JP2009206590A - 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計並びに圧電振動片の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基端から先端に向かって一方向に延在した状態で互いに平行に配置された一対の振動腕部11、12と、基端から先端に向かう途中位置で一対の振動腕部にそれぞれ接続された接続部13aを有し、該接続部を介して一対の振動腕部を一体的に支持する基部13と、を備えた圧電板10と、一対の振動腕部の外表面上にそれぞれ形成され、駆動電圧が印加されたときに一対の振動腕部を振動させる励振電極20、21と、基部の外表面上に形成され、一対の励振電極に対して電気的にそれぞれ接続された一対のマウント電極22、23と、を備え、基部の少なくとも一部分が一対の振動腕部の間に挟まれるように配置されている圧電振動片2を提供する。
【選択図】 図2
Description
圧電振動片201は、各種の圧電材料から形成された音叉型の振動片であり、平行に配置された一対の振動腕部210と、該一対の振動腕部210の基端側に一体的に固定された基部211とで構成される圧電板212と、該圧電板212の外表面上に形成された図示しない電極と、を有している。
なお、電極は、一対の振動腕部210の外表面上に形成され、これら振動腕部210を振動させる励振電極と、基部211の外表面上に形成され、引き出し電極を介して励振電極に電気的に接続されたマウント電極と、で構成されている。
2本のリード端子216は、ケース202内に突出して圧電板212を支持すると共にマウント電極に接続される部分がインナーリード216aとなり、ケース202外に突出している部分がアウターリード216bとなっている。そして、このアウターリード216bが、外部接続端子として機能するようになっている。
また、ケース202は、ステム215の外周に対して圧入されて嵌合固定されている。このケース202の圧入は、真空雰囲気下で行われているため、ケース202内の圧電振動片201を囲む空間は、真空に保たれた状態で密閉されている。
特に、圧電振動片をベース基板とリッド基板との間に収納したパッケージタイプ(ガラスパッケージやセラミックパッケージ等)の表面実装型圧電振動子や、このタイプの圧電振動子よりも実装面積が大きいとされるモールドタイプの表面実装型圧電振動子(上述したシリンダパッケージタイプの圧電振動子を樹脂でモールドしたもの)においては、小型化を達成するために全長を短くすることが有効とされている。これは、全長を短くすることで、実装面積を小さくすることができ、比較的容易に小型化に繋げることができるからである。
そこで、音叉型の圧電振動片に関しても、全長を短くすることで小型化を実現しようとする要求がある。
なお、CI値(Crystal Impedance)を低下させて振動損失を抑えるための工夫として、振動腕部の両面に溝部を形成して断面H型の振動腕部にすることが知られている。この方法によれば、溝部を形成しない場合と比較して振動腕部の幅の減少率を小さくすることが可能であるが、圧電振動片のさらなる小型化に繋がるほど効果的な方法ではない。
即ち、基部の長さを短くしてしまうと、振動腕部の振動が不安定になり易く、基部を通じて振動漏れ(振動エネルギーの漏洩)が発生してしまい、CI値が不安定になる恐れがあった。
そこで、振動漏れを低減するための対策として、基部に切り込み部を形成したものが提案されている(特許文献1参照)。
更に上記圧電振動片を有する圧電振動子、該圧電振動子を有する発振器、電子機器及び電波時計を提供することである。
本発明に係る圧電振動片は、基端から先端に向かって一方向に延在した状態で互いに平行に配置された一対の振動腕部と、基端から先端に向かう途中位置で一対の振動腕部にそれぞれ接続された接続部を有し、該接続部を介して一対の振動腕部を一体的に支持する基部と、を備えた圧電板と、前記一対の振動腕部の外表面上にそれぞれ形成され、駆動電圧が印加されたときに一対の振動腕部を振動させる励振電極と、前記基部の外表面上に形成され、前記一対の励振電極に対して電気的にそれぞれ接続された一対のマウント電極と、を備え、前記基部が、少なくとも一部分が前記一対の振動腕部の間に挟まれるように配置されていることを特徴とする。
