JP2009294127A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】低ノイズであり、角速度の検出再現性が向上された半導体装置を提供する。
【解決手段】XYZ三次元座標系内で、X軸方向、Y軸方向及びZ軸方向へ運動できる振動子100を有する半導体装置において、振動子100と接触しないように振動子100が格納される筐体201−203と、振動子100をZ軸方向に往復運動させる駆動手段401−402と、振動子100と筐体201−203とが物理的に接触しないように振動子100の運動を制御する制御手段501−506と、振動子100と筐体201−203との相対位置の変化量を検出する検出手段601−610と、を有することを特徴とする。
【選択図】図1
【解決手段】XYZ三次元座標系内で、X軸方向、Y軸方向及びZ軸方向へ運動できる振動子100を有する半導体装置において、振動子100と接触しないように振動子100が格納される筐体201−203と、振動子100をZ軸方向に往復運動させる駆動手段401−402と、振動子100と筐体201−203とが物理的に接触しないように振動子100の運動を制御する制御手段501−506と、振動子100と筐体201−203との相対位置の変化量を検出する検出手段601−610と、を有することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明は、加速度又は角速度センサに利用される半導体装置に関し、特に、XYZ三次元座標系において、複数の軸方向の加速度と複数の軸回りの角速度とを検出できる加速度又は角速度センサに利用される半導体装置に関する。
近年、車載用機器や携帯端末などに高性能・小型・低価格の加速度センサや角速度センサの搭載が進んでいる。
その中では、複数の軸方向の加速度又は複数の軸まわりの角速度を1センサで検出できる多軸加速度センサや多軸角速度センサの要求が高い。
実用化された例としては、モバイル機器のハードディスクドライブ落下検出用3軸加速度センサや、カメラ・ビデオの手ブレ補正用2軸角速度センサなどがある。
さらには、例えば、ヒューマノイドロボットなどのように、より高度かつ複雑な運動を正確に動作・制御する目的で、多軸加速度センサと多軸角速度センサの両方を搭載する要求も高まってきている。
このため、特許文献1−3に示すような1チップ・1センサで複数の軸方向の加速度と複数の軸回りの角速度とを検出できる加速度・角速度センサが提案されている。
特許第3534251号明細書
特許第3008074号明細書
特開2004−333327号公報
しかし、特許文献1記載の角速度センサは、振動子が可撓部を通して固定部と連結しているため、固定部に加わった衝撃が振動子に伝わってノイズが増大することがあった。
特許文献1記載の角速度センサでは、振動子に作用するコリオリ力から角速度を求めているが、コリオリ力は重力などの外力と比較して微小なため、ノイズの増大は角速度の検出精度低下の原因となる。
また、特許文献1記載の角速度センサは、動作時に振動子と可撓部との連結部を中心とした回転運動が振動子に加わることで振動面が脈動してしまうことがある。そのため、振動子に作用するコリオリ力の大きさがばらついて、再現性よく角速度を求めることが難しかった。
一方、特許文献2及び3記載のジャイロ装置は、ジャイロロータが静電気力で浮上して、ジャイロケースと物理的に接触しない構造であるため、外部からの衝撃などによるノイズは比較的小さい。
しかし、ジャイロロータに作用するトルクから角速度を検出する方式をとっているため、高精度で角速度を検出するためにはジャイロロータを高速で回転させる必要がある。そのため、電源投入から所望の回転数に達するまでに長い時間を要することがあった。
さらに、特許文献1−3記載の加速度・角速度センサは、以下に示すことが起こることがある。
特許文献1記載の角速度センサは振動子が可撓部に連結しているため、上記した振動面の脈動などで振動子が固定部に対して傾斜することがある。
また、特許文献2又は3記載の加速度・角速度センサは回転運動のトルクから角速度を検出する原理上、ジャイロロータはジャイロケース内で傾斜することがある。
したがって、いずれの加速度・角速度センサにおいても、場合によっては動作中に傾斜した振動子(又はジャイロロータ)が固定部(又はジャイロケース)と接触してしまう可能性がある。
このため、振動子(ジャイロロータ)に対してそれを取り囲む固定部(ジャイロケース)の寸法を大きくとらなければならなかった。
また、振動子(ジャイロロータ)と固定部(ジャイロケース)との間隔を大きくとることで、微小な間隔変化の検出が難しくなり、加速度・角速度の検出精度が低下することがあった。
そこで、本発明は、半導体装置において、上記の課題を解決することを目的とする。
本発明は、上記課題を解決するための手段として、XYZ三次元座標系内で、X軸方向、Y軸方向及びZ軸方向へ運動できる振動子を有する半導体装置において、前記振動子と接触しないように前記振動子が格納される筐体と、前記振動子をZ軸方向に往復運動させる駆動手段と、前記振動子と前記筐体とが物理的に接触しないように前記振動子の運動を制御する制御手段と、前記振動子と前記筐体との相対位置の変化量を検出する検出手段と、を有することを特徴とする。
本発明によれば、振動子が筐体と連結していないことから、筐体への衝撃など外部からの影響が少なくなるので、低ノイズになる。
本発明によれば、振動面が脈動せず安定した単振動が得られるので、角速度の検出再現性を向上する。
本発明によれば、可撓部の形成が不要となり製造工程を短縮できるので、低コストになる。
本発明によれば、振動子の運動が単振動のため、運動量が小さく、短時間で安定した運動が得られるようになるので、起動時間が早くなる。
本発明によれば、振動子の運動が回転運動ではなく単振動のため、電極構造・駆動回路を簡素化できるので、低コストになる。
本発明によれば、振動子が筐体内で傾斜しないため、振動子との間隔を必要最小限とした大きさの筐体が利用できるので、小型になる。
本発明によれば、振動子と筐体との間隔が小さいため、間隔の微小な変化を検出しやすくなるので、高精度になる。
以下、添付図面を参照して本発明を実施するための最良の実施の形態を説明する。本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態のみに限られるものではない。
[実施形態1]
図1は、本発明の第1の実施形態としての半導体装置を示す図である。
図1は、本発明の第1の実施形態としての半導体装置を示す図である。
図1(a)は、本実施の形態の半導体装置を上面から見た平面図であり、図1(b)は、図1(a)においてB−B線で切断した際の断面図であり、図1(c)は、図1(a)においてC−C線で切断した際の断面図である。
図1において、100は振動子、201−203は筐体、300は空洞部、401−402は駆動手段としての駆動電極、501−506は制御手段としての制御電極、601−610は検出手段としての検出電極を示す。また、図1における各方向にX・Y・Zの各軸をとる。
図1において、振動子100は、筐体201−203に格納され、筐体201−203と接触しないように、空洞部300内に配置されている。振動子100の周囲には駆動電極401−402、制御電極501−506、検出電極601−610が各々配置されている。振動子100は、XYZ三次元座標系内で、X軸方向、Y軸方向及びZ軸方向へ運動できる。
ここでは振動子100と対向して、X軸方向に制御電極501及び502と検出電極601−604が設けられている。Y軸方向に制御電極503及び504と検出電極605−608が設けられている。Z軸方向に駆動電極401並びに402と制御電極505並びに506及び検出電極609並びに610を設けている。
このとき振動子100は、図1(a)及び(b)に示すように筐体201−203、駆動電極401−402、制御電極501−506及び検出電極601−610のいずれとも物理的に接触していない。その理由を以下に説明する。
電源投入前の振動子100は接地されているストッパ電極(不図示)と接触している。振動子100は後記するように導電体とみなし得るものとする。
いま、電源を投入して駆動電極401−402に電圧を印加すると、駆動電極401−402と振動子100との間に電位差が生じるため、振動子100に電荷が誘導されて静電気力が発生する。
このため適当な電位差を定めることで振動子100を浮上させることができる。
また、X軸・Y軸・Z軸の各方向に設けられた制御電極501−506に電圧を印加すると、同様に制御電極501−506と振動子100との間に静電気力が発生する。このようにすることで、振動子100を空洞部300内に非接触状態で静電浮上させることができる。
このとき空洞部300内は、振動子100を高速で振動(数十kHz程度)できるよう真空状態にしておくことが望ましい。
このため、空洞部300内で振動子100、駆動電極401−402、制御電極501−506、検出電極601−610と物理的に接触しない領域に、不純物ガスを吸着するゲッタ材(不図示)を設置している。
この非接触静電浮上は特許文献2及び3記載のジャイロ装置と同様の原理に基づいている。
