JP2009237305A - マスクパターンフィルムの巻き付け機構及び露光装置 - Google Patents

Abstract

【課題】夾雑物の混入なくマスクパターンフィルムを巻き付け固定し、ロール・ツー・ロールで好適に電解メッキできるマスクパターンフィルムの巻き付け機構及び露光装置を提供すること。
【解決手段】マスクパターンフィルムの前部及び後部に片面に粘着層を有するテープ体と該テープ体との間で剥離可能な剥離シートを設け、搬送巻き付け手段によって該マスクパターンフィルムを光透過性円筒体に巻き付け、剥離シート除去手段により該マスクパターンフィルムの前部及び後部に設けられた剥離シートを除去し、該マスクパターンフィルムの前部に設けられた該テープ体と該マスクパターンフィルムの後部に設けられた該テープ体が重なり合うように貼り付けて、該マスクパターンフィルムを該光透過性円筒体に巻き付けることを特徴とするマスクパターンフィルムの巻き付け機構、及び前記機構を有する露光装置。
【選択図】図１

Description

本発明は、光透過性円筒体の外周面にマスクパターンフィルムを巻き付けて露光を行う露光装置のマスクパターンフィルムの巻き付け機構、及びこれを有する露光装置に関するものである。

近年、情報化社会が急速に発達するに伴って、情報関連機器に関する技術が急速に進歩し普及してきた。この中で、ディスプレイ装置は、テレビジョン用、パーソナルコンピューター用、駅や空港などの案内表示用、その他各種情報提供用に用いられている。特に、近年プラズマディスプレイが注目されている。

このような情報化社会の中にあって、これらのディスプレイ装置から放射される電磁波の影響が心配されている。例えば、周辺の電子機器への影響や人体への影響が考えられている。特に、人体の健康に及ぼす影響は無視することができないものになっており、人体に照射される電磁界の強度の低減が求められ、このような要求に対して様々の導電性フィルム（電磁波シールドフィルム）が開発されている。この様な導電性フィルムとしては例えば、特開平９−５３０３０号公報、特開平１１−１２６０２４号公報、特開２０００−２９４９８０号公報、特開２０００−３５７４１４号公報、特開２０００−３２９９３４号公報、特開２００１−３８８４３号公報、特開２００１−４７５４９号公報、特開２００１−５１６１０号公報、特開２００１−５７１１０号公報、特開２００１−６０４１６号公報等に開示されている。

これらの導電性フィルムの製造方法としては、銀、銅、ニッケル、インジウム等の導電性金属をスパッタリング法、イオンプレーティング法、イオンビームアシスト法、真空蒸着法、湿式塗工法によって樹脂フィルム上に金属薄膜を形成させる方法が一般的に用いられている。近年、導電性フィルムの需要が拡大する中にあって、低コストで生産性が高い製造方法が求められている。

上述の事情に鑑み、現像処理によって物理現像核層に金属銀を析出させて導電性パターン（導電性メッシュパターン）を形成する方法（銀錯塩拡散転写法）が、特公昭４２−２３７４５号公報、特開２００３−７７３５０号公報等に開示されている。更に金属銀からなる導電性パターン（導電性メッシュパターン）を触媒として金属メッキすることが国際公開第０４／００７８１０号パンフレットに開示されている。これらの方法では、導電性パターンを形成するために用いられる元の材料（前駆体という）をロールの形態で準備し、これを露光、現像処理、金属メッキした後ロール状に巻き取るいわゆるロール・ツー・ロール（ｒｏｌｌ−ｔｏ−ｒｏｌｌ）で連続処理できるので生産性が向上する。

上記金属メッキ処理としては、電解メッキ、無電解メッキ等のいずれの金属メッキ処理でもよいが、無電解メッキはメッキ速度が遅く、無電解メッキ液のメッキ性能維持が難しいといった問題があり、電解メッキを用いることが好ましい。そして、ロール・ツー・ロールで好適に電解メッキする方法としては、前駆体ロールの長尺方向に切れ目なく帯状の給電部が形成されるように露光して、現像、電解メッキする方法が、特開２００７−６７２６９号公報（特許文献１）、特開２００７−６７２７０号公報に開示されている。前述の特開２００７−６７２６９号公報、特開２００７−６７２７０号公報に開示されている方法により電解メッキを施す時には、前駆体ロールの長尺方向に切れ目なく帯状の給電部を設けるために、光透過性円筒体の外周面の全周にわたって連続的に繋がっている帯状の画像を設けられるように光透過性円筒体の外周面にマスクパターンフィルムを巻き付ける必要がある。

