JP2009278429A - 弾性表面波デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、圧電基板10上に形成され、それぞれ複数の電極指12と複数の電極指12を共通に接続するバスバー14を含み、互いの複数の電極指12が互い違いに配置された少なくとも1組の櫛型電極20と、複数の電極指12間には埋め込まれておらず、複数の電極指12の先端とバスバー14との間に埋め込まれ設けられた絶縁体18と、を具備する弾性表面波デバイスである。
【選択図】図1
Description
12 電極指
14 バスバー
16 ダミー電極指
18 絶縁体
20 櫛型電極
21 IDT
22 反射器
24 空隙部
30 空隙部
32 金属膜
32a、32b 金属パターン
34 領域
Claims (10)
- 圧電基板上に形成され、それぞれ複数の電極指と前記複数の電極指を共通に接続するバスバーを含み、互いの複数の電極指が互い違いに配置された少なくとも1組の櫛型電極と、
前記複数の電極指間には埋め込まれておらず、前記複数の電極指の先端と前記バスバーとの間に埋め込まれ設けられた絶縁体と、
を具備することを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 前記絶縁体は、前記複数の電極指の先端と前記バスバーとの間に連続的に埋め込まれ設けられていることを特徴とする請求項1記載の弾性表面波デバイス。
- 前記複数の電極指の先端と前記バスバーとの間に前記絶縁体で埋め込まれていない空隙部を有するように前記絶縁体が設けられていることを特徴とする請求項1記載の弾性表面波デバイス。
- 前記複数の電極指の先端と前記バスバーとの距離は、前記複数の電極指のうち隣接する電極指間の距離より長いことを特徴とする請求項1から3のいずれか一項記載の弾性表面波デバイス。
- 圧電基板上に形成され、それぞれ複数の電極指と複数のダミー電極指と前記複数の電極指および複数のダミー電極指が互い違いに共通に接続するバスバーとを含み、互いの複数の電極指が互い違いに配置された少なくとも1組の櫛型電極と、
前記複数の電極指間には埋め込まれておらず、前記複数の電極指の先端と対応する前記複数のダミー電極指の先端との間に埋め込まれ設けられた絶縁体と、
を具備することを特徴とする弾性表面波デバイス。 - 前記絶縁体は、前記複数の電極指の先端と前記複数のダミー電極指との間に連続的に埋め込まれ設けられていることを特徴とする請求項5記載の弾性表面波デバイス。
- 前記複数の電極指の先端と前記複数のダミー電極指との間に前記絶縁体で埋め込まれていない空隙部を有するように前記絶縁体が設けられていることを特徴とする請求項5記載の弾性表面波デバイス。
- 前記複数の電極指の先端と前記複数のダミー電極との距離は、前記複数の電極指のうち隣接する電極指間の距離より長いことを特徴とする請求項5から7のいずれか一項記載の弾性表面波デバイス。
- 前記絶縁体は、前記複数の電極指を構成する金属の酸化物からなることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項記載の弾性表面波デバイス。
- 前記絶縁体の膜厚は前記複数の電極指の膜厚以上であることを特徴とする請求項1から9のいずれか一項記載の弾性表面波デバイス。
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