JP2009200139A - 光源装置、光源装置の製造方法、画像表示装置及びモニタ装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】簡易かつ小型な構成により高い効率で光を利用可能とする光源装置、光源装置の製造方法、画像表示装置及びモニタ装置を提供すること。
【解決手段】第1波長の光を射出する発光素子である半導体素子11と、第1波長の光を共振させる共振器である外部共振器14と、第1波長の光を波長変換することにより第2波長の光を射出する波長変換素子であるSHG素子13と、第1波長の光を透過させ、第2波長の光を反射する透過反射部である透過反射ミラー12と、入射面Sへ入射した第2波長の光の光路を変換させる光路変換部である反射ミラー15と、を有し、波長変換素子は、発光素子に対する位置が調整された状態で、透過反射部及び光路変換部と一体として支持され、光路変換部は、移動の前と移動の後とで入射面Sが略平行となるように移動させることにより透過反射部に対する位置が調整された状態で固定される。
【選択図】図1
【解決手段】第1波長の光を射出する発光素子である半導体素子11と、第1波長の光を共振させる共振器である外部共振器14と、第1波長の光を波長変換することにより第2波長の光を射出する波長変換素子であるSHG素子13と、第1波長の光を透過させ、第2波長の光を反射する透過反射部である透過反射ミラー12と、入射面Sへ入射した第2波長の光の光路を変換させる光路変換部である反射ミラー15と、を有し、波長変換素子は、発光素子に対する位置が調整された状態で、透過反射部及び光路変換部と一体として支持され、光路変換部は、移動の前と移動の後とで入射面Sが略平行となるように移動させることにより透過反射部に対する位置が調整された状態で固定される。
【選択図】図1
Description
本発明は、光源装置、光源装置の製造方法、画像表示装置及びモニタ装置、特に、波長変換素子及び外部共振器を有する光源装置の技術に関する。
近年、プロジェクタ等の画像表示装置の光源装置として、レーザ光を供給するレーザ光源を用いる技術が提案されている。プロジェクタの光源装置として従来用いられているUHPランプと比較すると、レーザ光源は、高い色再現性、瞬時点灯が可能、長寿命である等の利点がある。レーザ光源としては、発光素子から射出した基本波光を直接供給するものの他、基本波光の波長を変換して供給するものが知られている。基本波光の波長を変換する波長変換素子として、例えば第二高調波発生(Second−Harmonic Generation;SHG)素子が用いられている。波長変換素子を用いることで、容易に入手可能な汎用の発光素子を用いて、所望の波長のレーザ光を供給することが可能となる。また、十分な光量のレーザ光を供給可能な構成とすることもできる。SHG素子における光の波長変換効率は、一般的に30〜40%程度であることが知られている。SHG素子へ単に基本波光を入射させるだけでは、SHG素子から射出する高調波光の強度は、発光素子の出力に対して非常に小さくなってしまう。高い効率で波長変換されたレーザ光を供給するための技術は、例えば、特許文献1に提案されている。特許文献1にて提案される技術では、SHG素子を透過した光から基本波光を分離し、再度SHG素子へ入射させる。
特許文献1に提案される構成の場合、SHG素子によって波長が変換された光と、一度SHG素子を透過した基本波光を再度SHG素子へ入射させることで波長が変換された光とを合成するために、複雑かつ大掛かりな構成が必要となる。また、多くの光学素子へ光を入射させることで光の損失が増大することにもなる。このように、従来の技術によると、簡易かつ小型な構成により効率良く光を利用可能とすることが困難であるという問題を生じる。本発明は、上述の問題に鑑みてなされたものであり、簡易かつ小型な構成により高い効率で光を利用可能とする光源装置、その光源装置を製造するための光源装置の製造方法、画像表示装置及びモニタ装置を提供することを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明に係る光源装置は、第1波長の光を射出する発光素子と、発光素子から射出した第1波長の光を共振させる共振器と、発光素子及び共振器の間の光路中に設けられ、第1波長の光を波長変換することにより、第1波長とは異なる波長である第2波長の光を射出する波長変換素子と、発光素子及び波長変換素子の間の光路中に設けられ、第1波長の光を透過させ、第2波長の光を反射する透過反射部と、透過反射部で反射した第2波長の光が入射する入射面を備え、入射面へ入射した第2波長の光の光路を変換させる光路変換部と、を有し、波長変換素子は、発光素子に対する位置が調整された状態で、透過反射部及び光路変換部と一体として支持され、光路変換部は、移動の前と移動の後とで入射面が略平行となるように移動させることにより透過反射部に対する位置が調整された状態で固定されることを特徴とする。
