかに記載の電磁駆動膜ポンプ。
11. 前記電磁石は中空であることを特徴とする請求項１から８のいずれかに記載の電磁駆動膜ポンプ。

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