JP2009217113A - 粘着テープ、筐体及びその搬送・保管方法、フォトマスクケース及びその搬送・保管方法 - Google Patents

Abstract

【課題】オゾンなどの活性種と反応しやすいガスをペリクル膜の内側とフォトマスクプレート上の空間内で極力共存させないために、フォトマスクの保管時、搬送時に使用される粘着テープを提供することを課題とする。
【解決手段】基材フィルム上の片面に粘着層を有する粘着テープであって、該粘着層の一部に金属材料もしくは無機材料からなる不活性材料層を備えることを特徴とする粘着テープとした。また、フォトマスクが内蔵されたフォトマスクケースであって、フォトマスクケースが複数の部材を有し、フォトマスクケース内部にフォトマスクが内蔵されており、且つ、複数の部材が嵌め合わされているフォトマスクケースの接続部が本発明の粘着テープで固定されており、さらに、フォトマスクケースの接続部が前記粘着テープの粘着層と接触せず、粘着テープの不活性材料層と接触するように固定されていることを特徴とするフォトマスクケースとした。
【選択図】図１

Description

本発明は、フォトマスク、半導体ウエハー、液晶基板、プリント配線板、磁気記録ディスクなどの精密部品の搬送や保管に用いられる筐体に封をするためまたは、外気のコンタミネーションと遮断させる為に使用する粘着テープに関する。

ウエハー等を用いた半導体を製造する場合には、フォトマスクに形成されたパターンをフォトレジスト等の感光剤を塗布した基板上に投影光学系にて露光する投影露光方式が使用されている。近年、パターン形状の微細化に伴い、使用される露光光は短波長化される傾向にあり、ＫｒＦ（波長２４８ｎｍ）やＡｒＦ（波長１９３ｎｍ）を用いた露光装置が実用化され、１つの半導体回路に対して数十枚に及ぶフォトマスクが使用されている。

これらのフォトマスクは露光時、または保管時、または搬送時に周囲を浮遊する浮遊埃が付着して異物となる。フォトマスク上の異物は、露光時、その部分の結像を妨げるため、製品に欠陥が現れる。このようなフォトマスク表面に付着する異物による解像不良を防ぐため、フォトマスクは表面に透光性を有する防塵カバーとしてペリクルを装着している。

ペリクルを装着したフォトマスクにおいても、近年では、使用環境によっては欠陥が発生している。これは、周囲を浮遊する異物以外にも、露光、保管を繰り返す事で、ペリクルを構成する部材内部の曇り原因物質や透過性環境ガスが変質して異物となり、フォトマスク上に該異物が徐々に堆積する影響によるものである。

フォトマスク上に異物が一定以上堆積すると、フォトマスクに曇りが発生し、製品に欠陥が現れる。このため、曇りを除去するためにフォトマスクを洗浄する必要があるが、洗浄により、製品製造のためのコストが増大したり、フォトマスクのパターンが磨耗したりする。

さらに近年においてはペリクル膜とフォトマスクの空間中に露光により発生するオゾンの影響による有機物の酸化によるＨＡＺＥの発生も懸念されており、ペリクル膜とフォトマスクの空間中のオゾン等活性種の生成の抑制や有機物の除去の必要性が高まっている。

従来、この操作で発生するＨＡＺＥのサイズは非常に小さく、ウエハーに露光する際の影響も小さく、検査時にも検出されず大きな問題とされてこなかった。しかし、ウエハーに露光されるパターンの微細化が進んだことや、検査技術の進歩によりこれまで見過ごされてきた異物についても検出されるようになり、これらの問題が顕在化してきている。
特開２０００−３０５２５４号公報 特開２００６−３３０４２１号公報

