JP2009295846A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 被着体を支持するテーブルと、当該テーブルを収容するとともに内部に減圧室を形成する開閉可能なケースと、前記被着体に臨む位置に接着シートを供給する供給手段とを含み、前記ケースを閉塞して減圧室の圧力を所定制御して接着シートを被着体に押圧して貼付するシート貼付装置において、
   前記テーブルに相対する位置でケース内に配置された挟込手段を更に含み、当該挟込手段は、前記ケースを閉塞して単一の減圧室が形成された状態で、前記テーブルと相互に作用して被着体の外周部のみに接して当該被着体の外周部を接着シートと共に挟み込むことを特徴とするシート貼付装置。
2. 前記挟込手段は、前記接着シートと被着体との間に、前記減圧室から独立した貼付前空間を形成することを特徴とする請求項１記載のシート貼付装置。
3. 前記テーブルは前記被着体の外周部を下方から支持する支持凸部を備える一方、前記挟込手段は前記支持凸部に対応するとともに接着シートの上方から当該接着シートを挟み込む挟込凸部を備えていることを特徴とする請求項１又は２記載のシート貼付装置。
4. 被着体を支持するテーブルと、当該テーブルを収容するとともに内部に減圧室を形成する開閉可能なケースと、前記被着体に臨む位置に接着シートを供給する供給手段とを含むシート貼付装置を用いたシート貼付方法において、
   前記テーブルに板状部材を支持する工程と、前記板状部材に相対する位置に接着シートを供給する工程と、前記ケースを閉塞して減圧室を形成する工程と、前記減圧室を減圧する工程と、前記テーブルと相互に作用して板状部材の外周部のみに接して当該被着体の外周部を接着シートと共に挟み込む工程と、前記減圧室の減圧を解除して接着シートを板状部材に押圧して貼付する工程とを含むことを特徴とするシート貼付方法。
5. 前記被着体の外周部を下方から支持する支持凸部と、この支持凸部に対応するとともに接着シートの上方から当該接着シートを挟み込む挟込凸部とにより板状部材の外周部を接着シートと共に挟み込むことを特徴とする請求項４記載のシート貼付方法。