JP2009291942A - 研磨パッド - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ショアD硬度が50以上、圧縮率が1.3〜5.5%、かつ圧縮回復率が50%以上である合成樹脂製の研磨パッドとする。
【選択図】 なし
Description
圧縮率(%)=100(T1 −T2 )/T1
圧縮回復率(%)=100(T3 −T2 )/(T1 −T2 )
ここにT1 〜T3 は、直径5mmの円筒状の圧子を使用し、
T1 :無負荷状態から60秒かけて300g/cm2 の応力を負荷したときのシートの厚み
T2 :T1 の状態から60秒かけて1800g/cm2 の応力を負荷したときのシートの厚み
T3 :T2 の状態から60秒かけて300g/cm2 の応力とした後、300g/cm2 の応力に60秒保持したときのシートの厚み
である。
0.01≦a/(b+c)≦1
c/b≦1
3≦a+b+c≦50
が満足されるものであることが好ましい。
空洞率(%)=100×(真比重−見かけ比重)/真比重
により計算される。
圧縮回復率(%)=100(T3 −T2 )/(T1 −T2 )
T1 :無負荷状態から60秒かけて300g/cm2 の応力を負荷したときのシートの厚み
T2 :T1 の状態から60秒かけて1800g/cm2 の応力を負荷したときのシートの厚み
T3 :T2 の状態から60秒かけて300g/cm2 の応力とした後、300g/cm2 の応力に60秒保持したときのシートの厚み
である。
固有粘度0.62のポリエチレンテレフタレート(PET)85重量部とメルトフローインデックス2.0のポリスチレン(三井東圧株式会社製トーポレックス570−57U)15重量部との混合物をベント式二軸押出機に供給して混練し、その押出機のTダイより、温度30℃の冷却ドラム上に押し出して、厚み1800μmの未延伸シートを得た。引き続き、この未延伸シートを85℃に加熱し、延伸ロールにて3.4倍の縦延伸を施した。次いで、120℃に加熱してテンターで3.2倍の幅方向延伸を行った。このようにして得られたシートの厚みは235μmで、見かけ比重は1.005、空孔率は約30%であった。さらに、この空洞含有ポリエステルシートを4枚、接着剤層を介して積層し、厚み0.95mmのシート(空洞含有ポリエステルシート1)を得た。
(空洞含有ポリエステルシート1)をに対して直径2mm、5mmピッチのパンチング処理を行った後、直径300mmの円板状に打ち抜き、研磨パッドサンプル1とした。このようにして得られた研磨パッドサンプル1は、空洞密度が13500個/mm2 、圧縮率は1.9%、圧縮回復率は75%、ショアD硬度は67であった。
研磨パッドサンプル1の作製に使用した空洞含有ポリエステルシート1の表面に10mm間隔で幅2mm,深さ0.4mmの格子状の溝を形成し、直径300mmの円板状に打ち抜き、研磨パッドサンプル2とした。このようにして得られた研磨パッドサンプル2は、研磨パッドサンプル1と同じく、空洞密度が13500個/mm2 、圧縮率は1.9%、圧縮回復率は75%、ショアD硬度は67であった。
固有粘度0.62のポリエチレンテレフタレート(PET)85重量部とメルトフローインデックス2.5のポリプロピレン(住友化学製FS2011)15重量部との混合物をベント式二軸押出機に供給して混練し、その押出機のTダイより、温度30度Cの冷却ドラム上に押し出して、厚み3500μmの未延伸シートを得た。引き続き、この未延伸シートを125℃に加熱し、延伸ロールにて5倍の縦延伸を施した。次いで、テンターで165℃に加熱し、5倍の幅方向延伸を行った。このようにして得られたシートの厚みは230μmで、比重は0.59、空孔率は約35%であった。さらにこの空洞合有シートを4枚、接着剤層を介して積層して厚み0.94mmのシート(空洞合有シート2)を得た。
市販のポリウレタン製研磨パッドである、IC−1000A21(上層)/SUBA400(下層=クッション層)積層体パッド(ロデール社製)を研磨パッドサンプル4とした。
