JP2009221938A - ポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】吸込口11と吐出口12を有するケーシング13内に玉軸受14,15により主軸16を回転自在に支持し、この主軸16の軸端部に羽根車17を連結し、キャンドモータ18により主軸16を介して羽根車17を駆動回転可能に構成し、羽根車17における軸心方向前側に前部シュラウド44を設けると共に、軸心方向後側に後部シュラウド45を設け、ケーシング13と前部シュラウド44との間に軸方向に対向する所定隙間47を設けると共に、ケーシング13と前部シュラウド44との間に径方向に対向するシール部48,49を設ける。
【選択図】 図1
Description
12 吐出口
13 ケーシング
14,15 玉軸受
16 主軸
17 羽根車
18 キャンドモータ
31 予圧ばね
44 前部シュラウド
45 後部シュラウド
46 羽根
47 所定隙間
48,49 シール部
51 ディフューザ
52 ボリュート室
Claims (6)
- 吸込口と吐出口を有するケーシングと、
該ケーシング内に玉軸受により回転自在に支持される主軸と、
該主軸の軸端部に連結される羽根車と、
前記主軸を介して前記羽根車を駆動回転可能なキャンドモータと、
を備え、前記羽根車の回転により前記吸込口から吸い込んだ流体を昇圧して前記吐出口から吐出するポンプにおいて、
前記羽根車における軸心方向前側に前部シュラウドが設けられると共に、前記羽根車における軸心方向後側に後部シュラウドが設けられ、
前記ケーシングと前記前部シュラウドとの間に軸方向に対向する所定隙間が設けられると共に、前記ケーシングと前記前部シュラウドとの間に径方向に対向するシール部が設けられる、
ことを特徴とするポンプ。 - 前記シール部は、前記羽根車における軸心方向に並んで複数設けられることを特徴とする請求項1に記載のポンプ。
- 前記ケーシングにて、前記羽根車からの流体出口は、ディフューザ及びボリュート室を介して前記吐出口に連通され、前記ディフューザに絞り部が設けられることを特徴とする請求項1または2に記載のポンプ。
- 前記絞り部の形状は、前記ディフューザの出口での流体流出角と、前記ディフューザの出口と前記ボリュート室との通路面積比に応じて設定されることを特徴とする請求項3に記載のポンプ。
- 前記玉軸受に予圧を付与する予圧ばねが設けられ、該予圧ばねは、リング形状をなす波板材が複数積層されて構成されることを特徴とする請求項1から4のいずれか一つに記載のポンプ。
- 前記羽根車は、回転駆動することで超臨界CO2流体あるいは液体CO2を搬送可能であり、半導体洗浄用循環ポンプとして用いられることを特徴とする請求項1から5のいずれか一つに記載のポンプ。
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