JP2009236453A - 温調装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】チャンバー内の温度を精度高く調節する温調装置を構成する。
【解決手段】制御パネル21においてオペレータによってチャンバーRの温調目標値が設定された場合に、この温調目標値とチャンバーR内の温度との偏差に基づいてチャンバーRに供給される空気の吹出部目標値を設定する。この後、吹出部温センサTS2の計測値が吹出部目標値と平衡する制御を行うことによりチャンバーRの温度を維持する。
【選択図】図2
【解決手段】制御パネル21においてオペレータによってチャンバーRの温調目標値が設定された場合に、この温調目標値とチャンバーR内の温度との偏差に基づいてチャンバーRに供給される空気の吹出部目標値を設定する。この後、吹出部温センサTS2の計測値が吹出部目標値と平衡する制御を行うことによりチャンバーRの温度を維持する。
【選択図】図2
Description
本発明は、冷媒の圧縮、凝縮、膨張、蒸発を行う冷凍サイクルによってチャンバーから取り込んだ空気を冷却する冷却手段と、前記空気を加熱する加熱手段とを備え、温調後の空気を前記チャンバー内に供給する温調装置に関し、詳しくは、クリーンルームのように高精度の温調制御を実現する技術に関する。
上記のような温調装置として特許文献1と特許文献2とに示されるものが存在する。特許文献1には、冷媒が、圧縮機14、凝縮器15、電子膨張弁17及び蒸発器19を循環する冷凍サイクルを備えた精密温湿度制御装置が示されている。この特許文献1では、外気OAを冷却する蒸発器19の吹出側に再加熱器20を設置しており、再加熱器20では圧縮機14からでたホットガスの一部で、蒸発器19で冷却された空気を再加熱すると共に、その再加熱された空気を加湿器21で加湿して温湿度制御された空調空気SAとする。この制御時には、設定温度と空調空気SAの温度に基づいて三方比例制御弁16の分流比を制御する吹出温度制御部40と、設定湿度と空調空気の湿度から加湿器21での加湿量を制御する吹出湿度制御部41と、その加湿器21への制御出力と予め最小の加湿量となるように加湿出力設定値SP6とが入力され、これに基づいてインバータ装置27の運転周波数、電子膨張弁17の開度、凝縮器15への冷却水量を制御する制御出力を作り出すための加湿出力制御部45とを備えることで消費電力を低減している。
また、特許文献2には、特許文献1と共通する構成に加えて補助電気ヒータ50を備えた精密温度制御が示されている。補助電気ヒータ50は、蒸発器19に空気を取り込む方向での上流側に配置され、外気温度と設定温度との偏差が大きい場合には、この補助電気ヒータ50によって空気を加熱することにより、補助電気ヒータ50と再加熱器20とで加熱が行われ、外気温度と設定温度との偏差が大きく異なる状況でも良好に精密温度制御を行えるものにしている。
チャンバー内の温度を目標値に維持する場合には、チャンバー内の温度を目標値にするための吹出部からチャンバー内に供給される空気温を予め試験運転により取得しておき、その吹出部の空気温を目標値とし、この吹出部に吹出部温センサを配置し、チャンバー内に供給する空気の温度を吹出部温センサの計測値に基づいて調整するフィードバック制御が行われる。また、チャンバー内の温度を外気より低い温度となる目標値に維持する温調制御では、チャンバー内の温度が上昇傾向にあるため、吹出部における目標値を基準にして高温側と低温側とに設定された目標温度領域に吹出部温センサの計測値が含まれる制御を行っても、チャンバー内の温度を目標値に制御し難いものである。
今日、精密空調制御にあっては、省エネルギー状態の運転が望まれており、チャンバー内に供給する空気量を低減することによって省エネルギーを実現することも考えられている。しかしながら、チャンバー内に供給する空気量の増減によってチャンバー内の温度が変化することから、チャンバー内に供給する空気量を低減した場合に、吹出部の目標値をどのような値に制御設定するのが好ましいか、についての技術は確立されていなかった。
本発明の目的は、チャンバー内の温度を精度高く調節する温調装置を合理的に構成する点にある。
本発明の特徴は、冷媒の圧縮、凝縮、膨張、蒸発を行う冷凍サイクルによってチャンバーから取り込んだ空気を冷却する冷却手段と、前記空気を加熱する加熱手段とを備え、温調後の空気を前記チャンバー内に供給する温調装置であって、
