JP2009252463A - 微小電気機械スイッチ - Google Patents

Abstract

【課題】可動接点部と固定接点部との接触信頼性を向上することができる微小電気機械スイッチを提供することにある。
【解決手段】微小電気機械スイッチは、ベース基板１の一表面１ａ側に形成された固定接点部２と、ベース基板１の一表面１ａ側において固定接点部２に対向配置された可動接点部３とを備え、可動接点部３は、ベース基板１の一表面１ａの法線方向を中心軸Ｏ方向とし、中心軸Ｏ方向に直交する直交面内における外周形状が正円形状に形成され、固定接点部２は、上記直交面内において中心軸Ｏを中心とする円の径方向に沿った方向において、可動接点部３の外周面３ａに弾接される接触面２０ａを有した３つの接触部２０を有してなり、各接触部２０それぞれは、上記直交面内において、３回回転対称となる形に配置される。
【選択図】図１

Description

本発明は、ＭＥＭＳスイッチやＮＥＭＳスイッチなどの微小電気機械スイッチに関するものである。

従来から、ＭＥＭＳスイッチや、ＮＥＭＳスイッチなどの微小電気機械スイッチが種々提案されている。この種の微小電気機械スイッチとしては、例えば特許文献１に示すようなＲＦ用マイクロリレーが挙げられる。特許文献１に示すものは、図１２（ａ）に示すように、一対の接点（固定接点部）１００と、一対の固定接点部１００間を短絡する短絡接点（可動接点部）２００と、可動接点部２００を各固定接点部１００と接触あるいは各固定接点部１００から離間するように移動させるアクチュエータ３００とがハウジング４００に収納される。各固定接点部１００それぞれにおける可動接点部２００との対向面には、複数本（図示例では４本）の台形台状（底面が長方形の角錐台状）の歯部１１０が形成される。一方、可動接点部２００における各固定接点部１００それぞれとの対向面には、台形台状の短絡歯部２１０が複数本ずつ（図示例では３本ずつ）形成される。

特許文献１に示すものでは、アクチュエータ３００を駆動することで、可動接点部２００が各固定接点部１００側に移動する。可動接点部２００が固定接点部１００側に移動した際には、図１２（ｂ）に示すように、可動接点部２００の短絡歯部２１０と、固定接点部１００の歯部１１０とが、各固定接点部１００の隣接する歯部１１０間の隙間に、可動接点部２００の各短絡歯部２１０が入り込む形（すなわち、噛合する形）で接触して、一対の固定接点部１００同士が可動接点部２００により電気的に接続される。
特表２００４−５１３４９６号公報

しかしながら、上述した特許文献１に示すものでは、一つの短絡歯部２１０が２つの歯部１１０と接触するので、短絡歯部２１０と２つの歯部１１０それぞれとの間の接圧に偏りが生じやすく、一方の歯部１１０と短絡歯部２１０とが過剰な接圧で接触することがあり、この場合、オン抵抗の悪化や、スティッキングが生じることがある。そのため、特許文献１に示すものでは、可動接点部２００と固定接点部１００との接触信頼性が悪いという問題があった。また、接触信頼性を向上するために、短絡歯部２１０を４つの歯部１１０で囲み、短絡歯部２１０の４つの側面それぞれを４つの歯部１１０それぞれに接触させることが考えられる。この場合には、可動接点部２００と固定接点部１００とを安定して接触させるために、４つの歯部１１０を、一対の歯部１１０の対向方向が互いに直交する形に配置することが好ましい。しかしながら、一対の歯部１１０の対向方向が互いに直交していては、一の歯部１１０が短絡歯部２１０を押圧する力は、当該一の歯部１１０に対向する他の歯部１１０でしか受けることができない。そうすると、短絡歯部２１０を４つの歯部１１０で囲むようにした場合には、可動接点部２００と固定接点部１００との接触面積を増やすことはできるが、接触信頼性は、一つの短絡歯部２１０が２つの歯部１１０と接触するものとほとんど差異がなく、接触信頼性が悪いという問題は依然として残ったままであった。

本発明は上述の点に鑑みて為されたもので、その目的は、可動接点部と固定接点部との接触信頼性を向上することができる微小電気機械スイッチを提供することにある。

上述の課題を解決するために、請求項１の発明では、ベース基板の一表面側に形成された固定接点部と、ベース基板の上記一表面側において固定接点部に対向する部位に可動接点部が形成された可撓部を有しベース基板の上記一表面側に固定された可動接点支持部と、可動接点部が固定接点部に接触するように可動接点支持部の可撓部を変形させるアクチュエータとを備え、可動接点部は、ベース基板の上記一表面の法線方向を中心軸の方向とし、固定接点部は、上記中心軸の方向に直交する直交面内において上記中心軸を中心とする円の径方向に沿った方向において、可動接点部の外周面に弾接される接触面を有した複数の接触部を有してなり、接触部の数は３の整数倍の数であり、各接触部それぞれは、上記直交面内において、上記中心軸を回転軸とし接触部の数だけ回転位置を有する回転対称となる形に配置されていることを特徴とする。

請求項１の発明によれば、接触部が可動接点部を押圧する力の向きは、可動接点部の中心軸方向に交差する方向であり、各接触部それぞれは、上記直交面内において、可動接点部の中心軸を回転軸とし接触部の数だけ回転位置を有する回転対称となる形に配置されているので、接触部が可動接点部を押圧する力の大きさが等しければ、各接触部それぞれと可動接点部との間の接圧はいずれも等しくなり、また、接触部の数を３の整数倍の数としているので、一の接触部が可動接点部を押圧する力を、複数の他の接触部で受けることができて、接触部が可動接点部を押圧する力に偏りがある場合であっても、接触部の数が２つや４つであるような場合に比べれば、可動接点部に各接触部を均等な接圧で接触させることができるから、可動接点部と固定接点部との接触状態が安定し、その結果、オン抵抗の悪化や、スティッキングの発生などを抑制することができるようになり、可動接点部と固定接点部との接触信頼性を向上することができる。

請求項２の発明では、請求項１の発明において、上記可動接点部の上記外周面は、上記ベース基板の上記一表面から離れるにつれて上記中心軸から離れる形に傾斜していることを特徴とする。

請求項２の発明によれば、可動接点部の外周面が接触面上を滑りやすくなるから、アクチュエータの消費電力を低減することができ、また、可動接点部の外周面と接触部の接触面との接触部分の面積を増やすことができるから、接触抵抗を低くすることができて、オン抵抗の悪化や、スティッキングの発生などを抑制することができる。

請求項３の発明では、請求項１または２の発明において、上記各接触部それぞれの上記接触面は、上記ベース基板の上記一表面から離れるにつれて上記中心軸から離れる形に傾斜していることを特徴とする。

請求項３の発明によれば、可動接点部の外周面が接触面上を滑りやすくなるから、アクチュエータの消費電力を低減することができ、また、可動接点部の外周面と接触部の接触面との接触部分の面積を増やすことができるから、接触抵抗を低くすることができて、オン抵抗の悪化や、スティッキングの発生などを抑制することができる。