このため、ペリクル内でＨＡＺＥを発生させないために、フォトマスク上に発生する曇りや異物発生の要因となるガスを抑制させる必要がある。本発明者らは、フォトマスク表面における曇りや異物発生の要因となるガスとしては、ペリクルから発生するガス、フォトマスクを保管・搬送するフォトマスクケースから発生するガスが挙げられる。本発明者らは、その中でも、フォトマスクをフォトマスクケース内に載置しフォトマスクを保管・搬送する条件によって、フォトマスク上に発生する曇りや異物発生が変化することを見出した。フォトマスクケース内にフォトマスクを保管・搬送するにあっては、粘着テープで固定される。

そこで、本発明にあっては、オゾンなどの活性種と反応しやすいガスをペリクル膜の内側とフォトマスクプレート上の空間内で極力共存させないために、フォトマスクの保管時、搬送時に使用される粘着テープを提供することを課題とする。

上記課題を解決するために、請求項１では、基材フィルム上の片面に粘着層を有する粘着テープであって、該粘着層の一部に金属材料もしくは無機材料からなる不活性材料層を備えることを特徴とする粘着テープとした。

また、請求項２に係る発明としては、前記不活性材料層が該粘着テープの長辺方向に沿って設けられており、且つ、前記不活性材料層が該粘着テープの短辺方向において中央部に設けられており、粘着テープの短辺方向の両端において粘着層が露出していることを特徴とする請求項１記載の粘着テープとした。

また、請求項３に係る発明としては、前記不活性材料層が、粘着テープの粘着層と不活性材料層を合計した面積に対し、２０％以上８０％以下の範囲内で設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の粘着テープとした。

また、請求項４に係る発明としては、前記金属材料もしくは無機材料からなる不活性材料層が、アルミ、銅、金、ガラス、石英からなることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の粘着テープとした。

また、請求項５に係る発明としては、前記不活性材料層から発生するアンモニウム、有機アミン、有機酸、ＰＭＭＡ、ブタジエン、フタル酸エステル、シロキサン、シラン、有機硫黄、有機リン、ＢＨＴ、アルデヒド、ケトン、含窒素化合物成分からなる合計の発ガス量が、８０℃３０分の加熱条件に対してトルエン換算で１０ｎｇ／ｃｍ^２以下であることを特徴とする請求項４記載の粘着テープとした。

また、請求項６に係る発明としては、前記不活性材料層から抽出される無機イオン成分のうち、１ｃｍ^２の面積の不活性材料層に対し１００℃３０分の１００ｍｌの超純水によって抽出される硫酸量が０．１ｎｇ／ｍｌ以下、アンモニア量が０．１ｎｇ／ｍｌ以下であることを特徴としたテープとした。

また、請求項７に係る発明としては、精密部品が内蔵された筐体であって、該筐体が複数の部材を有し、該複数の部材が嵌め合わされた筐体内部に閉空間が形成され、該筐体内部に精密部品が内蔵されており、且つ、該複数の部材が嵌め合わされている筐体の接続部が請求項１乃至６のいずれかに記載の粘着テープで固定されており、さらに、該筐体の接続部が前記粘着テープの粘着層と接触せず、前記粘着テープの不活性材料層と接触するように固定されていることを特徴とする筐体とした。

また、請求項８に係る発明としては、フォトマスクが内蔵されたフォトマスクケースであって、該フォトマスクケースが複数の部材を有し、該複数の部材が嵌め合わされたフォトマスクケース内部に閉空間が形成され、該フォトマスクケース内部にフォトマスクが内蔵されており、且つ、該複数の部材が嵌め合わされているフォトマスクケースの接続部が請求項１乃至６のいずれかに記載の粘着テープで固定されており、さらに、該フォトマスクケースの接続部が前記粘着テープの粘着層と接触せず、前記粘着テープの不活性材料層と接触するように固定されていることを特徴とするフォトマスクケースとした。