固有粘度0.62のポリエチレンテレフタレート90重量部とメルトフローインデックス2.0のポリスチレン10重量部との混合物をを使用し、(空洞含有シート1)と同様の方法により、縦延伸及び幅方向延伸を実施し、厚み170μmの空洞含有シート(空洞含有シート3)を作製した。得られたシートの比重は1.31で、空洞含有率は6%であった。このシートを研磨パッドサンプル1と同様に、接着剤層を介して5枚積層して厚さ0.85mmのシートとした後にパンチング処理を施し、直径300mmの円板状に打ち抜き、研磨パッドサンプル5を得た。研磨パッドサンプル5の空洞密度は1000個/mm2 、圧縮率は0.7%、圧縮回復率は89%、ショアD硬度は70であった。
固有粘度0.62のポリエチレンテレフタレート60重量部とメルトフローインデックス2.0のポリスチレン40重量部との混合物をを使用し、(空洞含有シート1)と同様の方法により、縦延伸及び幅方向延伸を実施し、厚み340μmの空洞含有シート(空洞含有シート4)を作製した。得られた(空洞含有シート4)の比重は1.31で、空洞含有率は6%であった。このシートを研磨パッドサンプル1と同様に、接着剤層を介して3枚積層して厚さ1.02mmのシートとした後にパンチング処理を施し、直径300mmの円板状に打ち抜き、研磨パッドサンプル5を得た。研磨パッドサンプル5の空洞密度は23000個/mm2 、圧縮率は6.0%、圧縮回復率は45%、ショアD硬度は48であった。
単結晶シリコン表面に5000オングストロームのSiO2 膜を形成したウエハーを加工材として、評価に使用し、以下の条件で研磨評価を行った。研磨装置としては、試験研磨装置として一般的なラップマスター/LM15(φ4インチ対応)を使用した。また研磨スラリーとしては、セリア(CeO2 )ゾル(日産化学社製)を使用した。研磨ヘッドに被加工材であるウエハーを水吸着/標準バッキング材(NF200)条件にて保持し、プラテン(研磨パッド支持台)に上述の研磨パッドサンプル1〜6をそれぞれ貼りつけて固定し、研磨圧力として200g/cm2 、研磨ヘッドとプラテン間の相対速度として、30m/minを与え、研磨スラリー供給速度110cc/minにて2分間研磨操作を行い、研磨速度を測定した。
研磨後のφ4インチのウエハーの研磨面25箇所についてRmax 、Rmin を触針計を使用して測定し、式100×(Rmax −Rmin )/(Rmax +Rmin )による数値(%)を求め、ウエハー面全体のNon-uniformityの評価結果とした。結果は表1に示した。
Claims (3)
- マトリックス樹脂としてポリエステル樹脂と、ポリスチレン系樹脂、ポリメチルペンテン系樹脂、及びポリプロピレン系樹脂からなる群より選択される少なくとも1種の非相溶性熱可塑性樹脂とを含有する独立空洞含有ポリエステルシートからなり、ショアD硬度が50以上、圧縮率が1.3〜5.5%、圧縮回復率が50%以上であり、かつ独立空洞の形状が長径5〜30μm、短径1〜4μm、及び深さ1〜5μmの偏平形状であることを特徴とする研磨パッド。
- 独立空洞含有ポリエステルシートは、空洞率が20〜80体積%である請求項1に記載の研磨パッド。
- 非相溶性熱可塑性樹脂の含有量は、ポリエステル樹脂100重量部に対して3〜50重量部である請求項1又は2に記載の研磨パッド。
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-
2009
- 2009-09-18 JP JP2009217723A patent/JP4873667B2/ja not_active Expired - Lifetime
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9314898B2 (en) | 2010-03-24 | 2016-04-19 | Toyo Tire & Rubber Co., Ltd. | Polishing pad |
US9469013B2 (en) | 2011-06-08 | 2016-10-18 | Ebara Corporation | Method and apparatus for conditioning a polishing pad |
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