請求項４の発明では、請求項１〜３のうちいずれか１項の発明において、上記固定接点部は、上記接触部の上記接触面を上記可動接点部の上記外周面に弾接させる接圧バネ部を、上記各接触部それぞれに対して複数備えてなることを特徴とする。

請求項４の発明によれば、接触部に対して１つの接圧バネ部を設ける場合に比べれば、接触部の接触面が可動接点部の外周面に、可動接点部の中心軸に直交する直交面内において中心軸を中心とする円の径方向に沿った方向で弾接し易くなるから、接触信頼性が向上する。

請求項５の発明では、請求項１〜４のうちいずれか１項の発明において、上記固定接点部は、上記直交面内において上記径方向に直交する方向において上記接触部を挟み込むガイド部を備えることを特徴とする。

請求項５の発明によれば、接触部が、可動接点部の中心軸に直交する直交面内において中心軸を中心とする円の径方向に沿った方向以外の方向に変位し難くなるので、接触部の接触面が可動接点部の外周面に、上記径方向に沿った方向で弾接し易くなるから、接触信頼性が向上する。

本発明は、可動接点部に固定接点部の各接触部を均等な接圧で接触させることができるから、可動接点部と固定接点部との接触状態が安定し、その結果、オン抵抗の悪化や、スティッキングの発生などを抑制することができるようになり、可動接点部と固定接点部との接触信頼性を向上することができるという効果を奏する。

（実施形態１）
本実施形態の微小電気機械スイッチは、例えば、高周波信号の伝送に使用されるＭＥＭＳスイッチであり、図１および図２に示すように、ガラスなどの絶縁材料により形成されたベース基板１の一表面１ａ側（図１（ｂ）における上面側）に形成された固定接点部２と、ベース基板１の一表面１ａ側において固定接点部２に対向する部位に可動接点部３が形成された可撓部４０を有しベース基板１の一表面１ａ側に固定された可動接点支持部４と、可動接点部３が固定接点部２に接触するように可動接点支持部４の可撓部４０を変形させる駆動手段となるアクチュエータ５を備える。なお、図１（ｂ）では可動接点支持部４の図示を省略している。

ベース基板１の一表面１ａは平坦な面に形成されており、当該一表面１ａ側には、図２に示すように、一対の信号線６が形成される。一方の信号線６（以下、必要に応じて符号６Ａで表す）は、固定接点部２に接続され、他方の信号線６（以下、必要に応じて符号６Ｂで表す）は、可動接点部３に電気的に接続される。したがって、可動接点部３が固定接点部２に接触することによって、信号線６Ａ，６Ｂ間が電気的に接続される。また、信号線６Ｂには、上記の可動接点支持部４が接合される接合部６ａが形成される。なお、ベース基板１は、ガラスに限らず、セラミックスなどにより形成されたものであってもよい。

可撓部４０は、例えばシリコン基板よりなる基部４０ａを備える。基部４０ａは、可撓性が得られるように、厚みが薄い矩形の帯状に形成される。可撓部４０の長手方向の寸法（本実施形態の場合、基部４０ａの長手方向の寸法に等しい）は、その一端部が接合部６ａに、他端部が固定接点部２にそれぞれ対向可能な長さに設定される。

基部４０ａの厚み方向の一面（図２における下面）の全面には、金属薄膜（例えばＡｕ薄膜）よりなる導体部４０ｂが形成される。導体部４０ｂにおける基部４０ａ側とは反対側（図２における下面側）の長手方向の一端側（図２における左側）には、金属材料（例えばＡｕ）よりなる角柱状の支持部４１が形成され、長手方向の他端側（図２における右側）には可動接点部３が設けられる。

支持部４１は、可撓部４０とベース基板１との間に所定の隙間が形成されるように、可撓部４０をベース基板１の一表面１ａ側において支持するものである。上述した可動接点支持部４は、可撓部４０と支持部４１とを有した断面Ｌ字形に形成されており、支持部４１の先端面（図２における下端面）を、信号線６Ｂの接合部６ａの表面（図２における上面）に接合することで、ベース基板１の一表面１ａ側に固定される。これによって、可撓部４０は、導体部４０ｂをベース基板１側に向けるとともに、厚み方向がベース基板１の厚み方向と同方向となる形で、ベース基板１の一表面１ａ側に配置される。また、可動接点部３と信号線６Ｂとが、導体部４０ｂおよび支持部４１を通じて電気的に接続される。

なお、支持部４１と可動接点部３との距離は、可撓部４０の変形時に、可動接点部３がその中心軸Ｏ方向に沿って移動するとみなせるように、可動接点部３と固定接点部２との距離よりも十分に長くしている。

アクチュエータ５は、静電引力（クーロン力）を利用して可撓部４０を変形させるものであり、ベース基板１の一表面１ａ側において、固定接点部２と信号線６Ｂとの間に形成された固定電極５０を備える。本実施形態の微小電気機械スイッチでは、可動接点支持部４の導体部４０ｂを、固定電極５０に対応する可動電極として用いる。したがって、導体部４０ｂと固定電極５０との間に所定の駆動電圧を印加することで、導体部４０ｂが固定電極５０側に移動し、これによって、可撓部４０を、その先端部（長手方向の他端部）が固定接点部２に近付くように変形させる。

可動接点部３は、図１（ｂ）および図２に示すように、ベース基板１の一表面１ａの法線方向（本実施形態の場合、ベース基板１の厚み方向に等しい）を中心軸Ｏ方向とする円錐台状に形成される。したがって、本実施形態における可動接点部３は、中心軸Ｏに直交する直交面内における外周形状が正円形状である。また、可動接点部３は、直径が大きいほうの一底面（図２における上底面）が可撓部４０側、直径が小さいほうの他底面（図２における下底面）がベース基板１側となる形で、可撓部４０に固定される。そのため、可動接点部３の外周面３ａは、ベース基板１の一表面１ａから離れるにつれて中心軸Ｏから離れる形に傾斜している。

上述した可動接点部３および可動接点支持部４の形成方法について図３を参照して説明する。なお、以下の説明では、導体部４０ｂ、支持部４１、および可動接点部３の材料としてＡｕを用いた例について説明する。

まず、基部４０ａの基礎となるシリコン基板７０の厚み方向の一面側に、導体部４０ｂの基礎となる導体層７１をスパッタ法により形成する。導体層７１を形成した後には、導体層７１上にレジスト層７２を形成する。レジスト層７２には、可動接点部３を形成するための開口７２ａが形成される。この開口７２ａは、導体層７１から離れるにつれて内径が小さく形成される（開口７２ａの内側面が逆テーパ状に形成される）。また、レジスト層７２には、支持部４１を形成するための矩形状の開口（図示せず）が形成される。このようにレジスト層７２を形成した後には、導体層７１をシード層として用いてＡｕを、電気メッキ法により、可動接点部３用の開口７２ａおよび支持部４１用の上記開口それぞれの内部が隙間なく埋め込まれるように析出させて、可動接点部３および支持部４１を形成する。その後に、レジスト層７２の除去し、シリコン基板７０および導体層７１を所望の形状に加工することにより、可動接点部３が可撓部４０に形成された可動接点支持部４が得られる。