また、請求項９に係る発明としては、精密部品が内蔵された筐体の搬送方法であって、精密部品を複数の部材を有する筐体に設置する工程と、該複数の部材を嵌め合わせて筐体内部を閉空間とする工程と、該複数の部材が嵌め合わされている筐体の接続部を請求項１乃至６のいずれかに記載の粘着テープで固定し、且つ、該筐体の接続部が前記粘着テープの粘着層と接触せず、前記粘着テープの不活性材料層と接触するように固定する工程と、該精密部品が内蔵され、粘着テープで固定された筐体を搬送する工程と、を備える精密部品の搬送方法とした。

また、請求項１０に係る発明としては、フォトマスクが内蔵されたフォトマスクケースの搬送方法であって、フォトマスクを複数の部材を有するフォトマスクケースに設置する工程と、該複数の部材を嵌め合わせてフォトマスク内部を閉空間とする工程と、該複数の部材が嵌め合わされているフォトマスクケースの接続部を請求項１乃至６のいずれかに記載の粘着テープで固定し、且つ、該フォトマスクケースの接続部が前記粘着テープの粘着層と接触せず、前記粘着テープの不活性材料層と接触するように固定する工程と、該フォトマスクが内蔵され、粘着テープで固定されたフォトマスクケースを搬送する工程と、を備えるフォトマスクケースの搬送方法とした。

また、請求項１１に係る発明としては、精密部品が内蔵された筐体の保管方法であって、精密部品を複数の部材を有する筐体に設置する工程と、該複数の部材を嵌め合わせて筐体内部を閉空間とする工程と、該複数の部材が嵌め合わされている筐体の接続部を請求項１乃至６のいずれかに記載の粘着テープで固定し、且つ、該筐体の接続部が前記粘着テープの粘着層と接触せず、前記粘着テープの不活性材料層と接触するように固定する工程と、該精密部品が内蔵され、粘着テープで固定された筐体を保管する工程と、を備える精密部品の保管方法とした。

また、請求項１２に係る発明としては、フォトマスクが内蔵されたフォトマスクケースの保管方法であって、フォトマスクを複数の部材を有するフォトマスクケースに設置する工程と、該複数の部材を嵌め合わせてフォトマスク内部を閉空間とする工程と、該複数の部材が嵌め合わされているフォトマスクケースの接続部を請求項１乃至６のいずれかに記載の粘着テープで固定し、且つ、該フォトマスクケースの接続部が前記粘着テープの粘着層と接触せず、前記粘着テープの不活性材料層と接触するように固定する工程と、該フォトマスクが内蔵され、粘着テープで固定されたフォトマスクケースを保管する工程と、を備えるフォトマスクケースの保管方法とした。

本発明の粘着テープは、不活性材料層を設けることで、粘着テープ由来のガスがフォトマスクケース内に入り込み、ＨＡＺＥの発生源となることを妨げることができ、ＨＡＺＥの発生を抑え、安定的なフォトマスクの使用が可能とすることができた。

以下の本発明について説明する。

まず、本発明の粘着テープについて説明する。

図１に本発明の粘着テープの（ａ）模式上面図と、（ｂ）（ａ）におけるＡ−Ａ´線で切断した際の模式断面図を示した。

本発明の粘着テープ１にあっては、基材フィルム１０上に粘着層１１を備え、粘着層の一部に金属材料もしくは無機材料からなる不活性材料層１２を備える。本発明は、不活性材料層を備えることにより、フォトマスクケース等の筐体内部へのガスの侵入する防止することが可能となる。詳細は後述するが、筐体の接続部が粘着層１１ではなく、不活性材料層１２が接するようにして、粘着テープで筐体を固定することにより、筐体内部へのガスの侵入する防止することが可能となる。

また、本発明の粘着テープ１にあっては、図１に示したように、不活性材料層１２が粘着テープの長辺方向（Ｘ）に沿って設けられており、不活性材料層１２が粘着テープ１の短辺方向（Ｙ）において中央部に設けられており、短辺方向における粘着テープの両端で粘着層１１が露出していることが好ましい。