そして、複数の圧電板をウエハから切り離して小片化する切断工程を行う。これにより、1枚のウエハから、音叉型の圧電振動片を一度に複数製造することができる。
つまり、従来は、基部が一対の振動腕部の基端側を支持していたため、振動腕部の長さと基部の長さとを積算したものが全体の長さであった。しかしながら、上述したように、少なくとも基部の一部分が一対の振動腕部の間に挟まれるように配置されているので、基部の長さが従来と同じであったとしても、全体の長さを短くすることができる。
このように、振動漏れを十分に低減できるだけの基部の長さを確保したうえで、全長を短くして小型化を図ることができる。
特に、圧電振動片をキャビティ内に密閉した表面実装型のパッケージタイプの圧電振動子とすることができるので、塵埃等の影響を受けることなく圧電振動片を振動させることができ、圧電振動片をさらに高精度に振動させることができる。加えて、表面実装型であるので、実装を容易に行うことができると共に、実装後の安定性に優れている。
特に、圧電振動片をケース内に密閉したシリンダパッケージタイプの圧電振動子とすることができるので、塵埃等の影響を受けることなく圧電振動片を振動させることができ、圧電振動片をさらに高精度に振動させることができる。
また、本発明の電子機器は、上記本発明の圧電振動子が、計時部に電気的に接続されていることを特徴とする。
また、本発明の電波時計は、上記本発明の圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする。
また、本発明に係る圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計によれば、上述した圧電振動片を備えているので、同様に小型化を図ることができると共に、信頼性の向上化及び高品質化を図ることができる。
なお、本実施形態では、表面実装型のガラスパッケージタイプの圧電振動子を例に挙げて説明する。
本実施形態の圧電振動子1は、図1から図4に示すように、ベース基板3とリッド基板4とで2層に積層された箱状に形成されており、内部のキャビティC内に圧電振動片2が収納された圧電振動子である。
なお、図4では、図面を見易くするために後述する励振電極20、21、引き出し電極24、25、マウント電極22、23の図示を省略している。
この圧電板10は、基端から先端に向かって一方向に延在した状態で互いに平行に配置された一対の振動腕部11、12と、基端から先端に向かう途中位置で一対の振動腕部11、12にそれぞれ接続された接続部13aを有し、該接続部13aを介して一対の振動腕部11、12を一体的に支持する基部13と、を備えている。
基部13は、少なくとも一部分が一対の振動腕部11、12の間に挟まれるように配置されている。なお、本実施形態では、基部13の全体が一対の振動腕部11、12の間に挟まれるように配置されており、基部13の基端側が振動腕部11、12の基端側から飛び出ないように設計されている場合を例にしている。これにより、圧電振動片2の全長は、基部13の長さに影響を受けずに、振動腕部11、12の長さとなっている。
一対の振動腕部11、12は、この溝部14によって、図7に示すように断面H型となっている。
しかも、本実施形態の一対の励振電極20、21は、接続部13aを境として振動腕部11、12の基端側と先端側とで極性が反対となるようにパターニングされている。そのため、振動腕部11、12の基端側では、一方の励振電極20が、一方の振動腕部11の両側面上と、他方の振動腕部12の溝部14上とに主に形成され、他方の励振電極21が、一方の振動腕部11の溝部14上と、他方の振動腕部12の両側面上とに主に形成されている。
なお、上述した励振電極20、21、引き出し電極24、25及びマウント電極22、23は、例えば、クロム(Cr)と金(Au)との積層膜であり、水晶と密着性の良いクロム膜を下地として成膜した後に、表面に金の薄膜を施したものである。但し、この場合に限られず、例えば、クロムとニクロム(NiCr)の積層膜の表面にさらに金の薄膜を積層しても構わないし、クロム、ニッケル、アルミニウム(Al)やチタン(Ti)等の単層膜でも構わない。