固定接点部２は、図１（ａ）に示すように、上記直交面内において上記径方向に沿った方向において、可動接点部３の外周面３ａに弾接される後述の接触面２０ａを有した複数（本実施形態では３つ）の接触部２０を備える。各接触部２０は、ベース基板１の一表面１ａへの可動接点部３の投影領域Ｐを囲う空洞部２１ａを有した枠体部２１に支持される。なお、図示例では枠体部２１の外周形状は正方形状であるが、これは枠体部２１を外周形状が正方形状のものに限定する趣旨ではない。

空洞部２１ａは、上記直交面内において中心軸Ｏを中心とする円の径方向を長手方向とする長方形状の複数（図示例では３つ）の第１空間部２１ｂと、複数の第１空間部２１ｂを相互に連通させる第２空間部２１ｃとで構成される。第２空間部２１ｃは中心軸Ｏを中心とし可動接点部３の外径（可撓部４０側の底面の外径）より大きい内径を有する円形状に形成される。この空洞部２１ａにおいて、上記直交面内における隣接する第１空間部２１ｂの中心線間の角度は何れも等しい（本実施形態の場合、第１空間部２１ｂの数が３つであるから、１２０度）。したがって、上記直交面内における空洞部２１ａの形状は、３回回転対称となっている。

接触部２０は、直方体状に形成されており、図１（ａ）に示すように、長手方向を第１空間部２１ｂの長手方向（すなわち、上記直交面内において中心軸Ｏを中心とする円の径方向）に沿わせ、かつ長手方向の一端側が第２空間部２１ｃに長手方向の他端側が第１空間部２１ｂに存在する形で、空洞部２１の内側に配置される。すなわち、各接触部２０それぞれは、上記直交面内において、中心軸Ｏを回転軸とし接触部２０の数だけ回転位置を有する回転対称（すなわち、本実施形態では接触部２０の数が３であるから、３回回転対称）となる形に配置されている。

この接触部２０は、その長手方向の一端側（すなわち中心軸Ｏ側）の側面が上述の接触面２０ａとして用いられる。当該接触面２０ａは、図１（ｂ）に示すように、ベース基板１の一表面１ａから離れるにつれて中心軸Ｏから離れる形に傾斜している。この接触面２０ａの傾斜角度θ（図１（ｂ）参照）は、可動接点部３の外周面３ａの傾斜角度φ（図１（ｂ）参照）と略等しくすることが好ましい。また、上記直交面内における接触面２０ａの曲率は、上記直交面内における外周面３ａの曲率よりやや大きい値とすることが好ましい。このようにすれば、接触面２０ａが外周面３ａに弾接した際の接触面積を増やすことができる。一方、接触部２０の幅寸法（上記直交面内において上記径方向に直交する方向における寸法）は、第１空間部２１ｂの幅寸法（上記直交面内において上記径方向に直交する方向における寸法）よりやや小さくなっている。これによって、第１空間部２１ｂの幅方向における両内側面が、接触部２０を挟み込むガイド部を構成する。当該ガイド部によれば、接触部２０が上記径方向以外の方向に移動しようとしても、接触部２０がガイド部に当たることで、接触部２０の規定方向（上記径方向）以外への移動が阻害され、接触部２０は、上記径方向に沿った方向へ移動させられる。

上述した接触部２０の長手方向の他端側の側面と、当該側面に対向する第１収納部２１ｂの内面との間は、接圧バネ部２２によって一体に連結される。

接圧バネ部２２は、上記径方向に沿った方向において伸縮可能な形（弾性を有する形）に形成される。そのため、接触部２０は、上記径方向に沿った方向に進退可能な形で枠体部２１に支持される。また、接圧バネ部２２の自然長（接圧バネ部２２に負荷がかけられていないときの上記径方向に沿った方向の長さ）は、中心軸Ｏ方向において接触部２０の接触面２０ａと可動接点部３の外周面３ａとが重なる位置に、接触部２０を配置できる長さに設定される。

ところで、本実施形態における固定接点部２では、図１（ａ）に示すように、一つの接触部２０に対して接圧バネ部２２が２つずつ設けられる。２つの接圧バネ部２２同士は、上記直交面内において、上記径方向に直交する方向に離間しており、これによって、接触部２０が、上記径方向以外の方向に移動し難くしている。なお、本実施形態における接圧バネ部２２は、上記直交面内において、上記径方向に直交する方向に凸となった弧状（弓状）に形成されているが、この形状に限定されず、上記径方向に沿った方向において伸縮可能な形に形成されていればよい。

上述した固定接点部２では、接触部２０を上記径方向に沿った方向に移動可能とするために、図１（ｂ）に示すように、接触部２０および接圧バネ部２２とベース基板１の一表面１ａとの間に隙間Ｓを形成する必要がある。

以下、ベース基板１の一表面１ａとの間に隙間Ｓを有するような固定接点部２の形成方法について図４を参照して説明する。なお、以下の説明では、ベース基板１としてガラス基板、固定接点部２の材料としてＡｕを用いた例について説明する。

まず、ベース基板１の一表面１ａ側に、ＣＶＤ法などを用いて犠牲層８０を形成する（図４（ａ）参照）。なお、犠牲層８０の材料としては、Ｃｕなどを用いることができる。次に、ＣＶＤ法などを用いて、犠牲層８０を覆う形でＡｕよりなるシード層８１を形成し、図４（ｂ）に示す構造を得る。シード層８１を形成した後には、シード層８１上にレジスト層８２を形成し、このレジスト層８２を、フォトリソグラフィ技術を利用して、所望の形状にパターニングした（所望の固定接点部２の形状が得られるようにパターニングした）後に、電気メッキ法によりＡｕをシード層８１に析出させることによりＡｕよりなるメッキ層８３を形成し、図４（ｃ）に示す構造を得る。メッキ層８３を形成した後には、エッチング技術を利用して、レジスト層８２を除去してから、シード層８１の不要部分（メッキ層８３より露出するシード層８１の部分）８１ａを除去して、犠牲層８０を露出させる（図４（ｄ）参照）。最後に、犠牲層８１を除去することで、図４（ｅ）に示すように、ベース基板１の一表面１ａとの間に隙間Ｓを有した固定接点部２が得られる。なお、固定接点部２の形成と同時に、信号線６や、固定電極５０を形成するようにしてもよい。

