JP6957587B2 - 荷電粒子ビーム装置、荷電粒子ビーム装置のための交換可能マルチ開孔構成、および荷電粒子ビーム装置を操作するための方法 - Google Patents
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Description
4 光軸
7 サンプルステージ
8 サンプル
10 対物レンズ
12 走査偏向器
14 一次荷電粒子ビーム
14A、14B、14C ビームレット
20 荷電粒子源
21 面
100 荷電粒子ビーム装置
101 カラムハウジング
102 仮想発生源
110 集束レンズ構成
112 第1の集束レンズ
113 第2の集束レンズ
114 ビームセパレータ
115 磁気偏向器
120 開孔アレイのアセンブリ、開孔構成
121A 開孔アレイ
122 第1の開孔アレイ、第1の開孔アセンブリ
123 アクチュエータアセンブリ
124 複数の第1の開口
126 第2の開孔アレイ、第2の開孔アセンブリ
128 複数の第2の開口
130 多重極構成
132 第1の多重極段
134 第2の多重極段
150 可動ステージ
170 検出器アセンブリ
172 集束レンズ
174、176 偏向器
310 静電レンズ構成
320 ケーシング
350 シールド
410 電気接続
422 第1のステージ
424 第2のステージ
426 開口
428 開口
430 防振支持体
432 開口
440 ステージ支持体
450 バルブプレート
Claims (13)
- 荷電粒子ビーム装置であって、
荷電粒子ビームを放出するように構成された荷電粒子源と、
少なくとも第1の開孔アレイおよび第2の開孔アレイを有する開孔アレイのアセンブリを含む可動ステージと
を含み、
前記可動ステージが、前記第1の開孔アレイまたは前記第2の開孔アレイのいずれかのうち選択されたものを前記荷電粒子ビームに位置合わせするように構成され、
前記第1の開孔アレイが、前記可動ステージに結合された第1のシールドチューブを含み、
前記第2の開孔アレイが、前記可動ステージに結合された第2のシールドチューブを含み、
前記荷電粒子ビーム装置は電子顕微鏡であり、
前記第1の開孔アレイが、前記電子顕微鏡の第1の動作モードのための少なくとも2つの開孔を有し、前記第2の開孔アレイが、前記電子顕微鏡の第2の動作モードのための少なくとも1つの開孔を有し、
前記第1の開孔アレイが、前記第1の開孔アレイの前記少なくとも2つの開孔の各々に位置合わせされた少なくとも2つの偏向器を含み、前記第2の開孔アレイが、前記第2の開孔アレイの前記少なくとも1つの開孔に位置合わせされた少なくとも1つの偏向器を含む、荷電粒子ビーム装置。 - 前記可動ステージが、前記開孔アレイを平行移動させるように構成されたアクチュエータアセンブリを含む、請求項1に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記可動ステージが、前記開孔アレイを回転させるように構成されたアクチュエータアセンブリを含む、請求項1または2に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記可動ステージがピエゾステージである、請求項1から3までのいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記可動ステージが防振支持体に装着される、請求項1から4までのいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記可動ステージが、前記開孔アレイの平行移動および回転のうちの少なくとも1つにより前記第1の開孔アレイの前記少なくとも2つの開孔または前記第2の開孔アレイの前記少なくとも1つの開孔のいずれかを前記荷電粒子ビームに位置合わせする、請求項1から5までのいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記第1の開孔アレイの少なくとも2つの開孔のサイズは、第2の開孔アレイの少なくとも1つの開孔のサイズとは異なる、請求項1から6までのいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記第1のシールドチューブと前記第2のシールドチューブは、ライナーチューブの形態をとる、請求項1から7までのいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- x方向に移動可能であり、第1の数のシールドを有する前記可動ステージの一部に、前記開孔アレイのアセンブリが設けられ、y方向に移動可能である前記可動ステージの一部が、前記第1の数のシールドよりも少ない第2の数のシールドを含む、請求項1から8までのいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記可動ステージが、第1の可動構成要素および第2の可動構成要素を含み、前記第1の可動構成要素および前記第2の可動構成要素は、異なる数のシールドチューブを含む、請求項1から8までのいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 前記可動ステージが、前記第1の開孔アレイおよび前記第2の開孔アレイに接続された電気回路を含む、請求項1から10までのいずれか1項に記載の荷電粒子ビーム装置。
- 荷電粒子ビーム装置を操作するための方法であって、
荷電粒子ビームに位置合わせされた第1の開孔アレイを変更するために可動ステージを操作することであり、前記第1の開孔アレイが、前記可動ステージに結合された第1のシールドチューブを有し、前記第1の開孔アレイを前記荷電粒子ビームから移動させ、前記可動ステージに結合された第2のシールドチューブを有する第2の開孔アレイを前記荷電粒子ビームに位置合わせすることにより、前記荷電粒子ビーム装置の操作モードを変更する、操作することを含み、
前記荷電粒子ビーム装置は電子顕微鏡として操作され、
前記第1の開孔アレイが、前記電子顕微鏡の第1の動作モードのための少なくとも2つの開孔を有し、前記第2の開孔アレイが、前記電子顕微鏡の第2の動作モードのための少なくとも1つの開孔を有し、
前記第1の開孔アレイが、前記第1の開孔アレイの前記少なくとも2つの開孔の各々に位置合わせされた少なくとも2つの偏向器を含み、前記第2の開孔アレイが、前記第2の開孔アレイの前記少なくとも1つの開孔に位置合わせされた少なくとも1つの偏向器を含む、方法。 - 第1の開孔アレイおよび第2の開孔アレイが、電気的に制御可能であるように構成される、請求項12に記載の方法。
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