またX軸及びY軸の各方向に設けられた制御電極501−504と検出電極601−608は、図1(a)及び(c)に示すようにXY方向では各々が物理的に分離して、電気的に絶縁されている。検出電極601−610は、振動子100と筐体201−203との相対位置の変化量を検出する。なお、上記したストッパ電極のほか、各電極へ接続されている配線については図示していない。
本実施形態における半導体装置の動作について説明する。
いま、振動子100は、X軸・Y軸・Z軸の各方向に設けられた検出電極601〜610の各々と等距離の位置で静電浮上している。この位置を原点とする。ここで駆動電極401及び402に交流電圧を印加すると、静電気力によって振動子100がZ軸方向に往復運動をする。このとき振動子100は原点位置から移動するため、振動子100と検出電極601−610の各々との距離が変化する。
また、振動子100に重力などの外力が作用した場合も、振動子100と検出電極601−610の各々との距離は変化する。検出電極601−610は、この距離変化を静電容量の変化として検出する。
続いて、振動子100が原点位置に戻るように位置調整を行うが、その内容はXY方向とZ軸方向とで異なる。
XY方向については、X軸方向及びY軸方向に設けられた検出電極601−608と振動子100間の距離が等しくなるよう、制御電極501−504に電圧を印加して静電気力を発生させて、振動子100の位置を調整する。
Z軸方向については、周期的に振動子100が往復運動している。そのため、検出電極609及び610との距離が往復周期に応じて所望の値をとるよう、制御電極505及び506に電圧を印加して静電気力を発生させて、振動子100の運動を調整する。
これらの静電気力は、検出電極601−610の各々で検出した静電容量の変化量から演算して、制御電極501−506に印加される。
続いて、本実施形態における半導体装置での加速度・角速度の検出方法について説明する。
外力によって振動子100が原点から移動した場合、制御電極501−506へ電圧を印加して、振動子100へ静電気力を与えて、その位置を原点へ戻す。このときの静電気力の大きさは振動子100の位置を移動させた外力の大きさと等しい。したがって与えた静電気力F、振動子の質量m、外力による加速度aとの間に、
この関係はX軸・Y軸・Z軸の各方向に対して成り立つので、数1から外力によるX軸・Y軸・Z軸各方向の加速度の大きさを求めることができる。
一方、Z軸方向へ往復運動している振動子100に、運動方向と垂直なX軸まわり又はY軸まわりに回転力が作用すると、運動方向と回転軸のそれぞれに垂直な方向に振動子100がずれていく。
例えば、X軸まわりに回転運動が作用するとY軸方向へ、Y軸まわりに回転運動が作用するとX軸方向へ、運動方向がずれていく。このずれを発生させる力がコリオリ力であり、振動子の質量m、振動子の単位時間あたりのZ軸方向への振動子の変位量dz/dt、回転方向の角速度ωとすると、コリオリ力Fcの大きさは、
以上説明したように、加速度又は角速度の検出は、外力又はコリオリ力から求めるため、振動子の位置変化がそのいずれによるものであるか判別する必要がある。
コリオリ力は、数2に示す通り、Z軸方向への振動子の変位量dz/dtに依存する。すなわち振動子の振動周期又は振動数に依存する。一方、外力は数1に示す通り、Z軸方向への振動子の変位量dz/dtとは無関係である。
したがって、公知の比較演算回路などを用いて振動子の駆動信号と変位量の出力信号とを比較することで、駆動信号と出力信号とが同期している場合をコリオリ力、同期していない場合を外力と判別することができる。
第1の実施形態に示す構成をとることで、高精度で信頼性の高い加速度・角速度センサを提供することができる。
図1に示す半導体装置を具体的に作製した一例を以下に示す。直径150mm、厚さ500μmのパイレックス(登録商標)ガラス基板2枚にレジストパターニングを施し、エッチングを行なって振動子の位置する部分に凹部を形成する。ここでは希フッ酸によって深さ5μmのエッチングを行なった。
続いて、ガラス基板上の凹部に駆動電極・制御電極・検出電極を形成する。ここでは金・クロム積層膜のリフトオフを採用した。
この後、ガラス基板の1枚(以下、第1のガラス基板とする)の凹部・駆動電極・制御電極・検出電極が形成された面をp型シリコン基板と陽極接合によって貼り合わせて第1の貼合基板を作成する。ここで、p型シリコン基板の具体的なサイズは、直径150mm、厚さ50μm、比抵抗0.01〜0.03Ωcm程度である。
続いて、第1の貼合基板のシリコン基板面上にレジストパターニングを施し、エッチングを行ってX軸・Y軸方向の筐体・制御電極・検出電極及び振動子を形成する。
