JP2009200094A - 電子部品実装装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】ノズルのθ軸回転の原点に対する相対的な、ベルトの回転位置が変化しないように維持することで、ベルトの回転位置によってベルトに特性変化があっても、ノズルのθ軸回転の制御に変化が生じないようにする。
【解決手段】軸回りをθ軸方向の回動自在とされたノズル側のプーリ10d、該ノズルを回動するためのθ軸モータのプーリ10c、及び、該θ軸モータの駆動力を該ノズルに伝えるためのベルト10eを有するθ軸駆動機構を、複数備える。又、プーリ10cに架けられて、U字型になっている、これらベルト10eの、該U字型の頂点が、互いに直線状の配列にあり、又、該配列に平行な光軸7の遮蔽の検出により、該U字型部の外側を通過するベルト原点タブ10fを検出する光検出器6を備える。θ軸モータのZ相原点の検出、及びベルト原点タブ10fの検出により、ノズルのθ軸の回転角度を制御する。
【選択図】図5

Description

本発明は、軸回りをθ軸方向の回動自在とされたノズル、該ノズルを回動するためのθ軸モータ、及び、該θ軸モータの駆動力を該ノズルに伝えるためのベルトを有するθ軸駆動機構を、複数備え、これらθ軸駆動機構のノズルにより電子部品供給部で電子部品を吸着し、基板に実装するための電子部品実装装置に係り、特に、ノズルのθ軸回転の原点に対する相対的な、ベルトの回転位置が変化しないように維持することで、ベルトの回転位置によってベルトに特性変化があっても、ノズルのθ軸回転の制御に変化が生じないようにすることができる電子部品実装装置に関する。
電子部品実装装置では、ノズルで吸着した電子部品は、軸回りをθ軸としノズルを回転させることで、姿勢を調整することができる。一般に、このθ軸方向回転は、モータ軸に設置されたプーリと、部品搭載軸のプーリとをベルトを介して接続し、該ベルトを介して駆動力を伝達し、回転させるものである。又、θ軸方向の回転軸の原点には、θ軸方向回転用モータ内のZ相を使用し、その原点を基準に回転角度制御を行なっている。
ここで、特許文献1でも言及されているように、タイミングベルトを用いた動力伝達系は、歯車列と異なりレイアウト設計の自由度が大きく、又、一歯の変動が生じにくいといった特徴がある。しかしながら、タイミングベルトは、心線の位置がベルトの厚み方向で常に同じ位置にならず、ベルト表面に近づいたり裏面に近づいたりすることなどがあり、タイミングベルトは、周方向で特性にばらつき(変化)がある。このため、タイミングベルトの回転駆動時に、回転速度変動や回転角変動など種々の回転変動が生じやすいという欠点がある。
このため、特許文献1では、タイミングベルトの原点マークを検出し、この位置を基準として、予めタイミングベルト一回転に基づく回転変動の補正係数を測定し、これに基づいた補正を行って、回転体の駆動の精度を向上するようにしている。
特開2003−158884号公報(図1)
しかしながら、特許文献1は、主として画像読取り装置を対象とするものであり、特に電子部品実装装置について言及するものではない。又、電子部品実装装置では、前述したようなZ相の原点を基準とした回転角度制御を行なっており、特許文献1のような、タイミングベルトの原点を基準にした回転角度制御は行われていない。
図11は、従来からの電子部品実装装置におけるθ軸駆動機構の模式図である。
この図において、電子部品を吸着するノズルと一体で回動自在であるプーリ10cは、歯付きベルト10e又プーリ10dを介して、該プーリ10dを回転させるθ軸モータによって回転駆動される。又、プーリ10c及びプーリ10dの周長が互いに同一であれば、これらの回転位置は一対一で対応し、プーリ10cと一体回転するノズルの回転位置は、Z相の原点を基準としたθ軸モータの回転位置に基づいて把握することができる。
ここで、歯付きベルト10eには、前述の特許文献1で指摘されているような、周方向の特性にばらつきがある。又、歯付きベルト10eの周長が、プーリ10c及びプーリ10dの周長の整数倍であると、歯付きベルト10eの回転位置と、θ軸モータの回転位置との相対的な位置関係は、複数存在することになる。