波長変換素子から射出し共振器を透過した第2波長の光は、光源装置外へ射出する。波長変換素子から射出し透過反射部で反射した第2波長の光は、光路変換部を経て、光源装置外へ射出する。第1波長の光は、発光素子及び共振器の間で共振する。光源装置は、少ない光学素子による簡易かつ小型な構成とし、光の損失を低減させることができる。光源装置の製造工程において、波長変換素子は、効率良い波長変換を可能とするために、光の入射位置が調整される。波長変換素子における光の入射位置の調整は、光源装置を構成する各光学素子を組み込んだ後に、発光素子に対する波長変換素子の位置を微調整することにより行う。
波長変換素子、透過反射部、光路変換部は、例えば、共通の支持部を用いて互いの相対位置を決定する。透過反射部及び光路変換部と一体として支持された波長変換素子を移動させると、発光素子に対する透過反射部及び光路変換部の位置も変化する。透過反射部及び光路変換部の位置変化は、外部共振器を透過して光源装置外へ射出する第2波長の光と、光路変換部を経て光源装置外へ射出する第2波長の光との位置関係を変化させることになる。透過反射部に対する光路変換部の位置を調整することで、光源装置外へ射出する第2波長の光同士の位置関係の変化を低減させる。光源装置外へ射出する光同士の位置関係の変化を低減させることで、光源装置からの光を利用する照明光学系は、できるだけ簡略化された構成により光を効率良く利用することが可能となる。これにより、簡易かつ小型な構成により高い効率で光を利用可能とする光源装置を得られる。
また、本発明の好ましい態様としては、少なくとも波長変換素子、透過反射部、及び光路変換部を支持する支持部を有することが望ましい。これにより、波長変換素子、透過反射部、光路変換部は、互いの相対位置が決定される。発光素子に対する支持部の位置を適宜調整することで、波長変換素子の位置調整ができる。
また、本発明の好ましい態様としては、発光素子に対する波長変換素子の位置を調整することにより、発光素子及び共振器の間を進行する光束の主光線と、光路変換部から射出した光束の主光線との間隔であるビーム間隔が広げられた場合、光路変換部は、発光素子から遠ざける方向へ移動させることにより透過反射部に対する位置が調整された状態で固定され、発光素子に対する波長変換素子の位置を調整することによりビーム間隔が狭められた場合、光路変換部は、発光素子へ近づける方向へ移動させることにより透過反射部に対する位置が調整された状態で固定されることが望ましい。これにより、ビーム間隔の変化を低減させることができる。
また、本発明の好ましい態様としては、光路変換部は、発光素子に対する波長変換素子の位置を調整する前とビーム間隔が略一定となるように位置が調整された状態で固定されることが望ましい。これにより、光源装置を含めた照明光学系全体において、光を効率良く利用するための調整をさらに容易にできる。
また、本発明の好ましい態様としては、透過反射部を把持する第1把持部と、光路変換部を把持する第2把持部と、を有し、第2把持部は、第1把持部に対して移動させた状態で固定されることが望ましい。これにより、透過反射部に対する光路変換部の位置を調整できる。
また、本発明の好ましい態様としては、第1把持部及び第2把持部の少なくとも一方に設けられ、特定方向へ第2把持部を誘導するための誘導部を有することが望ましい。誘導部を用いることにより、透過反射部に対して光路変換部を容易に平行移動させることができる。
さらに、本発明に係る光源装置の製造方法は、上記の光源装置を製造するための光源装置の製造方法であって、波長変換素子、透過反射部及び光路変換部を一体とした状態で、発光素子に対する波長変換素子の位置を調整する第1の位置調整工程と、移動の前と移動の後とで入射面が略平行となるように光路変換部を移動させることにより、透過反射部に対する光路変換部の位置を調整する第2の位置調整工程と、第2の位置調整工程において位置が調整された光路変換部を固定する固定工程と、を含むことを特徴とする。これにより、簡易かつ小型な構成により高い効率で光を利用可能とすることができる。
さらに、本発明に係る画像表示装置は、上記の光源装置を有し、光源装置から射出した光を用いて画像を表示することを特徴とする。上記の光源装置を用いることにより、高い効率で光を利用できる。これにより、高い光利用効率で明るい画像を表示可能な画像表示装置を得られる。
さらに、本発明に係るモニタ装置は、上記の光源装置と、光源装置から射出した光を用いて照明された被写体を撮像する撮像部と、を有することを特徴とする。上記の光源装置を用いることにより、高い効率で光を利用できる。これにより、高い光利用効率で明るい像をモニタすることが可能なモニタ装置を得られる。
以下に図面を参照して、本発明の実施例を詳細に説明する。
図1は、本発明の実施例1に係る光源装置10の概略構成を示す。光源装置10は、レーザ光を供給するレーザ光源である。半導体素子11は、第1波長の基本波光を射出する一つ又は複数の発光部(不図示)を有する面発光型の半導体素子である。半導体素子11は、第1波長の光を射出する発光素子として機能する。基本波光は、例えば赤外光である。第1波長は、例えば1064nmである。半導体素子11は、基台17上に実装されている。