また、固定接点部２の形成方法の他例について図５を参照して説明する。まず、ベース基板１ａの一表面１ａ側に、サンドブラスト技術やエッチング技術などを用いて、凹部１ｂを形成する（図５（ａ）参照）。その後に、ベース基板１の凹部１ｂ内にＣＶＤ法などを用いて犠牲層８０を形成し、続いて犠牲層８０の表面（図５（ｂ）における上面）がベース基板１の一表面１ａと同一平面上に位置するようにＣＭＰによる平坦化処理を行い、図５（ｂ）に示す構造を得る。その後に、上述した方法と同様の方法にて、シード層８１を形成し（図５（ｃ）参照）、レジスト層８２およびメッキ層８３を形成し（図５（ｄ）参照）、レジスト層８２およびシード層８１の不要部分８１ａを除去し（図５（ｅ）参照）、犠牲層８１を除去することで、図５（ｆ）に示すように、ベース基板１の一表面との間に隙間Ｓを有した固定接点部２が得られる。なお、このような固定接点部２は、上述した方法に限定されず、周知のマイクロマシニング技術（例えばバルクマイクロマシニング技術）を利用して形成することができる。

上述した本実施形態の微小電気機械スイッチは、アクチュエータ５を駆動していない常時は、可動接点部３と固定接点部２とが離間しており、一対の信号線６Ａ，６Ｂ間は遮断される（オフ状態）。そして、アクチュエータ５を駆動すると、上述したように可撓部４０が変形させられて、可動接点部３が固定接点部２側（図１（ｂ）における下側）に移動する。これによって、可動接点部３は、各接触部２０それぞれの接触面２０ａで囲まれた空間部に入り込む。接触部２０の接触面２０ａは、中心軸Ｏ方向において可動接点部３の外周面３ａと重なっているから、可動接点部３の外周面３ａは、各接触部２０の接触面２０ａそれぞれに当接する。

この状態からさらに可動接点部３が移動すると（図１（ｂ）における下側に移動すると）、可動接点部３の外周面３ａが接触面２０ａ上を摺動するのであるが、可動接点部３の外周面３ａおよび接触面２０ａそれぞれはベース基板１の一表面１ａから離れるにつれて中心軸Ｏから離れる形に傾斜しているから、可動接点部３がベース基板１側に移動するにつれて、接触部２０は、投影領域Ｐより退出するように（第１空間部２１ｂ側に）移動させられる。このように接触部２０が第１空間部２１ｂ側に移動することによって、接圧バネ部２２が圧縮されるから、接触部２０は、接圧バネ部２２の復元力に応じた力が可動接点部３を押圧する。

ここで、接触部２０が可動接点部３を押圧する力の向きは、上記直交面内において中心軸Ｏを中心とする円の径方向に沿った方向（可動接点部３の中心軸Ｏ方向に交差する方向）になる。また、各接触部２０それぞれは、上記直交面内において、可動接点部３の中心軸Ｏを回転軸とし接触部２０の数だけ回転位置を有する回転対称（本実施形態では３回回転対称）となる形に配置されているので、接触部２０が可動接点部３を押圧する力の単位方向ベクトルの総和はゼロベクトルとなり、接触部２０が可動接点部３を押圧する力の大きさが等しければ、各接触部２０それぞれと可動接点部３との間の接圧はいずれも等しくなる。また、接触部２０の数は３つであるから、一の接触部２０が可動接点部３を押圧する力を、２つの他の接触部２０で受けることができて、接触部２０が可動接点部３を押圧する力に偏りがある場合であっても、接触部２０の数が２つや４つであるような場合に比べれば、可動接点部３に各接触部２０を均等な接圧で接触させることができる。

上述したようにして、可動接点部３の外周面３ａに各接触部２０それぞれの接触面２０ａが弾接することによって、可動接点部３と固定接点部２との間が導通し、これによって、信号線６Ａ，６Ｂ間が、固定接点部２、可動接点部３、導体部４０ｂ、および支持部４１により電気的に接続される（オン状態）。

この後に、アクチュエータ５の駆動を停止すると、可撓部４０が変形前の形状に復帰し（図２参照）、可動接点部３が固定接点部２から離れる方向に移動し、その結果、可動接点部３が固定接点部２より離間して、一対の信号線６Ａ，６Ｂ間が遮断される（オフ状態）。

以上述べたように、本実施形態の微小電気機械スイッチによれば、接触部２０が可動接点部３を押圧する力の大きさが等しければ、各接触部２０それぞれと可動接点部３との間の接圧はいずれも等しくなり、また、接触部２０が可動接点部３を押圧する力に偏りがある場合であっても、接触部２０の数が２つや４つであるような場合に比べれば、可動接点部３に各接触部２０を均等な接圧で接触させることができるから、可動接点部３と固定接点部２との接触状態が安定し、その結果、オン抵抗の悪化や、スティッキングの発生などを抑制することができるようになり、可動接点部３と固定接点部２との接触信頼性を向上することができる。

ところで、可動接点部３の移動方向と、可動接点部３と固定接点部２との接触方向とが略同方向である場合には、可動接点部３と固定接点部２との接圧は、可動接点部３を固定接点部２側に移動させる力（アクチュエータ５の駆動力）の大きさに依存し、接圧を高くするためには、駆動力を大きくする必要があり、例えば、本実施形態のようにアクチュエータ５として静電引力を利用したものを採用した場合には、比較的高い駆動電圧を印加する必要があり、比較的消費電力が大きいという問題があった。かかる問題に対して、本実施形態の微小電気機械スイッチでは、可動接点部３の移動方向と、可動接点部３に固定接点部２の接触部２０が接触する方向とが略直交（交差）しているので、可動接点部３と接触部２０との接圧は、接圧バネ部の復元力によってのみ決まり、この復元力は、可動接点部３の位置によって決まる。そのため、可動接点部３を所定位置まで移動させることができれば、所望の接圧を得ることが可能であるから、可動接点部３の移動方向と、可動接点部３と固定接点部２との接触方向とが略同方向である場合に比べれば、低消費電力化を図ることができる。また、可動接点部３の外周面３ａと接触部２０の接触面２０ａとの間の摩擦力が小さくすれば、可動接点部３を所定位置まで移動させるために必要な駆動力をより小さくすることができるから、さらなる低消費電力化を図ることができる。

さらに、本実施形態の微小電気機械スイッチでは、可動接点部３の外周面３ａは、ベース基板１の一表面１ａから離れるにつれて中心軸Ｏから離れる形に傾斜しており、また各接触部２０それぞれの接触面２０ａも、ベース基板１の一表面１ａから離れるにつれて中心軸Ｏから離れる形に傾斜している。そのため、可動接点部３が固定接点部２において接触部２０で囲まれた空間部に入り込み易くなり、また外周面３ａが接触面２０ａ上を滑りやすくなる（摺動性が向上する）から、アクチュエータ５の消費電力を低減することができる。しかも、微視的には、可動接点部３の外周面３ａと接触部２０の接触面２０ａとが平行しているので、可動接点部３の外周面３ａと接触部２０の接触面２０ａとの接触部分の面積を増やすことができるから、接触抵抗を低くすることができ、オン抵抗の悪化や、スティッキングの発生などを抑制することができる。なお、このような効果は、可動接点部３の外周面３ａと接触部２０それぞれの接触面２０ａとのいずれか一方を、ベース基板１の一表面１ａから離れるにつれて中心軸Ｏから離れる形に傾斜させることで得ることができるが、両方を上記のように傾斜させたほうがより有効である。