前記チャンバーの内部温度を計測するチャンバー温センサと、前記チャンバー内に供給される空気温を計測する吹出部温センサとを備えると共に、前記チャンバー内の温調目標値を設定した場合には、この温調目標値を基準にして前記チャンバー内の温度変化を抑制するように高温側又は低温側に変位した吹出部目標値を、前記チャンバー温センサの計測値に基づいて自動的に設定し、前記吹出部温センサの計測値を前記吹出部目標値に維持する制御を行う制御手段を備えている点にある。
前記チャンバーの内部温度を計測するチャンバー温センサと、前記チャンバー内に供給される空気温を計測する吹出部温センサとを備えると共に、前記チャンバー内の温調目標値を設定した場合には、この温調目標値を基準にして前記チャンバー内の温度変化を抑制するように高温側又は低温側に変位した吹出部目標値を、前記チャンバー温センサの計測値に基づいて自動的に設定し、前記吹出部温センサの計測値を前記吹出部目標値に維持する制御を行う制御手段を備えている点にある。
この構成により、チャンバー内の温調目標値を設定した場合には、この温調目標値を基準にして吹出部目標値が、前記チャンバー温センサの計測値に基づいて自動的に設定される。そして、吹出部温センサの計測値が吹出部目標値に維持される制御が制御手段によって実行される。これにより、例えば、半導体等の製造ラインのように稼働に伴って発熱する機器が設置されたチャンバーのようにチャンバー内の温度が上昇する傾向であっても、チャンバー内の熱を効率的に除去して、チャンバー内の温度を温調目標値に維持できる。その結果、チャンバー内の温度を精度高く調節する温調装置が構成された。
本発明は、前記温調目標値を表示するディスプレイと、このディスプレイに表示する温調目標値を人為的に設定する設定部とを有した制御パネルを備えると共に、前記制御手段は、前記制御パネルにおいて設定された温調目標値に基づいて前記吹出部目標値を設定する目標値設定部を備えても良い。これによると、設定部によって設定された温調目標をディスプレイの表示で確認できると共に、このよう設定された温調目標値に基づいて制御手段において吹出部目標値を自動的に設定できる。
本発明は、前記チャンバー内に供給する空気量が調節可能に構成され、前記温調目標値に変更がない運転状態で、前記チャンバー内に供給する空気量を低減する低減運転を行っても良い。これによると、温調目標値に変更がない場合でも、チャンバー内に供給する空気量を低減する低減運転を行うことにより、チャンバー内の温度を温調目標値に維持しながら、無駄なエネルギー消費をなくし、省エネルギー運転を実現できる。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
〔温調装置の基本構成〕
図1、図2に示すように、恒温に維持されるべきクリーンルームで成るチャンバーRを備えた施設の内部に、チャンバーRの空気を吸引して温度調節を行った後にチャンバーRに供給することにより空気を循環させてチャンバーRの温度を目標とする温度(温調目標値・例えば、23℃)に維持する制御を行う温調装置が構成されている。
〔温調装置の基本構成〕
図1、図2に示すように、恒温に維持されるべきクリーンルームで成るチャンバーRを備えた施設の内部に、チャンバーRの空気を吸引して温度調節を行った後にチャンバーRに供給することにより空気を循環させてチャンバーRの温度を目標とする温度(温調目標値・例えば、23℃)に維持する制御を行う温調装置が構成されている。
前記チャンバーRの内部には、精密な温度管理を必要とする半導体製造ライン等を構成する機器Bが設置されている。チャンバーRの側壁1は温度管理のために断熱性の優れた壁材で形成され、天井壁2は空気循環のために空気の通過を許すメッシュやスリットを有した構造の壁材が使用され、平滑な床面3が形成されている。複数の側壁1の1つには温調制御系に空気を送り出す吸気開口1Aが形成されている。尚、このチャンバーRから空気を排出するための経路を床面3より下部に形成しても良く、この場合、床面3には空気が流通する多数の開口が形成される。
温調装置は、吸気開口1Aから導入空間5を介して吸引した空気を冷却手段としての冷却部Cで冷却した後に第1加熱部Dで加熱すると共に、この第1加熱部Dで加熱された空気をダクト6でファン7に送り、次に、このファン7から送り出された空気を第2加熱部Eで加熱し、送風路8によってチャンバーRの上部空間9に供給し、エアーフィルタ10によって塵埃を除去し、チャンバーRの天井壁2からチャンバー内に供給する空気の循環系を備えている。尚、第1加熱部Dと第2加熱部Eとで本発明の加熱手段が構成されている。