ロール状の前駆体の搬送を停止させることなく露光処理を行う連続露光装置としては、透明円筒基材の外周面にマスクパターンが描画された原稿円筒体を前駆体の搬送速度に同期させ、該原稿円筒体の内部から露光を行う装置が、特開平２−２９３７５４号公報、特開２０００−３５６７７号公報、特開２０００−７５４９７号公報、特開２００７−２２５８８４号公報（特許文献２）等に開示されている。

従来これらの装置に用いられる原稿円筒体は、光透過性円筒体の外周面に遮光性の塗膜を設け、レーザーアブレーション等で不要部分を除去して直接描画することができるが、この場合、マスクパターンの変更に伴い、原稿円筒体自身の交換が必要となる。このため光透過性円筒体の外周面にマスクパターンフィルムを巻き付け、マスクパターンフィルムの位置決めを行い、粘着層を有するテープ体でマスクパターンフィルムを光透過性円筒体に固定して原稿円筒体を得ることが好ましい。しかしながら、手作業で精度よくマスクパターンフィルムの位置決めを行うことは非常に難しく、位置決めをするために頻繁にマスクパターンフィルムの巻き付け取り外しが行われると、作業者に付着していた塵埃が光透過性円筒体の外周面とマスクパターンフィルムの間に夾雑物として入り、該夾雑物がマスクパターンを歪めてマスクパターンの欠陥ができる確率が高まる。このマスクパターンの欠陥は、露光中原稿円筒体が１回転するごとに繰り返し現れてしまい、ロール状の前駆体全てが不良品になってしまい非常に問題である。
特開２００７−６７２６９号公報 特開２００７−２２５８８４号公報

本発明の目的は、光透過性円筒体の外周面とマスクパターンフィルムの間に夾雑物が入ることなく、且つマスクパターンフィルムを精度よく光透過性円筒体の外周面に巻き付け固定することが可能なマスクパターンフィルムの巻き付け機構及び露光装置を提供することであり、特にロール・ツー・ロールで好適に電解メッキすることが可能な画像が得られるマスクパターンフィルムの巻き付け機構及び露光装置を提供することである。

本発明の上記目的は、光透過性円筒体の外周面にマスクパターンフィルムを巻き付けて露光を行う露光装置のマスクパターンフィルムの巻き付け機構であって、マスクパターンフィルムの前部及び後部に片面に粘着層を有するテープ体と該テープ体との間で剥離可能な剥離シートを設け、搬送巻き付け手段によって該マスクパターンフィルムを光透過性円筒体に巻き付け、剥離シート除去手段により該マスクパターンフィルムの前部及び後部に設けられた剥離シートを除去し、該マスクパターンフィルムの前部に設けられた該テープ体と該マスクパターンフィルムの後部に設けられた該テープ体が重なり合うように貼り付けて、該マスクパターンフィルムを該光透過性円筒体に巻き付けることを特徴とするマスクパターンフィルムの巻き付け機構、及び前記機構を有する露光装置によって基本的に達成された。

光透過性円筒体の外周面とマスクパターンフィルムの間に夾雑物が入ることなく、且つマスクパターンフィルムを精度よく光透過性円筒体の外周面に巻き付け固定することが可能なマスクパターンフィルムの巻き付け機構及び露光装置を提供でき、特にロール・ツー・ロールで好適に電解メッキすることが可能な画像が得られるマスクパターンフィルムの巻き付け機構及び露光装置を提供できる。

以下、本発明のマスクパターンフィルムの巻き付け機構及び該機構を有する露光装置について図面を用いて具体的に説明するが、図面の態様は本発明を実現するための好適な一例であり、本発明のマスクパターンフィルムの巻き付け機構を実現できればこれに限定されるものではない。

図１は本発明の機構を用いて作製された原稿円筒体を用いた連続露光装置の一例を示す概略側断面図である。図１に示す連続露光装置は、ロール・ツー・ロール（ｒｏｌｌ−ｔｏ−ｒｏｌｌ）で前駆体１を処理するための装置であり、ロール状の前駆体１を連続露光部ＥＸに送り出す巻き出し部ＵＷと、前駆体１を搬送しながら露光する連続露光部ＥＸと、前駆体１をロール状に巻き取るための巻き取り部ＷＤと、マスクパターンフィルム２の位置決めを行った後マスクパターンフィルム２を連続露光部ＥＸに搬送する位置決め部Ｐを有する。また図１において図示しない露光後の前駆体１を現像処理する現像装置や、現像処理により得られた導電性パターンフィルムに金属メッキ処理を行うメッキ装置との間で搬送速度を同期させることにより、ロールの枠替えをすることなく露光、現像、金属メッキ処理を１パスで実施することができる。