このベース基板3には、該ベース基板3を貫通する一対のスルーホール30、31が形成されている。この際、一対のスルーホール30、31は、キャビティC内に収まるように形成されている。より詳しく説明すると、マウントされた圧電振動片2の基部13側に一方のスルーホール30が位置し、振動腕部11、12の先端側に他方のスルーホール31が位置するように形成されている。
また、本実施形態では、ベース基板3を真っ直ぐに貫通したスルーホール30、31を例に挙げて説明するが、この場合に限られず、例えばベース基板3の下面に向かって漸次径が縮径するテーパー状に形成しても構わない。いずれにしても、ベース基板3を貫通していれば良い。
ベース基板3の上面側(リッド基板4が接合される接合面側)には、導電性材料(例えば、アルミニウム)により、陽極接合用の接合膜35と、一対の引き回し電極36、37とがパターニングされている。このうち接合膜35は、リッド基板4に形成された凹部4aの周囲を囲むようにベース基板3の周縁に沿って形成されている。
より詳しく説明すると、図2から図4に示すように、一方の引き回し電極36は、圧電振動片2の基部13の真下に位置するように一方の貫通電極32の真上に形成されている。また、他方の引き回し電極37は、一方の引き回し電極36に隣接した位置から、振動腕部11、12に沿って該振動腕部11、12の先端側に引き回しされた後、他方の貫通電極33の真上に位置するように形成されている。
そして、これら一対の引き回し電極36、37上にバンプBが形成されており、該バンプBを利用して圧電振動片2がマウントされている。これにより、圧電振動片2の一方のマウント電極22が、一方の引き回し電極36を介して一方の貫通電極32に導通し、他方のマウント電極23が、他方の引き回し電極37を介して他方の貫通電極33に導通するようになっている。
始めに、圧電材料からなるウエハSを利用して、図5から図7に示す圧電振動片2を一度に複数製造する圧電振動片製造工程を行う(S10)。
この工程を行うにあたって、まずポリッシングが終了し、所定の厚みに高精度に仕上げられたウエハSを準備する(S11)。次いで、ウエハSをフォトリソ技術によってエッチングして、該ウエハSに複数の圧電板10の外形形状を形成する外形形成工程を行う(S12)。この工程について、具体的に説明する。
なお、図12から図15は、図11に示す切断線C−C線に沿った断面を示す図である。
この時点で、外形形成工程が終了する。なお、複数の圧電板10は、後に行う切断工程を行うまで、図示しない連結部を介してウエハSに連結された状態となっている。
そして、最後にウエハSと圧電板10とを連結していた連結部を切断して、複数の圧電板10をウエハSから切り離して小片化する切断工程を行う(S16)。これにより、1枚のウエハSから、音叉型の圧電振動片2を一度に複数製造することができる。この時点で、圧電振動片2の製造工程が終了する。
まず、ソーダ石灰ガラスを所定の厚さまで研磨加工して洗浄した後に、図16に示すように、エッチング等により最表面の加工変質層を除去した円板状のリッド基板用ウエハ45を形成する(S21)。次いで、リッド基板用ウエハ45の接合面に、エッチング等により行列方向にキャビティC用の凹部4aを複数形成する凹部形成工程を行う(S22)。この時点で、第1のウエハ作製工程が終了する。
まず、ソーダ石灰ガラスを所定の厚さまで研磨加工して洗浄した後に、エッチング等により最表面の加工変質層を除去した円板状のベース基板用ウエハ46を形成する(S31)。次いで、図17に示すように、ベース基板用ウエハ46を貫通する一対のスルーホール30、31を複数形成する貫通孔形成工程(S32)を行う。なお、図17に示す点線Mは、後に行う切断工程で切断する切断線を図示している。
この際、後に両ウエハ45、46を重ね合わせたときに、リッド基板用ウエハ45に形成した凹部4a内に収まるように一対のスルーホール30、31を複数形成する。しかも、一方のスルーホール30が後にマウントする圧電振動片2の基部13側に位置し、他方のスルーホール31が振動腕部11、12の先端側に位置するように形成する。