この温調装置は、チャンバー内に設置された機器Bの内部温度を計測するチャンバー温センサTS3と、前記ファン7から送り出される空気の温度を計測する送風部温センサTS1と、天井壁2からチャンバー内に供給される空気の温度を計測する吹出部温センサTS2とを備えている。これらのセンサはサーミスタ等、空気温を電気信号として取得するものが使用されている。
また、温調装置は、チャンバー温センサTS3の計測値に基づいて冷却部Cを制御する主制御ユニットHR3と、送風部温センサTS1の計測値に基づいて第1加熱部Dを制御する第1制御ユニットHR1と、吹出部温センサTS2の計測値に基づいて第2加熱部Eを制御する第2制御ユニットHR2とを備えている。
主制御ユニットHR3、第1制御ユニットHR1、第2制御ユニットHR2は独立して制御対象に制御信号を出力して温調制御を行う機能を有するものであるが、夫々とも相互に情報のアクセスを行う信号系が形成されている。そして、主制御ユニットHR3にセットされているプログラムの情報を第1制御ユニットHR1と第2制御ユニットHR2とに与えることで温調制御が行われる。この温調制御により、チャンバーRの内部温度を温調目標値SP3を基準にして±0.05℃で範囲内に収める高い精度の温度管理を実現する。
〔温調系〕
冷却部Cは冷媒によって空気を冷却する冷凍サイクルを備えている。つまり、圧縮機12で圧縮された冷媒は主流路Lmに沿って配置された凝縮機14、膨張弁15に順次送られ、次に、冷却部Cを構成する蒸発器16に送られ、この後、圧縮機12に戻すように冷凍サイクルが構成されている。また、圧縮機12で圧縮された冷媒の一部は、分岐流路Lbに分流されて第1加熱部Dを構成する再加熱器17に送られ、膨張弁13を経て主流路Lmの膨張弁15と蒸発器16との間に戻される。
冷却部Cは冷媒によって空気を冷却する冷凍サイクルを備えている。つまり、圧縮機12で圧縮された冷媒は主流路Lmに沿って配置された凝縮機14、膨張弁15に順次送られ、次に、冷却部Cを構成する蒸発器16に送られ、この後、圧縮機12に戻すように冷凍サイクルが構成されている。また、圧縮機12で圧縮された冷媒の一部は、分岐流路Lbに分流されて第1加熱部Dを構成する再加熱器17に送られ、膨張弁13を経て主流路Lmの膨張弁15と蒸発器16との間に戻される。
尚、第1加熱部Dは電気ヒータによって空気を加熱するように構成しても良い。また、図1、図2では膨張弁13、凝縮器14、膨張弁15を冷媒処理ユニットFとして示している。
圧縮機12は、冷媒を圧縮するポンプとして機能するものであり、この圧縮機12を駆動する電動モータMとして三相モータが使用されている。主制御ユニットHR3は電動モータMに供給される電力の周波数と電圧とを設定するインバータ制御によって圧縮機12の出力を無段階に調節する。これにより圧縮機12は可変出力型に構成される。
このインバータ制御では周波数と電圧とを可変とするVVVF( variable voltage , variable frequencyの略語)型の制御が用いられている。尚、電動モータMとして単相誘導モータを用いても良く、インバータ制御として周波数のみ可変にするものや、電圧だけを可変にするものでも良い。
膨張弁13は冷媒の膨張を許す機能を有するものであり、電磁弁等のアクチュエータの作動によって冷媒の流量を調節しており、さらに主流路Lmに対する分岐流路Lbの冷媒の分流比の調節を電磁式に行う。
凝縮器14は、圧縮された冷媒を冷却水や外気によって冷却して液化する熱交換系を備えている。膨張弁15は液化した冷媒の膨張を許す機能を有するものであり、電磁弁等のアクチュエータの作動等によって冷媒の流量を調節可能に構成されている。
凝縮器14は、圧縮された冷媒を冷却水や外気によって冷却して液化する熱交換系を備えている。膨張弁15は液化した冷媒の膨張を許す機能を有するものであり、電磁弁等のアクチュエータの作動等によって冷媒の流量を調節可能に構成されている。
冷却部Cは、蒸発器16において空気との接触面積を拡大する多数のフィンを備えた構造を有している。第1加熱部Dは、前述したように主流路Lmに送られる冷媒の潜熱を空気に与えるように再加熱器17において空気との接触面積を拡大する多数のフィンを備えた構造を有している。尚、冷却部Cは一般的な構成を示したものであり、冷却機能を有するものであれば、これ以外の構成のものを用いても良い。
ファン7は、電動モータ(図示せず)で駆動されるシロッコファンが用いられている。第2加熱部Eは通電により発熱する電気ヒータ18を備えている。