図2は、半導体素子11の断面構成を模式的に表したものである。基板25は、例えば、半導体ウエハからなる。ミラー層26は、基板25の上に形成されている。ミラー層26は、例えばCVD(Chemical Vapor Deposition)により形成された、高屈折率の誘導体と低屈折率の誘導体との積層体によって構成されている。ミラー層26を構成する各層の厚さ、各層の材料、層の数は、第1波長に対して最適化され、反射光が干渉し強め合う条件に設定されている。活性層27は、ミラー層26の表面に積層させて設けられている。活性層27は、不図示の電力供給部に接続されている。電力供給部を介して所定量の電流が供給されると、活性層27は基本波光を射出する。半導体素子11は、活性層27の射出面から、ミラー層26や基板25に略直交する方向へ基本波光を射出する。
図1に戻って、透過反射ミラー12(光分離部)は、半導体素子11及びSHG素子13の間の光路中に設けられている。透過反射ミラー12は、第1波長の光を透過させ、第2波長の光を反射する広帯域反射ミラーであって、第1波長の光と第2波長の光とを分離する。透過反射ミラー12は、透過反射部として機能する。透過反射ミラー12は、半導体素子11、及び半導体素子11の外部に配置される共振器(外部共振器)14の間を進行する光束の主光線に対して略45度傾けられている。透過反射ミラー12は、平行平板である透明部材に波長選択膜、例えば誘電体多層膜をコーティングすることにより構成されている。
SHG素子13は、透過反射ミラー12及び外部共振器14の間の光路中に設けられている。SHG素子13は、半導体素子11から射出した第1波長の基本波光を波長変換することにより、第2波長の高調波光を射出する波長変換素子である。高調波光は、例えば可視光である。第2波長は、第1波長の半分の波長であって、例えば532nmである。SHG素子13は、直方体形状をなしている。SHG素子13としては、例えば、非線形光学結晶を用いる。非線形光学結晶としては、例えば、ニオブ酸リチウム(LiNbO3)の分極反転結晶(Periodically Poled Lithium Niobate;PPLN)を用いる。SHG素子13は、基本波光の第1波長に対応するピッチの分極反転構造を有する。SHG素子13を用いることで、容易に入手可能な汎用の発光素子を用いて、所望の波長かつ十分な光量のレーザ光を供給することが可能となる。
外部共振器14は、半導体素子11から射出した第1波長の基本波光を共振させる。外部共振器14としては、回折により第1波長の光を選択的に反射する体積ホログラムを用いる。体積ホログラムは、赤外領域において、第1波長を中心に半値幅が数nm以下となる反射特性を持つ狭帯域反射ミラーとして機能する。また、体積ホログラムは、可視領域において、第2波長を含む広い波長域の光を透過させる。
体積ホログラムは、例えば、VHG(Volume Holographic Grating)である。VHGは、LiNbO3、BGO等のフォトリフラクティブ結晶、ポリマー等を用いて形成されている。体積ホログラムには、二方向から入射させた入射光によって生じた干渉縞が記録されている。干渉縞は、高屈折率部分と低屈折率部分とが周期的に配列された周期構造として記録される。体積ホログラムは、干渉縞とブラッグ条件が適合する光のみを、回折により選択的に反射する。半導体素子11のミラー層26(図2参照)、及び外部共振器14は、第1波長の光を共振させる共振構造を構成する。
反射ミラー15は、透過反射ミラー12に対して支柱18が設けられた側とは反対側であって、透過反射ミラー12で反射した高調波光が入射する位置に設けられている。反射ミラー15は、透過反射ミラー12からの高調波光が入射する入射面Sを有し、入射面Sへ入射した高調波光を反射する。反射ミラー15は、入射面Sへ入射した第2波長の光の光路を変換させる光路変換部として機能する。反射ミラー15は、透過反射ミラー12から反射ミラー15へ入射する光束の主光線に対して略45度傾けられている。透過反射ミラー12の反射面と反射ミラー15の入射面Sとは、互いに略垂直である。反射ミラー15は、平行平板形状の透明部材上に、反射膜、例えば誘電体多層膜を施すことにより構成されている。反射ミラー15は、高反射性部材を用いて構成すれば良く、例えば金属膜を施すことにより構成しても良い。
基台17は、金属部材、例えば銅部材を用いて構成されている。基台17は、略直方体形状をなしている。支柱18は、基台17上に設けられている。支柱18は、金属部材、例えば銅部材を用いて構成されている。第1把持部21、SHG素子用マウント16及び外部共振器14は、支柱18のうち、半導体素子11側の面に取り付けられている。外部共振器14は、支柱18により支持されている。SHG素子13は、SHG素子用マウント16を介して、支柱18により支持されている。
