JP2009208231A - 粘着フィルム位置検出器および粘着フィルム貼付装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】
粘着フィルム5の端部に対して斜め方向から光を照射し、その端部より散乱反射した反射光を粘着フィルム5の垂直方向に設置されたCCDカメラ11にて撮像する。粘着フィルム5の背景には黒色のプレート13が配置されているので、粘着フィルム5の端部のみが反射光により白く映し出される。この端部のラインを基に粘着フィルム5の位置決めを行う。粘着フィルム5の端部からの反射光を利用するので、粘着フィルム5および粘着フィルムが貼られているベースフィルム3の着色の有無または色の濃さに関係なく正確な位置決めをすることができる。
【選択図】図1
Description
ける各種のフィルム貼付装置が提案されている。例えば、特開平7−195527号公報には、透明のベーステープに貼付けられている着色された粘着フィルムがフィルム移送手段を介して移送されており、一定位置に到達すればフィルム検出機構により検出されている。このフィルム検出機構は、その検出に基づきベースフィルムの移送を停止し、また、その停止位置にて粘着フィルムと基板との相対位置および相対角度のズレを検出する。その後、この位置ズレを補正し、基板とベースフィルムとを同調して移送することにより、テープ折り返し端から粘着フィルムを連続して剥離するとともに、基板表面に貼付ける。
すなわち、第1の発明は粘着フィルム位置検出器であって、ベースフィルム上の長手方向に所定の間隔で貼付けられた所定形状の粘着フィルムの端部に斜方向から光を照射する照明手段と、前記照明手段より光が照射される前記ベースフィルムの下面に設置された黒色のプレートと前記照明手段の光の強度を調節する調光手段と、前記照明手段の光の照射角度を調節する照明角度調節手段と、前記粘着フィルムに対して垂直上方向に設置された撮像手段とを備え、前記照明手段から照射された光が前記粘着フィルムの端部にて散乱反射を起こし、散乱反射された光を前記撮像手段にて受光することにより粘着フィルムの位置を検出することを特徴とする。
図1に示されるように、粘着フィルム位置検出器1は、図1左方向へ移送されるベースフィルム3上に貼付けられた粘着フィルム5の後端部に光を照射する照明器7と、照明器7の光の色度および照度を調整する調光器9と、照明器7から照射される光の照射角度を調節する照明角度調整機構8(図7参照)と、照明器7から照射された光が粘着フィルム5の後端部で散乱反射し、粘着フィルム5の垂直上方向への反射光を撮像するCCDカメラ11にて構成されている。また、ベースフィルム3の下面には黒色かつ艶の無いプレート13が設置されている。CCDカメラ11はこの発明における撮像手段に相当する。
次に、上述した粘着フィルム位置検出器1を備えた粘着フィルム貼付装置21を図4、および図5を参照して詳述する。粘着フィルム貼付装置21には、貼付ユニット23が配設されている。この貼付ユニット23は、粘着フィルム貼付装置21の内部に架設されたレール25に垂設されており、図示しない駆動装置を介して図4中矢印A方向に往復動可能に構成されている。貼付ユニット23において、上述した粘着フィルム位置検出器1は反時計周りに回転された状態で配置されている。また、貼付ユニット23の下側には半導体基板27(図6参照)が載置される貼付テーブル29の昇降動作および位置合わせ、また、その他粘着フィルム貼付装置21に設けられた各種ワークの移動等を行う駆動機構(図示省略)が設けられている。なお、駆動機構の構成については公知であるので、ここではその詳細な説明を省略する。
続いて、前記のように構成されたフィルム貼付装置21の駆動システムおよび粘着フィルムの検出方法について図7、図8、図9を参照して説明する。
図7において、操作パネル63にて貼付け開始の指示がされることで貼付け開始の信号がメインCPU65に送られる。そして、メインCPU65からモータドライバ67へ動作信号が送られ、モータドライバ67が回転駆動することで繰出ローラ45が回転し、フィルム供給テープ6が移送される。そして、フィルム供給テープ6上に貼付けられた粘着フィルム5がガイド部材43に向かって移送される。このとき、CCDカメラ11で撮像される画像はメインCPU65を通してモニター69に写し出される。粘着フィルム5の前端部からの散乱光による反射光は、粘着フィルム5の表面での正反射および粘着フィルム5内の透過による減衰により後端部での反射光に比べ光量が小さいので、メインCPU65にて検知されない。この、フィルム供給テープ6が移送されている時のモニター69に映し出される画像は、図9(a)に示すように画面全体が黒色である。ここで、図9の各画像はモニター69に映し出される画像であり、1点鎖線の線は粘着フィルム5の基準線71を、2点鎖線はモータドライバ停止線73を表示している。
そして、図9(c)に示されるように、反射光線75がモータドライバ停止線73上を通過したことをメインCPU65が検出する。そして、メインCPU65からモータドライバ67へ繰出ローラ45のモータの駆動停止の信号が送られる。
モータドライバ67のモータが停止することで、繰出しローラ45が停止し、これと同期して引出ローラ51と巻取軸39が停止するのでフィルム供給テープ6の移送が停止される。CPU65からモータ駆動停止の信号が送られてから、フィルム供給テープ6が停止されるまである程度移送される。このとき、停止された粘着フィルム5の後端部からの反射光が基準線71上になるように、予めモータドライバ停止線73の設定をしておく。そして、図9(d)に示すように基準線71上に粘着フィルム5の後端部からの反射光線75がモニター69上に映し出される。
フィルム供給テープ6が停止後、図9(e)に示されるように、基準線71と粘着フィルム5の後端部からの反射光線75が重ならずにずれてモニター69上に表示される場合、メインCPU65は両線のズレΔYをモニター69のドット数を計数して、位置ズレΔYを計算する。
上記フィルム供給テープ6の移送に伴い、半導体基板27がカセット台(図示省略)より取り出されて、アライナ(図示省略)上に供給される。アライナにおいては、搬入された半導体基板27の心合わせが行われる。
位置合わせの完了した半導体基板27は貼付テーブル29上に移載される。
メインCPU65は粘着フィルム5のY方向のズレ量ΔYのデータに基づいて、位置修正信号が貼付テーブル29に送られ、貼付テーブル29がY方向に位置修正される。
貼付ユニット23がレール5に沿って貼付テーブル29側に移動されて、ベースフィルム3から剥離された粘着フィルム5が貼付テーブル29上の半導体基板27における貼付け開始位置にセットされる。
貼付ローラ59はエアーシリンダ61により下方へ移動されて粘着フィルム5の剥離された先端部を押圧し、これにより貼付ユニット23の移動に伴って、繰出しローラ45、および引出ローラ51、並びに巻取軸39が回転し、粘着フィルム5を半導体基板27の表面に貼付ける。
3 … ベースフィルム
5 … 粘着フィルム
6 … フィルム供給テープ
7 … 照明器
9 … 調光器
11 … CCDカメラ
13 … プレート
Claims (8)
- ベースフィルム上の長手方向に所定の間隔で貼付けられた所定形状の粘着フィルムの端部に斜方向から光を照射する照明手段と、
前記照明手段より光が照射される前記ベースフィルムの下面に設置された黒色のプレートと、
前記照明手段の光の強度を調節する調光手段と、
前記照明手段の光の照射角度を調節する照明角度調節手段と、
前記粘着フィルムに対して垂直上方向に設置された撮像手段とを備え、
前記照明手段から照射された光が前記粘着フィルムの端部にて散乱反射を起こし、散乱反射された光を前記撮像手段にて受光することにより粘着フィルムの位置を検出することを特徴とする粘着フィルム位置検出器。 - 請求項1に記載の粘着フィルム位置検出器において、
前記撮像手段がCCDカメラである
ことを特徴とする粘着フィルム位置検出器。 - 請求項1または2に記載の粘着フィルム位置検出器において、
前記照明手段が、赤と青と緑のそれぞれに光の波長のピークを持つ
ことを特徴とする粘着フィルム位置検出器。 - 請求項3に記載の粘着フィルム位置検出器において、
前記照明手段が、3波長蛍光灯、または、赤と青と緑のそれぞれの単波長LEDの光を集合させたものである
ことを特徴とする粘着フィルム位置検出器。 - 請求項1から4のいずれか1つに記載の粘着フィルム位置検出器において、
前記粘着フィルムと前記ベースフィルムが共に透明である
ことを特徴とする粘着フィルム位置検出器。 - 請求項5に記載の粘着フィルム位置検出器において、
前記粘着フィルムと前記ベースフィルムが共に無色である
ことを特徴とする粘着フィルム位置検出器。 - 請求項1から6のいずれか1つに記載の粘着フィルム位置検出器において、
前記プレートが艶無しである
ことを特徴とする粘着フィルム位置検出器。 - 請求項1から7のいずれか1つに記載の粘着フィルム位置検出器と、
前記ベースフィルムの長手方向に所定の間隔で前記粘着フィルムが貼付けられたフィルム供給テープを移送するテープ移送手段と、
前記フィルム供給テープを折り返し案内するとともに、その折り返し端にて前記粘着フィルムを前記ベースフィルムから剥離するフィルム剥離手段と、
前記折り返し端の近傍位置にて上下動可能に配設される貼付ローラと、
前記粘着フィルムが貼り付けられる基板を載置する貼付テーブルと、
前記粘着フィルム位置検出器から出力される粘着フィルムの位置信号に基づきフィルム供給テープの移送を停止し、かつ、その停止位置にて粘着フィルムの位置ズレを計測し前記貼付テーブルの位置を修正する制御手段と
を備えたことを特徴とする粘着フィルム貼付装置。
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