JP2009252799A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 133
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims abstract description 27
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims abstract description 15
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 10
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims abstract description 10
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims abstract description 10
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract description 9
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 claims description 77
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000011800 void material Substances 0.000 abstract description 13
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 21
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 21
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 16
- 239000011344 liquid material Substances 0.000 description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 4
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 4
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 4
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 4
- 229920002799 BoPET Polymers 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 3
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 3
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 3
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PQIJHIWFHSVPMH-UHFFFAOYSA-N [Cu].[Ag].[Sn] Chemical compound [Cu].[Ag].[Sn] PQIJHIWFHSVPMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 239000008393 encapsulating agent Substances 0.000 description 2
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 2
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 2
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 2
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 2
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- LWBHHRRTOZQPDM-UHFFFAOYSA-N undecanedioic acid Chemical compound OC(=O)CCCCCCCCCC(O)=O LWBHHRRTOZQPDM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 1,2,3-triazine Chemical compound C1=CN=NN=C1 JYEUMXHLPRZUAT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XQUPVDVFXZDTLT-UHFFFAOYSA-N 1-[4-[[4-(2,5-dioxopyrrol-1-yl)phenyl]methyl]phenyl]pyrrole-2,5-dione Chemical compound O=C1C=CC(=O)N1C(C=C1)=CC=C1CC1=CC=C(N2C(C=CC2=O)=O)C=C1 XQUPVDVFXZDTLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MEVBAGCIOOTPLF-UHFFFAOYSA-N 2-[[5-(oxiran-2-ylmethoxy)naphthalen-2-yl]oxymethyl]oxirane Chemical compound C1OC1COC(C=C1C=CC=2)=CC=C1C=2OCC1CO1 MEVBAGCIOOTPLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241001050985 Disco Species 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006311 Urethane elastomer Polymers 0.000 description 1
- QCEUXSAXTBNJGO-UHFFFAOYSA-N [Ag].[Sn] Chemical compound [Ag].[Sn] QCEUXSAXTBNJGO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N benzocyclobutene Chemical compound C1=CC=C2CCC2=C1 UMIVXZPTRXBADB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 150000002825 nitriles Chemical class 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 229920003192 poly(bis maleimide) Polymers 0.000 description 1
- 229920001084 poly(chloroprene) Polymers 0.000 description 1
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 1
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Abstract
【課題】半導体素子と配線回路基板との間の封止部分にボイドをつくることなく、かつ、効率よく製造できる半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】半導体素子3の端子形成面および配線回路基板5の端子形成面の少なくとも一方に、封止材2を配置する封止材配置工程と、13300Pa(絶対圧)以下の減圧下で、配線回路基板5の端子5aと半導体素子3の端子3aとを、上記封止材2を介して対向させた状態で、配線回路基板5と半導体素子3とを押圧して一体化する封止工程と、大気圧下で、上記配線回路基板5の端子5aおよび半導体素子3の端子3aの少なくとも一方を加熱溶融することにより、上記両端子3a,5aを接続する端子接続工程とを備えている。
【選択図】図2
【解決手段】半導体素子3の端子形成面および配線回路基板5の端子形成面の少なくとも一方に、封止材2を配置する封止材配置工程と、13300Pa(絶対圧)以下の減圧下で、配線回路基板5の端子5aと半導体素子3の端子3aとを、上記封止材2を介して対向させた状態で、配線回路基板5と半導体素子3とを押圧して一体化する封止工程と、大気圧下で、上記配線回路基板5の端子5aおよび半導体素子3の端子3aの少なくとも一方を加熱溶融することにより、上記両端子3a,5aを接続する端子接続工程とを備えている。
【選択図】図2
Description
本発明は、配線回路基板上に半導体素子を実装する、半導体装置の製造方法に関するものである。
最近、半導体デバイスは、小形化,薄形化,高機能化されてきている。それに伴い、その半導体デバイスに組み込まれている半導体装置も、小形化,薄形化,半導体素子の高密度実装化が要求されている。この要求に応える半導体装置として、フリップチップ型の半導体装置がある。
