JP2009198484A - 撮像素子検査用照明光学系 - Google Patents
撮像素子検査用照明光学系 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009198484A JP2009198484A JP2008237375A JP2008237375A JP2009198484A JP 2009198484 A JP2009198484 A JP 2009198484A JP 2008237375 A JP2008237375 A JP 2008237375A JP 2008237375 A JP2008237375 A JP 2008237375A JP 2009198484 A JP2009198484 A JP 2009198484A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- condenser lens
- distance
- illumination
- lens group
- optical system
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005286 illumination Methods 0.000 title claims abstract description 98
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 52
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 title claims abstract description 33
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 53
- 210000001747 pupil Anatomy 0.000 claims description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 4
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 16
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 5
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 2
- 230000004044 response Effects 0.000 description 2
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 2
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 2
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 2
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000004043 responsiveness Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 229910052724 xenon Inorganic materials 0.000 description 1
- FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N xenon atom Chemical compound [Xe] FHNFHKCVQCLJFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
【解決手段】撮像素子検査装置20において、検査用照明装置26に用いられる撮像素子検査用照明光学系が、光源41から射出された照明光を撮像素子の被検査面49に対して略垂直になるように照射するコンデンサレンズ1を有し、被検査面49において照明が必要な領域49aに照明光が照射されるようなコンデンサレンズ1を、このコンデンサレンズ1の一部がサーキットテスタ24に形成された取付孔25の大きさに合わせて除去されることを考慮して決定する。
【選択図】図7
Description
WD×NA+L/2 < Y < d′
但し、b/2 < R
ここで第一の実施例として、図7に示すようにコンデンサレンズ1の半径をR2として次式(11)を満たすコンデンサレンズを考える。
WD×NA+L/2 < Y < d1=d2 (13)
第二の実施例として、図13に示すように、光軸Oと長方形の下部開口部25cの中心(対角線の交点O′)が一致しない場合を考える。第一の実施例と同様に、サーキットテスタ24の下面中央部に設けられた下部開口部25cの大きさが幅w、奥行きd(d≦w、a<d<b)であるとする。長方形の下部開口部25cの中心O′がコンデンサレンズ1の中心Oから下部開口部25cの幅方向にx、奥行き方向にyだけずれている場合、コンデンサレンズ1の中心から下部開口部25cの奥行き方向にY1だけ離れた弦と劣弧で囲まれた弓弦部分を切削する必要があり、Y1は下部開口部25cの中心O′とコンデンサレンズ1の中心(光軸O)が一致している時よりyだけ少ない位置で切削することになり、次の条件式(14)を満たす必要がある。一方、上記部分とは光軸を挟んで反対側も、下部開口部25cの奥行き方向にY2だけ離れた弦と劣弧で囲まれた弓弦部分を切削する必要があり、このY2は、下部開口部25cの中心O′とコンデンサレンズ1の中心(光軸O)が一致している時よりyだけ多い位置で切削することになり、次の条件式(15)を満たす必要がある。この場合、xの大きさには影響されない。
a/2 < Y2 < d/2+y = d2 (15)