例えば、図11において、プーリ10cと一体回転するθ軸モータの回転位置が、Z相の原点にあるものとし、又図示されるように、歯付きベルト10e上の位置P1は、該プーリ10cの図中下方にある。ここで、θ軸モータの回転位置が、同様にZ相の原点にある状態でも、θ軸モータの回転によっては、図11の位置P1の位置に、歯付きベルト10e上の他の位置P2、位置P3などが存在する場合がありえる。つまり、θ軸モータの回転位置と、歯付きベルト10eの回転位置との相対的な位置関係が、変化することがありえる。
例えば、電源遮断時に、人手によって、プーリ10cやプーリ10dが1回転以上回転された場合、この後、電源を投入すると、歯付きベルト10eの回転位置と、θ軸モータの回転位置との相対的な位置関係が変化してしまうことになる。
この相対的な位置関係が、常に一定であれば、歯付きベルト10eにおける周方向の特性のばらつきは、θ軸モータの回転位置に応じて予め測定し、補正することもできる。しかしながら、この相対的な位置関係が変化するのであれば、このような補正は無意味になってしまい、歯付きベルト10eが有する周方向の特性のばらつきの影響により、ノズルの回転位置の制御の精度が低下してしまう。
なお、電子部品実装装置では、部品搭載ヘッドに複数のノズルが設けられ、これらノズルには、それぞれθ軸駆動機構が設けられている。これらθ軸駆動機構において、個別に、特許文献1のようにベルト原点を検出する手段を設けることも考えられる。しかしながら、部品搭載ヘッドの外形寸法や重量が増大し、制御特性に悪影響を及ぼすことになる。
本発明は、前記従来の問題点を解決するべくなされたもので、ノズルのθ軸回転の原点に対する相対的な、ベルトの回転位置が変化しないように維持することで、ベルトの回転位置によってベルトに特性変化があっても、ノズルのθ軸回転の制御に変化が生じないようにする電子部品実装装置を提供することを課題とする。
本発明は、軸回りをθ軸方向の回動自在とされたノズル、該ノズルを回動するためのθ軸モータ、及び、該θ軸モータの駆動力を該ノズルに伝えるためのベルトを有するθ軸駆動機構を、複数備え、これらθ軸駆動機構のノズルにより電子部品供給部で電子部品を吸着し、基板に実装するための電子部品実装装置において、前記θ軸モータは、いずれも回転位置原点を検出する手段を備え、前記ベルトは、いずれも外側へ突出するベルト原点タブが付され、前記ノズル側又は前記θ軸モータ側のプーリに架けられて、U字型になっている、これらベルトの、該U字型の頂点が、互いに直線状の配列にあり、又、該配列に平行な光軸の遮蔽の検出により、該U字型部の外側を通過する前記ベルト原点タブを検出する光検出器を備え、前記回転位置原点の検出、及び前記ベルト原点タブの検出により、前記ノズルのθ軸の回転角度を制御するようにしたことにより、前記課題を解決したものである。
本発明によれば、ベルトとモータ原点位置の相対的な位置関係が変化しても、原点復帰動作をすることにより、ベルトとモータ原点位置は常に同じ関係に調整することができる。このため、製品出荷前の精度補正結果を維持することができ、高精度な部品搭載が可能となる。
以下、図を用いて本発明の実施の形態を詳細に説明する。
図1は、本発明が適用された実施形態の電子部品実装装置を斜め上方より見た斜視図である。又、図2は、本実施形態の制御関係のハードウェア構成を示すブロック図である。
この電子部品実装装置20では、基板19を中央に配置し、図中において左下側にフィーダ14が配置されている。又、フィーダ14では、符号18の位置において、装着ヘッド11のノズル1(後述する図3及び図4参照)がチップ部品3を吸着する。該装着ヘッド11には、ノズル1又該ノズル1をθ軸方向に回転させるθ軸駆動機構が、本実施形態では4つ、X軸方向の直列配列で設けられている。
又、装着ヘッド11は、X軸モータ21が装着されたX軸機構部12によりX軸方向の、Y軸モータ22が装着されたY軸機構部13によりY軸方向の軸移動がなされる。又、該装着ヘッド11に内蔵される、Z軸モータ23が装着されたZ軸機構部によりZ軸方向の、θ軸モータ24が装着されたθ軸駆動機構によりθ軸方向の軸移動がなされる。更に、装着ヘッド11に取り付けられたノズル1は、バキューム機構25(図2)によりチップ部品3を吸着する。
該装着ヘッド11には、θ軸に直交する特定方向の、ノズル1に吸着されているチップ部品3の断面長さを測定するためのレーザ認識装置34(図2)が取り付けられている。
