JP2009237305A - マスクパターンフィルムの巻き付け機構及び露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】夾雑物の混入なくマスクパターンフィルムを巻き付け固定し、ロール・ツー・ロールで好適に電解メッキできるマスクパターンフィルムの巻き付け機構及び露光装置を提供すること。
【解決手段】マスクパターンフィルムの前部及び後部に片面に粘着層を有するテープ体と該テープ体との間で剥離可能な剥離シートを設け、搬送巻き付け手段によって該マスクパターンフィルムを光透過性円筒体に巻き付け、剥離シート除去手段により該マスクパターンフィルムの前部及び後部に設けられた剥離シートを除去し、該マスクパターンフィルムの前部に設けられた該テープ体と該マスクパターンフィルムの後部に設けられた該テープ体が重なり合うように貼り付けて、該マスクパターンフィルムを該光透過性円筒体に巻き付けることを特徴とするマスクパターンフィルムの巻き付け機構、及び前記機構を有する露光装置。
【選択図】図1
【解決手段】マスクパターンフィルムの前部及び後部に片面に粘着層を有するテープ体と該テープ体との間で剥離可能な剥離シートを設け、搬送巻き付け手段によって該マスクパターンフィルムを光透過性円筒体に巻き付け、剥離シート除去手段により該マスクパターンフィルムの前部及び後部に設けられた剥離シートを除去し、該マスクパターンフィルムの前部に設けられた該テープ体と該マスクパターンフィルムの後部に設けられた該テープ体が重なり合うように貼り付けて、該マスクパターンフィルムを該光透過性円筒体に巻き付けることを特徴とするマスクパターンフィルムの巻き付け機構、及び前記機構を有する露光装置。
【選択図】図1
Description
本発明は、光透過性円筒体の外周面にマスクパターンフィルムを巻き付けて露光を行う露光装置のマスクパターンフィルムの巻き付け機構、及びこれを有する露光装置に関するものである。
近年、情報化社会が急速に発達するに伴って、情報関連機器に関する技術が急速に進歩し普及してきた。この中で、ディスプレイ装置は、テレビジョン用、パーソナルコンピューター用、駅や空港などの案内表示用、その他各種情報提供用に用いられている。特に、近年プラズマディスプレイが注目されている。
このような情報化社会の中にあって、これらのディスプレイ装置から放射される電磁波の影響が心配されている。例えば、周辺の電子機器への影響や人体への影響が考えられている。特に、人体の健康に及ぼす影響は無視することができないものになっており、人体に照射される電磁界の強度の低減が求められ、このような要求に対して様々の導電性フィルム(電磁波シールドフィルム)が開発されている。この様な導電性フィルムとしては例えば、特開平9−53030号公報、特開平11−126024号公報、特開2000−294980号公報、特開2000−357414号公報、特開2000−329934号公報、特開2001−38843号公報、特開2001−47549号公報、特開2001−51610号公報、特開2001−57110号公報、特開2001−60416号公報等に開示されている。
これらの導電性フィルムの製造方法としては、銀、銅、ニッケル、インジウム等の導電性金属をスパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームアシスト法、真空蒸着法、湿式塗工法によって樹脂フィルム上に金属薄膜を形成させる方法が一般的に用いられている。近年、導電性フィルムの需要が拡大する中にあって、低コストで生産性が高い製造方法が求められている。
上述の事情に鑑み、現像処理によって物理現像核層に金属銀を析出させて導電性パターン(導電性メッシュパターン)を形成する方法(銀錯塩拡散転写法)が、特公昭42−23745号公報、特開2003−77350号公報等に開示されている。更に金属銀からなる導電性パターン(導電性メッシュパターン)を触媒として金属メッキすることが国際公開第04/007810号パンフレットに開示されている。これらの方法では、導電性パターンを形成するために用いられる元の材料(前駆体という)をロールの形態で準備し、これを露光、現像処理、金属メッキした後ロール状に巻き取るいわゆるロール・ツー・ロール(roll−to−roll)で連続処理できるので生産性が向上する。
