JP2009287980A - 外観検査装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一定方向に送られる被検査物5の表面に斜光照明を行うライン状光源2と、該光源からの光の被検査物表面での反射光を捕らえるラインセンサ型カメラ1と、上記カメラの出力画像の明暗から欠陥を検出する画像処理回路3とからなる。上記光源の光軸L2と被検査物表面との交点の位置を、上記カメラの光軸L1と被検査物表面との交点の位置からずらして、上記光源の光軸と被検査物表面とがなす角度αよりも、上記光源からカメラの光軸と被検査物表面との交点の位置に至る光が被検査物表面とがなす角度α’を小さくする。
【選択図】図1
Description
2 ライン状光源
3 画像処理回路
5 被検査物
6 凹み
7 汚れ
L1 光軸
L2 光軸
Claims (2)
- 一定方向に送られる被検査物の表面に斜光による照明を行うライン状光源と、該光源からの光の被検査物表面での反射光を捕らえるラインセンサ型カメラと、上記カメラの出力画像の明暗から欠陥を検出する画像処理回路とからなる外観検査装置であって、上記光源の光軸と被検査物表面との交点の位置を、上記カメラの光軸と被検査物表面との交点の位置からずらして、上記光源の光軸と被検査物表面とがなす角度よりも、上記光源からカメラの光軸と被検査物表面との交点の位置に至る光が被検査物表面とがなす角度を小さくしていることを特徴とする外観検査装置。
- 画像処理回路は、カメラの出力画像の明暗についての最頻値を基に欠陥面積値を求めるものであることを特徴とする請求項1記載の外観検査装置。
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