続いて、ベース基板用ウエハ46の上面に導電性材料をパターニングして、図18に示すように、接合膜35を形成する接合膜形成工程(S34)を行うと共に、一対の貫通電極32、33にそれぞれ電気的に接続された引き回し電極36、37を複数形成する引き回し電極形成工程を行う(S35)。なお、図18に示す点線Mは、後に行う切断工程で切断する切断線を図示している。
この工程を行うことにより、一方の貫通電極32と一方の引き回し電極36とが導通すると共に、他方の貫通電極33と他方の引き回し電極37とが導通した状態となる。この時点で第2のウエハ作製工程が終了する。
なお、切断工程(S90)を行って個々の圧電振動子1に小片化した後に、微調工程(S80)を行う工程順序でも構わない。但し、上述したように、微調工程(S80)を先に行うことで、ウエハ体の状態で微調を行うことができるので、複数の圧電振動子1をより効率よく微調することができる。よって、スループットの向上化を図ることができるので、より好ましい。
この際、一対の励振電極20、21は、接続部13aを境として振動腕部11、12の基端側と先端側とで極性が反対となるように形成されているので、図19に示すように、振動腕部11、12は先端側と基端側とが逆方向に屈曲しながら振動する。つまり、振動腕部11、12は、接続部13aを中心として屈曲方向が反対となる振動モードで振動する。その結果、一対の振動腕部11、12をそれぞれ、接続部13aを基点として回転するように振動させることができ、互いに接近、離間させることができる。
そして、これら一対の振動腕部11、12の振動を利用して、時刻源、制御信号のタイミング源やリファレンス信号源等として利用することができる。
また、一対の振動腕部11、12には溝部14が形成されているので、一対の励振電極20、21が圧電振動片2を挟んで一部対向した位置関係となっている。そのため、一対の励振電極20、21間における電界効率を上げることができる。よって、振動損失を抑えることができ、振動特性を向上することができる。従って、CI値及び共振周波数を低くすることができ、圧電振動片2の高性能化を図ることができる。
つまり、従来は、基部13が一対の振動腕部11、12の基端側を支持していたため、振動腕部11、12の長さと基部13の長さとを積算した数値が全体の長さであった。しかしながら、本実施形態の圧電振動片2によれば、基部13の長さが従来と同じであったとしても、全体の長さを短くすることができる。つまり、圧電振動片2の長さを、振動腕部11、12の長さとすることができる。
このように、本実施形態の圧電振動片2によれば、振動漏れを十分に低減できるだけの基部13の長さを確保したうえで、マウント性にも何ら影響を与えずに全長を短くして小型化を図ることができる。
更に、この圧電振動子1は、圧電振動片2をキャビティC内に密閉した表面実装型のガラスパッケージタイプであるので、塵埃等の影響を受けることなく圧電振動片2を振動させることができ、高品質化を図ることができる。加えて、表面実装型であるので、実装を容易に行うことができると共に、実装後の安定性に優れている。
このような補強部52を形成する場合には、外形形成工程の際、振動腕部11、12と一体的に形成されるようにウエハSをエッチングすれば良い。
これら場合であっても、貫通孔51による剛性の低下を補強できるので、同様の作用効果を奏することができる。なお、図25から図28においても、励振電極20、21、引き出し電極24、25及びマウント電極22、23の図示を省略している。
更には、表面実装型ではなく、例えば、図29に示すようにシリンダパッケージタイプの圧電振動子でも構わない。次に、このシリンダパッケージタイプの圧電振動子について、簡単に説明する。
ケース61は、有底円筒状に形成されており、気密端子62の後述するステム70の外周に対して圧入されて、嵌合固定されている。なお、このケース61の圧入は、真空中で行われており、ケース61内の圧電振動片2を囲む空間が真空に保たれた状態となっている。