上記金属メッキ処理としては、電解メッキ、無電解メッキ等のいずれの金属メッキ処理でもよいが、無電解メッキはメッキ速度が遅く、無電解メッキ液のメッキ性能維持が難しいといった問題があり、電解メッキを用いることが好ましい。そして、ロール・ツー・ロールで好適に電解メッキする方法としては、前駆体ロールの長尺方向に切れ目なく帯状の給電部が形成されるように露光して、現像、電解メッキする方法が、特開2007−67269号公報(特許文献1)、特開2007−67270号公報に開示されている。前述の特開2007−67269号公報、特開2007−67270号公報に開示されている方法により電解メッキを施す時には、前駆体ロールの長尺方向に切れ目なく帯状の給電部を設けるために、光透過性円筒体の外周面の全周にわたって連続的に繋がっている帯状の画像を設けられるように光透過性円筒体の外周面にマスクパターンフィルムを巻き付ける必要がある。
ロール状の前駆体の搬送を停止させることなく露光処理を行う連続露光装置としては、透明円筒基材の外周面にマスクパターンが描画された原稿円筒体を前駆体の搬送速度に同期させ、該原稿円筒体の内部から露光を行う装置が、特開平2−293754号公報、特開2000−35677号公報、特開2000−75497号公報、特開2007−225884号公報(特許文献2)等に開示されている。
従来これらの装置に用いられる原稿円筒体は、光透過性円筒体の外周面に遮光性の塗膜を設け、レーザーアブレーション等で不要部分を除去して直接描画することができるが、この場合、マスクパターンの変更に伴い、原稿円筒体自身の交換が必要となる。このため光透過性円筒体の外周面にマスクパターンフィルムを巻き付け、マスクパターンフィルムの位置決めを行い、粘着層を有するテープ体でマスクパターンフィルムを光透過性円筒体に固定して原稿円筒体を得ることが好ましい。しかしながら、手作業で精度よくマスクパターンフィルムの位置決めを行うことは非常に難しく、位置決めをするために頻繁にマスクパターンフィルムの巻き付け取り外しが行われると、作業者に付着していた塵埃が光透過性円筒体の外周面とマスクパターンフィルムの間に夾雑物として入り、該夾雑物がマスクパターンを歪めてマスクパターンの欠陥ができる確率が高まる。このマスクパターンの欠陥は、露光中原稿円筒体が1回転するごとに繰り返し現れてしまい、ロール状の前駆体全てが不良品になってしまい非常に問題である。
特開2007−67269号公報
特開2007−225884号公報
本発明の目的は、光透過性円筒体の外周面とマスクパターンフィルムの間に夾雑物が入ることなく、且つマスクパターンフィルムを精度よく光透過性円筒体の外周面に巻き付け固定することが可能なマスクパターンフィルムの巻き付け機構及び露光装置を提供することであり、特にロール・ツー・ロールで好適に電解メッキすることが可能な画像が得られるマスクパターンフィルムの巻き付け機構及び露光装置を提供することである。
本発明の上記目的は、光透過性円筒体の外周面にマスクパターンフィルムを巻き付けて露光を行う露光装置のマスクパターンフィルムの巻き付け機構であって、マスクパターンフィルムの前部及び後部に片面に粘着層を有するテープ体と該テープ体との間で剥離可能な剥離シートを設け、搬送巻き付け手段によって該マスクパターンフィルムを光透過性円筒体に巻き付け、剥離シート除去手段により該マスクパターンフィルムの前部及び後部に設けられた剥離シートを除去し、該マスクパターンフィルムの前部に設けられた該テープ体と該マスクパターンフィルムの後部に設けられた該テープ体が重なり合うように貼り付けて、該マスクパターンフィルムを該光透過性円筒体に巻き付けることを特徴とするマスクパターンフィルムの巻き付け機構、及び前記機構を有する露光装置によって基本的に達成された。
光透過性円筒体の外周面とマスクパターンフィルムの間に夾雑物が入ることなく、且つマスクパターンフィルムを精度よく光透過性円筒体の外周面に巻き付け固定することが可能なマスクパターンフィルムの巻き付け機構及び露光装置を提供でき、特にロール・ツー・ロールで好適に電解メッキすることが可能な画像が得られるマスクパターンフィルムの巻き付け機構及び露光装置を提供できる。
以下、本発明のマスクパターンフィルムの巻き付け機構及び該機構を有する露光装置について図面を用いて具体的に説明するが、図面の態様は本発明を実現するための好適な一例であり、本発明のマスクパターンフィルムの巻き付け機構を実現できればこれに限定されるものではない。