第1把持部21は、透過反射ミラー12に対して紙面手前側及び紙面奥側に設けられている。第1把持部21は、透過反射ミラー12を両側から把持する。透過反射ミラー12は、第1把持部21を介して、支柱18により支持されている。第2把持部22は、第1把持部21に取り付けられている。第2把持部22は、反射ミラー15に対して紙面手前側及び紙面奥側に設けられている。第2把持部22は、反射ミラー15を両側から把持する。反射ミラー15は、第2把持部22及び第1把持部21を介して、支柱18により支持されている。
支柱18は、外部共振器14、SHG素子13、透過反射ミラー12、及び反射ミラー15を一体として支持する支持部として機能する。なお、外部共振器14は、マウントを介して支柱18に取り付けることとしても良い。また、SHG素子13は、SHG素子用マウント16を介さず直接支柱18に取り付けることとしても良い。
図3は、光源装置10によりレーザ光を射出する過程を説明するものである。図中、説明に不要な構成の図示は省略している。図中に示す矢印は、光束の主光線であるとする。半導体素子11から射出した基本波光は、透過反射ミラー12へ入射する。透過反射ミラー12へ入射した基本波光は、透過反射ミラー12を透過した後、SHG素子13へ入射する。透過反射ミラー12からSHG素子13へ基本波光を入射させることにより生じた高調波光は、外部共振器14を透過する。外部共振器14を透過した高調波光は、光源装置10外へ射出する。
SHG素子13を透過した後、外部共振器14へ入射した基本波光は、外部共振器14で反射する。外部共振器14で反射した後、SHG素子13を透過した基本波光は、透過反射ミラー12を透過した後、半導体素子11へ入射する。半導体素子11へ入射した基本波光は、ミラー層26(図2参照)で反射し、透過反射ミラー12の方向へ進行する。ミラー層26及び外部共振器14の間で基本波光を共振させることにより、活性層27(図2参照)は、基本波光を増幅させる。また、ミラー層26及び外部共振器14で反射した基本波光は、活性層27により新たに射出した基本波光と共振して増幅される。
外部共振器14からSHG素子13へ基本波光を入射させることにより生じた高調波光は、透過反射ミラー12で反射することにより、光路が略90度折り曲げられる。透過反射ミラー12で反射した高調波光は、反射ミラー15へ入射する。反射ミラー15へ入射した高調波光は、反射ミラー15での反射により光路が略90度折り曲げられる。透過反射ミラー12及び反射ミラー15での光路の折り曲げにより、SHG素子13から透過反射ミラー12へ進行した高調波光の光路は略180度変換され、外部共振器14を透過した高調波光と同じ方向へ進行する。外部共振器14を透過した高調波光の光路と、反射ミラー15で反射した高調波光の光路とは、略平行である。光源装置10は、少ない光学素子による簡易かつ小型な構成とし、光の損失を低減させることができる。
SHG素子13として用いられる分極反転結晶は、光学結晶の厚み方向(図中紙面に平行な左右方向)について、分極反転の周期構造が不均一となる場合が多い。光源装置10の製造工程において、SHG素子13は、効率良く光を波長変換可能とするために、光の入射位置が調整される。SHG素子13における光の入射位置の調整は、光源装置10を構成する各光学素子を組み込んだ後に、半導体素子11に対するSHG素子13の位置を微調整することにより行う。本実施例の光源装置10は、基台17上における支柱18の位置を調整することにより、基台17に実装された半導体素子11に対してSHG素子13の位置を調整する。
図4は、支柱18の位置を調整することによるビーム間隔の変化について説明するものである。図中、支柱18の一部、半導体素子11、透過反射ミラー12、SHG素子13、反射ミラー15のみを示し、他の構成の図示は省略している。ビーム間隔とは、半導体素子11及び外部共振器14(図3参照)の間を進行する光束の主光線L1と、反射ミラー15から射出した光束の主光線L2との間隔であるとする。主光線L1、L2は、互いに略平行である。例えば、光源装置10を構成する各光学素子を組み込んだ状態から、SHG素子13における基本波光の入射位置を支柱18側とは反対側(紙面左側)へ移動させる調整を行うとする。なお、図4は、SHG素子13における基本波光の入射位置を移動させる一例を示すものであって、高い波長変換効率が得られる入射位置を特定するものではない。
SHG素子13における基本波光の入射位置を支柱18側とは反対側へ移動させるには、支柱18を半導体素子11側とは反対側(紙面右側)へ移動させる。支柱18の移動に伴い、支柱18によって支持されている透過反射ミラー12、反射ミラー15も、SHG素子13とともに移動する。半導体素子11に対する透過反射ミラー12及び反射ミラー15の位置が変化することにより、ビーム間隔は、d1からd2(d1>d2)に狭められることとなる。