本発明が対象とする前駆体１は、露光、現像、不要成分の除去の各工程を経ることで導電性パターンを得ることができる前駆体であり、例えば基材上に少なくとも物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層とをこの順に有する前駆体は画質が優れているので好適である。以降、基材上に少なくとも物理現像核層とハロゲン化銀乳剤層とをこの順に有する前駆体を前駆体１として用いる露光装置として説明する。

図１に示すように、原稿円筒体Ｍは、連続露光部ＥＸにおいて原稿円筒体Ｍの軸方向に対して平行に配置されている２つの支持手段である支持ローラ１６、及び支持ローラ１７の上に回転自在に乗せられている。前駆体１は、巻き出し部ＵＷにおいてロールの状態で巻き出し軸１８に取り付けられ、クリーニングローラ２０、搬送ローラ２３を通り、連続露光部ＥＸへ搬送される。そして前駆体１は、連続露光部ＥＸにおいて原稿円筒体Ｍと支持ローラ１６の間を通って、原稿円筒体Ｍの外周面の一部を覆うようにして原稿円筒体Ｍに接触し、搬送ローラ２４を通る。そして最終的に前駆体１は、巻き取り部ＷＤにある巻き取り軸２１で巻き取られる。巻き出し軸１８にはブレーキ１９、巻き取り軸２１にはクラッチ２５及び巻き取りモータ２６が接続されており、前駆体１に張力を加えている。前駆体１に張力を加えることにより、前駆体１が原稿円筒体Ｍに密着する。これにより、原稿円筒体Ｍは、前駆体１の搬送に同調して回転するようになっている。前駆体１に加えられる張力としては、４０Ｎ／ｍから１５０Ｎ／ｍの範囲が適当である。

巻き出し部ＵＷは、巻き出し軸１８、ブレーキ１９、クリーニングローラ２０、搬送ローラ２３で構成されている。前述したが、ブレーキ１９は巻き出し軸１８に接続されており、前駆体１へ加える張力を制御するために設けられている。ブレーキ１９としては、例えばパウダーブレーキ等が好適に用いられる。クリーニングローラ２０は、前駆体１に付着している塵埃を連続露光部ＥＸに持ち込ませないために設けられており、クリーニングローラ２０を前駆体１に接触させることにより前駆体１に付着している塵埃を吸着除去している。クリーニングローラ２０としては、粘着性ゴムローラ（例えば金陽社製クリンタック）等が好適に用いられる。搬送ローラ２３としては、前駆体１が滑らず、また前駆体１を傷つけない程度の面質であればよく、例えば、ゴム硬度６０程度のニトリルゴム（ＮＢＲ）製のローラ等が好適に用いられる。

連続露光部ＥＸは、原稿円筒体Ｍ、位置検出手段１２、光源１４、遮光カバー１５、押さえローラ８ａ、８ｂ、支持ローラ１６、１７、搬送ローラ２４、そして詳細は後述するが、剥離シート除去手段として用いるローラ３０、粘着ローラ３１、ローラ３２、粘着ローラ３３からなっている。そして原稿円筒体Ｍは、光透過性円筒体３の外周面にマスクパターンフィルム２が巻き付けられた構造になっている。ここで光透過性円筒体３の透過性とは、全光線透過率が８０％以上であることを意味する。光透過性円筒体３の材質としては、例えばアクリル樹脂、ガラス等が好適に用いられる。また、マスクパターン２に描画されているマスクパターンの透過濃度は３．０以上であることが好ましい。

原稿円筒体Ｍの内部には光源１４、及び遮光カバー１５が配置されている。光源１４は、原稿円筒体Ｍの軸方向に配置された線状の光源で原稿円筒体Ｍの内側から図１に示す露光領域Ｌに向けて光を照射する。上述のように原稿円筒体Ｍは、前駆体１の搬送に同調して回転するので、前駆体１を搬送させながら露光することにより、原稿円筒体Ｍに描画されているマスクパターンが連続的に前駆体１に露光されるようになっている。

光源１４としては、例えば原稿円筒体Ｍの軸方向に線状に配置された高圧水銀灯、無電極電源、白色発光ダイオード等、及び蛍光灯が用いられる。図示しないが、光源１４からの照射光に露光に不要な波長の光が含まれている場合、光源１４と前駆体１との間に露光に不要な波長の光をカットする光学フィルタを用いてもよい。光源１４には、図示しない露光量調整手段（例えば、露光源として蛍光灯を用いた場合、インバータ回路による調光手段）を設けてもよい。遮光カバー１５は、光源１４からの照射光を図１に示す露光領域Ｌのみに限定させるために光源１４を覆っている。遮光カバー１５としては、黒色塗装された鉄板、アルミ板等が好適に用いられるが、上記遮光性、及び光源１４の照射光による加熱に耐える耐熱性を有していれば他の部材を用いてもよい。