始めに、圧電振動片製造工程(S10)を行って圧電振動片2を作製する。なお、この工程は、既に詳細に説明したのでここでは説明を省略する。
次いで、ステム70内に、リード端子71及び充填材72をそれぞれセットするセット工程を行う(S112)。まず、作製したステム70を、図示しない専用の治具にセットした後、予めリング状に焼結された充填材72をステム70の内部にセットすると共に、充填材72を貫通するようにリード端子71をセットする。
このように、下地金属膜及び仕上金属膜からなる金属膜を被膜させることで、インナーリード71aと圧電振動片2との接続を可能にすることができる。また、圧電振動片2の接続だけでなく、ステム70の外周に被膜された金属膜が柔らかく弾性変形する特性を有しているので、ステム70とケース61との冷間圧接を可能にすることができ、気密接合を行うことができる。
なお、バンプB接続する際に、加熱・加圧を行ってマウントしたが、超音波を利用してバンプB接続を行っても構わない。
なお、この工程を行う前に、圧電振動片2、ケース61及び気密端子62を十分に加熱して、表面吸着水分等を脱離させておくことが好ましい。
この表面実装型振動子80は、図32及び図33に示すように、圧電振動子60と、該圧電振動子60を所定の形状で固定するモールド樹脂部81と、一端側がアウターリード71bに電気的に接続されると共に、他端側がモールド樹脂部81の底面に露出して外部に電気的に接続される外部接続端子82、を備えている。
この外部接続端子82は、銅等の金属材料で断面コ形に形成されている。このように圧電振動子60をモールド樹脂部81で固めることで、回路基板等に安定して取り付けることができるので、より使用し易く、使い易さが向上する。特に、圧電振動子60は小型化されているので、表面実装型振動子80自体に関しても小型化を図ることができる。
本実施形態の発振器100は、図34に示すように、圧電振動子1を、集積回路101に電気的に接続された発振子として構成したものである。この発振器100は、コンデンサ等の電子部品102が実装された基板103を備えている。基板103には、発振器用の上記集積回路101が実装されており、この集積回路101の近傍に、圧電振動子1の圧電振動片2が実装されている。これら電子部品102、集積回路101及び圧電振動子1は、図示しない配線パターンによってそれぞれ電気的に接続されている。なお、各構成部品は、図示しない樹脂によりモールドされている。
また、集積回路101の構成を、例えば、RTC(リアルタイムクロック)モジュール等を要求に応じて選択的に設定することで、時計用単機能発振器等の他、当該機器や外部機器の動作日や時刻を制御したり、時刻やカレンダー等を提供したりする機能を付加することができる。
この携帯情報機器110は、図35に示すように、圧電振動子1と、電力を供給するための電源部111とを備えている。電源部111は、例えば、リチウム二次電池からなっている。この電源部111には、各種制御を行う制御部112と、時刻等のカウントを行う計時部113と、外部との通信を行う通信部114と、各種情報を表示する表示部115と、それぞれの機能部の電圧を検出する電圧検出部116とが並列に接続されている。そして、電源部111によって、各機能部に電力が供給されるようになっている。
無線部117は、音声データ等の各種データを、アンテナ125を介して基地局と送受信のやりとりを行う。音声処理部118は、無線部117又は増幅部120から入力された音声信号を符号化及び複号化する。増幅部120は、音声処理部118又は音声入出力部121から入力された信号を、所定のレベルまで増幅する。音声入出力部121は、スピーカやマイクロフォン等からなり、着信音や受話音声を拡声したり、音声を集音したりする。
なお、呼制御メモリ部124は、通信の発着呼制御に係るプログラムを格納する。また、電話番号入力部122は、例えば、0から9の番号キー及びその他のキーを備えており、これら番号キー等を押下することにより、通話先の電話番号等が入力される。
なお、通信部114の機能に係る部分の電源を、選択的に遮断することができる電源遮断部126を備えることで、通信部114の機能をより確実に停止することができる。