また、本実施形態では、外周面３ａの傾斜角度と、接触面２０ａの傾斜角度とを等しい角度としているので、外周面３ａが接触面２０ａ上をさらに滑りやすくなり、また、可動接点部３の外周面３ａと接触部２０の接触面２０ａとの接触部分の面積をさらに増やすことができる。なお、可動接点部３における固定接点部２との対向面側の角部を、面取り、あるいはＲ状に形成することで、可動接点部３が固定接点部２において接触部２０で囲まれた空間部にさらに入り込み易くなり、また、上記角部が接触面２０ａに当たることによって可動接点部３の移動が阻害されてしまうことを抑制することができる。

また、本実施形態の微小電気機械スイッチでは、固定接点部２は、接触部２０の接触面２０ａを可動接点部３の外周面３ａに弾接させる接圧バネ部２２を、各接触部２０それぞれに対して複数備えて（本実施形態では２つ備えて）なるので、接触部２０に対して１つの接圧バネ部２２だけを設ける場合に比べれば、接触部２０の接触面２０ａが可動接点部３の外周面３ａに、上記直交面内において上記径方向に沿った方向で弾接し易くなるから、接触信頼性が向上する。さらに、上記のガイド部を設けたことによって、接触部２０が、上記直交面内において上記径方向に沿った方向以外の方向に変位し難くなるので（上記径方向に沿って移動させられるので）、接触部２０の接触面２０ａが可動接点部３の外周面３ａに、上記径方向に沿った方向で弾接し易くなるから、接触信頼性が向上する。

なお、本実施形態の微小電気機械スイッチは、あくまでも本発明の一実施形態に過ぎないものであって、本発明の技術的範囲を本実施形態のものに限定する趣旨ではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲での変更は当然に行える。例えば、接触部２０の数は３つに限定されず、３の整数倍（３ｎ；ただしｎは１以上の整数）の本数であってもよい。この場合、各接触部２０それぞれが、上記直交面内において、中心軸Ｏを回転軸とし接触部２０の数（すなわち３ｎ）だけ回転位置を有する回転対称（すなわち３ｎ回回転対称）となる形に配置されていれば、同様の効果が得られる。また、可動接点部３の外周形状は、接触部２０の数の等倍、あるいは整数倍の数の辺を有する正多角形状（例えば、本実施形態のように接触部２０の数が３であれば、正三角形状、正六角形状など）であってもよい。

また、本実施形態の微小電気機械スイッチでは、アクチュエータ５として静電引力を利用したものを例示しているが、アクチュエータ５としては、圧電効果を利用したものを採用することもできる。圧電効果を利用したアクチュエータ５は、可撓部４０に、下部電極（図示せず）と、圧電材料部（図示せず）と、上部電極（図示せず）とを順次積層することで形成することができ、上部電極と下部電極との間に所定の駆動電圧を印加することによって、可撓部４０を変形させる。このような圧電効果を利用したアクチュエータ５は従来周知のものを採用できるから詳細な説明は省略する。

このような圧電効果を利用するアクチュエータ５は、静電引力を利用するものに比べて、消費電力を低く抑えながらも可撓部４０の変形量を大きくすることができる。例えば、静電引力を利用するものでは３０Ｖ程度の電圧が必要である場合でも、圧電効果を利用するものでは、５〜１０Ｖ程度の電圧で可撓部４０を同程度に変形させることが可能になる。そのため、圧電効果を利用したアクチュエータ５を用いることで、消費電力を低く抑えながらも、可動接点部３と固定接点部２との間隔を広げて信号の漏れを低減することができ、アイソレーション特性の向上が図れる。なお、圧電材料部は、例えば、鉛系圧電材料であれば、ＰＺＴや、ＰＺＴに不純物を添加したもの、ＰＭＮ−ＰＺＴなどを採用することができる。また、圧電材料部の材料は、鉛系圧電材料に限らず、例えば、ＫＮＮ（ニオブ酸カリウムナトリウム）や、ＫＮ（ＫＮｂＯ_３）、ＮＮ（ＮａＮｂＯ_３）、ＫＮＮに不純物（例えば、Ｌｉ、Ｎｂ、Ｔａ、Ｓｂ、Ｃｕなど）を添加したものなどの鉛フリーの圧電材料（無鉛圧電セラミックス）を採用することができる。ここで、上述の鉛系圧電材料や、ＫＮＮ、ＫＮ、ＮＮなどは、ＡｌＮやＺｎＯなどに比べて圧電定数が大きい。そのため、圧電材料部の材料として、上述の鉛系圧電材料や、ＫＮＮ、ＫＮ、ＮＮなどを用いれば、駆動電圧の値が同じであっても、ＡｌＮやＺｎＯなどを用いた場合に比べれば、可撓部４０の変形量を大きくすることができる。また、圧電材料部の材料としてＫＮＮなどの鉛フリーの圧電材料を用いれば、環境負荷を低減することができる。

また、アクチュエータ５は、圧電効果を利用した主駆動手段（図示せず）と、静電引力を利用した副駆動手段（図示せず）とを有するハイブリッド型のものであってもよい。このようなアクチュエータ５を用いる場合、接点を閉じる際には、まず主駆動手段を駆動して、可動接点部３を固定接点部２側に移動させて、可動接点部３を固定接点部２に接触させた後に、副駆動手段を駆動し、可動接点部３の位置を調整することで、可動接点部３と接触部２０との間の接圧を所望の値に調整することができる。

また、上記の例では、固定接点部２、可動接点部３、導体部４０ｂ、固定電極５０、および信号線６の材料としてＡｕを例示しているが、Ａｕの他に、Ｎｉ、Ａｇ、Ｃｕ、Ｐｄ、Ｒｈ、Ｒｕ、Ｐｔ、Ｉｒ、Ｏｓや、これらのなかの少なくとも１種を含む合金を採用することができる。また、固定接点部２、可動接点部３、導体部４０ｂ、固定電極５０、および信号線６は、複数の金属材料を用いて形成されたものであってもよい。この点は、後述する実施形態２、および参考例１，２においても同様である。

（実施形態２）
本実施形態の微小電気機械スイッチは、図６および図７に示すように、主として固定接点部２の構成が実施形態１と異なっており、その他の構成は実施形態１と同様であるから、同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。なお、図７（ｂ）では可動接点支持部４の図示を省略している。

本実施形態における固定接点部２は、図６に示すように、ベース基板１の一表面１ａ側に形成された略正方形状の基台部２３を備える。基台部２３におけるベース基板１側とは反対側（図６における上面側）には、枠体部２１が形成される。本実施形態における枠体部２１は、円形状の空洞部２１ａを有しており、外周形状は基台部２３の外周形状と同形状である。