不活性材料層１２を粘着テープの中央部にわたって設ける構成とすることにより、筐体の接続部にそって、粘着テープを取り囲むように貼り合わせることができ、筐体を固定することができる。本発明の粘着テープが不活性材料層を粘着テープの中央部にわたって設ける構成とは、粘着テープの粘着層が短辺方向の両端において露出していることを意味する。

また、本発明の粘着テープ１にあっては、不活性材料層１２が、粘着テープの粘着層と不活性材料層を合計した面積に対し２０％以上８０％以下の範囲内で設けられていることが好ましい。不活性材料層の占める面積が２０％以下の場合、所望の位置に不活性材料層を設けることができなくなることがある。すなわち、筐体の接続部と粘着テープの不活性材料層が接触するように、粘着テープで筐体を固定することが困難になることがある。また、不活性材料層の占める面積が８０％を超える場合にあっては、粘着テープとしての機能が果たせなくなることがある。すなわち、部材同士を固定して、筐体の密着性、密閉性を向上させることができなくなることがある。

また、本発明の粘着テープにあっては、不活性材料層は発ガス成分の少ない材料を用いることができ、金属材料、無機材料の中から適宜選択される。中でも、コスト等の問題から、アルミ、銅、金、ガラス、石英からなる材料を好適に用いることができる。また、不活性材料層形成材料として、活性炭フィルター等に用いられる繊維状の無機材料を用いることもできる。このとき、粘着テープは発ガス成分が少ないだけでなく、他の場所（例えば粘着層）から発生したガスを吸着させることが可能となる。

また、本発明の粘着テープにおける不活性材料層は、発ガス成分を含まないこと必要があるが、具体的に、アンモニウム、有機アミン、有機酸、ＰＭＭＡ、ブタジエン、フタル酸エステル、シロキサン、シラン、有機硫黄、有機リン、ＢＨＴ、アルデヒド、ケトン、含窒素化合物成分からなる合計の発ガス量が、８０℃３０分の加熱条件に対してトルエン換算で１０ｎｇ／ｃｍ^２以下であることが好ましい。本発明の粘着テープをフォトマスクが内蔵されたフォトマスクケースに用いる場合、これらの発ガス成分はフォトマスク使用時のＨＡＺＥ発生の原因となる成分であり、不活性材料層はこれらの発ガス成分を極力含まないことが好ましい。

また、本発明の粘着テープは、記不活性材料層から抽出される無機イオン成分のうち、１ｃｍ^２の面積の不活性材料層に対し１００℃３０分の１００ｍｌの超純水によって抽出される硫酸量が０．１ｎｇ／ｍｌ以下、アンモニア量が０．１ｎｇ／ｍｌ以下であることが好ましい。硫酸イオン、アンモニウムイオンは、フォトマスクのＨＡＺＥ発生の原因物質であり、本発明の粘着テープをフォトマスクが内蔵されたフォトマスクケースに用いる場合、不活性材料層は硫酸イオン、アンモニウムイオンを極力含まないことが好ましい。

本発明の粘着テープは、基材フィルム上に粘着層を備える粘着テープに、金属材料もしくは無機材料からなるフィルムもしくはシートを貼り合わせることにより製造することができる。

粘着テープに用いられる基材フィルムとしては、ＰＥＴ等のポリエステル系材料、塩化ビニル系材料、セロファン等のセルロース系材料、ウレタン系材料を用いることができる。粘着層を形成するための粘着剤としてはシロキサン系やアクリル系、天然ゴム等の粘着剤を用いることができる。

中でも、クリーンルーム等で使用可能な粘着テープを用い、該粘着テープの粘着層に金属材料もしくは無機材料からなるフィルムもしくはシートを貼り合わせて、不活性材料層を形成することにより本発明の粘着テープとすることが好ましい。

本発明の粘着テープは、フォトマスク、半導体ウエハー、液晶基板、プリント配線板、磁気記録ディスクなどの精密部品の搬送や保管に用いられる筐体の密着性向上、密閉性向上のために用いられる。