又、電子部品実装装置においては、ノズル1に吸着されているチップ部品3を下方から撮影するCCD(Charge Coupled Device)カメラ15、基板の基準マークを上方から撮像するCCDカメラ15aが設けられている。
図2に示すように、これらCCDカメラ15、15aは、CPU(Central Processing Unit)27c及びメモリ27bを有する画像認識装置27が内蔵する、A/D(Analog to Digital)変換器27aに接続されている。該画像認識装置27は、CCDカメラ15、15aによって撮影されるチップ部品3や基準マークの、寸法や中心位置の測定や、θ軸を中心とするチップ部品3の回転角を測定するビジョン・カメラ・センサリング・システム(VCS)を構成している。該画像認識装置27は、コントローラ32からの指示を、記憶装置26を介して受ける。
このコントローラ32は、CPU、RAM(Random Access Memory)、ROM(Read Only Memory)を内蔵し、キーボード28、マウス29、画面表示装置30が接続されている。該画面表示装置30は、画像認識装置27にも接続されている。又、該コントローラ32は、前述したX軸モータ21、Y軸モータ22、Z軸モータ23、θ軸モータ24、バキューム機構25、レーザ認識装置34、記憶装置26が接続されている。
続いて、図3は、本実施形態の電子部品実装装置のθ軸駆動機構の側面図である。又、図4は、該θ軸駆動機構の回転動作を示す斜視図である。これらの図では、本実施形態において装着ヘッド11に4つ設けられるθ軸駆動機構の1つが示される。
図3において、10aは、モータエンコーダ10bが内蔵されたθ軸モータ、10cは、該θ軸モータ10aの駆動軸に装着された駆動側プーリ、10dは、吸着ノズル11aの実駆動軸11bに装着された被動側プーリ、10eは、前記駆動側プーリ10cと被動側プーリ10d間に掛け渡された歯付きベルトである。
前記歯付きベルト10e上の一点に、外側に向けて突出するように、ベルト原点タブ10fが設けられている。θ軸モータ10aによって駆動される駆動側プーリ10cに架けられた歯付きベルト10eは、該駆動により、駆動側プーリ10c及び被動側プーリ10dを巡ると、該ベルト原点タブ10fも巡っていくことになる。この際、外部に突出するベルト原点タブ10fは、駆動側プーリ10c、被動側プーリ10dその他に干渉しないようになっている。
なお、本実施形態では、歯付きベルト10eの歯数は、駆動側プーリ10c及び被動側プーリ10dの歯数の整数倍(K倍とする)となっている。又、駆動側プーリ10cと被動側プーリ10dのサイズは同一で、歯数も同一である。従って、整数倍の上記Kの回数だけ、θ軸モータ10aが回転すると、ベルト原点タブ10fが1周するように予め決められている。
図5は、本実施形態のθ軸駆動機構を上方から見た平面図である。又、図6〜図8は、該θ軸駆動機構におけるθ軸回転動作を示す一部拡大図である。
本実施形態において、装着ヘッド11には、ノズル1又該ノズル1をθ軸方向に回転させるθ軸駆動機構は、4つ設けられ、これら図5〜図8では、左右方向に直列配列されている。
又、それぞれのθ軸駆動機構において、歯付きベルト10eは、一方において、駆動側プーリ10cに架けられてU字型になっている。又、該U字型の頂点が、θ軸駆動機構間において互いに、直線状の配列になっている。なお、この図5では、いずれの歯付きベルト10eについても、ベルト原点タブ10fが、駆動側プーリ10c側の、このU字型の頂点に位置している。
スポット光7は、投光器5から光検出器6に照射されている。このスポット光7の光軸は、上述の、U字型の頂点の直線状の配列に平行になっている。従って、該U字型頂点、乃至はその近傍にベルト原点タブ10fがあると、該ベルト原点タブ10fによって、該スポット光7は遮蔽されることになり、又、光検出器6により、ベルト原点タブ10fによる該遮蔽の有無を検出することができる。
なお、それぞれのθ軸駆動機構において、歯付きベルト10eは、被動側プーリ10dにおいても、被動側プーリ10dに架けられて該U字型になっている。又、該U字型の頂点が、θ軸駆動機構間において互いに、直線状の配列になっている。
従って、被動側プーリ10d側において、スポット光7の光軸が、この、U字型の頂点の直線状の配列に平行になるように、投光器5や光検出器6を配置することも考えられる。