そして、図７（ａ），（ｂ）に示すように、空洞部２１ａ内に露出する基台部２３の部位に、接触部２０が複数（本実施形態では３つ）突設される。本実施形態における接触部２０は、十分な可撓性（弾性）を有するように厚み（上記直交面内において上記径方向に沿った方向における寸法）が薄くされた壁状に形成されており、上記直交面に平行する面における断面形状は弧状（円弧状）である。各接触部２０それぞれは、凹面を中心軸Ｏ側に向けるとともに、上記直交面内において、中心軸Ｏを回転軸とし接触部２０の数だけ回転位置を有する回転対称（すなわち、本実施形態では接触部２０の数が３であるから、３回回転対称）となる形に配置される。なお、このような固定接点部２は、例えば周知のマイクロマシニング技術（例えばバルクマイクロマシニング技術）などを利用して形成することができる。

したがって、本実施形態における接触部２０では、凹面が可動接点部３との接触面２０ａとなる。なお、接触部２０の接触面（上記凹面）２０ａの上記直交面内における曲率は、可動接点部３の外周面３ａの曲率に等しくしてあり、また、接触部２０の接触面２０ａと中心軸Ｏとの距離は、可動接点部３の上記他底面の半径より大きく、上記一底面の半径より小さくしている。換言すれば、本実施形態における接触部２０は、可動接点部３の上記他底面の直径より大きく、上記一底面の直径より小さい内径を有する円筒を、その周方向に３分割した形である。

上述した本実施形態の微小電気機械スイッチは、アクチュエータ５を駆動していない常時は、可動接点部３と固定接点部２とが離間しており、一対の信号線６Ａ，６Ｂ間は遮断される（オフ状態）。そして、アクチュエータ５を駆動すると、可動接点部３が固定接点部２側（図７（ｂ）における下側）に移動するように可撓部４０が変形する。その結果、可動接点部３は、各接触部２０それぞれの接触面２０ａで囲まれた空間部に入り込む。

ここで、接触部２０の凹面と中心軸Ｏとの距離は、可動接点部３の上記他底面の半径より大きく、上記一底面の半径より小さいから、各接触部２０それぞれの接触面２０ａで囲まれた空間部の内径は、可動接点部３の上記他底面の直径より大きく、上記一底面の直径より小さい。そのため、可動接点部３がベース基板１側に移動するにつれて、接触部２０は、中心軸Ｏ側とは反対側に倒れるように変形し、これによって、可動接点部３の外周面３ａは、各接触部２０の接触面２０ａそれぞれに当接する。このように接触部２０が変形すると、接触部２０は自身の復元力によって元の形に戻ろうとするから、この復元力に応じた接圧が、接触面２０ａと外周面３ａとの間に生じる。したがって、接触部２０の接触面２０ａは、上記直交面内において、上記径方向に沿った方向より、可動接点部３の外周面３ａに弾接する。

このように、接触部２０が可動接点部３を押圧する力の向きは、上記直交面内において中心軸Ｏを中心とする円の径方向に沿った方向（可動接点部３の中心軸Ｏ方向に交差する方向）になる。また、各接触部２０それぞれは、上記直交面内において、可動接点部３の中心軸Ｏを回転軸とし接触部２０の数だけ回転位置を有する回転対称（本実施形態では３回回転対称）となる形に配置されているので、接触部２０が可動接点部３を押圧する力の単位方向ベクトルの総和はゼロベクトルとなり、接触部２０が可動接点部３を押圧する力の大きさが等しければ、各接触部２０それぞれと可動接点部３との間の接圧はいずれも等しくなる。また、接触部２０の数は３つであるから、一の接触部２０が可動接点部３を押圧する力を、２つの他の接触部２０で受けることができて、接触部２０が可動接点部３を押圧する力に偏りがある場合であっても、接触部２０の数が２つや４つであるような場合に比べれば、可動接点部３に各接触部２０を均等な接圧で接触させることができる。

上述したようにして、可動接点部３の外周面３ａに各接触部２０それぞれの接触面２０ａが弾接することによって、可動接点部３と固定接点部２との間が導通し、これによって、信号線６Ａ，６Ｂ間が、固定接点部２、可動接点部３、導体部４０ｂ、および支持部４１により電気的に接続される（オン状態）。

この後に、アクチュエータ５の駆動を停止すると、可撓部４０が変形前の形状に復帰し（図６参照）、可動接点部３が固定接点部２から離れる方向に移動し、その結果、可動接点部３が固定接点部２より離間して、一対の信号線６Ａ，６Ｂ間が遮断される（オフ状態）。

以上述べたように、本実施形態の微小電気機械スイッチによれば、上記実施形態１と同様の効果が得られる。また、本実施形態では、接触部２０が接圧バネ部２２を兼ねているので、実施形態１のものに比べて固定接点部２を簡単な形状とすることができ、固定接点部２を容易に形成することが可能になる。

（参考例１）
本参考例の微小電気機械スイッチは、図８および図９に示すように、主として固定接点部２の構成が実施形態１と異なっており、その他の構成は実施形態１と同様であるから、同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。なお、図９（ｂ）では可動接点支持部４の図示を省略している。

本参考例における固定接点部２は、図９（ａ）に示すように、上記直交面内において中心軸Ｏを中心とする円の径方向に沿った方向において、可動接点部３の外周面３ａに弾接される接触面２０ａを有した複数（本参考例では２つ）の接触部２０を備える。各接触部２０は、ベース基板１の一表面１ａへの可動接点部３の投影領域Ｐを囲う空洞部２１ａを有した枠体部２１に支持される。なお、図示例では枠体部２１の外周形状は正方形状であるが、これは枠体部２１を外周形状が正方形状のものに限定する趣旨ではない。

本参考例における空洞部２１ａは、上記直交面内において中心軸Ｏを中心とする略正方形状に形成される（すなわち枠体部２１は正方形の枠よりなる）。

本参考例における接触部２０は、直方体状に形成されており、短手方向（長さ方向、図９（ａ）における左右方向）を上記直交面内において中心軸Ｏを中心とする円の径方向に沿わせた形で、空洞部２１ａの内側に配置されており、その短手方向の一端側（すなわち中心軸Ｏ側）に接触面２０ａが形成される。また、２つの接触部２０は、上記直交面内において中心軸Ｏに対して点対称となる位置に配置される。すなわち、各接触部２０それぞれは、上記直交面内において、中心軸Ｏを回転軸とし接触部２０の数だけ回転位置を有する回転対称（すなわち、本参考例では接触部２０の数が２であるから、２回回転対称）となる形に配置される。

また、接触部２０の接触面２０ａは、図９（ｂ）に示すように、ベース基板１の一表面１ａから離れるにつれて中心軸Ｏから離れる形に傾斜している。この接触面２０ａの傾斜角度θは、可動接点部３の外周面３ａの傾斜角度φと略等しい値とすることが好ましく、また、上記直交面内における接触面２０ａの曲率は、上記直交面内における外周面３ａの曲率よりやや大きい値とすることが好ましい。このようにすれば、接触面２０ａが外周面３ａに弾接した際の接触面積を増やすことができる。