主制御ユニットHR3は、制御パネル21を備えると共に、目標値設定部22と、温調制御部23と、圧縮機制御部24と、ファン制御部25とを備えている。制御パネル21は液晶型のディスプレイ21aと、温度設定を行う設定部として機能する複数の操作ボタン21bとを備え、この制御パネル21で取得した情報をケーブルを介して主制御ユニットHR3に伝送する。尚、操作ボタン21bとしてディスプレイ21aの表示面に形成されたタッチパネルを用いても良い。
目標値設定部22は、制御パネル21においてオペレータが設定した温調目標値SP3とチャンバー温センサTS3の計測値PV3の偏差に基づいて吹出部目標値SP2を設定すると共に、送風部温センサTS1で計測されるべき送風部目標値SP1を設定する。さらに具体的には、温調目標値SP3とチャンバー温センサTS3の計測値PV3の偏差に基づいて、その偏差を吸収できるように、例えば、計測値PV3が温度目標値SP3に対して低い場合は、吹出部目標値SP2を上記偏差に対応した分だけ現状より高い側に設定する。そして、この吹出部目標値SP2より、電気ヒータ18による加熱調整分だけ低い温度の送風部目標値SP1が設定される。尚、後述する各センサの計測値と各部位の目標値とを表す記号類を図4に示している。
温調制御部23は、設定された目標値に基づいて温調制御を実現する。つまり、送風部温センサTS1の計測値が送風部目標値SP1と平衡する制御を実現するように第1制御ユニットHR1に送風部目標値SP1を与え、吹出部温センサTS2の計測値が吹出部目標値SP2と平衡する制御を実現するように、第2制御ユニットHR2に吹出部目標値SP2を与える。
圧縮機制御部24は、電動モータMの界磁コイルに供給する電力を制御する制御回路と、この制御回路に制御信号を与えるソフトウエアを備え、温調制御部23からの信号に対応した出力で電動モータMの出力を制御し、さらに膨張弁15を制御する。
ファン制御部25は、ファン7を駆動する電動モータ(図示せず)に供給する電力を制御することによって送風量を制御する。
目標値設定部22、温調制御部23、圧縮機制御部24、ファン制御部25夫々はソフトウエアによって構成されるものであるが、ソフトウエアとハードウエアとの組み合わせによって構成されるものでも良い。
第1制御ユニットHR1は、送風部温センサTS1の計測値に基づいて第1加熱部Dの温度制御を行うために、膨張弁13を制御する弁制御回路(図示せず)を備えると共に、この第1加熱部Dの制御を実現するソフトウエアを備えている。
第2制御ユニットHR2は、吹出部温センサTS2の計測値に基づいて第2加熱部Eの温度制御を行うために、第2加熱部Eの電気ヒータ18に供給する電力を制御する電力制御回路(図示せず)を備えると共に、この第2加熱部Eの制御を実現するソフトウエアを備えている。
本実施形態では、主制御ユニットHR3、第1制御ユニットHR1、第2制御ユニットHR2夫々を併せて温調制御を実現する制御手段が構成されている。
〔制御形態〕
この温調装置では、オペレータが制御パネル21においてチャンバーRの温調目標値SP3を人為的に設定した場合には、実効的にチャンバー温センサTS3の計測値と、温調目標値SP3とを平衡させる温調制御が実行される。その制御形態の概要を図3のフローチャートに示している。尚、この温調制御において用いられる記号類を図4に示している。
この温調装置では、オペレータが制御パネル21においてチャンバーRの温調目標値SP3を人為的に設定した場合には、実効的にチャンバー温センサTS3の計測値と、温調目標値SP3とを平衡させる温調制御が実行される。その制御形態の概要を図3のフローチャートに示している。尚、この温調制御において用いられる記号類を図4に示している。
つまり、オペレータが制御パネル21の操作ボタン21bを操作し、ディスプレイ21aで数値を確認する形態でチャンバーRの温調目標値SP3を人為的に設定した場合には、吹出部温センサTS2の計測値PV2とチャンバー温センサTS3の計測値PV3を取得すると共に、温調目標値SP3と、チャンバー温センサTS3の計測値PV3との偏差に基づいて吹出部目標値SP2が設定される(#101〜#104ステップ)。
この制御では、制御パネル21で温調目標値SP3が設定された場合に、主制御ユニットHR3の目標値設定部22が温調目標値SP3と、チャンバー温センサTS3との偏差に基づいて吹出部目標値SP2を設定するのに、吹出部目標値SP2は、チャンバーRの温度変化を抑制するように高温側又は低温側に変位した温度値として設定される。