支持ローラ１６、及び支持ローラ１７は、原稿円筒体Ｍの直径より短い距離に、平行に配置されており、原稿円筒体Ｍは支持ローラ１６、及び支持ローラ１７の上で回転できるように載置されている。支持ローラ１７は粘着性のクリーニングローラとして作用させてもよく、原稿円筒体Ｍと回転接触することにより原稿円筒体Ｍの外周面に付着した塵埃等を除去することもできる。支持ローラ１６、支持ローラ１７及び搬送ローラ２４としては、原稿円筒体Ｍ、及び前駆体１が滑らず、また前駆体１、及び原稿円筒体Ｍを傷つけない程度の面質であればよく、例えば、ゴム硬度６０程度のニトリルゴム（ＮＢＲ）製のローラ等が好適に用いられる。支持ローラ１７としては、原稿円筒体Ｍの外周面に付着した塵埃を除去できる粘着性を付与してもよく、この場合には、粘着性ゴムローラ（例えば、金陽社製クリンタック）等が好適に用いられる。

押さえローラ８ａ、８ｂは、原稿円筒体Ｍに前駆体１を密着させるためのローラであり、前駆体１を原稿円筒体Ｍと押さえローラ８ａ、８ｂで挟持して前駆体１を搬送することにより、前駆体１と原稿円筒体Ｍの密着性を向上させている。位置検出手段１２、ローラ３０、粘着ローラ３１、ローラ３２、粘着ローラ３３は、本発明の特徴である剥離シート除去手段として用いる部材であり詳細は後述する。

巻き取り部ＷＤは、巻き取り軸２１、クラッチ２５、巻き取りモータ２６で構成されており、露光済みの前駆体１を巻き取る部分である。巻き取りモータ２６はクラッチ２５を介して巻き取り軸２１に接続されており、クラッチ２５を制御することにより、露光済みの前駆体１を巻き取りと前駆体１への張力付加を行っている。

巻き出し部ＵＷ、連続露光部ＥＸ、巻き取り部ＷＤ、位置決め部Ｐは、筐体２２に内包されている。筐体２２には、図示しない送風機とＨＥＰＡ（Ｈｉｇｈ Ｅｆｆｉｃｉｅｎｃｙ Ｐａｒｔｉｃｕｌａｔｅ Ａｉｒ）フィルタが取り付けられており、清浄な空気が送り込まれて筐体２２内部は陽圧に保たれており外部から塵埃が混入するのを防いでいる。

図２は、本発明の巻き付け機構及び露光装置に用いるマスクパターンフィルムの一例を示す図であり、図２（Ａ）は正面図であり、図２（Ｂ）は側面図である。

図２（Ａ）に示すように、マスクパターンフィルム２には、メッシュパターン６０、帯状パターン６１、位置決めマーク６２ａ、６２ｂが描画されている。帯状パターン６１は、露光、現像、不要成分の除去によりメッシュパターン６０の像様に作製された導電性パターンに電解メッキ処理を施す時に給電部として機能する部分である。位置決めマーク６２ａ、６２ｂは、マスクパターンフィルム２の位置決め及びマスクパターンフィルム２を光透過性円筒体３に巻き付ける時の位置確認をする時の検知画像として用いる。位置決めマーク６２ａがマスクパターンフィルム２を搬送する時の前部に設けられており、位置決めマーク６２ｂがマスクパターンフィルム２を搬送する時の後部に設けられている。位置決めマーク６２ａ、６２ｂはマスクパターンフィルム２の位置を検出するためのパターンであり透明導電性フィルムとして機能させるためのパターンではないので、前駆体１の幅の外側に配置していてもよいし、露光処理後の位置検出用パターンとして、所望の導電性パターン（図２（Ａ）においては、メッシュパターン６０）に影響を与えない位置に配置してもよい。

マスクパターンフィルム２の両端部（前部及び後部）には、本発明の巻き付け機構及び露光装置の特徴である片面に粘着層を有するテープ体４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄとテープ体４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄとの間で剥離可能な剥離シート５ａ、５ｂが設けられている。テープ体４ａ、４ｂ、剥離シート５ａがマスクパターンフィルム２を搬送する時の前部に設けられておりテープ体４ｃ、４ｄ、剥離シート５ｂが後部に設けられている。