以下に、本発明の筐体の一例として、フォトマスクを保管、搬送するためのフォトマスクケースについて説明する。図２に本発明のフォトマスクケースの模式図を示した。

本発明のフォトマスクケース２は、上蓋部２１と下底部２２を備える。また、上蓋部２１と下底部２２はヒンジ部２３を有しており、ヒンジ部２３によって上蓋部２１と下底部２２の一端を固定してフォトマスクケース２の開閉作業をおこなうことができ、また、上蓋部２１と下底部２２は留め具２４を備え、フォトマスクケース２を閉じて留め具２４で固定したときに、簡単にフォトマスクケース２が開かない構造となっている。

フォトマスクの搬送、保管などに使用される本発明のフォトマスクケースは、アクリル系樹脂を主成分とした熱可塑性樹脂を成型加工して作製されたものを用いることができるが、これらに限定されるものではない。

以下に、本発明の粘着テープを用いた筐体の固定方法、精密部品の搬送方法、保管方法について説明する。

図３に、本発明の粘着テープを用いたフォトマスクを内蔵したフォトマスクケースの（ａ）模式上面図と、（ｂ）（ａ）におけるＢ−Ｂ´線で切断した際の模式断面図を示した。

図３においては、ペリクル４を備えるフォトマスク３がフォトマスクケース２に内蔵されている。このとき、フォトマスクの上蓋部２１と下底部２２は留め具２４によって固定されている。

このとき、粘着テープ１は、フォトマスクケース２の上蓋部２１と下底部２２を固定するために設けられる。粘着テープで上蓋部２１と下底部２２からなる部材同士を固定することにより密閉性を高めることができ、搬送時、保管時において部材同士の隙間から異物が混入することを防ぐことができる。また、粘着テープで上蓋部２１と下底部２２からなる部材同士を固定することにより密着性を高めることができ、搬送時において不意の衝撃によって、フォトマスクケースが開くことを防ぐことができる。

本発明にあっては、上蓋部２１と下底部２２の接続部Ｐが、粘着テープ１の不活性材料層１２と接触するように設けられる。

本発明者らは、粘着テープの粘着層が上蓋部２１と下底部２２の接続部Ｐと接触するようにしてフォトマスクケースを固定した場合、粘着テープの粘着層由来の発ガス成分がフォトマスクケース内に浸入し、フォトマスク使用時にＨＡＺＥ発生の原因となることを発見した。

そこで、本発明者らは、粘着層１１上に不活性材料層１２を備える粘着テープ１を開発した。そして、該粘着テープを用い、フォトマスクケース２の上蓋部２１と下底部２２の部材同士が嵌め合わされている接合部Ｐと粘着テープの不活性材料層１２が接するようにしてフォトマスクケースを固定することにより、粘着テープの粘着層由来の発ガス成分がフォトマスクケース内に浸入することを防ぐことができ、フォトマスク使用時にＨＡＺＥ発生を抑制することができた。

本発明にあっては、フォトマスクケース２の上蓋部２１と下底部２２の部材同士が嵌め合わされている接合部Ｐと粘着テープ１の不活性材料層１２が接するようにし、フォトマスクケース２の上蓋部２１と下底部２２が粘着テープ１により固定される。

本発明にあっては、フォトマスクを内蔵したフォトマスクケースの接続部を粘着テープで貼り合わせ、上蓋部と下底部の部材を固定した状態で、搬送もしくは保管される。

本発明の粘着テープ及びそれを用いたフォトマスクを内蔵したフォトマスクケース、及びその搬送方法、保管方法は、他の精密部品にも適用することができる。すなわち、本発明の粘着テープは、液晶基板、プリント配線板、磁気記録ディスクなどの精密部品を内蔵した筐体及びその搬送方法、保管方法に好適に用いることができる。