第三の実施例として、図14のように、下部開口部25cの幅方向もコンデンサレンズ1と干渉する場合を考える。この場合、コンデンサレンズ1の中心から下部開口部25cの幅方向にX1だけ離れた弦と劣弧で囲まれた弓弦部分を切削する必要があり、幅方向のX1はこの下部開口部25cの中心O′と光軸Oが一致している時よりxだけ多い位置で切削することになり、次の条件式(16)を満たす必要がある。一方、上記部分とは光軸を挟んで反対側も、下部開口部25cの幅方向にX2だけ離れた弦と劣弧で囲まれた弓弦部分を切削する必要があり、このX2は、下部開口部25cの中心O′とコンデンサレンズ1の中心(光軸O)が一致している時よりxだけ少ない位置で切削することになり、次の条件式(17)を満たす必要がある。
a/2 < X2 < w/2−x = w2 (17)
a/2 < Y2 < d/2+y = d2 (19)
20 撮像素子検査装置 22 ウェハ(被検物体) 26 検査用照明装置
41 光源 49 撮像素子面(被検査面) 49a 照明領域 50 通過領域
Claims (4)
- 被検物体である撮像素子に照明光を照射して得られる出力信号から、当該撮像素子の良否を判定する撮像素子検査装置に用いられる撮像素子検査用照明光学系であって、
光源から照射された前記照明光を前記撮像素子の被検査面に対して略垂直になるように照射するコンデンサレンズを有し、
前記被検査面における照明領域の長手方向又は短手方向の長さ(長手方向と短手方向の長さが等しい場合も含む)がLであるときに、
前記照明領域に照射される前記照明光が前記コンデンサレンズを通過するときの通過領域の幅のうち最も長い部分の距離をbとし、前記コンデンサレンズの半径をRとし、
前記Lとして選択した、長手方向又は短手方向と同じ方向であって、前記コンデンサレンズが取り付けられる空間を形成する取付孔が当該コンデンサレンズと干渉する位置までの前記コンデンサレンズを含む光学系の光軸からの距離をd′とし、前記コンデンサレンズの開口数をNAとし、ワーキングディスタンスをWDとし、
前記取付孔には、以下に示す条件を満たすように、
前記半径Rの円形のコンデンサレンズから当該コンデンサレンズの中心から距離Yだけ離れた弦と劣弧で囲まれた弓弦部分を除去したコンデンサレンズが配置されたことを特徴とする撮像素子検査用照明光学系。
WD×NA+L/2 < Y < d′
但し、b/2 < R - 前記コンデンサレンズが、前記光源側から順に、
正の屈折力を有する前レンズ群と、
正の屈折力を有する後レンズ群とから構成される請求項1に記載の撮像素子検査用照明光学系。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008237375A JP5261095B2 (ja) | 2008-01-23 | 2008-09-17 | 撮像素子検査用照明光学系 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008012176 | 2008-01-23 | ||
JP2008012176 | 2008-01-23 | ||
JP2008237375A JP5261095B2 (ja) | 2008-01-23 | 2008-09-17 | 撮像素子検査用照明光学系 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009198484A true JP2009198484A (ja) | 2009-09-03 |
JP5261095B2 JP5261095B2 (ja) | 2013-08-14 |
Family
ID=41142103
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008237375A Active JP5261095B2 (ja) | 2008-01-23 | 2008-09-17 | 撮像素子検査用照明光学系 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5261095B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015111222A (ja) * | 2013-12-06 | 2015-06-18 | 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd. | 照明装置、光学検査装置及び光学顕微鏡 |
CN110470384A (zh) * | 2019-06-25 | 2019-11-19 | 盐城华昱光电技术有限公司 | 一种线性光源的发光检测***及检测方法 |
JP7128403B1 (ja) | 2021-04-15 | 2022-08-31 | 株式会社インターアクション | 瞳モジュール及び検査装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0571732U (ja) * | 1992-01-10 | 1993-09-28 | 株式会社ニコン | 照明補助装置 |
JPH10170400A (ja) * | 1996-12-06 | 1998-06-26 | Asahi Optical Co Ltd | 光学部材検査装置及び光学部材検査方法 |
JP2003156406A (ja) * | 2001-11-21 | 2003-05-30 | Nikon Corp | 固体撮像素子照明光学系及び固体撮像素子照明装置 |
JP2004061154A (ja) * | 2002-07-25 | 2004-02-26 | Nikon Corp | 固体撮像素子照明装置及び固体撮像素子の検査方法 |
JP2007311515A (ja) * | 2006-05-18 | 2007-11-29 | Aitos Kk | 撮像素子の検査装置、光学検査ユニット装置並びに光学検査ユニット |
-
2008
- 2008-09-17 JP JP2008237375A patent/JP5261095B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0571732U (ja) * | 1992-01-10 | 1993-09-28 | 株式会社ニコン | 照明補助装置 |