ビーム間隔が変化すると、外部共振器14を透過して光源装置10から射出する光と、反射ミラー15で反射して光源装置10から射出する光との位置関係が変化する。通常、光源装置10からの光を利用する照明光学系は、光源装置10から射出する光同士が所定の位置関係であることを想定して設計される。例えば、レーザ光源と組み合わせて用いられる回折光学素子は、所定の位置へ入射するレーザ光を回折させることにより所望の形状の照射領域へ整形するための構造が形成されている。光源装置10から射出する光同士の位置関係の変化に対しては、照明光学系は、例えば、構成を複雑化させる等の必要が生じることになる。従って、光源装置10から射出する光同士の位置関係が変化する場合、できるだけ簡略化された構成により効率良く光を利用可能とすることが困難となる。
図5は、本実施例に係る光源装置10の製造工程における透過反射ミラー12、SHG素子13、反射ミラー15の位置調整の手順を説明するものである。工程aでは、基台17(図1参照)に半導体素子11及び支柱18が設置される。支柱18には、透過反射ミラー12、SHG素子13、反射ミラー15、外部共振器14(図3参照)が取り付けられている。工程bでは、基台17上にて支柱18を移動させることにより、半導体素子11に対するSHG素子13の位置を調整する。工程bは、SHG素子13、透過反射ミラー12、反射ミラー15を一体とした状態で、SHG素子13の位置を調整する第1の位置調整工程である。支柱18の移動に伴って透過反射ミラー12及び反射ミラー15も移動することにより、ビーム間隔はd1からd2へ狭められる。
次に、工程cでは、半導体素子11側へ反射ミラー15を移動させ、透過反射ミラー12に対する反射ミラー15の位置を調整する。反射ミラー15は、工程cの前と後とで入射面Sが略平行となるように移動させる。工程cは、移動の前と移動の後とで入射面Sが略平行となるように反射ミラー15を移動させることにより、透過反射ミラー12に対する反射ミラー15の位置を調整する第2の位置調整工程である。
図6は、透過反射ミラー12、反射ミラー15、第1把持部21、及び第2把持部22の斜視構成を示す。図7は、第1把持部21及び第2把持部22の連結部分の構成を説明するものである。第1把持部21は、第2把持部22側の面に設けられた凹部31を有する。第2把持部22は、第1把持部21側の面に設けられた凸部32を有する。凹部31及び凸部32のいずれも、主光線L1に略平行に形成されている。第1把持部21及び第2把持部22は、凹部31に凸部32を嵌合させて一体に構成されている。工程cでは、第1把持部21に対して第2把持部22を移動させることにより、透過反射ミラー12に対する反射ミラー15の位置を調整する。
図8は、第1把持部21に対して第2把持部22を移動させた状態を示す。凹部31及び凸部32を嵌合させた状態のまま、第1把持部21に対して第2把持部22をスライドさせることにより、第2把持部22は主光線L1に略平行な方向へ移動する。工程cでは、半導体素子11が設けられた側へ第2把持部22をスライドさせる。反射ミラー15は、主光線L1に対して略平行な方向であって、半導体素子11に近づける方向へ移動する。凹部31及び凸部32は、主光線L1に略平行な方向である特定方向へ第2把持部22を誘導するための誘導部として機能する。なお、凹部31及び凸部32は、主光線L1に略平行となるように形成される場合に限られない。第1把持部21に対して第2把持部22をスライドさせる前後において入射面Sを略平行にできれば良いため、凹部31及び凸部32は、主光線L1に対して傾けられていても良い。
図5に戻って、透過反射ミラー12に対する反射ミラー15の位置を調整することにより、ビーム間隔はd2からd3(d2<d3)へ広げられる。反射ミラー15の位置は、ビーム間隔d3が工程aにおけるビーム間隔d1と略同じ(d1≒d3)となるように調整される。透過反射ミラー12に対する位置が調整された反射ミラー15は、固定工程において固定される。固定工程では、第1把持部21に対して第2把持部22を移動させた状態で、第2把持部22を固定する。第2把持部22は、接着剤を使用することにより、第1把持部21に固定される。接着剤としては、例えば、紫外線硬化型接着剤や熱硬化型接着剤を用いる。紫外線硬化型接着剤や熱硬化型接着剤を用いる場合、凹部31及び凸部32の間に接着剤を注入した状態で第1把持部21に対する第2把持部22の位置を調整した後、接着剤を硬化させる。
支柱18は、半導体素子11に対するSHG素子13の位置が調整された状態で、基台17に固定される。基台17への支柱18の固定の際も、第2把持部22の固定の場合と同様に、接着剤を使用しても良い。以上により、透過反射ミラー12、SHG素子13、反射ミラー15の位置調整が完了する。SHG素子13は、半導体素子11に対する位置が調整された状態で、透過反射ミラー12及び反射ミラー15と一体として支持されている。反射ミラー15は、半導体素子11へ近づける方向へ移動させることにより、工程aにおけるビーム間隔d1と工程cにおけるビーム間隔d3とが略一定となるように透過反射ミラー12に対する位置が調整された状態で固定される。なお、本実施例で説明する位置調整は、半導体素子11から光を射出しながら行う場合に限定するものではなく、半導体素子11からの光の射出を停止させた状態で行う場合も含むものとする。
本発明に係る光源装置10は、SHG素子13における光の入射位置を調整することで、高い波長変換効率を得ることができる。さらに、光源装置10外へ射出する第2波長の光同士の位置関係の変化を低減させることで、光源装置10からの光を利用する照明光学系は、できるだけ簡略化された構成により光を効率良く利用することが可能となる。以上により、簡易かつ小型な構成により高い効率で光を利用可能にできるという効果を奏する。
図9は、SHG素子13における光の入射位置の調整によりビーム間隔が広げられる場合における反射ミラー15の位置調整について説明するものである。第1の位置調整工程である工程bでは、図4を用いた説明とは逆に、工程aに示す状態からSHG素子13における基本波光の入射位置を支柱18側(紙面右側)へ移動させる調整を行う。SHG素子13における基本波光の入射位置を支柱18側へ移動させるには、支柱18を半導体素子11側(紙面左側)へ移動させる。SHG素子13とともに透過反射ミラー12及び反射ミラー15も移動することにより、ビーム間隔はd1からd4(d1<d4)へ広げられる。
第2の位置調整工程である工程cでは、図10に示すように、第1把持部21に対して、図8に示す場合とは逆方向へ第2把持部22をスライドさせる。反射ミラー15は、主光線L1に対して略平行な方向であって、半導体素子11から遠ざける方向へ移動する。透過反射ミラー12に対する反射ミラー15の位置を調整することにより、ビーム間隔はd4からd5(d4>d5)へ狭められる。反射ミラー15の位置は、ビーム間隔d5が工程aにおけるビーム間隔d1と略同じ(d1≒d5)となるように調整される。反射ミラー15は、半導体素子11から遠ざける方向へ移動させることにより、工程aにおけるビーム間隔d1と工程cにおけるビーム間隔d5とが略一定となるように透過反射ミラー12に対する位置が調整された状態で固定される。
なお、SHG素子13の位置の調整前におけるビーム間隔d1と、反射ミラー15の位置の調整後におけるビーム間隔d3、d5とは、略一定である場合に限られない。反射ミラー15の位置の調整後におけるビーム間隔d3、d5は、SHG素子13の位置の調整後のビーム間隔d2、d4に対して、SHG素子13の位置の調整前のビーム間隔d1に少なくとも近づけられていれば良い。これにより、光源装置10外へ射出する光同士の位置関係の変化を低減させる効果を得ることができる。
第1把持部21及び第2把持部22の構成は本実施例で説明するものに限られず、第2把持部22を特定方向へ誘導するためのいずれの構成を誘導部として採用しても良い。例えば、第1把持部21の凹部31の幅と略同じ厚みで第2把持部22を形成することとし、第1把持部21の凹部31に第2把持部22を嵌合させる構成としても良い。この場合、第1把持部21に設けられた凹部31が誘導部として機能する。外部共振器14は、体積ホログラムを用いる場合に限られない。外部共振器14は、広帯域反射ミラーを用いても良い。半導体素子11及び外部共振器14の間の光路中には、必要に応じて、偏光選択用フィルタ、波長選択用フィルタ等の光学素子を設けても良い。
図11は、本発明の実施例2に係るプロジェクタ40の概略構成を示す。プロジェクタ40は、スクリーン49に光を投写し、スクリーン49で反射する光を観察することで画像を鑑賞するフロント投写型のプロジェクタである。プロジェクタ40は、赤色(R)光用光源装置41R、緑色(G)光用光源装置41G、青色(B)光用光源装置41Bを有する。各色光用光源装置41R、41G、41Bは、いずれも上記実施例1の光源装置10(図1参照)と同様の構成を有する。プロジェクタ40は、各色光用光源装置41R、41G、41Bからの光を用いて画像を表示する画像表示装置である。
R光用光源装置41Rは、R光を射出する光源装置である。拡散素子42は、照明領域の整形、拡大、照明領域における光量分布の均一化を行う。拡散素子42としては、例えば、回折光学素子である計算機合成ホログラム(Computer Generated Hologram;CGH)を用いる。フィールドレンズ43は、R光用光源装置41Rからの光を平行化させ、R光用空間光変調装置44Rへ入射させる。R光用光源装置41R、拡散素子42、及びフィールドレンズ43は、R光用空間光変調装置44Rを照明する照明装置を構成する。R光用空間光変調装置44Rは、照明装置からのR光を画像信号に応じて変調する空間光変調装置であって、透過型液晶表示装置である。R光用空間光変調装置44Rで変調されたR光は、色合成光学系であるクロスダイクロイックプリズム45へ入射する。
G光用光源装置41Gは、G光を射出する光源装置である。拡散素子42及びフィールドレンズ43を経た光は、G光用空間光変調装置44Gへ入射する。G光用光源装置41G、拡散素子42、及びフィールドレンズ43は、G光用空間光変調装置44Gを照明する照明装置を構成する。G光用空間光変調装置44Gは、照明装置からのG光を画像信号に応じて変調する空間光変調装置であって、透過型液晶表示装置である。G光用空間光変調装置44Gで変調されたG光は、クロスダイクロイックプリズム45のうちR光が入射する面とは異なる面へ入射する。