以下実施例により本発明を詳細に説明する。

ポリエステルを基材とした粘着剤にシリコン系部材からなる粘着層を備える粘着テープに銅箔を貼り合わせ本発明の粘着テープを得た。このとき、銅箔からなる不活性材料層の面積は、不活性材料層と粘着層の合計の面積に対し、５０％であった。

また、用いた銅箔について、加熱脱着式ＧＣ／ＭＳ分析を加熱脱着装置（ＴＤＳＡ２／ＴＤＳ／ＣＩＳ、Ｇｅｒｓｔｅｌ社製）とガスクロマトグラフ質量分析計（６８９０Ｎ／５９７３ＭＳＤ、Ａｇｌｅｎｔ社製）を用いて８０℃３０分の加熱条件で発ガス量を調べたところ、アンモニウム、有機アミン、有機酸、ＰＭＭＡ、ブタジエン、フタル酸エステル、シロキサン、シラン、有機硫黄、有機リン、ＢＨＴ、アルデヒド、ケトン、含窒素化合物成分からなる合計の発ガス量は、トルエン換算で１０ｎｇ／ｃｍ^２以下であった。

また、用いた銅箔について１ｃｍ^２のサイズに切り出し、１００ｍｌの超純水を用い１００℃３０分の条件下でイオン抽出をおこない、イオンクロマトグラフ分析装置（ＤＸ３２０ ＤＩＯＮＥＸ社製）により銅箔表面から抽出される無機イオン成分を測定したところ、抽出される硫酸量が０．１ｎｇ／ｍｌ以下、アンモニア量が０．１ｎｇ／ｍｌ以下であった。

次に、上蓋部、下底部、ヒンジ部、留め具を備えるＡＢＳ樹脂製のフォトマスクケースにペリクル付きフォトマスクを配置し、上蓋部と下底部を嵌め合わせ、留め具部で固定した。そして、上蓋部と下底部の接続部において、接続部と不活性材料層が接触するようにして粘着テープでフォトマスクケースの固定をおこない、固定後、保管した。保管時にあっては、フォトマスクケースの外側の外部環境は一定量のＮ_２を常時パージしておき、他の環境由来の汚染が入らないようにした。

（比較例）
（実施例）と同一の、ポリエステルを基材とした粘着剤にシリコン系部材からなる粘着層を備える粘着テープを用いた。（比較例）においては、不活性材料層を持たない粘着テープを用いた。

（実施例）と同一のフォトマスクケースを用い、（実施例）と同一の製造工程により作成されたフォトマスクを用い、（実施例１）と同一のペリクルを用いた。フォトマスクケースにペリクル付きフォトマスクを配置し、上蓋部と下底部を嵌め合わせ、留め具部で固定した。そして、上蓋部と下底部の接続部において、接続部と不活性材料層が接触するようにして粘着テープでフォトマスクケースの固定をおこない、固定後、７２時間保管した。保管時にあっては、フォトマスクケースの外側の外部環境は一定量のＮ_２を常時パージしておき、他の環境由来の汚染が入らないようにした。

＜フォトマスク上の発ガス成分の分析＞
（実施例）（比較例）において、固定後、７２時間保管したフォトマスクケースからフォトマスクを取り出し、加熱脱着式ＧＣ／ＭＳ分析を加熱脱着装置（ＴＤＳＡ２／ＴＤＳ／ＣＩＳ、Ｇｅｒｓｔｅｌ社製）とガスクロマトグラフ質量分析計（６８９０Ｎ／５９７３ＭＳＤ、Ａｇｌｅｎｔ社製）を用いてフォトマスクから発生するガス成分の分析をおこなった。