テープ体４ｂ、４ｄはマスクパターンフィルム２を搬送し光透過性円筒体３に巻き付けた後マスクパターンフィルム２を光透過性円筒体３に固定するためのものである。露光処理中は、マスクパターンフィルム２の前部を先頭側にして原稿円筒体Ｍを回転させるので、マスクパターンフィルム２の前部の両角部に浮きがあると、支持ローラ１６、支持ローラ１７をマスクパターンフィルム２が通過する時に角折れが発生するおそれがあるので、テープ体４ｂは、少なくとも両角部に設けることが好ましく、マスクパターンフィルム２の前部の幅に合わせて適宜追加することができる。図２（Ａ）においてテープ体４ｂは、マスクパターンフィルム２の前部の両角部と中央部に設けられている。マスクパターンフィルム２の後部では両角部が露光中に角折れすることがないことから、テープ体４ｄはマスクパターンフィルム２の後部の少なくとも一カ所を固定できればよく、マスクパターンフィルム２の後部の幅に合わせて適宜追加することができる。図２（Ａ）においてテープ体４ｄは、マスクパターンフィルム２の後部の中央部に設けられている。テープ体４ｂ、４ｄとしては、片面にアクリル系粘着層を有するポリエステルフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルムが好適に用いられ、例えば、ポリエステルフィルムテープＹ―５５３３（住友スリーエム株式会社製）などが好適に用いられる。

テープ体４ａ、４ｃはマスクパターンフィルム２の前部の帯状パターン６１が描画されている部分とマスクパターンフィルム２の後部の帯状パターン６１が描画されている部分に接する様に設けられており、上記マスクパターンフィルム２の固定に加えて、マスクパターンフィルム２を光透過性円筒体３に巻き付けた時にマスクパターンフィルム２の前部の帯状パターン６１が描画されている部分とマスクパターンフィルム２の後部の帯状パターン６１が描画されている部分が連続的に繋がるようにするために設けられている。従って、テープ体４ａ、４ｃは少なくとも前駆体１を感光させる波長の光を遮断できるテープ体である。例えば前駆体１の感光波長領域が３５０ｎｍ〜４５０ｎｍであれば、ポリエステルフィルムテープＹ―５５３７（住友スリーエム株式会社製、吸収波長２００ｎｍ〜５８０ｎｍ）などが好適に用いられる。

剥離シート５ａ、５ｂはマスクパターンフィルム２を光透過性円筒体３に搬送し、巻き付ける時に、テープ体４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄが所望の位置以外の場所に貼り付かない様にするためにテープ体４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄの粘着層に貼り合わせてある。マスクパターンフィルム２を光透過性円筒体３に巻き付ける時のマスクパターンフィルム２の搬送性を考慮して、剥離シート５ａは、マスクパターンフィルム２の前部に連続的に配置され、剥離シート５ｂはマスクパターンフィルム２の後部に連続的に配置されている。剥離シート５ａ、５ｂとしては、グラシン紙基材シートにポリエチレンラミネート層、シリコーン剥離層をこの順に積層したシート（例えば、リンテック株式会社製剥離紙、８ＬＫ等）、両面をポリエチレン樹脂でラミネートされた上質紙基材シートにシリコーン剥離層を設けたシート（例えば、リンテック株式会社製剥離紙、１１ＬＬ等）、ポリエステルフィルム基材シートにシリコーン剥離層を設けたシート（例えば、リンテック株式会社製剥離フィルム、ＰＥＴ３８等）等が好適に用いられる。

図２（Ａ）において記号Ｘで示されている範囲が巻き付け長さＸである。巻き付け長さＸは、光透過性円筒体３の外周より長くなっており、巻き付け長さＸと光透過性円筒体３の外周の差は、１ｍｍ〜２０ｍｍの範囲が適当であり、１ｍｍ〜５ｍｍの範囲が更に好ましい。

図２（Ｂ）に示すように、テープ体４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄと剥離シート５ａ、５ｂは、マスクパターンフィルム２を挟むように設けられている。剥離シート５ａ、５ｂがテープ体４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄと貼り合わされていない部分は、剥離シート５ａ、５ｂを剥離する時の取り口として機能して剥離シート５ａ、５ｂを剥離し易くしている。

図３〜図９は、本発明のマスクパターンフィルムの巻き付け機構の巻き付け工程の一例を示す概略側断面図である。図３〜図９を用いて説明するマスクパターンフィルムの巻き付け工程は、前駆体１を露光する前に行われる工程であり、図３〜図９に示す連続露光部ＥＸには、まだ図１に示す前駆体１が通紙されていない状態である。