このフリップチップ型の半導体装置は、つぎのようにして製造される。すなわち、まず、半導体素子の一面に突起状端子を形成する。ついで、この半導体素子の突起状端子を、配線回路基板に形成されている端子に位置決めし、配線回路基板上に半導体素子を載置する。つぎに、半導体素子の突起状端子を加熱溶融し、配線回路基板の端子に接続する。その後、半導体素子と配線回路基板との間の隙間に、絶縁性の液状樹脂を、毛細管現象を利用して充填する。そして、その樹脂を硬化させ、上記隙間を封止する。この樹脂封止により、端子接続部分を水分,塵埃(導電性物質)等から保護し、半導体装置の信頼性を確保している。
上記隙間への液状樹脂の充填は、その隙間が狭いため、時間を要する。そこで、その充填時間を要しない樹脂封止の方法として、半導体素子の端子形成面または配線回路基板の端子形成面に予め樹脂シートを配置し、その状態で、配線回路基板上に樹脂シートを介して半導体素子を載置する方法が提案されている。その後は、上記と同様にして、半導体素子と配線回路基板とを端子接続する(特許文献1参照)。この方法であれば、配線回路基板への半導体素子の載置と同時に樹脂封止ができるため、半導体装置の製造時間を短縮することができる。
特開2005−28734号公報
しかしながら、上記半導体素子と配線回路基板との間の隙間に液状樹脂を充填する方法では、その隙間が狭いため、完全な充填が困難であり、未充填部分ができ易い。未充填部分が存在した状態のまま樹脂が硬化すると、その未充填部分は、硬化樹脂内でボイド(気泡)として残存する。ボイドは、半導体装置の通電時の発熱により、膨張して破裂するおそれがある。ボイドが破裂すると、樹脂封止の機能(端子接続部分の保護)が低下したり、端子接続部分が断線したり、半導体素子が損傷したりする等して、半導体装置の信頼性を損ねる。
同様に、上記特許文献1による方法では、半導体素子の端子形成面または配線回路基板の端子形成面に予め樹脂シートを配置した状態で、半導体素子と配線回路基板とを、樹脂シートを介して位置合わせするため、その位置合わせの際に、空気を取り込むおそれがある。その取り込んだ空気がボイドとして残存する。このため、上記と同様の問題が発生して、半導体装置の信頼性を損ねる。
本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、半導体素子と配線回路基板との間の封止部分にボイドをつくることなく、かつ、効率よく製造できる半導体装置の製造方法の提供をその目的とする。
上記の目的を達成するため、本発明の半導体装置の製造方法は、配線回路基板上に半導体素子が実装され、その配線回路基板と半導体素子との間の隙間が封止材により封止されている半導体装置を製造する方法であって、上記半導体素子の端子形成面および配線回路基板の端子形成面の少なくとも一方に封止材を配置する封止材配置工程と、13300Pa(絶対圧)以下の減圧下で、配線回路基板の端子と半導体素子の端子とを、上記封止材を介して対向させた状態で、配線回路基板と半導体素子とを押圧して一体化する封止工程と、この封止工程の後、大気圧下で、上記配線回路基板の端子および半導体素子の端子の少なくとも一方を加熱溶融することにより、上記両端子を接続する端子接続工程とを備えているという構成をとる。
本発明の半導体装置の製造方法は、半導体素子の端子形成面および配線回路基板の端子形成面の少なくとも一方に封止材を配置し、その封止材を介して、配線回路基板と半導体素子とを押圧して一体化するため、その配線回路基板と半導体素子との一体化と同時に封止材による封止ができる。これにより、半導体装置を効率よく製造することができる。しかも、上記一体化は、13300Pa(絶対圧)以下の減圧下で行われるため、その一体化の際に、空気を取り込むことがない。さらに、配線回路基板の端子および半導体素子の端子の少なくとも一方を加熱溶融することによる端子接続工程を、大気圧下で行うため、封止材内部に空気が発生することがない。すなわち、上記端子接続工程を減圧(大気圧よりも低い圧力)下で行うと、封止材に含まれる低分子量樹脂成分の沸点が低下し、端子を溶融するための加熱の際に、上記低分子量樹脂成分が沸騰し、封止材内部から気化する(ガスが発生する)が、本発明では、端子接続工程を大気圧下で行うため、上記封止材に含まれる低分子量樹脂成分の沸点が低下することがなく、封止材内部からの気化(ガスの発生)がない。すなわち、上記13300Pa(絶対圧)以下の減圧下での封止工程と、大気圧下での端子接続工程とが相俟って、上記封止材にボイドができなくなっている。
つぎに、本発明の実施の形態を図面にもとづいて詳しく説明する。
図1(a)〜(d)ないし図3(a)〜(b)は、本発明の半導体装置の製造方法の一実施の形態を模式的に示している。この実施の形態では、下記の(1)〜(3)の工程を備えている。
(1)半導体素子3の端子形成面に、封止材2を配置する封止材配置工程〔図1(a)〜(d)参照〕。
(2)13300Pa(絶対圧)以下の気圧下で、配線回路基板5の端子5aと半導体素子3の端子3aとを、上記封止材2を介して対向させた状態で、配線回路基板5と半導体素子3とを押圧して一体化する封止工程〔図2(a)〜(d)参照〕。