JPH10170400A (ja) * | 1996-12-06 | 1998-06-26 | Asahi Optical Co Ltd | 光学部材検査装置及び光学部材検査方法 |
JP2003156406A (ja) * | 2001-11-21 | 2003-05-30 | Nikon Corp | 固体撮像素子照明光学系及び固体撮像素子照明装置 |
JP2004061154A (ja) * | 2002-07-25 | 2004-02-26 | Nikon Corp | 固体撮像素子照明装置及び固体撮像素子の検査方法 |
JP2007311515A (ja) * | 2006-05-18 | 2007-11-29 | Aitos Kk | 撮像素子の検査装置、光学検査ユニット装置並びに光学検査ユニット |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015111222A (ja) * | 2013-12-06 | 2015-06-18 | 三星電子株式会社Samsung Electronics Co.,Ltd. | 照明装置、光学検査装置及び光学顕微鏡 |
CN110470384A (zh) * | 2019-06-25 | 2019-11-19 | 盐城华昱光电技术有限公司 | 一种线性光源的发光检测***及检测方法 |
CN110470384B (zh) * | 2019-06-25 | 2021-09-14 | 人民百业科技有限公司 | 一种线性光源的发光检测***及检测方法 |
JP7128403B1 (ja) | 2021-04-15 | 2022-08-31 | 株式会社インターアクション | 瞳モジュール及び検査装置 |
JP2022164061A (ja) * | 2021-04-15 | 2022-10-27 | 株式会社インターアクション | 瞳モジュール及び検査装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5261095B2 (ja) | 2013-08-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6404498B1 (en) | Manufacturing method of semiconductor substrate and method and apparatus for inspecting defects of patterns on an object to be inspected | |
JP4546830B2 (ja) | 暗フィールド検査システム | |
JP4260587B2 (ja) | パターン欠陥検査装置 | |
JP5303217B2 (ja) | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 | |
EP3355049B1 (en) | Inspection illumination device and inspection system | |
KR20130033401A (ko) | 웨이퍼 검사 시스템 및 방법 | |
JP2004264287A (ja) | サンプリング不足の画像を再構築するためにディザリングを用いることによって基板表面内の欠陥を識別する方法および装置 | |
KR20010015544A (ko) | 면검사장치 및 방법 | |
CN102007513A (zh) | 用于检查物体的设备和方法 | |
JP5261095B2 (ja) | 撮像素子検査用照明光学系 | |
KR100698567B1 (ko) | 광원 장치 | |
JP5276833B2 (ja) | 欠陥検査方法及び欠陥検査装置 | |
JP2008046011A (ja) | 表面検査装置 | |
JP4958663B2 (ja) | 照明用アダプタ、照明装置、及び撮像素子検査用照明装置 | |
JP4521660B2 (ja) | 照明補助装置及びこの照明補助装置を用いた検査装置 | |
TW202203341A (zh) | 藉由組合來自多個收集通道之資訊之設計至晶圓影像相關性 | |
JP2003156446A (ja) | 照明光学装置およびそれを備えた検査装置 | |
JPH1172443A (ja) | 自動マクロ検査装置 | |
JP4591658B2 (ja) | 撮像素子検査用照明装置、撮像素子検査装置、撮像素子の検査方法、及び撮像素子の製造方法 | |
JP2005233863A (ja) | 撮像素子検査用照明装置、撮像素子検査装置、撮像素子の検査方法、及び撮像素子の製造方法 | |
JPH10221270A (ja) | 異物検査装置 | |
JP5252286B2 (ja) | 表面検査方法、表面検査装置および検査方法 | |
JP2004117365A (ja) | 微小寸法測定装置 | |
JP2005164346A (ja) | 固体撮像素子照明装置及び固体撮像素子の検査方法 | |
JPS60247142A (ja) | 光電素子検査用照明装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110912 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120323 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130128 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130402 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130426 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160502 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5261095 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |