JP2009238546A - 微小電気機械スイッチ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】微小電気機械スイッチは、厚み方向の一面側に可動接点2が設けられた台部10および可撓性を有し台部10をベース基板5上に支持する3本のアーム部11を有した可動接点支持台1と、台部10の上記一面側において可動接点2に対向配置された一対の固定接点3と、3本のアーム部11それぞれに設けられ台部10の可動接点2が一対の固定接点3の両方に接触する形にアーム部11を変形させる3つのアクチュエータ4とを備え、3本のアーム部11は、いずれも同じ形状を有し、台部10の厚み方向に直交する面内において可動接点2を中心とする円Cの径方向に沿う形に配置され、上記面内において隣接するアーム部11間の角度θはいずれも等しく120度である。
【選択図】図1
Description
本実施形態の微小電気機械スイッチは、例えば、高周波信号の伝送に使用されるMEMSスイッチであり、図1(a)〜(c)に示すように、ベース基板5の一表面側(図1(b)における上面側)に形成された可動接点支持台1を備える。この可動接点支持台1は、厚み方向の一面側(図1(b)における上面側)に可動接点2が設けられた台部10と、当該台部10に一端が固定されるとともに他端がベース基板5に固定され台部10をその厚み方向(図1(b)における上下方向)に沿った方向に移動自在に支持する可撓性を有する複数本(本実施形態では3本)のアーム部11を備える。
本実施形態の微小電気機械スイッチは、図3(a)〜(c)に示すように、台部10の形状が実施形態1と異なっており、その他の構成は実施形態1と同様であるから同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。なお、図3(a)ではベース基板5およびカバー6の図示を省略し、図3(c)ではカバー6の図示を省略している。
本実施形態の微小電気機械スイッチは、図5(a)〜(c)に示すように、可動接点支持台1の形状が実施形態1と異なっており、その他の構成は実施形態1と同様であるから同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。なお、図5(a)ではベース基板5およびカバー6の図示を省略し、図5(c)ではカバー6の図示を省略している。
本実施形態の微小電気機械スイッチは、図7(a),(b)に示すように、主として可動接点支持台1およびアクチュエータ4の構成が実施形態3と異なっており、その他の構成は実施形態3と同様であるから同様の構成については同一の符号を付して説明を省略する。なお、図7(a)ではベース基板5およびカバー6の図示を省略している。
2 可動接点
3 固定接点
4 アクチュエータ
4A 主駆動手段
4B 副駆動手段
5 ベース基板
8 ダミー接点
10 台部
10a 支持部
10c 変形部(周辺部)
10d 空所
11 アーム部
12 バネ部
40a 下部電極
40d 可動電極
41 圧電材料部
42a 上部電極
45 固定電極
Claims (8)
- 厚み方向の一面側に可動接点が設けられた台部および当該台部に一端が連結されるとともに他端がベース基板に固定され台部を上記厚み方向に沿った方向に移動自在に支持する可撓性を有する複数本のアーム部を備えた可動接点支持台と、台部の上記一面側において可動接点に対向配置された一対の固定接点と、各アーム部に設けられ台部の可動接点が一対の固定接点の両方に接触する形に各アーム部を各別に変形させる複数のアクチュエータとを備え、
各アーム部は、同じ形状を有し、台部の上記厚み方向に直交する面内において可動接点を中心とする円の径方向に沿う形に配置され、
アーム部の数は、3の整数倍であり、
上記面内において隣接するアーム部間の角度は、いずれも等しいことを特徴とする微小電気機械スイッチ。 - 上記各固定接点とともに上記可動接点に接触されるダミー接点を備え、
上記各固定接点およびダミー接点それぞれの上記可動接点との対向面は同一平面上に位置し、
上記各固定接点およびダミー接点は、上記可動接点との接触部が、上記面内において上記可動接点を中心とする同一円周上に位置し、当該円周上における接触部間の距離はいずれも等しいことを特徴とする請求項1記載の微小電気機械スイッチ。 - 上記各固定接点および上記ダミー接点は、上記台部の上記厚み方向において上記各アーム部のいずれとも対向しない形に配置されていることを特徴とする請求項2記載の微小電気機械スイッチ。
- 上記台部において上記可動接点が形成された部位の周辺部は、断面形状がコルゲート状に形成されていることを特徴とする請求項1〜3のうちいずれか1項記載の微小電気機械スイッチ。
- 上記周辺部には、上記台部の剛性低下用の空所が形成されていることを特徴とする請求項4記載の微小電気機械スイッチ。
- 上記各アーム部の一端は弾性を有するバネ部を介して上記台部に一体に連結されていることを特徴とする請求項1〜3のうちいずれか1項記載の微小電気機械スイッチ。
- 上記アクチュエータは、上記アーム部における上記固定接点側とその反対側との少なくとも一方に形成された下部電極と、当該下部電極における上記アーム部側とは反対側に形成された圧電材料部と、当該圧電材料部における下部電極側とは反対側に形成された上部電極とを備え、下部電極と上部電極との間に所定の駆動電圧を印加して圧電材料部を変形させることで上記アーム部を変形させることを特徴とする請求項1〜6のうちいずれか1項記載の微小電気機械スイッチ。
- 上記アクチュエータは、上記アーム部における上記固定接点側とその反対側との少なくとも一方に形成された下部電極および当該下部電極における上記アーム部側とは反対側に形成された圧電材料部ならびに当該圧電材料部における下部電極側とは反対側に形成された上部電極を備え、下部電極と上部電極との間に所定の駆動電圧を印加して圧電材料部を変形させることで上記アーム部を変形させる主駆動手段と、
上記可動接点支持台における上記固定接点側に形成された可動電極および上記台部の厚み方向において当該可動電極と重なる形に配置された固定電極を備え、可動電極と固定電極との間に所定の駆動電圧を印加して可動電極と固定電極との間に静電引力を発生させることで上記台部を上記一対の固定接点側に移動させる副駆動手段とを有していることを特徴とする請求項1〜6のうちいずれか1項記載の微小電気機械スイッチ。
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2008
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