図1は本発明の機構を用いて作製された原稿円筒体を用いた連続露光装置の一例を示す概略側断面図である。図1に示す連続露光装置は、ロール・ツー・ロール(roll−to−roll)で前駆体1を処理するための装置であり、ロール状の前駆体1を連続露光部EXに送り出す巻き出し部UWと、前駆体1を搬送しながら露光する連続露光部EXと、前駆体1をロール状に巻き取るための巻き取り部WDと、マスクパターンフィルム2の位置決めを行った後マスクパターンフィルム2を連続露光部EXに搬送する位置決め部Pを有する。また図1において図示しない露光後の前駆体1を現像処理する現像装置や、現像処理により得られた導電性パターンフィルムに金属メッキ処理を行うメッキ装置との間で搬送速度を同期させることにより、ロールの枠替えをすることなく露光、現像、金属メッキ処理を1パスで実施することができる。
本発明が対象とする前駆体1は、露光、現像、不要成分の除去の各工程を経ることで導電性パターンを得ることができる前駆体であり、例えば基材上に少なくとも物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層とをこの順に有する前駆体は画質が優れているので好適である。以降、基材上に少なくとも物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層とをこの順に有する前駆体を前駆体1として用いる露光装置として説明する。
図1に示すように、原稿円筒体Mは、連続露光部EXにおいて原稿円筒体Mの軸方向に対して平行に配置されている2つの支持手段である支持ローラ16、及び支持ローラ17の上に回転自在に乗せられている。前駆体1は、巻き出し部UWにおいてロールの状態で巻き出し軸18に取り付けられ、クリーニングローラ20、搬送ローラ23を通り、連続露光部EXへ搬送される。そして前駆体1は、連続露光部EXにおいて原稿円筒体Mと支持ローラ16の間を通って、原稿円筒体Mの外周面の一部を覆うようにして原稿円筒体Mに接触し、搬送ローラ24を通る。そして最終的に前駆体1は、巻き取り部WDにある巻き取り軸21で巻き取られる。巻き出し軸18にはブレーキ19、巻き取り軸21にはクラッチ25及び巻き取りモータ26が接続されており、前駆体1に張力を加えている。前駆体1に張力を加えることにより、前駆体1が原稿円筒体Mに密着する。これにより、原稿円筒体Mは、前駆体1の搬送に同調して回転するようになっている。前駆体1に加えられる張力としては、40N/mから150N/mの範囲が適当である。
巻き出し部UWは、巻き出し軸18、ブレーキ19、クリーニングローラ20、搬送ローラ23で構成されている。前述したが、ブレーキ19は巻き出し軸18に接続されており、前駆体1へ加える張力を制御するために設けられている。ブレーキ19としては、例えばパウダーブレーキ等が好適に用いられる。クリーニングローラ20は、前駆体1に付着している塵埃を連続露光部EXに持ち込ませないために設けられており、クリーニングローラ20を前駆体1に接触させることにより前駆体1に付着している塵埃を吸着除去している。クリーニングローラ20としては、粘着性ゴムローラ(例えば金陽社製クリンタック)等が好適に用いられる。搬送ローラ23としては、前駆体1が滑らず、また前駆体1を傷つけない程度の面質であればよく、例えば、ゴム硬度60程度のニトリルゴム(NBR)製のローラ等が好適に用いられる。
連続露光部EXは、原稿円筒体M、位置検出手段12、光源14、遮光カバー15、押さえローラ8a、8b、支持ローラ16、17、搬送ローラ24、そして詳細は後述するが、剥離シート除去手段として用いるローラ30、粘着ローラ31、ローラ32、粘着ローラ33からなっている。そして原稿円筒体Mは、光透過性円筒体3の外周面にマスクパターンフィルム2が巻き付けられた構造になっている。ここで光透過性円筒体3の透過性とは、全光線透過率が80%以上であることを意味する。光透過性円筒体3の材質としては、例えばアクリル樹脂、ガラス等が好適に用いられる。また、マスクパターン2に描画されているマスクパターンの透過濃度は3.0以上であることが好ましい。
原稿円筒体Mの内部には光源14、及び遮光カバー15が配置されている。光源14は、原稿円筒体Mの軸方向に配置された線状の光源で原稿円筒体Mの内側から図1に示す露光領域Lに向けて光を照射する。上述のように原稿円筒体Mは、前駆体1の搬送に同調して回転するので、前駆体1を搬送させながら露光することにより、原稿円筒体Mに描画されているマスクパターンが連続的に前駆体1に露光されるようになっている。