図４（ａ）に（実施例）のフォトマスクケースに保管したフォトマスクのガスクロマトグラフ分析結果を示す。図４（ｂ）に（比較例）のフォトマスクケースに保管したフォトマスクケースのガスクロマトグラフ分析結果を示す。本発明の粘着テープを用いて固定した（実施例）フォトマスクケース中のフォトマスクは、通常の粘着テープを用いて固定した（比較例）フォトマスクケース中のフォトマスクと比較して、発ガス成分が少なく、特に、図４（ｂ）の星印で示した粘着テープの粘着層由来の発ガス成分のフォトマスク表面への吸着が少ないことが確認された。

＜フォトマスクのヘイズ発生の評価＞
（実施例）（比較例）において、固定後、７２時間保管したフォトマスクケースからペリクルを具備するフォトマスクを取り出し、ＡｒＦレーザー（ｘｉｍｅｒ−３００ ＭＰＢ社製）により、５０ｍＷ／ｃｍ_２、２００Ｈｚの波長で同一ショット、それぞれのフォトマスクに対して照射した。

この結果、通常の粘着テープを用いて固定した（比較例）のフォトマスクケースから取り出したペリクルを具備するフォトマスクからは０．１ｕｍレベルの生成物が多数検出され、目視によりフォトマスク表面のＨＡＺＥが確認された。一方、本発明の粘着テープを用いて固定した（実施例）のフォトマスクケース中から取り出したペリクルを具備するフォトマスクからは、０．１ｕｍレベルの生成物が（比較例）のフォトマスクと比較して少なく、目視によりフォトマスク表面のＨＡＺＥは確認されなかった。

図１は、本発明の粘着テープの（ａ）模式上面図と、（ｂ）（ａ）におけるＡ−Ａ´線で切断した際の模式断面図である。 図２は、本発明のフォトマスクケースの模式図である。 図３は、本発明の粘着テープを用いたフォトマスクを内蔵したフォトマスクケースの（ａ）模式上面図と、（ｂ）（ａ）におけるＢ−Ｂ´線で切断した際の模式断面図である。 図４（ａ）は（実施例）のフォトマスクケースに保管したフォトマスクのガスクロマトグラフ分析結果である。図４（ｂ）は（比較例）のフォトマスクケースに保管したフォトマスクケースのガスクロマトグラフ分析結果である。

符号の説明

１ 粘着テープ
１０ 基材フィルム
１１ 粘着層
１２ 不活性材料層
２ フォトマスクケース
２１ 上蓋部
２２ 下底部
２３ ヒンジ部
２４ 留め具部
３ フォトマスク
４ ペリクル

Claims (12)