(3)大気圧下で、上記半導体素子3の端子3aを加熱溶融することにより、上記両端子3a,5aを接続する端子接続工程〔図3(a)〜(b)参照〕。
(1)半導体素子3の端子形成面に、封止材2を配置する封止材配置工程〔図1(a)〜(d)参照〕。
(2)13300Pa(絶対圧)以下の気圧下で、配線回路基板5の端子5aと半導体素子3の端子3aとを、上記封止材2を介して対向させた状態で、配線回路基板5と半導体素子3とを押圧して一体化する封止工程〔図2(a)〜(d)参照〕。
(3)大気圧下で、上記半導体素子3の端子3aを加熱溶融することにより、上記両端子3a,5aを接続する端子接続工程〔図3(a)〜(b)参照〕。
より詳しく説明すると、上記(1)の封止材配置工程は、例えば、つぎのようにして半導体素子3の端子形成面に封止材2を配置する工程である。
まず、図1(a)に示すように、PET(ポリエチレンテレフタレート)フィルム等の剥離シート1上に、封止材2の液状材料(エポキシ樹脂等)を、スピンコートまたは印刷方式等により塗布した後、乾燥させ、封止材層2を形成する。
また、半導体素子3〔図1(d)参照〕となる部分が複数形成され、各半導体素子3となる部分に端子3aを有するウエハ30〔図1(b)参照〕を準備し、このウエハ30の端子形成面に、図1(b)に示すように、上記封止材層2を貼り合わせる。この貼り合わせた状態では、ウエハ30の端子形成面に封止材層2の表面が密着し、ウエハ30の端子3aが封止材層2に埋まった状態になっている。上記貼り合わせには、ロール貼り合わせ機等が用いられる。また、その貼り合わせ時の温度は、ウエハ30の端子形成面と封止材層2との密着性を向上させる観点から、40℃〜80℃程度の範囲内に設定される。
その後、図1(c)に示すように、ダイシングテープ4上に、上記封止材層2付きウエハ30のウエハ30側を貼着する。
そして、図1(d)に示すように、上記剥離シート1を剥離した後、ダイシング装置により、各半導体素子3に切断する。この切断は、封止材層2側から行われ、ダイシングテープ4は切断しない。このようにして、上記(1)の封止材配置工程が完了し、封止材2付き半導体素子3が得られる。
上記(1)の封止材配置工程につづく上記(2)の封止工程は、例えば、つぎのようにして上記封止材2による封止を行う工程である。
まず、端子5aを有する配線回路基板5を準備し、図2(a)に示すように、吸引孔11aが形成された吸引ステージ11表面に載置する。このとき、配線回路基板5の端子形成面の反対側の面を吸引ステージ11表面に接するようにして載置する。また、上記封止材配置工程において得られた各封止材2付き半導体素子3を、ダイシングテープ4〔図1(d)参照〕上からピックアップして取り外し、その半導体素子3側をボンディングヘッド13に取り付ける。そして、上記配線回路基板5の端子5aと半導体素子3の端子3aとを、封止材2を介して対向させた状態にする。なお、上記ボンディングヘッド13は、コレット12に設けられた穴12a内に、気密状態で上下摺動自在に取り付けられている。
その状態で、図2(b)に示すように、配線回路基板5を囲むように、上記コレット12の下端面と吸引ステージ11表面との間を、耐熱シリコーンゴム等からなるシール材14で気密的に密封する。そして、吸引ステージ11の吸引孔11aから脱気を行い、吸引ステージ11表面に配線回路基板5を吸着固定するとともに、上記コレット12の下端面と吸引ステージ11表面とシール材14とで密封された密封空間Sを13300Pa(絶対圧)以下の気圧に減圧する。
つぎに、図2(c)に示すように、上記密封空間Sを上記減圧状態に保ったまま、ボンディングヘッド13を下降させ、半導体素子3を配線回路基板5に押圧する。これにより、半導体素子3と配線回路基板5とが封止材2により接着され一体化すると同時に、半導体素子3と配線回路基板5との間が封止材2で封止される。このとき、上記減圧状態のため、封止材2と配線回路基板5との間には、空気が取り込まれない。なお、上記押圧条件は、半導体素子3と配線回路基板5との接着性および封止性を向上させる観点から、押圧荷重が10N〜50N程度の範囲内、押圧時の温度が80℃〜160℃程度(封止材2が軟化ないし溶融する程度)の範囲内、押圧時間が0.5秒間〜5秒間程度の範囲内に設定される。
そして、図2(d)に示すように、ボンディングヘッド13を上昇させて上記押圧を解除するとともに、コレット12およびシール材14を取り除いて上記減圧状態を解除する(大気圧状態にする)。このようにして、上記(2)の封止工程が完了する。
上記(2)の封止工程につづく上記(3)の端子接続工程は、例えば、つぎのようにして端子3a,5aの接続を行う工程である。
まず、図3(a)に示すように、上記コレット12〔図2(a)参照〕とは異なる新たなコレット15のボンディングヘッド16により、半導体素子3を配線回路基板5に押圧するとともに、加熱する。このとき、配線回路基板5は、吸引ステージ11表面に吸着固定されており、周囲は、大気圧下である。これにより、半導体素子3の端子3aを溶融させ、配線回路基板5の端子5aに接続する。このようにして、配線回路基板5に半導体素子3が実装された半導体装置が得られる。上記押圧は、両端子3a,5aの位置をずらさないようにするとともに、上記加熱による熱を確実に伝導するために行われる。そのための押圧条件としては、押圧荷重が4N〜6N程度の範囲内、押圧時の温度が240℃〜280℃程度の範囲内、押圧時間が15秒間〜25秒間程度の範囲内に設定される。
その後、図3(b)に示すように、上記ボンディングヘッド16を上昇させて上記押圧を解除するとともに、コレット15を取り除く。また、吸引ステージ11における吸着動作を解除する。そして、製造された半導体装置を吸引ステージ11表面から取る。このようにして、上記(3)の端子接続工程が完了し、目的とする半導体装置が得られる。
上記半導体装置の製造方法では、上記半導体素子3と配線回路基板5との一体化と同時に封止材2による封止ができるため、半導体装置の生産性に優れている。しかも、上記一体化は、13300Pa(絶対圧)以下の減圧下で行われるため、その一体化の際に、半導体素子3と配線回路基板5との間に空気を取り込むことがない。さらに、その後の端子3aの加熱溶融が大気圧下で行われるため、封止材2に含まれる低分子量樹脂成分の沸点が低下することがなく、端子3aを加熱溶融する際に、上記低分子量樹脂成分が沸騰することがない。このため、得られた半導体装置の封止材2には、ボイドがない。
ここで、上記半導体装置の製造方法において用いられる材料等について説明する。
上記半導体素子3と配線回路基板5との間を封止する封止材2の液状材料の主成分としては、例えば、前記のエポキシ樹脂の他、アクリル樹脂,ポリイミド,ベンゾシクロブテン等があげられる。なかでも、接着性,流動性,耐湿信頼性の観点から、エポキシ樹脂を主成分とすることが好ましい。ここで、上記主成分とは、全体の過半を占める成分のことをいう。
上記(2)の封止工程において、コレット12の下端面と吸引ステージ11表面との間を気密的に密封するシール材14の形成材料としては、前記の耐熱シリコーンゴムの他、ウレタンゴム,ニトリルゴム,クロロプレンゴム等があげられる。また、そのシール材14の高さ(コレット12の下端面と吸引ステージ11表面との間の隙間)は、製造される半導体装置の高さ以上あればよく、例えば、0.1〜4.0mmの範囲内に設定される。
上記半導体素子3(ウエハ30)の形成材料としては、例えば、シリコン,ガリウム−ヒ素等があげられる。また、上記半導体素子3に形成される端子(バンプ)3aの形成材料としては、半田バンプ(低融点バンプ,高融点バンプ),錫バンプ,銀−錫バンプ,銀−錫−銅バンプ,金バンプ,銅バンプ等があげられ、なかでも、接続信頼性の観点から半田バンプが好ましい。上記半導体素子3の端子3aの溶融温度は、通常、180〜230℃の範囲内である。
上記配線回路基板5としては、大別してセラミック基板とプラスチック基板とがあげられる。そのプラスチック基板としては、例えば、エポキシ基板,ビスマレイミドトリアジン基板,ポリイミド基板等があげられる。その表面に形成される配線回路および端子5aの形成材料としては、例えば、銅等があげられ、特に、端子5aの表面には、金めっきを施すことが好ましい。
なお、上記実施の形態では、上記(1)の封止材配置工程において、封止材2の形成に液状材料を用い、それを乾燥させることにより封止材層2を剥離シート1上に形成し、その封止材層2をウエハ30(半導体素子3)の端子形成面に貼り合わせたが、他でもよい。例えば、予め、シート状の封止材2を準備し、それをウエハ30の端子形成面に、ロールラミネート,プレス圧着等により貼り合わせてもよい。さらに他の例としては、ウエハ30の端子形成面に直接、封止材2の液状材料を塗布してもよい。この場合、上記(2)の封止工程において、半導体素子3を配線回路基板5に押圧して一体化〔図2(c)参照〕する際に、その押圧時の温度を上げる必要はない。
また、上記実施の形態では、上記(1)の封止材配置工程において、封止材2を、半導体素子3の端子形成面に配置したが、配線回路基板5の端子形成面に配置してもよいし、それら両方に配置してもよい。
さらに、上記実施の形態では、上記(2)の封止工程と上記(3)の端子接続工程とでは、異なるコレット12,15とボンディングヘッド13,16を用いて押圧等を行ったが、両工程で同じコレットとボンディングヘッドを用いてもよい。
また、上記実施の形態では、上記(3)の端子接続工程において、半導体素子3の端子3aを溶融させたが、配線回路基板5の端子5aを溶融させてもよいし、それら両方の端子3a,5aを溶融させてもよい。