図３は、マスクパターンフィルム２の位置決め工程を示しており、まずマスクパターンフィルム２は位置決め部Ｐの原稿台５１に載置される。図３において位置決めされるマスクパターンフィルム２には、図２に示すテープ体４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄと剥離シート５ａ、５ｂが設けられている。

位置決め部Ｐは、原稿台５１、Ｘ−Ｙ−θステージ５２、位置検出手段５３、押さえバー５４、搬送ローラ対５５で構成されている。原稿台５１は、マスクパターンフィルム２を載置する台であり、マスクパターンフィルム２を傷つけない程度平滑であり、帯電して塵埃がマスクパターンフィルム２に付着しないようになっていればよく、帯電防止加工されたガラス板、アクリル板などが好適に使用される。Ｘ−Ｙ−θステージ５２は、マスクパターンフィルム２が載置された原稿台５１をＸ方向、Ｙ方向、回転方向（回転角θ）に移動させて、マスクパターンフィルム２の位置決めを行う調整装置である。

位置検出手段５３は、図２に示すマスクパターンフィルム２に描画された位置決めマーク６２ａを検出するための機構で、例えば撮影用ランプと撮影用ＣＣＤカメラで構成されている。図３では、マスクパターンフィルム２は、原稿台５１の左側へ搬送されるようになっており、マスクパターンフィルム２の前側（図３においては左側）の両側部に、位置検出手段５３は取り付けられている。そして、位置検出手段５３は、撮影された位置決めマーク６２ａのずれを、図示しない位置決めコントローラに送信し、図示しない位置決めコントローラがＸ−Ｙ−θステージ５２を制御して位置決めを行う。押さえバー５４は、マスクパターンフィルム２を原稿台５１に押し付け保持する部材であり、Ｘ−Ｙ−θステージ５２の駆動以外でマスクパターンフィルム２が動くのを防止するものである。押さえバー５４は、マスクパターンフィルム２を傷つけないように先端部分に弾性体が取り付けられたエアシリンダ、油圧シリンダ等が好適に利用できる。搬送ローラ対５５には図示しない上下移動機構（例えばエアシリンダ）が接続されており、上側ローラと下側ローラを着脱することができる。搬送ローラ対５５としては、マスクパターンフィルム２が滑らず、またマスクパターンフィルム２を傷つけない程度の面質であればよく、例えば、ゴム硬度６０程度のニトリルゴム（ＮＢＲ）製のローラ等が好適に用いられる。

図３に示すように、マスクパターンフィルム２は、原稿台５１に載置される。この時、搬送ロール対５５の上側ローラと下側ローラの間にマスクパターンフィルム２を通すのに十分な隙間が空けられており、マスクパターンフィルム２の前部を搬送ロール対５５の間に通しておく。そして、押さえバー５４で、マスクパターンフィルム２を押さえ、位置検出手段５３で、図３においては図示されていないマスクパターンフィルム２に描画された位置決めマーク６２ａを、例えば撮影用ＣＣＤカメラにより撮影してマスクパターンフィルム２のずれを算出し、Ｘ−Ｙ−θテーブル５２を駆動して原稿台５１ごとマスクパターンフィルム２を動かし位置決めを行う。位置決めが終了した後、搬送ローラ対５５でマスクパターンフィルム２を挟持し、押さえバー５４をマスクパターンフィルム２から離す。このように機械的に位置決めを行うことにより、常にばらつきなく位置決めが行える。搬送ローラ対５５には図示しないモータが接続されており、該モータにより搬送ローラ対５５を回転させて、マスクパターンフィルム２を連続露光部ＥＸへ搬送する。

図４及び図５は、マスクパターンフィルム２を連続露光部ＥＸへ搬送する工程を示す。図４に示すように、搬送ローラ対５５の回転に伴い、マスクパターンフィルム２は搬送ガイド６を介して矢印Ｆの方向に搬送され、光透過性円筒体３と押さえローラ８ａの間に挿入される。押さえローラ８ａ、８ｂには、図示しないブレーキ付きモータが接続されており、該ブレーキ付きモータが押さえローラ８ａ、８ｂを回転させ、それに伴って光透過性円筒体３が矢印ＣＣＷの方向に回転する。そしてマスクパターンフィルム２の前部が光透過性円筒体３と押さえローラ８ａの間に挟まり、光透過性円筒体３と押さえローラ８ａの搬送に同調して光透過性円筒体３の外周面に沿って搬送される。搬送ローラ対５５によるマスクパターンフィルム２の搬送速度は、光透過性円筒体３の回転速度より遅くなっている。そして搬送ローラ対５５には、図示しないワンウェイクラッチが入っており、これにより、マスクパターンフィルム２の前部が、光透過性円筒体３と押さえローラ８ａの間に挟まったところで、マスクパターンフィルム２の搬送速度が光透過性フィルムの搬送速度に同期するようになっている。搬送ローラ対５５と、搬送ガイド６と、露光時は前駆体１を密着させるために用いる押さえローラ８ａ、８ｂが、本発明の巻き付け機構及び露光装置の特徴である搬送巻き付け手段である。

押さえローラ８ａと押さえローラ８ｂの間には位置検出手段１２が配置されている。位置検出手段１２は、マスクパターンフィルム２に描画されている位置決めマーク６２ａ、６２ｂ（図２（Ａ）に記載）を検出する機構である。位置検出手段１２としては例えば、撮影用ＣＣＤカメラを挙げることができる。図４においては、マスクパターンフィルム２の前部が矢印Ｆの方向に搬送しているところであり、位置検出手段１２は、マスクパターンフィルム２の前部に描画されている、図４に図示されていない位置決めマーク６２ａを検出している。そして、図５に示すように、マスクパターンフィルム２の後部までマスクパターンフィルム２を搬送し、図５に図示されていない位置決めマーク６２ｂを位置検出手段１２で検出する。

検出された位置決めマーク６２ａと位置決めマーク６２ｂの位置の差が許容範囲外であれば、マスクパターンフィルム２の巻き付けを中止し、押さえローラ８ａ、８ｂを回転させることで、図５に示す矢印Ｆの方向にマスクパターンフィルム２を排出し、許容範囲内であれば、押さえローラ８ａ、８ｂに接続されている図示しないブレーキ付きモータのブレーキを作動させて、マスクパターンフィルム２の搬送を一時停止させ、図６〜図９に示すマスクパターン固定動作に移行する。図５において、マスクパターンフィルム２の前部は図示されていないが、マスクパターンフィルム２を矢印Ｆ方向に搬送させることにより、ローラ３０と粘着ローラ３１の間を通過している。ローラ３０と粘着ローラ３１は、図示しないローラ着脱機構（例えばエアシリンダ）により着脱可能なロール対であり、図５においては、ローラ３０と粘着ローラ３１の間に隙間が空いている状態である。

図６及び図７は、マスクパターンフィルム２の前部に設けられている剥離シート５ａを除去し、テープ体４ａ、４ｂによりマスクパターンフィルム２の前部を光透過性円筒体３に固定する工程を示している。図６においてローラ３０と粘着ローラ３１は、マスクパターンフィルム２の前部を挟んで密着する。そして、マスクパターンフィルム２を押さえローラ８ａ、８ｂを回転させることで矢印Ｂの方向に搬送させると共に、光透過性円筒体３を矢印ＣＷの方向に回転させる。粘着ローラ３１と剥離シート５ａの裏面との粘着力は、テープ体４ａ、４ｂの粘着層と剥離シート５ａの表面の粘着力より強くなっており、マスクパターンフィルムの前部がローラ３０と粘着ローラ３１の間を通過する時に、図６に示すように、剥離シート５ａが粘着ローラ３１に巻き付きマスクパターンフィルム２から除去される。

そして、図７に示すように、マスクパターンフィルム２の前部が押さえローラ８ｂと光透過性円筒体３の間を通過する時に、剥離シート５ａが除去されることにより剥き出しになったテープ体４ａ、４ｂの粘着層が光透過性円筒体３の外周面に貼り付き、マスクパターンフィルム２の前部が固定され、その後、押さえローラ８ａ、８ｂに接続されている図示しないブレーキ付きモータのブレーキを作動させて、マスクパターンフィルム２の搬送が一時停止する。一時停止のタイミングは、諸々の方法により決定することができるが、例えば位置検出手段１２が図７では図示されていない位置決めマーク６２ａを検出することにより決定することができる。図６、及び図７において、マスクパターンフィルム２の後部は図示されていないが、マスクパターンフィルム２を矢印Ｂの方向に搬送させることにより、ローラ３２と粘着ローラ３３の間を通過している。ローラ３２とローラ３３は、図示しないローラ着脱機構（例えばエアシリンダ）により着脱可能なロール対であり、図６においては、ローラ３２と粘着ローラ３３の間に隙間が空いている状態である。