このように与えられる吹出部目標値SP2は、吹出し側で、チャンバーRの温度変化を抑制する制御目標値となる。尚、フローチャートには示していないが、主制御ユニットHR3では、吹出部目標値SP2より少し低い値となる送風部目標値SP1が設定され、ファン7の送風量値が設定される。この送風量値の初期値は風量が最大に設定される。
次に、吹出部温センサTS2の計測値PV2と吹出部目標値SP2とが平衡する場合には、圧縮機12の出力値を維持し、ファン7の送風量値を維持する(#105、#106ステップ)。
つまり、この平衡状態にある場合には、圧縮機12で圧縮される冷媒の量が適切であり、ファン7の送風量も適切であるため、圧縮機12を駆動する電動モータMの出力値が維持され、ファン7の電動モータを駆動する送風量値が維持される。これと同様に、電気ヒータ18に供給される電力値が適切であり、膨張弁13での冷媒の分流量が適切であるため、電気ヒータ18に供給する電力値を維持するヒータ制御値が維持され、膨張弁13の制御状態を維持する弁制御値が維持される。更に、このような平衡状態が設定時間経過する毎に、送風量値が一定率ずつ低減される。
この後、電動モータMを出力値に対応して圧縮機制御部24が圧縮機12を駆動し、ファン7の電動モータを送風量値に対応してファン制御部25がファン7を駆動する制御が主制御ユニットHR3で実行される。これと共にヒータ制御値に対応する電力を電気ヒータ18に供給する制御が第2制御ユニットHR2で実行され、弁制御値に対応する電力を膨張弁13に供給する制御が第1制御ユニットHR1で実行される(#110ステップ)。尚、送風量値が低減された場合にはファン7の送風量を低減して省エネルギーが実現される。
これにより、吹出部温センサTS2の計測値PV2と吹出部目標値SP2とを平衡させる制御が第2制御ユニットHR2によって継続される。また、この制御と並行して送風部温センサTS1の計測値PV1と送風部目標値SP1とを平衡させる制御が第1制御ユニットHR1によって継続される。
つまり、チャンバーRの温度が温調目標値SP3に維持される状況では、吹出部温センサTS2の計測値PV2と吹出部目標値SP2とが平衡する状態にある。この吹出部温センサTS2の計測値PV2と吹出部目標値SP2とを平衡させるように電気ヒータ18を制御するだけでチャンバーRの温度を温調目標値SP3に維持できるのである。そして、この平衡状態においてファン7によってチャンバーRに供給される空気量を設定時間毎に低減させる低減運転を行うことにより省エネルギーが実現するのである。
これらの制御において、平衡させる制御の意味は、制御目標(例えば、吹出部目標値SP2)とセンサの計測値(例えば、吹出部温センサTS2の計測値PV2等)とが完全に一致させる制御を指すものではなく、制御目標を基準にして高温側と低温側とに設定された温度領域にセンサの計測値が含まれる状態となるように空気の温度を上昇又は下降させる制御を指す。また、平衡とは制御目標と計測値との偏差の絶対値が所定値未満に達する状態であると説明することも可能である。
#105ステップにおいて、吹出部温センサTS2の計測値PV2と吹出部目標値SP2とが平衡状態でない場合で、計測値PV2から吹出部目標値SP2を減じた値が、設定値「A」を超える状況では、チャンバーRに供給される空気の温度が高温側にシフトしているので、圧縮機12の出力値を増大し、ファン7の送風量値を増大させる制御が行われる(#107、#108ステップ)。
#108ステップの制御では、計測値PV2から吹出部目標値SP2を減じた値が偏差であり、この偏差に対応した値だけ圧縮機12の出力値を増大させ、これと同様に偏差に対応した値だけファン7の送風量値を増大させる制御が行われる。
この後、前述した#110ステップにおいて、電動モータMを出力値に対応して圧縮機制御部24が圧縮機12を駆動し、ファン7の電動モータを送風量値に対応してファン制御部25がファン7を駆動する制御が主制御ユニットHR3で実行される。この#110ステップの制御では、送風部温センサTS1の計測値PV1が送風部目標値SP1と平衡するように膨張弁13に供給する電力を設定する制御が第1制御ユニットHR1で実行される。
#105ステップにおいて、吹出部温センサTS2の計測値PV2と吹出部目標値SP2とが平衡状態でない場合で、計測値PV2から吹出部目標値SP2を減じた値が、設定値「A」未満である状況では、チャンバーRに供給される空気の温度が低温側にシフトしているので、圧縮機12の出力値を低減し、ファン7の送風量値を低減する制御が行われる(#107、#109ステップ)。