B光用光源装置41Bは、B光を射出する光源装置である。拡散素子42及びフィールドレンズ43を経た光は、B光用空間光変調装置44Bへ入射する。B光用光源装置41B、拡散素子42、及びフィールドレンズ43は、B光用空間光変調装置44Bを照明する照明装置を構成する。B光用空間光変調装置44Bは、照明装置からのB光を画像信号に応じて変調する空間光変調装置であって、透過型液晶表示装置である。B光用空間光変調装置44Bで変調されたB光は、クロスダイクロイックプリズム45のうちR光が入射する面、及びG光が入射する面とは異なる面へ入射する。透過型液晶表示装置としては、例えば高温ポリシリコンTFT液晶パネル(High Temperature Polysilicon;HTPS)を用いる。
クロスダイクロイックプリズム45は、互いに略直交させて配置された2つのダイクロイック膜46、47を有する。第1ダイクロイック膜46は、R光を反射し、G光及びB光を透過させる。第2ダイクロイック膜47は、B光を反射し、R光及びG光を透過させる。クロスダイクロイックプリズム45は、それぞれ異なる方向から入射したR光、G光及びB光を合成し、投写レンズ48の方向へ射出する。投写レンズ48は、クロスダイクロイックプリズム45で合成された光をスクリーン49に向けて投写する。
上記の光源装置10と同様の構成を有する各色光用光源装置41R、41G、41Bを用いることにより、プロジェクタ40は、高い光利用効率で明るい画像を表示することができる。なお、プロジェクタ40は、各色光用光源装置41R、41G、41Bの少なくとも一つが上記の光源装置10と同様の構成であれば良い。例えば、R光用光源装置41Rは、半導体素子からの光を波長変換せずそのまま射出する構成であっても良い。
プロジェクタ40は、空間光変調装置として透過型液晶表示装置を用いる場合に限られない。空間光変調装置としては、反射型液晶表示装置(Liquid Crystal On Silicon;LCOS)、DMD(Digital Micromirror Device)、GLV(Grating Light Valve)等を用いても良い。プロジェクタは、色光ごとに空間光変調装置を備える構成に限られない。プロジェクタ40は、一の空間光変調装置により2つ又は3つ以上の色光を変調する構成としても良い。プロジェクタ40は、空間光変調装置を用いる場合に限られない。プロジェクタ40は、ガルバノミラー等の走査手段により光源装置からのレーザ光を走査させ、被照射面において画像を表示するレーザスキャン型のプロジェクタであっても良い。プロジェクタ40は、画像情報を持たせたスライドを用いるスライドプロジェクタであっても良い。プロジェクタ40は、スクリーンの一方の面に光を供給し、スクリーンの他方の面から射出する光を観察することで画像を鑑賞する、いわゆるリアプロジェクタであっても良い。
図12は、本発明の実施例3に係るモニタ装置50の概略構成を示す。モニタ装置50は、装置本体51と、光伝送部52とを有する。装置本体51は、光源装置53を有する。光源装置53は、上記実施例1の光源装置10(図1参照)と同様の構成を有する。光伝送部52は、2つのライトガイド55、58を有する。光伝送部52のうち被写体(不図示)側の端部には、拡散板56及び結像レンズ57が設けられている。第1ライトガイド55は、光源装置53からの光を被写体へ伝送する。拡散板56は、第1ライトガイド55の射出側に設けられている。第1ライトガイド55内を伝播した光は、拡散板56を透過することにより、被写体側にて拡散する。
第2ライトガイド58は、被写体からの光をカメラ54へ伝送する。結像レンズ57は、第2ライトガイド58の入射側に設けられている。結像レンズ57は、被写体からの光を第2ライトガイド58の入射面へ集光させる。被写体からの光は、結像レンズ57により第2ライトガイド58へ入射した後、第2ライトガイド58内を伝播してカメラ54へ入射する。
第1ライトガイド55、第2ライトガイド58としては、例えば、多数の光ファイバを束ねたものを用いる。光ファイバを用いることで、光を遠方へ伝送させることができる。カメラ54は、装置本体51内に設けられている。カメラ54は、光源装置53からの光により照明された被写体を撮像する撮像部である。第2ライトガイド58から入射した光をカメラ54へ入射させることで、カメラ54により被写体を撮像する。上記実施例1の光源装置10と同様の構成を有する光源装置53を用いることにより、モニタ装置50は、高い光利用効率で明るい像をモニタすることができる。
本発明に係る光源装置は、画像表示装置である液晶ディスプレイに適用しても良い。この場合も、明るい画像を表示することができる。本発明に係る光源装置は、モニタ装置や画像表示装置に適用される場合に限られない。本発明に係る光源装置は、例えば、レーザ光を用いた露光のための露光装置やレーザ加工装置等の光学系に用いても良い。