つぎに、実施例について比較例および従来例と併せて説明する。但し、本発明は、実施例に限定されるわけではない。
〔実施例1〜7、比較例1〜3および従来例1〕
〔封止材の液状材料〕
エポキシ樹脂(大日本インキ社製、HP−4032D)25g、フェノール樹脂(荒川化学社製、P−180)19g、アルキルエステル共重合体〔ムーニー粘度 ML(1+4)、100℃:52.5〕7.8g、1,9−ノナンジカルボン酸1.6gをメチルエチルケトンに混合溶解した。そして、この混合溶液中に、硬化促進剤(北興化学社製、TPPK)0.5gを添加し、ホモディスパーを用いて3000rpmで10分間攪拌した。このようにして、封止材の液状材料を調製した。
〔封止材の液状材料〕
エポキシ樹脂(大日本インキ社製、HP−4032D)25g、フェノール樹脂(荒川化学社製、P−180)19g、アルキルエステル共重合体〔ムーニー粘度 ML(1+4)、100℃:52.5〕7.8g、1,9−ノナンジカルボン酸1.6gをメチルエチルケトンに混合溶解した。そして、この混合溶液中に、硬化促進剤(北興化学社製、TPPK)0.5gを添加し、ホモディスパーを用いて3000rpmで10分間攪拌した。このようにして、封止材の液状材料を調製した。
〔封止材層の形成〕
離型処理したPETフィルム(剥離シート)上に、上記封止材の液状材料を、スピンコートにより塗布した。その後、120℃で10分間乾燥させ、上記メチルエチルケトンを除去した。これにより、上記PETフィルム上に、厚み80μmの封止材層を形成した。
離型処理したPETフィルム(剥離シート)上に、上記封止材の液状材料を、スピンコートにより塗布した。その後、120℃で10分間乾燥させ、上記メチルエチルケトンを除去した。これにより、上記PETフィルム上に、厚み80μmの封止材層を形成した。
〔封止材付き半導体素子の作製〕
複数の半導体素子が整列して形成されているシリコンウエハ〔配線:アルミニウム、端子:銀−錫−銅半田(融点218℃)、電極外径:100μm、電極高さ:80μm〕の端子形成面に、ロール貼り合わせ機(日東電工社製、DR−8500−II)を用いて、上記封止材層を70℃にて貼り合わせた。その後、ダイシングテープ(日東電工社製、DU−300)上に、上記封止材層付きウエハのウエハ側を貼着した。そして、上記PETフィルムを剥離した後、ダイシング装置(DISCO社製、DFD−651)により、各半導体素子(10mm×10mm)に切断し、封止材付き半導体素子を得た。
複数の半導体素子が整列して形成されているシリコンウエハ〔配線:アルミニウム、端子:銀−錫−銅半田(融点218℃)、電極外径:100μm、電極高さ:80μm〕の端子形成面に、ロール貼り合わせ機(日東電工社製、DR−8500−II)を用いて、上記封止材層を70℃にて貼り合わせた。その後、ダイシングテープ(日東電工社製、DU−300)上に、上記封止材層付きウエハのウエハ側を貼着した。そして、上記PETフィルムを剥離した後、ダイシング装置(DISCO社製、DFD−651)により、各半導体素子(10mm×10mm)に切断し、封止材付き半導体素子を得た。
〔半導体装置の製造〕
上記ダイシングテープ上から、各封止材付き半導体素子をピックアップして取り外し、その半導体素子側を、フリップチップボンダー(澁谷工業社製、DB−100)のボンディングヘッドに取り付けた。そして、後記の表1,2に示す各条件にて、上記半導体素子を、プラスチック製配線回路基板(基板材料:FR−4、配線:銅、端子表面:金フラッシュめっき)に搭載(一体化および封止)した後、リフロー(端子接続)を行い、半導体装置を得た。
上記ダイシングテープ上から、各封止材付き半導体素子をピックアップして取り外し、その半導体素子側を、フリップチップボンダー(澁谷工業社製、DB−100)のボンディングヘッドに取り付けた。そして、後記の表1,2に示す各条件にて、上記半導体素子を、プラスチック製配線回路基板(基板材料:FR−4、配線:銅、端子表面:金フラッシュめっき)に搭載(一体化および封止)した後、リフロー(端子接続)を行い、半導体装置を得た。
なお、後記の表1,2において、比較例1では、半導体素子の搭載は、実施例1〜7と同様の工程で、減圧下で行われ〔図2(a)〜(d)参照〕、リフローは、図4(a)〜(c)に示すように、図2(b)〜(d)と同様の工程で、減圧下で行われた。比較例2では、半導体素子の搭載は、図5(a)〜(c)に示すように、大気圧下で行われ、リフローは、上記比較例1と同様の工程で、減圧下で行われた〔図4(a)〜(c)参照〕。比較例3では、半導体素子の搭載もリフローも、実施例1〜7と同様の工程で行われた〔図2(a)〜(d)ないし図3(a)〜(b)参照〕。従来例1では、半導体素子の搭載は、上記比較例2と同様の工程で、大気圧下で行われ〔図5(a)〜(c)参照〕、リフローは、上記実施例1〜7と同様の工程で、大気圧下で行われた〔図2(a)〜(d)参照〕。なお、、図4(a)〜(c)および図5(a)〜(c)では、図2(a)〜(d)および図3(a)〜(b)と同様の部分には同じ符号を付している。
〔ボイドの有無〕
このようにして得られた各半導体装置の封止部分を、超音波顕微鏡(日立建機社製、周波数130MHz)を用いて観察し、ボイドの有無を確認した。その結果を下記の表1,2に併せて表記した。
このようにして得られた各半導体装置の封止部分を、超音波顕微鏡(日立建機社製、周波数130MHz)を用いて観察し、ボイドの有無を確認した。その結果を下記の表1,2に併せて表記した。
〔端子接続性〕
上記各半導体装置の半導体素子,配線回路基板上に設置されたデイジーチェーンで測定される電気抵抗値を測定することにより、端子が接続されているか否かを確認した。その結果を下記の表1,2に併せて表記した。
上記各半導体装置の半導体素子,配線回路基板上に設置されたデイジーチェーンで測定される電気抵抗値を測定することにより、端子が接続されているか否かを確認した。その結果を下記の表1,2に併せて表記した。
上記表1,2の結果から、実施例1〜7の半導体装置は、封止材にボイドがなく、端子も接続されていることがわかる。これに対して、比較例1では、適正な減圧下で半導体素子を配線回路基板に搭載したものの、その後のリフローも減圧下で行ったため、封止材に含まれる低分子量樹脂成分の沸点が低下し、リフローの際の加熱により上記低分子量樹脂成分が沸騰(封止材内部からガスが発生)した。このため、比較例1の半導体装置では、封止材内部に上記ガスがボイドとして残った。また、比較例2では、大気圧下で半導体素子を配線回路基板に搭載したため、その搭載の際、空気を取り込んだ。そして、その後の減圧下でのリフローでも、その空気が充分に抜けきらなかった。このため、比較例2の半導体装置では、封止材内部に上記空気がボイドとして残った。しかも、比較例2では、リフロー中に、封止材内部のボイドが移動し、それに伴って、溶融半田(半導体素子の端子)が流れたため、接続されていない端子があった。また、比較例3では、減圧下で半導体素子を配線回路基板に搭載したものの、上記半導体素子搭載時の減圧が不充分であったため、その搭載の際、空気を取り込んだ。このため、比較例3の半導体装置では、封止材内部に上記空気がボイドとして残った。また、従来例1では、大気圧下で半導体素子を配線回路基板に搭載したため、その搭載の際、空気を取り込んだ。このため、従来例1の半導体装置では、封止材内部に上記空気がボイドとして残った。
2 封止材
3 半導体素子
5 配線回路基板
3a,5a 端子
3 半導体素子
5 配線回路基板
3a,5a 端子
Claims (3)
- 配線回路基板上に半導体素子が実装され、その配線回路基板と半導体素子との間の隙間が封止材により封止されている半導体装置を製造する方法であって、上記半導体素子の端子形成面および配線回路基板の端子形成面の少なくとも一方に封止材を配置する封止材配置工程と、13300Pa(絶対圧)以下の減圧下で、配線回路基板の端子と半導体素子の端子とを、上記封止材を介して対向させた状態で、配線回路基板と半導体素子とを押圧して一体化する封止工程と、この封止工程の後、大気圧下で、上記配線回路基板の端子および半導体素子の端子の少なくとも一方を加熱溶融することにより、上記両端子を接続する端子接続工程とを備えていることを特徴とする半導体装置の製造方法。
- 上記半導体素子の端子が、半田パンプである請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 上記封止材が、シート状封止材である請求項1または2記載の半導体装置の製造方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008095345A JP2009252799A (ja) | 2008-04-01 | 2008-04-01 | 半導体装置の製造方法 |
TW098109414A TW200949965A (en) | 2008-04-01 | 2009-03-23 | Method of manufacturing semiconductor device |
CNA2009101276624A CN101552217A (zh) | 2008-04-01 | 2009-03-23 | 制造半导体器件的方法 |
US12/414,178 US20090246918A1 (en) | 2008-04-01 | 2009-03-30 | Method of manufacturing semiconductor device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008095345A JP2009252799A (ja) | 2008-04-01 | 2008-04-01 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009252799A true JP2009252799A (ja) | 2009-10-29 |