#109ステップの制御では、計測値PV2から吹出部目標値SP2を減じた値が偏差であり、この偏差に対応した値だけ圧縮機12の出力値を低減させ、これと同様に偏差に対応した値だけ送風量値を低減する制御が行われる。
この後、前述した#110ステップにおいて、電動モータMを出力値に対応して圧縮機制御部24が圧縮機12の駆動し、ファン7の電動モータを送風量値に対応してファン制御部25がファン7を駆動する制御が主制御ユニットHR3で実行される。この#110ステップの制御では、送風部温センサTS1の計測値PV1が送風部目標値SP1と平衡するように膨張弁13に供給する電力を設定する制御が第1制御ユニットHR1で実行される。
このようにチャンバーRの温度を低下させる制御、及び、上昇を許す制御の何れも、前述したように、吹出部温センサTS2の計測値PV2と吹出部目標値SP2とを平衡させる制御を第2制御ユニットHR2が継続的に行うことによって実現する。また、この制御時には送風部温センサTS1の計測値PV1が送風部目標値SP1とを平衡させる制御が第1制御ユニットHR1によって継続的に実行される。
そして、この#103〜#110の制御はリセットされるまで継続的に行われる(#111ステップ)。
〔制御の別実施形態〕
(a)温調目標値SP3と計測値PV3との偏差に基づいて吹出部目標値SP2を設定する場合、例えば、上記の偏差を考慮して吹出部目標値SP2を設定するとともに、チャンバーRの内部に設置された機器Bの発熱量に基づき、この発熱量が大きいものほど、この吹出部目標値SP2と温調目標値SP3との温度差が大きくなる吹出部目標値SP2を設定するための係数等を設定しても良い。このように吹出部目標値SP2を設定することにより、機器Bの発熱によってチャンバーRの温度が高温側にシフトしやすい状況に陥る現象を回避できる。
(b)温調目標値SP3と計測値PV3との偏差に基づいて吹出部目標値SP2を設定する場合、例えば、上記の偏差を考慮して吹出部目標値SP2を設定するとともに、チャンバーRの外気温に基づき、この外気温と温調目標値SP3との温度差が大きいものほど、この吹出部目標値SP2と温調目標値SP3との温度差が大きくなる吹出部目標値SP2を設定するための係数等を設定しても良い。このように吹出部目標値SP2を設定することにより、外部からの熱の影響によってチャンバーRの温度が高温側にシフトしやすい状況に陥る現象を回避できる。
(c)チャンバーRの内部に複数のチャンバー温センサTS3を備え、この複数のチャンバー温センサTS3の計測値を平均した値を計測値PV3として制御を行っても良い。このように構成することによって、チャンバーRの内部の温度を平均的に温調目標値SP3に維持できる。
(d)第1制御ユニットHR1、第2制御ユニットHR2、主制御ユニットHR3を用いる構成に代えて、単一の制御ユニットで制御手段を構成する。このように単一の制御ユニットを用いた場合には、1つのプログラムで温調制御を行うことが可能となる。
〔実施例効果〕
このように、チャンバーRの温調制御を行う場合に、制御パネル21においてオペレータが温調目標値SP3を設定した場合には、オペレータが意識しない状態でも、チャンバーRの温調制御を適切に行うために必要な吹出部目標値SP2が自動的に設定される。また、温調制御時にはチャンバー温センサTS3の計測値と、チャンバーRの温調目標値SP3との偏差に基づいて吹出部目標値SP2が設定されるので、チャンバーRの温度をシフトさせる場合には、チャンバーRの現実の温度(計測値PV3)と温度差が比較的大きい温度の空気を供給することにより確実で効率的な温調制御が実現する。
このように、チャンバーRの温調制御を行う場合に、制御パネル21においてオペレータが温調目標値SP3を設定した場合には、オペレータが意識しない状態でも、チャンバーRの温調制御を適切に行うために必要な吹出部目標値SP2が自動的に設定される。また、温調制御時にはチャンバー温センサTS3の計測値と、チャンバーRの温調目標値SP3との偏差に基づいて吹出部目標値SP2が設定されるので、チャンバーRの温度をシフトさせる場合には、チャンバーRの現実の温度(計測値PV3)と温度差が比較的大きい温度の空気を供給することにより確実で効率的な温調制御が実現する。
温調制御を行う際には、圧縮機12の出力の増減と、ファン7による送風量の調節を行うので、チャンバーRの内部温度の低下させる場合には、ファン7の送風量を増大させて短時間での温度低下を図り、チャンバーRの内部温度の上昇を許す場合には、ファン7の送風量を減ずることにより短時間での温度上昇を促進できる。