ここで、図6では、光検出器6において、いずれのθ軸駆動機構についても、歯付きベルト10eのベルト原点タブ10fは、スポット光7光軸を遮蔽していない。従って、光検出器6は、スポット光7光軸の遮蔽は検出しない。
矢印方向に、左端の歯付きベルト10eの回転が進んで、図7では、このベルト原点タブ10fは、駆動側プーリ10c側の、歯付きベルト10eがU字型になった頂点に位置しており、該ベルト原点タブ10fはスポット光7光軸を遮蔽している。該遮蔽は、光検出器6によって検出することができる。
更に矢印方向に該歯付きベルト10eの回転が進んで、図8では、再び、いずれのθ軸駆動機構についても、歯付きベルト10eのベルト原点タブ10fは、スポット光7光軸を遮蔽していない。従って、光検出器6は、スポット光7光軸の遮蔽は検出しない。
なお、上述のように、光検出器6は、左端の歯付きベルト10eのベルト原点タブ10fによるスポット光7光軸の遮蔽を検出できるだけでなく、図9では、右端のθ軸駆動機構の、歯付きベルト10eのベルト原点タブ10fによるスポット光7光軸の遮蔽を検出できる。このように、いずれの歯付きベルト10eについても、光検出器6は、ベルト原点タブ10fの位置を検出することができ、該検出に基づいて、歯付きベルト10eの絶対位置を把握することができる。
このように、本実施形態では、1つの光検出器6により、複数のθ軸駆動機構の、いずれの歯付きベルト10eのベルト原点タブ10fによるスポット光7光軸の遮蔽をも検出することができる。従って、光検出器6のコストや設置スペースを抑えることができる。
図10は、本実施形態における原点復帰動作を示すタイムチャートである。
この図において、最上段がθ軸モータ10aのZ相原点であり、θ軸モータ10aのモータ軸が1回転する毎に、モータエンコーダ10bから、Z相原点のパルス信号が出力される。この図10では、時刻t1〜時刻t2のパルス信号(P2)、又時刻t5〜時刻t6(P1)のパルス信号がZ相原点パルス信号である。
この図において中段は、光検出器6による、ベルト原点タブ10fの検出であり、歯付きベルト10eの原点検出である。この図10では、時刻t3〜時刻t4のパルス信号が原点検出パルス信号である。
この図において最下段は、θ軸モータ10aのZ相原点の検出、及び歯付きベルト10eの原点検出に基づいた、θ軸モータ10aの回転動作であり、本実施形態の原点復帰動作である。
実施形態において、原点復帰動作を行う場合には、θ軸モータ10aを、歯付きベルト10eの原点が検出されるまで回転させる。この図10では、時刻t3において、歯付きベルト10e原点が光検出器6により検出される。
歯付きベルト10eの原点が検出されると、次には、θ軸モータ10aを、θ軸モータ10aのZ相原点が検出されるまで逆回転させてから停止する。すると、該停止位置が原点復帰する目的の原点であり、又、該停止により、原点復帰が完了する。この図10では、時刻t2'において、θ軸モータ10aのZ相原点がモータエンコーダ10bにより検出される。
以上のように、本実施形態によれば、1つの光検出器6により、複数のθ軸駆動機構の、いずれの歯付きベルト10eのベルト原点タブ10fによるスポット光7光軸の遮蔽をも検出することができる。例えば、図10により説明した原点復帰動作は、複数のθ軸駆動機構のいずれにおいても行うことができる。この原点復帰動作の後には、モータエンコーダ10bが、変位量のみが検出可能で安価なインクリメンタルエンコーダであったとしても、θ軸モータ24の回転位置、ノズルのθ軸回転位置、及び歯付きベルト10eの回転位置のいずれについても、その絶対位置を把握し、これらの回転や位置決めの制御を行なうことができる。
ここで、以下、本実施形態の変形例について説明する。
以上に説明した実施形態では、歯付きベルト10eの歯数は、駆動側プーリ10c及び被動側プーリ10dの歯数の整数倍となっている。これに対して、本実施形態の変形例では、このような整数倍の条件を付していない。但し、該変形例では、原点復帰時におけるθ軸モータ10aのZ相原点と、歯付きベルト10eの原点との相対的関係を、θ軸モータ10aの回転量で45°オフセットとするなど、特定の位置関係とするようにしている。
この変形例では、歯付きベルト10eの歯数は、駆動側プーリ10c及び被動側プーリ10dの歯数の整数倍となっていないが、これら歯数の公倍数だけθ軸モータ10aを回転すると、θ軸モータ10aのZ相原点と、歯付きベルト10eの原点との相対的関係は、再び同じになる。従って、本発明を適用して、θ軸モータ10aのZ相原点の検出、及び歯付きベルト10eの原点の検出により、原点復帰を行ったり、ノズル1のθ軸の回転角度を制御したりすることができる。
なお、原点復帰時におけるθ軸モータ10aのZ相原点と、歯付きベルト10eの原点との相対的関係を、前述のように、θ軸モータ10aの回転量で45°オフセットとすると、図10により説明した原点復帰動作を容易に、又確実に行うことができる。
本発明が適用された実施形態の電子部品実装装置を斜め上方より見た斜視図 上記実施形態の制御関係のハードウェア構成を示すブロック図 前記実施形態の電子部品実装装置のθ軸駆動機構の側面図 上記θ軸駆動機構の回転動作を示す斜視図 前記実施形態のθ軸駆動機構を上方から見た平面図 上記θ軸駆動機構におけるθ軸回転動作を示す第1の一部拡大図 前記θ軸駆動機構におけるθ軸回転動作を示す第2の一部拡大図 前記θ軸駆動機構におけるθ軸回転動作を示す第3の一部拡大図 前記実施形態における原点復帰動作を示すタイムチャート 従来からの電子部品実装装置におけるθ軸駆動機構の模式図 従来からの電子部品実装装置におけるθ軸駆動機構の模式図
符号の説明
1…ノズル
3…チップ部品
10…θ軸駆動機構
10a…θ軸モータ
10b…モータエンコーダ
10c…駆動側プーリ
10d…被動側プーリ
10e…歯付きベルト
10f…ベルトマーク
10g…ベルト原点タブ
11…装着ヘッド
11a…吸着ノズル
11b…実駆動軸
12…X軸機構部
13…Y軸機構部
14…フィーダ
15、15a…CCDカメラ
19…基板
21…X軸モータ
22…Y軸モータ
23…Z軸モータ
24…θ軸モータ
25…バキューム機構
26…記憶装置
27…画像認識装置
27a…A/D変換器
27b…メモリ
27c…CPU
28…キーボード
29…マウス
30…画面表示装置
32…コントローラ
34…レーザ認識装置

Claims (1)

  1. 軸回りをθ軸方向の回動自在とされたノズル、該ノズルを回動するためのθ軸モータ、及び、該θ軸モータの駆動力を該ノズルに伝えるためのベルトを有するθ軸駆動機構を、複数備え、これらθ軸駆動機構のノズルにより電子部品供給部で電子部品を吸着し、基板に実装するための電子部品実装装置において、
    前記θ軸モータは、いずれも回転位置原点を検出する手段を備え、
    前記ベルトは、いずれも外側へ突出するベルト原点タブが付され、
    前記ノズル側又は前記θ軸モータ側のプーリに架けられて、U字型になっている、これらベルトの、該U字型の頂点が、互いに直線状の配列にあり、
    又、該配列に平行な光軸の遮蔽の検出により、該U字型部の外側を通過する前記ベルト原点タブを検出する光検出器を備え、
    前記回転位置原点の検出、及び前記ベルト原点タブの検出により、前記ノズルのθ軸の回転角度を制御するようにしたことを特徴とする電子部品実装装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102892281A (zh) * 2011-07-21 2013-01-23 Juki株式会社 电子部件安装装置
JP2014216353A (ja) * 2013-04-22 2014-11-17 パナソニック株式会社 部品実装システム、および、部品実装システムの不具合箇所特定方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102892281A (zh) * 2011-07-21 2013-01-23 Juki株式会社 电子部件安装装置
JP2013026469A (ja) * 2011-07-21 2013-02-04 Juki Corp 電子部品実装装置
CN102892281B (zh) * 2011-07-21 2016-08-10 Juki株式会社 电子部件安装装置
KR101854348B1 (ko) 2011-07-21 2018-05-03 쥬키 가부시키가이샤 전자부품 실장장치
JP2014216353A (ja) * 2013-04-22 2014-11-17 パナソニック株式会社 部品実装システム、および、部品実装システムの不具合箇所特定方法

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