Family
ID=41117868
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008095345A Pending JP2009252799A (ja) | 2008-04-01 | 2008-04-01 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20090246918A1 (ja) |
JP (1) | JP2009252799A (ja) |
CN (1) | CN101552217A (ja) |
TW (1) | TW200949965A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012074636A (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-12 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 接合方法、半導体装置、多層回路基板および電子部品 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8889021B2 (en) | 2010-01-21 | 2014-11-18 | Kla-Tencor Corporation | Process condition sensing device and method for plasma chamber |
CN102082106B (zh) * | 2010-12-13 | 2012-04-25 | 中南大学 | 铜凸点热声倒装键合方法 |
WO2017077982A1 (ja) * | 2015-11-05 | 2017-05-11 | 古河電気工業株式会社 | ダイボンディング装置およびダイボンディング方法 |
CN109273504B (zh) * | 2018-09-27 | 2021-01-22 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示面板及其制作方法、显示装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW574739B (en) * | 2001-02-14 | 2004-02-01 | Nitto Denko Corp | Thermosetting resin composition and semiconductor device using the same |
US20070284758A1 (en) * | 2006-05-22 | 2007-12-13 | General Electric Company | Electronics package and associated method |
JP5228479B2 (ja) * | 2007-12-28 | 2013-07-03 | 富士通株式会社 | 電子装置の製造方法 |
-
2008
- 2008-04-01 JP JP2008095345A patent/JP2009252799A/ja active Pending
-
2009
- 2009-03-23 CN CNA2009101276624A patent/CN101552217A/zh active Pending
- 2009-03-23 TW TW098109414A patent/TW200949965A/zh unknown
- 2009-03-30 US US12/414,178 patent/US20090246918A1/en not_active Abandoned
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012074636A (ja) * | 2010-09-29 | 2012-04-12 | Sumitomo Bakelite Co Ltd | 接合方法、半導体装置、多層回路基板および電子部品 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW200949965A (en) | 2009-12-01 |
CN101552217A (zh) | 2009-10-07 |
US20090246918A1 (en) | 2009-10-01 |
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