光源14としては、例えば原稿円筒体Mの軸方向に線状に配置された高圧水銀灯、無電極電源、白色発光ダイオード等、及び蛍光灯が用いられる。図示しないが、光源14からの照射光に露光に不要な波長の光が含まれている場合、光源14と前駆体1との間に露光に不要な波長の光をカットする光学フィルタを用いてもよい。光源14には、図示しない露光量調整手段(例えば、露光源として蛍光灯を用いた場合、インバータ回路による調光手段)を設けてもよい。遮光カバー15は、光源14からの照射光を図1に示す露光領域Lのみに限定させるために光源14を覆っている。遮光カバー15としては、黒色塗装された鉄板、アルミ板等が好適に用いられるが、上記遮光性、及び光源14の照射光による加熱に耐える耐熱性を有していれば他の部材を用いてもよい。
支持ローラ16、及び支持ローラ17は、原稿円筒体Mの直径より短い距離に、平行に配置されており、原稿円筒体Mは支持ローラ16、及び支持ローラ17の上で回転できるように載置されている。支持ローラ17は粘着性のクリーニングローラとして作用させてもよく、原稿円筒体Mと回転接触することにより原稿円筒体Mの外周面に付着した塵埃等を除去することもできる。支持ローラ16、支持ローラ17及び搬送ローラ24としては、原稿円筒体M、及び前駆体1が滑らず、また前駆体1、及び原稿円筒体Mを傷つけない程度の面質であればよく、例えば、ゴム硬度60程度のニトリルゴム(NBR)製のローラ等が好適に用いられる。支持ローラ17としては、原稿円筒体Mの外周面に付着した塵埃を除去できる粘着性を付与してもよく、この場合には、粘着性ゴムローラ(例えば、金陽社製クリンタック)等が好適に用いられる。
押さえローラ8a、8bは、原稿円筒体Mに前駆体1を密着させるためのローラであり、前駆体1を原稿円筒体Mと押さえローラ8a、8bで挟持して前駆体1を搬送することにより、前駆体1と原稿円筒体Mの密着性を向上させている。位置検出手段12、ローラ30、粘着ローラ31、ローラ32、粘着ローラ33は、本発明の特徴である剥離シート除去手段として用いる部材であり詳細は後述する。
巻き取り部WDは、巻き取り軸21、クラッチ25、巻き取りモータ26で構成されており、露光済みの前駆体1を巻き取る部分である。巻き取りモータ26はクラッチ25を介して巻き取り軸21に接続されており、クラッチ25を制御することにより、露光済みの前駆体1を巻き取りと前駆体1への張力付加を行っている。
巻き出し部UW、連続露光部EX、巻き取り部WD、位置決め部Pは、筐体22に内包されている。筐体22には、図示しない送風機とHEPA(High Efficiency Particulate Air)フィルタが取り付けられており、清浄な空気が送り込まれて筐体22内部は陽圧に保たれており外部から塵埃が混入するのを防いでいる。
図2は、本発明の巻き付け機構及び露光装置に用いるマスクパターンフィルムの一例を示す図であり、図2(A)は正面図であり、図2(B)は側面図である。
図2(A)に示すように、マスクパターンフィルム2には、メッシュパターン60、帯状パターン61、位置決めマーク62a、62bが描画されている。帯状パターン61は、露光、現像、不要成分の除去によりメッシュパターン60の像様に作製された導電性パターンに電解メッキ処理を施す時に給電部として機能する部分である。位置決めマーク62a、62bは、マスクパターンフィルム2の位置決め及びマスクパターンフィルム2を光透過性円筒体3に巻き付ける時の位置確認をする時の検知画像として用いる。位置決めマーク62aがマスクパターンフィルム2を搬送する時の前部に設けられており、位置決めマーク62bがマスクパターンフィルム2を搬送する時の後部に設けられている。位置決めマーク62a、62bはマスクパターンフィルム2の位置を検出するためのパターンであり透明導電性フィルムとして機能させるためのパターンではないので、前駆体1の幅の外側に配置していてもよいし、露光処理後の位置検出用パターンとして、所望の導電性パターン(図2(A)においては、メッシュパターン60)に影響を与えない位置に配置してもよい。
マスクパターンフィルム2の両端部(前部及び後部)には、本発明の巻き付け機構及び露光装置の特徴である片面に粘着層を有するテープ体4a、4b、4c、4dとテープ体4a、4b、4c、4dとの間で剥離可能な剥離シート5a、5bが設けられている。テープ体4a、4b、剥離シート5aがマスクパターンフィルム2を搬送する時の前部に設けられておりテープ体4c、4d、剥離シート5bが後部に設けられている。