このような接触部２０は、接圧バネ部２２によって枠体部２１に一体に連結される。接圧バネ部２２は、上記直交面内において、上記径方向に直交する方向を長手方向とする帯状に形成されており、接触部２０の短手方向の他端部における長手方向（幅方向、図９（ａ）における上下方向）の両側面それぞれと、当該側面それぞれに対向する空洞部２１ａの内側面との間を一体に連結する（図９（ａ）参照）。

したがって、本参考例における接触部２０は、上記径方向に沿った方向に進退可能な形で枠体部２１に支持される。また、接圧バネ部２２の形状は、中心軸Ｏ方向において接触部２０の接触面２０ａと可動接点部３の外周面３ａとが重なる位置に、接触部２０を配置できる形に設定される。上述した本参考例の固定接点部２は、実施形態１で述べた方法（図４，５に示す方法）の他、周知のマイクロマシニング技術（例えばバルクマイクロマシニング技術）を利用して形成することができる。

上述した本参考例の微小電気機械スイッチは、アクチュエータ５を駆動していない常時は、可動接点部３と固定接点部２とが離間しており、一対の信号線６Ａ，６Ｂ間は遮断される（オフ状態）。そして、アクチュエータ５を駆動すると、可動接点部３が固定接点部２側（図９（ｂ）における下側）に移動するように可撓部４０が変形する。これによって、可動接点部３は、各接触部２０それぞれの接触面２０ａで囲まれた空間部に入り込む。接触部２０の接触面２０ａは、中心軸Ｏ方向において可動接点部３の外周面３ａと重なっているから、可動接点部３の外周面３ａは、各接触部２０の接触面２０ａそれぞれに当接する。

この状態からさらに可動接点部３が移動すると（図９（ｂ）における下側に移動すると）、可動接点部３の外周面３ａが接触面２０ａ上を摺動する。このとき、可動接点部３の外周面３ａおよび接触面２０ａそれぞれはベース基板１の一表面１ａから離れるにつれて中心軸Ｏから離れる形に傾斜しているから、可動接点部３がベース基板１側に移動するにつれて、接触部２０は、投影領域Ｐより退出するように移動させられるから、接圧バネ部２２が変形する。そのため、接触部２０は、接圧バネ部２２の復元力に応じた力で可動接点部３を押圧する。

ここで、接触部２０が可動接点部３を押圧する力の向きは、上記直交面内において中心軸Ｏを中心とする円の径方向に沿った方向になる。また、各接触部２０それぞれは、上記直交面内において、可動接点部３の中心軸Ｏを回転軸とし接触部２０の数だけ回転位置を有する回転対称（本参考例では２回回転対称）となる形に配置されているので、接触部２０が可動接点部３を押圧する力の単位方向ベクトルの総和はゼロベクトルとなり、接触部２０が可動接点部３を押圧する力の大きさが等しければ、各接触部２０それぞれと可動接点部３との間の接圧はいずれも等しくなり、可動接点部３に各接触部２０を均等な接圧で接触させることができる。

上述したようにして、可動接点部３の外周面３ａに各接触部２０それぞれの接触面２０ａが弾接することによって、可動接点部３と固定接点部２との間が導通し、これによって、信号線６Ａ，６Ｂ間が、固定接点部２、可動接点部３、導体部４０ｂ、および支持部４１により電気的に接続される（オン状態）。

この後に、アクチュエータ５の駆動を停止すると、可撓部４０が変形前の形状に復帰し（図８参照）、可動接点部３が固定接点部２から離れる方向に移動し、その結果、可動接点部３が固定接点部２より離間して、一対の信号線６Ａ，６Ｂ間が遮断される（オフ状態）。

以上述べたように、本参考例の微小電気機械スイッチによれば、接触部２０が可動接点部３を押圧する力の大きさが等しければ、各接触部２０それぞれと可動接点部３との間の接圧はいずれも等しくなり、可動接点部３に各接触部２０を均等な接圧で接触させることができるから、可動接点部３と固定接点部２との接触状態が安定し、その結果、オン抵抗の悪化や、スティッキングの発生などを抑制することができるようになり、可動接点部３と固定接点部２との接触信頼性を向上することができる。

また、本参考例においても、可動接点部３の移動方向と、接触部２０が可動接点部３に接触する方向とが略直交（交差）しているので、可動接点部３の移動方向と、接触部２０が可動接点部３に接触する方向とが略同方向である場合に比べれば、低消費電力化を図ることができる。また、可動接点部３の外周面３ａと接触部２０の接触面２０ａとの間の摩擦力が小さくすることで、さらなる低消費電力化を図ることができる。

また、本参考例の微小電気機械スイッチでは、固定接点部２は、接触部２０の接触面２０ａを可動接点部３の外周面３ａに弾接させる接圧バネ部２２を、各接触部２０それぞれに対して複数備えて（本参考例では２つ備えて）なるので、接触部２０に対して１つの接圧バネ部２２だけを設ける場合に比べれば、接触部２０の接触面２０ａと可動接点部３の外周面３ａとが、可動接点部３の中心軸Ｏに直交する直交面内において中心軸Ｏを中心とする円の径方向に沿った方向において接触し易くなり、接触安定性をより向上することができる。

（参考例２）
本参考例の微小電気機械スイッチは、図１０および図１１に示すように、主として固定接点部２の構成が実施形態１と異なっており、その他の構成は実施形態１と同様であるから、同様の構成については同一の符合を付して説明を省略する。なお、図１１（ｂ）では可動接点支持部４の図示を省略している。

本参考例における固定接点部２は、ベース基板１の一表面１ａの法線方向を中心軸方向とするコイル状（中心軸方向に沿った方向において、内径が一定な螺旋状、常螺旋状ともいう）に形成される。また、固定接点部２の内径は、図１１（ａ），（ｂ）に示すように、可動接点部３の上記一底面（図１１（ｂ）における上底面）の直径より大きく、上記他底面（図１１（ｂ）における下底面）の直径より小さい。そのため、固定接点部２の内周面２ａが、可動接点部３との接触面となる。このような固定接点部２は、その中心軸が、可動接点部３の中心軸と一致するようにして、信号線６Ａ上に形成される。なお、このような固定接点部２は、例えば周知のマイクロマシニング技術（例えばバルクマイクロマシニング技術）などを利用して形成することができる。