チャンバーRの温度が温調目標値SP3に平衡する状態では、電気ヒータ18に供給する電力の調節だけで、チャンバーRの温度を維持が可能となり、圧縮機12の出力を変更する場合と比較して省エネルギーが可能となる。特に、チャンバーRの温度が温調目標値SP3に平衡する状態が設定時間経過する毎に、ファン7の風量を低減することにより一層の省エネルギーが実現する。
12 圧縮機
18 電気ヒータ
21 制御パネル
21a ディスプレイ
21b 設定部(操作ボタン)
22 目標値設定部
C 冷却手段(冷却部)
R チャンバー
HR3 制御手段(主制御ユニットHR3)
SP3 温調目標値
SP2 吹出部目標値
TS2 吹出部温センサ
TS3 チャンバー温センサ
18 電気ヒータ
21 制御パネル
21a ディスプレイ
21b 設定部(操作ボタン)
22 目標値設定部
C 冷却手段(冷却部)
R チャンバー
HR3 制御手段(主制御ユニットHR3)
SP3 温調目標値
SP2 吹出部目標値
TS2 吹出部温センサ
TS3 チャンバー温センサ
Claims (3)
- 冷媒の圧縮、凝縮、膨張、蒸発を行う冷凍サイクルによってチャンバーから取り込んだ空気を冷却する冷却手段と、前記空気を加熱する加熱手段とを備え、温調後の空気を前記チャンバー内に供給する温調装置であって、
前記チャンバー内の内部温度を計測するチャンバー温センサと、前記チャンバー内に供給される空気温を計測する吹出部温センサとを備えると共に、
前記チャンバー内の温調目標値を設定した場合には、この温調目標値を基準にして前記チャンバー内の温度変化を抑制するように高温側又は低温側に変位した吹出部目標値を、前記チャンバー温センサの計測値に基づいて自動的に設定し、前記吹出部温センサの計測値を前記吹出部目標値に維持する制御を行う制御手段を備えている温調装置。 - 前記温調目標値を表示するディスプレイと、このディスプレイに表示する温調目標値を人為的に設定する設定部とを有した制御パネルを備えると共に、前記制御手段は、前記制御パネルにおいて設定された温調目標値に基づいて前記吹出部目標値を設定する目標値設定部を備えている請求項1記載の温調装置。
- 前記チャンバー内に供給する空気量が調節可能に構成され、前記温調目標値に変更がない運転状態で、前記チャンバー内に供給する空気量を低減する低減運転を行う請求項1又は2記載の温調装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008085912A JP2009236453A (ja) | 2008-03-28 | 2008-03-28 | 温調装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008085912A JP2009236453A (ja) | 2008-03-28 | 2008-03-28 | 温調装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009236453A true JP2009236453A (ja) | 2009-10-15 |
Family
ID=41250618
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2008085912A Pending JP2009236453A (ja) | 2008-03-28 | 2008-03-28 | 温調装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2009236453A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101995071A (zh) * | 2010-08-05 | 2011-03-30 | 上海精普机电科技有限公司 | 远距离阀门控制方法 |
JP2011089663A (ja) * | 2009-10-20 | 2011-05-06 | Nippon Spindle Mfg Co Ltd | 温度調整装置 |
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2008
- 2008-03-28 JP JP2008085912A patent/JP2009236453A/ja active Pending
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