ここでは代表的なシリコンの異方性ドライエッチングであるボッシュプロセスを採用した。
第1の貼合基板において、X軸・Y軸方向の筐体と制御電極・検出電極は第1のガラス基板と接合されているが、振動子は第1のガラス基板の凹部上へ形成されるため、上記エッチング後に第1のガラス基板から分離している。
このため、この工程から、もう1枚のガラス基板(以下、第2のガラス基板とする)と第1の貼合基板とを貼り合わせる工程までは、第1の貼合基板のシリコン基板面を上向きの状態で取り扱う。このようにすることで、振動子が第1の貼合基板に載ったままで落下しないようにした。
XY平面に沿った筐体と制御電極・検出電極及び振動子は、比抵抗0.01〜0.03Ωcmのp型シリコンの同一部材で形成されており、導電体とみなすことができる。各電極間には空隙を設けて互いを絶縁した。
振動子は1.5mm×1.5mm×0.05mmの立体形状をとり、振動子と制御電極・検出電極との距離は、X軸・Y軸方向各5μmとした。
続いて、第1のガラス基板とX軸・Y軸方向の筐体とで囲まれた空間内で、振動子・各電極と物理的に接触しない領域に、非蒸発型ゲッタ材を設置する。
この後、第2のガラス基板の凹部・駆動電極・制御電極・検出電極が形成された面を、第1の貼合基板のシリコン基板面と貼り合わせて第2の貼合基板を作成する。貼り合わせ処理は温度300℃、圧力0.133Paの減圧条件下で陽極接合によって行なった。これによって第2の貼合基板に第1・第2のガラス基板とシリコン基板とで覆われた空洞部が形成される。
この後、温度450℃の熱処理を行なってゲッタ材を活性化して、陽極接合時に発生した酸素を吸着させることで、空洞部内を上記した減圧状態に確保する。
なお、振動子100には、金属材料などの導電体、磁性体などを用いることができる。
この半導体装置において、振動子を周波数20kHz、振幅3μmで単振動させたときの加速度感度は2.0V/G、角速度感度は6.5mV/deg/sec、加速度分解能は0.003μG、角速度分解能は0.024mdeg/secであった。
これにより、従来型で同程度のサイズの加速度・角速度センサと比較して、より高分解能での加速度・角速度検出を実現できた。
本実施形態では具体例として種々の手法や数値を挙げているが、いずれもここに挙げた手法・数値のみに限定されず、目的に応じて自由に選択することが可能である。一例を挙げれば図1では駆動電極は矩形をしているが、円形・十字形など形状の制限なく適用することが可能である。
[実施形態2]
図2は、本発明の第2の実施形態としての半導体装置を示す図である。
図2は、本発明の第2の実施形態としての半導体装置を示す図である。
図2(a)は、本実施の形態の半導体装置を上面から見た平面図であり、図2(b)は、図2(a)においてB−B線で切断した際の断面図であり、図2(c)は、図2(a)においてC−C線で切断した際の断面図である。図中の数字・記号などは図1と同一である。
本実施形態と第1の実施形態との相違点は、駆動電極とZ軸方向の制御電極とを共通化した点である。すなわち図1におけるZ軸方向の制御電極505及び506を省略して、駆動電極401及び402にその機能を付加させている。
駆動電極・制御電極はいずれも振動子のZ軸方向の運動を規定する機能を有することから、共通化することが可能である。
このことで、配線数の削減などの簡素化を図ることができる効果がある。また限られたスペースの中で各々の電極面積を広くすることができる。また、このことで、駆動電極では大きな静電気力を印加することができ、検出電極では検出感度を向上できる効果がある。
[実施形態3]
図3は、本発明の第3の実施形態としての半導体装置を示す図である。
図3は、本発明の第3の実施形態としての半導体装置を示す図である。
図3(a)は、本実施の形態の半導体装置を上面から見た平面図であり、図3(b)は、図3(a)においてB−B線で切断した際の断面図であり、図3(c)は、図3(a)においてC−C線で切断した際の断面図である。図中の数字・記号などは図1と同一である。
本実施形態と他の実施形態との相違点は、検出電極がZ軸方向のみに設けられており、X軸・Y軸方向は制御電極のみ配置され、Z軸方向の制御電極と駆動電極が共通化されている点である。
すなわち、X軸方向に制御電極501並びに502、Y軸方向に制御電極503並びに504、Z軸方向に検出電極601−608及び制御電極の機能を付加した駆動電極401並びに402とを設けている。検出電極は図3に示すように配置することで、Z軸方向のみに設けてもXYZ各方向への振動子の変位量を求めることが可能である。