上述した本参考例の微小電気機械スイッチは、アクチュエータ５を駆動していない常時は、可動接点部３と固定接点部２とが離間しており、一対の信号線６Ａ，６Ｂ間は遮断される（オフ状態）。そして、アクチュエータ５を駆動すると、上述したように可撓部４０が変形するため、可動接点部３は固定接点部２側（図１１（ｂ）における下側）に移動させられる。ここで、固定接点部２の中心軸は、可動接点部３の中心軸Ｏに一致しており、固定接点部２の内径は、可動接点部３の上記他底面の直径より大きく、上記一底面の直径より小さい。そのため、可動接点部３は、固定接点部２の内側に容易に入り込む。そして、可動接点部３の外周面３ａが固定接点部２の内周面２ａに当接することで、可動接点部３と固定接点部２とが接触し、ここからさらに可動接点部３をベース基板１側に移動させると、可動接点部３により固定接点部２が押し広げられ、これによって、可動接点部３の外周面３ａに、固定接点部２の内周面２ａが、その全周に亘って弾接する。

上述したようにして、可動接点部３の外周面３ａに固定接点部２の内周面２ａが弾接することによって、可動接点部３と固定接点部２との間が導通し、これによって、信号線６Ａ，６Ｂ間が、固定接点部２、可動接点部３、導体部４０ｂ、および支持部４１により電気的に接続される（オン状態）。

この後に、アクチュエータ５の駆動を停止すると、可撓部４０が変形前の形状に復帰し（図１０参照）、可動接点部３が固定接点部２から離れる方向に移動し、その結果、可動接点部３が固定接点部２より離間して、一対の信号線６Ａ，６Ｂ間が遮断される（オフ状態）。

以上述べたように、本参考例の微小電気機械スイッチによれば、固定接点部２は、コイル状に形成されており、可動接点部３が内側に位置した状態で、固定接点部２の内周面２ａが可動接点部３の外周面３ａに、全周に亘って当接するので、可動接点部３に固定接点部２を均等な接圧で接触させることができるから、可動接点部３と固定接点部２との接触状態が安定し、その結果、オン抵抗の悪化や、スティッキングの発生などを抑制することができるようになり、可動接点部３と固定接点部２との接触信頼性を向上することができる。また、本参考例では、実施形態１に比べて固定接点部２を簡単な形状とすることができ、固定接点部２を容易に形成することが可能になる。

また、本参考例の微小電気機械スイッチでは、可動接点部３の移動方向と、可動接点部３に固定接点部２の内周面２ａが接触する方向とが略直交（交差）しているので、可動接点部３と固定接点部２との接圧は、固定接点部２の復元力によってのみ決まり、この復元力は、可動接点部３の位置によって決まる。そのため、可動接点部３を所定位置まで移動させることができれば、所望の接圧を得ることが可能であるから、可動接点部３の移動方向と、可動接点部３が固定接点部２に接触する方向とが略同方向である場合に比べれば、低消費電力化を図ることができる。また、可動接点部３の外周面３ａと固定接点部２の内周面２ａとの間の摩擦力が小さくすれば、可動接点部３を所定位置まで移動させるために必要な駆動力をより小さくすることができるから、さらなる低消費電力化を図ることができる。

ところで、本参考例における固定接点部２は、その中心軸方向に沿った方向において、内径が一定な螺旋状に形成されているが、固定接点部２の中心軸方向に沿った方向においてベース基板１側に近付くにつれて、内径が徐々に小さくなるような螺旋状に形成されていてもよい。このようにすれば、可動接点部３が固定接点部２の内側に入り込み易くなり、また外周面３ａが内周面２ａ上を滑りやすくなるから、さらに接触信頼性が向上する。しかも、微視的には、可動接点部３の外周面３ａと固定接点部２の内周面２ａとが平行し、外周面３ａと内周面２ａとの接触面積を増やすことができるから、接触抵抗を低くすることができ、オン抵抗の悪化や、スティッキングの発生などを抑制することができる。この場合、可動接点部３の中心軸Ｏを含む平面においては、外周面３ａの傾斜角度と、内周面２ａの傾斜角度とを等しい角度とすることが好ましく、このようにすれば、外周面３ａが内周面２ａ上をさらに滑りやすくなり、また、外周面３ａと接触面２０ａとの接触面積をさらに増やすことができる。

（ａ）は実施形態１の微小電気機械スイッチの要部の部分平面図、（ｂ）は同図（ａ）のＡ−Ａ線矢視断面図である。 同上の微小電気機械スイッチの分解斜視図である。 同上における可動接点部の形成方法の説明図である。 同上における固定接点部の形成方法の説明図である。 同上における固定接点部の形成方法の説明図である。 実施形態２の微小電気機械スイッチの分解斜視図である。 （ａ）は同上の要部の部分平面図、（ｂ）は同図（ａ）のＢ−Ｂ線矢視断面図である。 参考例１の微小電気機械スイッチの分解斜視図である。 （ａ）は同上の要部の部分平面図、（ｂ）は同図（ａ）のＣ−Ｃ線矢視断面図である。 参考例２の微小電気機械スイッチの分解斜視図である。 （ａ）は同上の要部の部分平面図、（ｂ）は側面図である。 従来例の微小電気機械スイッチの概略断面図である。

符号の説明

１ ベース基板
１ａ 一表面
２ 固定接点部
３ 可動接点部
３ａ 外周面
４ 可動接点支持部
５ アクチュエータ
２０ 接触部
２０ａ 接触面
２２ 接圧バネ部
４０ 可撓部
Ｏ 中心軸

Claims (5)

1. ベース基板の一表面側に形成された固定接点部と、ベース基板の上記一表面側において固定接点部に対向する部位に可動接点部が形成された可撓部を有しベース基板の上記一表面側に固定された可動接点支持部と、可動接点部が固定接点部に接触するように可動接点支持部の可撓部を変形させるアクチュエータとを備え、
   可動接点部は、ベース基板の上記一表面の法線方向を中心軸の方向とし、
   固定接点部は、上記中心軸の方向に直交する直交面内において上記中心軸を中心とする円の径方向に沿った方向において、可動接点部の外周面に弾接される接触面を有した複数の接触部を有してなり、
   接触部の数は３の整数倍の数であり、
   各接触部それぞれは、上記直交面内において、上記中心軸を回転軸とし接触部の数だけ回転位置を有する回転対称となる形に配置されていることを特徴とする微小電気機械スイッチ。
2. 上記可動接点部の上記外周面は、上記ベース基板の上記一表面から離れるにつれて上記中心軸から離れる形に傾斜していることを特徴とする請求項１記載の微小電気機械スイッチ。
3. 上記各接触部それぞれの上記接触面は、上記ベース基板の上記一表面から離れるにつれて上記中心軸から離れる形に傾斜していることを特徴とする請求項１または２記載の微小電気機械スイッチ。
4. 上記固定接点部は、上記接触部の上記接触面を上記可動接点部の上記外周面に弾接させる接圧バネ部を、上記各接触部それぞれに対して複数備えてなることを特徴とする請求項１〜３のうちいずれか１項記載の微小電気機械スイッチ。
5. 上記固定接点部は、上記直交面内において上記径方向に直交する方向において上記接触部を挟み込むガイド部を備えることを特徴とする請求項１〜４のうちいずれか１項記載の微小電気機械スイッチ。

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