テープ体4b、4dはマスクパターンフィルム2を搬送し光透過性円筒体3に巻き付けた後マスクパターンフィルム2を光透過性円筒体3に固定するためのものである。露光処理中は、マスクパターンフィルム2の前部を先頭側にして原稿円筒体Mを回転させるので、マスクパターンフィルム2の前部の両角部に浮きがあると、支持ローラ16、支持ローラ17をマスクパターンフィルム2が通過する時に角折れが発生するおそれがあるので、テープ体4bは、少なくとも両角部に設けることが好ましく、マスクパターンフィルム2の前部の幅に合わせて適宜追加することができる。図2(A)においてテープ体4bは、マスクパターンフィルム2の前部の両角部と中央部に設けられている。マスクパターンフィルム2の後部では両角部が露光中に角折れすることがないことから、テープ体4dはマスクパターンフィルム2の後部の少なくとも一カ所を固定できればよく、マスクパターンフィルム2の後部の幅に合わせて適宜追加することができる。図2(A)においてテープ体4dは、マスクパターンフィルム2の後部の中央部に設けられている。テープ体4b、4dとしては、片面にアクリル系粘着層を有するポリエステルフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルムが好適に用いられ、例えば、ポリエステルフィルムテープY―5533(住友スリーエム株式会社製)などが好適に用いられる。
テープ体4a、4cはマスクパターンフィルム2の前部の帯状パターン61が描画されている部分とマスクパターンフィルム2の後部の帯状パターン61が描画されている部分に接する様に設けられており、上記マスクパターンフィルム2の固定に加えて、マスクパターンフィルム2を光透過性円筒体3に巻き付けた時にマスクパターンフィルム2の前部の帯状パターン61が描画されている部分とマスクパターンフィルム2の後部の帯状パターン61が描画されている部分が連続的に繋がるようにするために設けられている。従って、テープ体4a、4cは少なくとも前駆体1を感光させる波長の光を遮断できるテープ体である。例えば前駆体1の感光波長領域が350nm〜450nmであれば、ポリエステルフィルムテープY―5537(住友スリーエム株式会社製、吸収波長200nm〜580nm)などが好適に用いられる。
剥離シート5a、5bはマスクパターンフィルム2を光透過性円筒体3に搬送し、巻き付ける時に、テープ体4a、4b、4c、4dが所望の位置以外の場所に貼り付かない様にするためにテープ体4a、4b、4c、4dの粘着層に貼り合わせてある。マスクパターンフィルム2を光透過性円筒体3に巻き付ける時のマスクパターンフィルム2の搬送性を考慮して、剥離シート5aは、マスクパターンフィルム2の前部に連続的に配置され、剥離シート5bはマスクパターンフィルム2の後部に連続的に配置されている。剥離シート5a、5bとしては、グラシン紙基材シートにポリエチレンラミネート層、シリコーン剥離層をこの順に積層したシート(例えば、リンテック株式会社製剥離紙、8LK等)、両面をポリエチレン樹脂でラミネートされた上質紙基材シートにシリコーン剥離層を設けたシート(例えば、リンテック株式会社製剥離紙、11LL等)、ポリエステルフィルム基材シートにシリコーン剥離層を設けたシート(例えば、リンテック株式会社製剥離フィルム、PET38等)等が好適に用いられる。
図2(A)において記号Xで示されている範囲が巻き付け長さXである。巻き付け長さXは、光透過性円筒体3の外周より長くなっており、巻き付け長さXと光透過性円筒体3の外周の差は、1mm〜20mmの範囲が適当であり、1mm〜5mmの範囲が更に好ましい。
図2(B)に示すように、テープ体4a、4b、4c、4dと剥離シート5a、5bは、マスクパターンフィルム2を挟むように設けられている。剥離シート5a、5bがテープ体4a、4b、4c、4dと貼り合わされていない部分は、剥離シート5a、5bを剥離する時の取り口として機能して剥離シート5a、5bを剥離し易くしている。
図3〜図9は、本発明のマスクパターンフィルムの巻き付け機構の巻き付け工程の一例を示す概略側断面図である。図3〜図9を用いて説明するマスクパターンフィルムの巻き付け工程は、前駆体1を露光する前に行われる工程であり、図3〜図9に示す連続露光部EXには、まだ図1に示す前駆体1が通紙されていない状態である。
図3は、マスクパターンフィルム2の位置決め工程を示しており、まずマスクパターンフィルム2は位置決め部Pの原稿台51に載置される。図3において位置決めされるマスクパターンフィルム2には、図2に示すテープ体4a、4b、4c、4dと剥離シート5a、5bが設けられている。
位置決め部Pは、原稿台51、X−Y−θステージ52、位置検出手段53、押さえバー54、搬送ローラ対55で構成されている。原稿台51は、マスクパターンフィルム2を載置する台であり、マスクパターンフィルム2を傷つけない程度平滑であり、帯電して塵埃がマスクパターンフィルム2に付着しないようになっていればよく、帯電防止加工されたガラス板、アクリル板などが好適に使用される。X−Y−θステージ52は、マスクパターンフィルム2が載置された原稿台51をX方向、Y方向、回転方向(回転角θ)に移動させて、マスクパターンフィルム2の位置決めを行う調整装置である。
位置検出手段53は、図2に示すマスクパターンフィルム2に描画された位置決めマーク62aを検出するための機構で、例えば撮影用ランプと撮影用CCDカメラで構成されている。図3では、マスクパターンフィルム2は、原稿台51の左側へ搬送されるようになっており、マスクパターンフィルム2の前側(図3においては左側)の両側部に、位置検出手段53は取り付けられている。そして、位置検出手段53は、撮影された位置決めマーク62aのずれを、図示しない位置決めコントローラに送信し、図示しない位置決めコントローラがX−Y−θステージ52を制御して位置決めを行う。押さえバー54は、マスクパターンフィルム2を原稿台51に押し付け保持する部材であり、X−Y−θステージ52の駆動以外でマスクパターンフィルム2が動くのを防止するものである。押さえバー54は、マスクパターンフィルム2を傷つけないように先端部分に弾性体が取り付けられたエアシリンダ、油圧シリンダ等が好適に利用できる。搬送ローラ対55には図示しない上下移動機構(例えばエアシリンダ)が接続されており、上側ローラと下側ローラを着脱することができる。搬送ローラ対55としては、マスクパターンフィルム2が滑らず、またマスクパターンフィルム2を傷つけない程度の面質であればよく、例えば、ゴム硬度60程度のニトリルゴム(NBR)製のローラ等が好適に用いられる。
図3に示すように、マスクパターンフィルム2は、原稿台51に載置される。この時、搬送ロール対55の上側ローラと下側ローラの間にマスクパターンフィルム2を通すのに十分な隙間が空けられており、マスクパターンフィルム2の前部を搬送ロール対55の間に通しておく。そして、押さえバー54で、マスクパターンフィルム2を押さえ、位置検出手段53で、図3においては図示されていないマスクパターンフィルム2に描画された位置決めマーク62aを、例えば撮影用CCDカメラにより撮影してマスクパターンフィルム2のずれを算出し、X−Y−θテーブル52を駆動して原稿台51ごとマスクパターンフィルム2を動かし位置決めを行う。位置決めが終了した後、搬送ローラ対55でマスクパターンフィルム2を挟持し、押さえバー54をマスクパターンフィルム2から離す。このように機械的に位置決めを行うことにより、常にばらつきなく位置決めが行える。搬送ローラ対55には図示しないモータが接続されており、該モータにより搬送ローラ対55を回転させて、マスクパターンフィルム2を連続露光部EXへ搬送する。
図4及び図5は、マスクパターンフィルム2を連続露光部EXへ搬送する工程を示す。図4に示すように、搬送ローラ対55の回転に伴い、マスクパターンフィルム2は搬送ガイド6を介して矢印Fの方向に搬送され、光透過性円筒体3と押さえローラ8aの間に挿入される。押さえローラ8a、8bには、図示しないブレーキ付きモータが接続されており、該ブレーキ付きモータが押さえローラ8a、8bを回転させ、それに伴って光透過性円筒体3が矢印CCWの方向に回転する。そしてマスクパターンフィルム2の前部が光透過性円筒体3と押さえローラ8aの間に挟まり、光透過性円筒体3と押さえローラ8aの搬送に同調して光透過性円筒体3の外周面に沿って搬送される。搬送ローラ対55によるマスクパターンフィルム2の搬送速度は、光透過性円筒体3の回転速度より遅くなっている。そして搬送ローラ対55には、図示しないワンウェイクラッチが入っており、これにより、マスクパターンフィルム2の前部が、光透過性円筒体3と押さえローラ8aの間に挟まったところで、マスクパターンフィルム2の搬送速度が光透過性フィルムの搬送速度に同期するようになっている。搬送ローラ対55と、搬送ガイド6と、露光時は前駆体1を密着させるために用いる押さえローラ8a、8bが、本発明の巻き付け機構及び露光装置の特徴である搬送巻き付け手段である。
押さえローラ8aと押さえローラ8bの間には位置検出手段12が配置されている。位置検出手段12は、マスクパターンフィルム2に描画されている位置決めマーク62a、62b(図2(A)に記載)を検出する機構である。位置検出手段12としては例えば、撮影用CCDカメラを挙げることができる。図4においては、マスクパターンフィルム2の前部が矢印Fの方向に搬送しているところであり、位置検出手段12は、マスクパターンフィルム2の前部に描画されている、図4に図示されていない位置決めマーク62aを検出している。そして、図5に示すように、マスクパターンフィルム2の後部までマスクパターンフィルム2を搬送し、図5に図示されていない位置決めマーク62bを位置検出手段12で検出する。
検出された位置決めマーク62aと位置決めマーク62bの位置の差が許容範囲外であれば、マスクパターンフィルム2の巻き付けを中止し、押さえローラ8a、8bを回転させることで、図5に示す矢印Fの方向にマスクパターンフィルム2を排出し、許容範囲内であれば、押さえローラ8a、8bに接続されている図示しないブレーキ付きモータのブレーキを作動させて、マスクパターンフィルム2の搬送を一時停止させ、図6〜図9に示すマスクパターン固定動作に移行する。図5において、マスクパターンフィルム2の前部は図示されていないが、マスクパターンフィルム2を矢印F方向に搬送させることにより、ローラ30と粘着ローラ31の間を通過している。ローラ30と粘着ローラ31は、図示しないローラ着脱機構(例えばエアシリンダ)により着脱可能なロール対であり、図5においては、ローラ30と粘着ローラ31の間に隙間が空いている状態である。
図6及び図7は、マスクパターンフィルム2の前部に設けられている剥離シート5aを除去し、テープ体4a、4bによりマスクパターンフィルム2の前部を光透過性円筒体3に固定する工程を示している。図6においてローラ30と粘着ローラ31は、マスクパターンフィルム2の前部を挟んで密着する。そして、マスクパターンフィルム2を押さえローラ8a、8bを回転させることで矢印Bの方向に搬送させると共に、光透過性円筒体3を矢印CWの方向に回転させる。粘着ローラ31と剥離シート5aの裏面との粘着力は、テープ体4a、4bの粘着層と剥離シート5aの表面の粘着力より強くなっており、マスクパターンフィルムの前部がローラ30と粘着ローラ31の間を通過する時に、図6に示すように、剥離シート5aが粘着ローラ31に巻き付きマスクパターンフィルム2から除去される。
そして、図7に示すように、マスクパターンフィルム2の前部が押さえローラ8bと光透過性円筒体3の間を通過する時に、剥離シート5aが除去されることにより剥き出しになったテープ体4a、4bの粘着層が光透過性円筒体3の外周面に貼り付き、マスクパターンフィルム2の前部が固定され、その後、押さえローラ8a、8bに接続されている図示しないブレーキ付きモータのブレーキを作動させて、マスクパターンフィルム2の搬送が一時停止する。一時停止のタイミングは、諸々の方法により決定することができるが、例えば位置検出手段12が図7では図示されていない位置決めマーク62aを検出することにより決定することができる。図6、及び図7において、マスクパターンフィルム2の後部は図示されていないが、マスクパターンフィルム2を矢印Bの方向に搬送させることにより、ローラ32と粘着ローラ33の間を通過している。ローラ32とローラ33は、図示しないローラ着脱機構(例えばエアシリンダ)により着脱可能なロール対であり、図6においては、ローラ32と粘着ローラ33の間に隙間が空いている状態である。
図8及び図9は、マスクパターンフィルム2の後部に設けられている剥離シート5bを除去し、テープ体4c、4dによりマスクパターンフィルム2の後部を光透過性円筒体3に固定する工程を示している。図8においてローラ32と粘着ローラ33は、マスクパターンフィルム2の後部を挟んで密着する。そして、マスクパターンフィルム2を押さえローラ8a、8bを回転させることで矢印Fの方向に搬送させると共に、光透過性円筒体3を矢印CCWの方向に回転させる。粘着ローラ33と剥離シート5bの裏面との粘着力は、テープ体4c、4dの粘着層と剥離シート5bの表面の粘着力より強くなっており、マスクパターンフィルム2の後部がローラ32と粘着ローラ33の間を通過する時に、図8に示すように、剥離シート5bが粘着ローラ33に巻き付きマスクパターンフィルム2から除去される。
そして、図9に示すように、マスクパターンフィルム2の後部が押さえローラ8aと光透過性円筒体3の間を通過する時に、剥離シート5bが除去されることにより剥き出しになったテープ体4c、4dの粘着層が光透過性円筒体3の外周面に貼り付き、マスクパターンフィルム2の後部が固定される。このとき、テープ体4c、4dがテープ体4a、4bの上に重なり、本発明の巻き付け方法の特徴である重ね合わせ部Aができる。テープ体4aとテープ体4cが重なり合うことにより、図2(A)に示すマスクパターンフィルム2に描画された帯状パターン61が光透過性円筒体3の円周上に連続的に繋がり、ロール・ツー・ロールで電解メッキする時に必要な給電部となる連続的な帯状パターンを有する図1に示す原稿円筒体Mができる。
本発明のマスクパターンフィルムの巻き付け機構を有する露光装置によって露光されたロール状の前駆体を現像処理、電解メッキ処理することにより得られる導電性メッシュパターンは、電磁波シールドフィルムやタッチパネル等の用途に用いられる透明導電性フィルム(導電性メッシュパターンフィルム)等に利用可能である。
1 前駆体
2 マスクパターンフィルム
3 光透過性円筒体
4a、4b、4c、4d テープ体
5a、5b 剥離シート
8a、8b 押さえローラ
14 光源
16、17 支持ローラ
30、32 ローラ
31、33 粘着ローラ
A 重ね合わせ部
UW 巻き出し部
WD 巻き取り部
EX 露光部
P 位置決め部
M 原稿円筒体
L 露光領域
X 巻き付け長さ
2 マスクパターンフィルム
3 光透過性円筒体
4a、4b、4c、4d テープ体
5a、5b 剥離シート
8a、8b 押さえローラ
14 光源
16、17 支持ローラ
30、32 ローラ
31、33 粘着ローラ
A 重ね合わせ部
UW 巻き出し部
WD 巻き取り部
EX 露光部
P 位置決め部
M 原稿円筒体
L 露光領域
X 巻き付け長さ
Claims (2)
- 光透過性円筒体の外周面にマスクパターンフィルムを巻き付けて露光を行う露光装置のマスクパターンフィルムの巻き付け機構であって、マスクパターンフィルムの前部及び後部に片面に粘着層を有するテープ体と該テープ体との間で剥離可能な剥離シートを設け、搬送巻き付け手段によって該マスクパターンフィルムを光透過性円筒体に巻き付け、剥離シート除去手段により該マスクパターンフィルムの前部及び後部に設けられた剥離シートを除去し、該マスクパターンフィルムの前部に設けられた該テープ体と該マスクパターンフィルムの後部に設けられた該テープ体が重なり合うように貼り付けて、該マスクパターンフィルムを該光透過性円筒体に巻き付けることを特徴とするマスクパターンフィルムの巻き付け機構。
- 請求項1記載のマスクパターンフィルムの巻き付け機構を有する露光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008083756A JP2009237305A (ja) | 2008-03-27 | 2008-03-27 | マスクパターンフィルムの巻き付け機構及び露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2008083756A JP2009237305A (ja) | 2008-03-27 | 2008-03-27 | マスクパターンフィルムの巻き付け機構及び露光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2009237305A true JP2009237305A (ja) | 2009-10-15 |
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ID=41251307
Family Applications (1)
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JP2008083756A Pending JP2009237305A (ja) | 2008-03-27 | 2008-03-27 | マスクパターンフィルムの巻き付け機構及び露光装置 |
Country Status (1)
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-
2008
- 2008-03-27 JP JP2008083756A patent/JP2009237305A/ja active Pending
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