以上のように、本発明に係る光源装置は、モニタ装置や画像表示装置に用いる場合に適している。
10 光源装置、11 半導体素子、12 透過反射ミラー、13 SHG素子、14 外部共振器、15 反射ミラー、16 SHG素子用マウント、17 基台、18 支柱、21 第1把持部、22 第2把持部、S 入射面、25 基板、26 ミラー層、27 活性層、L1、L2 主光線、31 凹部、32 凸部、40 プロジェクタ、41R R光用光源装置、41G G光用光源装置、41B B光用光源装置、42 拡散素子、43 フィールドレンズ、44R R光用空間光変調装置、44G G光用空間光変調装置、44B B光用空間光変調装置、45 クロスダイクロイックプリズム、46 第1ダイクロイック膜、47 第2ダイクロイック膜、48 投写レンズ、49 スクリーン、50 モニタ装置、51 装置本体、52 光伝送部、53 光源装置、54 カメラ、55 第1ライトガイド、56 拡散板、57 結像レンズ、58 第2ライトガイド
Claims (9)
- 第1波長の光を射出する発光素子と、
前記発光素子から射出した前記第1波長の光を共振させる共振器と、
前記発光素子及び前記共振器の間の光路中に設けられ、前記第1波長の光を波長変換することにより、前記第1波長とは異なる波長である第2波長の光を射出する波長変換素子と、
前記発光素子及び前記波長変換素子の間の光路中に設けられ、前記第1波長の光を透過させ、前記第2波長の光を反射する透過反射部と、
前記透過反射部で反射した前記第2波長の光が入射する入射面を備え、前記入射面へ入射した前記第2波長の光の光路を変換させる光路変換部と、を有し、
前記波長変換素子は、前記発光素子に対する位置が調整された状態で、前記透過反射部及び前記光路変換部と一体として支持され、
前記光路変換部は、移動の前と移動の後とで前記入射面が略平行となるように移動させることにより前記透過反射部に対する位置が調整された状態で固定されることを特徴とする光源装置。 - 少なくとも前記波長変換素子、前記透過反射部、及び前記光路変換部を支持する支持部を有することを特徴とする請求項1に記載の光源装置。
- 前記発光素子に対する前記波長変換素子の位置を調整することにより、前記発光素子及び前記共振器の間を進行する光束の主光線と、前記光路変換部から射出した光束の主光線との間隔であるビーム間隔が広げられた場合、前記光路変換部は、前記発光素子から遠ざける方向へ移動させることにより前記透過反射部に対する位置が調整された状態で固定され、
前記発光素子に対する前記波長変換素子の位置を調整することにより前記ビーム間隔が狭められた場合、前記光路変換部は、前記発光素子へ近づける方向へ移動させることにより前記透過反射部に対する位置が調整された状態で固定されることを特徴とする請求項1又は2に記載の光源装置。 - 前記光路変換部は、前記発光素子に対する前記波長変換素子の位置を調整する前と前記ビーム間隔が略一定となるように位置が調整された状態で固定されることを特徴とする請求項3に記載の光源装置。
- 前記透過反射部を把持する第1把持部と、
前記光路変換部を把持する第2把持部と、を有し、
前記第2把持部は、前記第1把持部に対して移動させた状態で固定されることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の光源装置。 - 前記第1把持部及び前記第2把持部の少なくとも一方に設けられ、特定方向へ前記第2把持部を誘導するための誘導部を有することを特徴とする請求項5に記載の光源装置。
- 請求項1〜6のいずれか一項に記載の光源装置を製造するための光源装置の製造方法であって、
前記波長変換素子、前記透過反射部及び前記光路変換部を一体とした状態で、前記発光素子に対する前記波長変換素子の位置を調整する第1の位置調整工程と、
移動の前と移動の後とで前記入射面が略平行となるように前記光路変換部を移動させることにより、前記透過反射部に対する前記光路変換部の位置を調整する第2の位置調整工程と、
前記第2の位置調整工程において位置が調整された前記光路変換部を固定する固定工程と、を含むことを特徴とする光源装置の製造方法。 - 請求項1〜6のいずれか一項に記載の光源装置を有し、前記光源装置から射出した光を用いて画像を表示することを特徴とする画像表示装置。
- 請求項1〜6のいずれか一項に記載の光源装置と、
前記光源装置から射出した光を用いて照明された被写体を撮像する撮像部と、を有することを特徴とするモニタ装置。
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JP2008038380A JP2009200139A (ja) | 2008-02-20 | 2008-02-20 | 光源装置、光源装置の製造方法、画像表示装置及びモニタ装置 |
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