このことで、配線数の削減などの簡素化を図ることができる効果がある。また限られたスペースの中で各々の電極面積を広くすることができる。このことで、駆動電極は低電圧でも大きな静電気力を得ることができ、検出電極では検出感度を向上できる効果がある。
[実施形態4]
図4は、本発明の第4の実施形態としての半導体装置を示す図である。
図4は、本発明の第4の実施形態としての半導体装置を示す図である。
図4(a)は、本実施の形態の半導体装置を上面から見た平面図であり、図4(b)は、図4(a)においてB−B線で切断した際の断面図であり、図4(c)は、図4(a)においてC−C線で切断した際の断面図である。図中の数字・記号などは図1と同一である。
本実施形態と他の実施形態との相違点は、XYZ各方向で、駆動電極・制御電極・検出電極をそれぞれ共通化している点である。すなわち、各方向に設けた検出電極601−606は制御電極の機能が付加されており、さらにZ軸方向の検出電極605及び606には振動子100の駆動機能も付加されている。
この場合、電極間の静電容量の測定信号と、電圧を印加して振動子に静電気力を与える信号とを指定したタイミングで印加することで、測定と駆動・制御とを1組の電極から行なうことができる。
このため、センサ上の配線数削減などの簡素化を図ることができる効果がある。またXYZ各方向で電極面積を広くすることが可能なため、低電圧でも大きな静電気力で駆動・制御でき、かつ検出感度を向上できる効果がある。
本発明はXYZ三次元座標系において、複数の軸方向の加速度と複数の軸回りの角速度とを検出できる加速度・角速度センサに関するものであり、輸送用機器・産業用機器・情報家電などの分野に利用できる。具体的には、自動車・船舶・航空機の姿勢制御・ナビゲーション、産業用・アミューズメント用ロボットの動作・姿勢制御、カメラ・ビデオの手ブレ補正、携帯端末のゲームコントローラ・ナビゲーションなどに対して好適である。
100 振動子
201−203 筐体
300 空洞部
401−402 駆動電極
501−506 制御電極
601−610 検出電極
201−203 筐体
300 空洞部
401−402 駆動電極
501−506 制御電極
601−610 検出電極
Claims (10)
- XYZ三次元座標系内で、X軸方向、Y軸方向及びZ軸方向へ運動できる振動子を有する半導体装置において、
前記振動子と接触しないように前記振動子が格納される筐体と、
前記振動子をZ軸方向に往復運動させる駆動手段と、
前記振動子と前記筐体とが物理的に接触しないように前記振動子の運動を制御する制御手段と、
前記振動子と前記筐体との相対位置の変化量を検出する検出手段と、を有することを特徴とする半導体装置。 - 前記振動子と前記筐体との相対位置の変化量から、前記振動子に与えられたX軸方向、Y軸方向並びにZ軸方向の加速度及びX軸まわり並びにY軸まわりの角速度を演算することを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記駆動手段が、前記振動子のZ軸方向の運動を制御する制御手段と同じものであることを特徴とする請求項1又は2記載の半導体装置。
- 前記検出手段が、Z軸方向のみに設けられていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項記載の半導体装置。
- 前記制御手段と前記検出手段とが、X軸方向、Y軸方向及びZ軸方向の少なくとも一つの方向について同一のものであることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項記載の半導体装置。
- 前記角速度は、前記振動子に印加されたコリオリ力から演算されることを特徴とする請求項1から5のいずれか1項記載の半導体装置。
- 前記駆動手段及び前記制御手段の少なくとも一つが静電気力で前記振動子を制御することを特徴とする請求項1から6のいずれか1項記載の半導体装置。
- 前記検出手段は静電容量を検出することで、前記振動子と前記筐体との相対位置の変化量を検出することを特徴とする請求項1から7のいずれか1項記載の半導体装置。
- XY平面に沿って前記振動子の周囲に配置された電極を有し、前記電極が前記振動子と同一部材からなることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項記載の半導体装置。
- 前記振動子がシリコンからなることを特徴とする請求項1から9のいずれか1項記載の半導体装置。
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