日本国内には、福島県(40kHz)と佐賀県(60kHz)とに、標準の電波を送信する送信所(送信局)があり、それぞれ標準電波を送信している。40kHz若しくは60kHzのような長波は、地表を伝播する性質と、電離層と地表とを反射しながら伝播する性質とを併せもつため、伝播範囲が広く、上述した2つの送信所で日本国内を全て網羅している。
アンテナ132は、40kHz若しくは60kHzの長波の標準電波を受信する。長波の標準電波は、タイムコードと呼ばれる時刻情報を、40kHz若しくは60kHzの搬送波にAM変調をかけたものである。受信された長波の標準電波は、アンプ133によって増幅され、複数の圧電振動子1を有するフィルタ部131によって濾波、同調される。
本実施形態における圧電振動子1は、上記搬送周波数と同一の40kHz及び60kHzの共振周波数を有する水晶振動子部138、139をそれぞれ備えている。
搬送波は、40kHz若しくは60kHzであるから、水晶振動子部138、139は、上述した音叉型の構造を持つ振動子が好適である。
また、図38に示すように、基端から先端に亘って均一な横幅ではなく、基端側の横幅が大きくなるように振動腕部11、12をそれぞれ形成しても構わない。この場合であっても、同様の作用効果を奏することができる。なお、接続部13aは、長さ方向における振動腕部11、12の重心位置Gに接続されている。
更には、図39に示すように、一対の振動腕部11、12を外側から支持するように接続部13aを接続させても構わない。この場合であっても、同様の作用効果を奏することができる。
G…振動腕部の重心位置
S…ウエハ
1、60…圧電振動子
2、50…圧電振動片
3…ベース基板
4…リッド基板
10…圧電板
11、12…振動腕部
13…基部
13a…接続部
14…溝部
20、21…励振電極
22、23…マウント電極22、23
38、39…外部電極
51…貫通孔
52…補強部
61…ケース
62…気密端子
70…ステム
71…リード端子
71a…インナーリード
71b…アウターリード
72…充填材
100…発振器
101…発振器の集積回路
110…携帯情報機器(電子機器)
113…携帯情報機器の計時部
130…電波時計
131…電波時計のフィルタ部
Claims (18)
- 基端から先端に向かって一方向に延在した状態で互いに平行に配置された一対の振動腕部と、基端から先端に向かう途中位置で一対の振動腕部にそれぞれ接続された接続部を有し、該接続部を介して一対の振動腕部を一体的に支持する基部と、を備えた圧電板と、
前記一対の振動腕部の外表面上にそれぞれ形成され、駆動電圧が印加されたときに一対の振動腕部を振動させる励振電極と、
前記基部の外表面上に形成され、前記一対の励振電極に対して電気的にそれぞれ接続された一対のマウント電極と、を備え、
前記基部は、少なくとも一部分が前記一対の振動腕部の間に挟まれるように配置されていることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1に記載の圧電振動片において、
前記接続部は、長さ方向における前記振動腕部の重心位置に接続されていることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項2に記載の圧電振動片において、
前記一対の励振電極は、前記接続部を境として、前記振動腕部の基端側と先端側とで極性が反対となるようにパターニングされていることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の圧電振動片において、
前記一対の振動腕部には、長さ方向に沿って両面にそれぞれ溝部が形成されていることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の圧電振動片において、
前記一対の振動腕部には、長さ方向に沿って両面を貫通する貫通孔が形成されていることを特徴とする圧電振動片。 - 請求項5に記載の圧電振動片において、