1. 基材フィルム上の片面に粘着層を有する粘着テープであって、
   該粘着層の一部に金属材料もしくは無機材料からなる不活性材料層を備えることを特徴とする粘着テープ。
2. 前記不活性材料層が該粘着テープの長辺方向に沿って設けられており、且つ、前記不活性材料層が該粘着テープの短辺方向において中央部に設けられており、粘着テープの短辺方向の両端において粘着層が露出していることを特徴とする請求項１記載の粘着テープ。
3. 前記不活性材料層が、粘着テープの粘着層と不活性材料層を合計した面積に対し、２０％以上８０％以下の範囲内で設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２記載の粘着テープ。
4. 前記金属材料もしくは無機材料からなる不活性材料層が、アルミ、銅、金、ガラス、石英からなることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の粘着テープ。
5. 前記不活性材料層から発生するアンモニウム、有機アミン、有機酸、ＰＭＭＡ、ブタジエン、フタル酸エステル、シロキサン、シラン、有機硫黄、有機リン、ＢＨＴ、アルデヒド、ケトン、含窒素化合物成分からなる合計の発ガス量が、８０℃３０分の加熱条件に対してトルエン換算で１０ｎｇ／ｃｍ^２以下であることを特徴とする請求項４記載の粘着テープ。
6. 前記不活性材料層から抽出される無機イオン成分のうち、１ｃｍ^２の面積の不活性材料層に対し１００℃３０分の１００ｍｌの超純水によって抽出される硫酸量が０．１ｎｇ／ｍｌ以下、アンモニア量が０．１ｎｇ／ｍｌ以下であることを特徴としたテープ。
7. 精密部品が内蔵された筐体であって、
   該筐体が複数の部材を有し、該複数の部材が嵌め合わされた筐体内部に閉空間が形成され、該筐体内部に精密部品が内蔵されており、且つ、
   該複数の部材が嵌め合わされている筐体の接続部が請求項１乃至６のいずれかに記載の粘着テープで固定されており、さらに、該筐体の接続部が前記粘着テープの粘着層と接触せず、前記粘着テープの不活性材料層と接触するように固定されていることを特徴とする筐体。
8. フォトマスクが内蔵されたフォトマスクケースであって、
   該フォトマスクケースが複数の部材を有し、該複数の部材が嵌め合わされたフォトマスクケース内部に閉空間が形成され、該フォトマスクケース内部にフォトマスクが内蔵されており、且つ、
   該複数の部材が嵌め合わされているフォトマスクケースの接続部が請求項１乃至６のいずれかに記載の粘着テープで固定されており、さらに、該フォトマスクケースの接続部が前記粘着テープの粘着層と接触せず、前記粘着テープの不活性材料層と接触するように固定されていることを特徴とするフォトマスクケース。
9. 精密部品が内蔵された筐体の搬送方法であって、
   精密部品を複数の部材を有する筐体に設置する工程と、
   該複数の部材を嵌め合わせて筐体内部を閉空間とする工程と、
   該複数の部材が嵌め合わされている筐体の接続部を請求項１乃至６のいずれかに記載の粘着テープで固定し、且つ、該筐体の接続部が前記粘着テープの粘着層と接触せず、前記粘着テープの不活性材料層と接触するように固定する工程と、
   該精密部品が内蔵され、粘着テープで固定された筐体を搬送する工程と、
   を備える精密部品の搬送方法。
10. フォトマスクが内蔵されたフォトマスクケースの搬送方法であって、
    フォトマスクを複数の部材を有するフォトマスクケースに設置する工程と、
    該複数の部材を嵌め合わせてフォトマスク内部を閉空間とする工程と、
    該複数の部材が嵌め合わされているフォトマスクケースの接続部を請求項１乃至６のいずれかに記載の粘着テープで固定し、且つ、該フォトマスクケースの接続部が前記粘着テープの粘着層と接触せず、前記粘着テープの不活性材料層と接触するように固定する工程と、
    該フォトマスクが内蔵され、粘着テープで固定されたフォトマスクケースを搬送する工程と、
    を備えるフォトマスクケースの搬送方法。
11. 精密部品が内蔵された筐体の保管方法であって、
    精密部品を複数の部材を有する筐体に設置する工程と、
    該複数の部材を嵌め合わせて筐体内部を閉空間とする工程と、
    該複数の部材が嵌め合わされている筐体の接続部を請求項１乃至６のいずれかに記載の粘着テープで固定し、且つ、該筐体の接続部が前記粘着テープの粘着層と接触せず、前記粘着テープの不活性材料層と接触するように固定する工程と、
    該精密部品が内蔵され、粘着テープで固定された筐体を保管する工程と、
    を備える精密部品の保管方法。
12. フォトマスクが内蔵されたフォトマスクケースの保管方法であって、
    フォトマスクを複数の部材を有するフォトマスクケースに設置する工程と、
    該複数の部材を嵌め合わせてフォトマスク内部を閉空間とする工程と、
    該複数の部材が嵌め合わされているフォトマスクケースの接続部を請求項１乃至６のいずれかに記載の粘着テープで固定し、且つ、該フォトマスクケースの接続部が前記粘着テープの粘着層と接触せず、前記粘着テープの不活性材料層と接触するように固定する工程と、
    該フォトマスクが内蔵され、粘着テープで固定されたフォトマスクケースを保管する工程と、
    を備えるフォトマスクケースの保管方法。