JP2009265859A - 流量制御装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】流量制御システム10には、薬液の流量を検出する流量センサ14と、その下流側において互いに並列に設けられた流量調整手段としてのパイロットレギュレータ20及び流体の通過を許可又は禁止する第1開閉弁40とが備えられている。流量センサ14の下流側における吐出配管13の下流側端部は、第1分岐配管15と第2分岐配管16とに接続されており、そのうち第1分岐配管15にパイロットレギュレータ20が設けられ、第2分岐配管16に第1開閉弁40が設けられている。コントローラ30は、目標流量値及び流量センサ14により検出された流量値に基づいて電空レギュレータ18及び第1電磁弁19を駆動させ、流体流量が目標流量値に一致するように流量フィードバック制御を実施する。
【選択図】図1
Description
以下、半導体製造ラインの薬液供給に用いられる流量制御システムについて具現化した一実施の形態を、図面を参照しつつ説明する。なお、図1は、流量制御システムを備える薬液供給回路の全体構成を示す回路図である。
次に、第2の実施形態について、先の第1の実施形態との相違点を中心に図面を参照しつつ説明する。なお、図5は本実施形態における流量制御システムを備える薬液供給回路の全体構成を示す回路図であり、本図において、先の図1と対応する部材については便宜上同一の符号を付している。
本発明は上記各実施形態に限定されず、例えば次のように実施されてもよい。
Claims (5)
- 流体を流通させる流体通路と、
前記流体通路に設けられ当該流体通路を流通する流体の流量を調整するレギュレータと、
前記流体通路に設けられ前記レギュレータを迂回するバイパス通路と、
前記バイパス通路に設けられ当該バイパス通路の開度を調整する開度調整部と
を備えていることを特徴とする流量制御装置。 - 前記開度調整部は、前記バイパス通路を開位置と閉位置とに二位置切替する開閉部である請求項1に記載の流量制御装置。
- 前記開閉部が開位置にある場合に前記バイパス通路を流通する流体の流量が、前記レギュレータにより制御することができる流量の最大値以下である請求項2に記載の流量制御装置。
- 前記流体通路には前記バイパス通路が複数設けられているとともに、これら各バイパス通路にはそれぞれ前記開度調整部が設けられている請求項1乃至3のいずれか1項に記載の流量制御装置。
- 前記レギュレータ及び前記開度調整部を制御するコントローラを備え、当該コントローラは目標流量値が前記レギュレータにより制御可能な流量の最大値以下である場合には前記バイパス通路が閉鎖され、前記目標流量値が前記レギュレータにより制御可能な流量の最大値よりも大きい場合には前記バイパス通路が開放されるように前記開度調整部を制御する請求項1乃至4のいずれか1項に記載の流量制御装置。
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