前記振動腕部の側面には、振動腕部の幅方向に突出する補強部が少なくとも前記貫通孔が形成されている領域に亘って形成されていることを特徴とする圧電振動片。 - 圧電材料からなるウエハを利用して、圧電振動片を一度に複数製造する方法であって、
前記ウエハをフォトリソ技術によってエッチングして、該ウエハに、基端から先端に向かって一方向に延在した状態で互いに平行に配置された一対の振動腕部と、基端から先端に向かう途中位置で一対の振動腕部にそれぞれ接続された接続部を介して一対の振動腕部を一体的に支持する基部と、を有する圧電板の外形形状を複数形成する外形形成工程と、
複数の前記圧電板の外表面上に電極膜をパターニングして、駆動電圧が印加されたときに前記一対の振動腕部を振動させる励振電極を一対の振動腕部の外表面上に形成すると共に、一対の励振電極に対して電気的にそれぞれ接続された一対のマウント電極を前記基部の外表面上に形成する電極形成工程と、
複数の前記圧電板を前記ウエハから切り離して小片化する切断工程と、を備え、
前記外形形成工程の際、少なくとも前記基部の一部分が前記一対の振動腕部の間に挟まれるように前記圧電板の外形形状を形成することを特徴とする圧電振動片の製造方法。 - 請求項7に記載の圧電振動片の製造方法において、
前記外形形成工程の際、前記接続部が長さ方向における前記振動腕部の重心位置に接続されるように前記圧電板の外形形状を形成することを特徴とする圧電振動片の製造方法。 - 請求項8に記載の圧電振動片の製造方法において、
前記電極形成工程の際、前記接続部を境として、前記振動腕部の基端側と先端側とで極性が反対となるように前記一対の励振電極を形成することを特徴とする圧電振動片の製造方法。 - 請求項7から9のいずれか1項に記載の圧電振動片の製造方法において、
前記外形形成工程の際、一対の振動腕部の両面に、長さ方向に沿ってそれぞれ溝部を形成することを特徴とする圧電振動片の製造方法。 - 請求項7から9のいずれか1項に記載の圧電振動片の製造方法において、
前記外形形成工程の際、一対の振動腕部に、長さ方向に沿って両面を貫通する貫通孔を形成することを特徴とする圧電振動片の製造方法。 - 請求項11に記載の圧電振動片の製造方法において、
前記外形形成工程の際、前記振動腕部の側面に、該振動腕部の幅方向に突出する補強部を少なくとも前記貫通孔が形成されている領域に亘って形成することを特徴とする圧電振動片の製造方法。 - 請求項1から6のいずれか1項に記載の圧電振動片を有することを特徴とする圧電振動子。
- 請求項13に記載の圧電振動子において、
前記圧電振動片を上面にマウントするベース基板と、
マウントされた前記圧電振動片をキャビティ内に収容した状態で前記ベース基板に接合されたリッド基板と、
前記ベース基板の下面に形成され、マウントされた前記圧電振動片の一対のマウント電極に対してそれぞれ電気的に接続された一対の外部電極と、を備えていることを特徴とする圧電振動子。 - 請求項13に記載の圧電振動子において、
前記圧電振動片を内部に収納するケースと、
環状に形成されて前記ケース内に圧入固定されるステムと、該ステムを貫通した状態で配置され、ステムを間に挟んで一端側が前記一対のマウント電極にそれぞれ電気的に接続されるインナーリードとされ、他端側が外部にそれぞれ電気的に接続されるアウターリードとされた2本のリード端子と、該リード端子と前記ステムとを固定させる充填材とを有し、前記ケース内を密閉させる気密端子と、を備えていることを特徴とする圧電振動子。
特に、圧電振動片をケース内に密閉したシリンダパッケージタイプの圧電振動子とすることができるので、塵埃等の影響を受けることなく圧電振動片を振動させることができ、圧電振動片をさらに高精度に振動させることができる。 - 請求項13から15のいずれか1項に記載の圧電振動子が、発振子として集積回路に電気的に接続されていることを特徴とする発振器。
- 請求項13から15のいずれか1項に記載の圧電振動子が、計時部に電気的に接続されていることを特徴とする電子機器。
- 請求項13から15のいずれか1項に記載の圧電振動子が、フィルタ部に電気的に接続されていることを特徴とする電波時計。
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