図８及び図９は、マスクパターンフィルム２の後部に設けられている剥離シート５ｂを除去し、テープ体４ｃ、４ｄによりマスクパターンフィルム２の後部を光透過性円筒体３に固定する工程を示している。図８においてローラ３２と粘着ローラ３３は、マスクパターンフィルム２の後部を挟んで密着する。そして、マスクパターンフィルム２を押さえローラ８ａ、８ｂを回転させることで矢印Ｆの方向に搬送させると共に、光透過性円筒体３を矢印ＣＣＷの方向に回転させる。粘着ローラ３３と剥離シート５ｂの裏面との粘着力は、テープ体４ｃ、４ｄの粘着層と剥離シート５ｂの表面の粘着力より強くなっており、マスクパターンフィルム２の後部がローラ３２と粘着ローラ３３の間を通過する時に、図８に示すように、剥離シート５ｂが粘着ローラ３３に巻き付きマスクパターンフィルム２から除去される。

そして、図９に示すように、マスクパターンフィルム２の後部が押さえローラ８ａと光透過性円筒体３の間を通過する時に、剥離シート５ｂが除去されることにより剥き出しになったテープ体４ｃ、４ｄの粘着層が光透過性円筒体３の外周面に貼り付き、マスクパターンフィルム２の後部が固定される。このとき、テープ体４ｃ、４ｄがテープ体４ａ、４ｂの上に重なり、本発明の巻き付け方法の特徴である重ね合わせ部Ａができる。テープ体４ａとテープ体４ｃが重なり合うことにより、図２（Ａ）に示すマスクパターンフィルム２に描画された帯状パターン６１が光透過性円筒体３の円周上に連続的に繋がり、ロール・ツー・ロールで電解メッキする時に必要な給電部となる連続的な帯状パターンを有する図１に示す原稿円筒体Ｍができる。

本発明のマスクパターンフィルムの巻き付け機構を有する露光装置によって露光されたロール状の前駆体を現像処理、電解メッキ処理することにより得られる導電性メッシュパターンは、電磁波シールドフィルムやタッチパネル等の用途に用いられる透明導電性フィルム（導電性メッシュパターンフィルム）等に利用可能である。

本発明のマスクパターンフィルムの巻き付け機構で作製された原稿円筒体を用いた連続露光装置の一例を示す概略側断面図 本発明の巻き付け機構及び露光装置に用いるマスクパターンフィルムの一例を示す図 本発明のマスクパターンフィルムの巻き付け機構の巻き付け工程の一例を示す概略側断面図 本発明のマスクパターンフィルムの巻き付け機構の巻き付け工程の一例を示す概略側断面図 本発明のマスクパターンフィルムの巻き付け機構の巻き付け工程の一例を示す概略側断面図 本発明のマスクパターンフィルムの巻き付け機構の巻き付け工程の一例を示す概略側断面図 本発明のマスクパターンフィルムの巻き付け機構の巻き付け工程の一例を示す概略側断面図 本発明のマスクパターンフィルムの巻き付け機構の巻き付け工程の一例を示す概略側断面図 本発明のマスクパターンフィルムの巻き付け機構の巻き付け工程の一例を示す概略側断面図

符号の説明

１ 前駆体
２ マスクパターンフィルム
３ 光透過性円筒体
４ａ、４ｂ、４ｃ、４ｄ テープ体
５ａ、５ｂ 剥離シート
８ａ、８ｂ 押さえローラ
１４ 光源
１６、１７ 支持ローラ
３０、３２ ローラ
３１、３３ 粘着ローラ
Ａ 重ね合わせ部
ＵＷ 巻き出し部
ＷＤ 巻き取り部
ＥＸ 露光部
Ｐ 位置決め部
Ｍ 原稿円筒体
Ｌ 露光領域
Ｘ 巻き付け長さ

Claims (2)

1. 光透過性円筒体の外周面にマスクパターンフィルムを巻き付けて露光を行う露光装置のマスクパターンフィルムの巻き付け機構であって、マスクパターンフィルムの前部及び後部に片面に粘着層を有するテープ体と該テープ体との間で剥離可能な剥離シートを設け、搬送巻き付け手段によって該マスクパターンフィルムを光透過性円筒体に巻き付け、剥離シート除去手段により該マスクパターンフィルムの前部及び後部に設けられた剥離シートを除去し、該マスクパターンフィルムの前部に設けられた該テープ体と該マスクパターンフィルムの後部に設けられた該テープ体が重なり合うように貼り付けて、該マスクパターンフィルムを該光透過性円筒体に巻き付けることを特徴とするマスクパターンフィルムの巻き付け機構。
2. 請求項１記載のマスクパターンフィルムの巻き付け機構を有する露光装置。

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