JP2005233863A - 撮像素子検査用照明装置、撮像素子検査装置、撮像素子の検査方法、及び撮像素子の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 照明装置の主要な部分を共通に使用しながら、光量の減少を少なく抑え、かつ、種々の入射瞳距離を持つ撮像素子を同一位置に置いて検査可能な撮像素子検査用照明装置を提供する。
【解決手段】 テレセントリックな照明光束を第1のレンズ群21および第2のレンズ群22で、プリズム23を介して視野絞り24が設けられている仮結像面に集光させる。仮結像面に集光した光は再びリレー光学系25〜27を介して撮像素子面12に照射され、仮結像面の像を撮像素子面12に形成する。リレー光学系には、リレーレンズ25、開口絞り26、リレーレンズ27が設けられている。開口絞り26は、リレーレンズ27から所定の位置にあり、撮像素子面12を照明する光束の主光線が交わる位置P(図2の二点鎖線と光軸が交わる位置)を決める。この位置Pがリレー光学系(第2光学系)の射出瞳位置にあたる。この位置を、撮像素子の入射瞳に一致させて照明を行う。
【選択図】 図2
【解決手段】 テレセントリックな照明光束を第1のレンズ群21および第2のレンズ群22で、プリズム23を介して視野絞り24が設けられている仮結像面に集光させる。仮結像面に集光した光は再びリレー光学系25〜27を介して撮像素子面12に照射され、仮結像面の像を撮像素子面12に形成する。リレー光学系には、リレーレンズ25、開口絞り26、リレーレンズ27が設けられている。開口絞り26は、リレーレンズ27から所定の位置にあり、撮像素子面12を照明する光束の主光線が交わる位置P(図2の二点鎖線と光軸が交わる位置)を決める。この位置Pがリレー光学系(第2光学系)の射出瞳位置にあたる。この位置を、撮像素子の入射瞳に一致させて照明を行う。
【選択図】 図2
Description
本発明は、CCD等の撮像素子に照明光を照射して、得られる出力信号から前記撮像素子の良否を判定する検査に用いられる撮像素子検査用照明装置、この撮像素子検査用照明装置を使用した撮像素子の検査装置及び方法、さらには、撮像素子の製造方法に関するものである。
CCD等の撮像素子の製造工程おいては、リソグラフィ工程によってウエハ上に形成され、まだ個々に分離されないままの撮像素子に光を照射し、その出力端子からの出力を取り出して、それが正常かどうかを検査することが行われている。
その際、ウエハはプローバ装置と呼ばれる装置に入れられて、その中にあるプローブピンと呼ばれるピンに出力端子が接触するように固定される。そして、照明装置によりプローバ装置内のウエハに照明光を照射し、その出力をプローブピンを介して取り出すようになっている。
従来、撮像素子の検査においては、撮像素子のそれぞれの画素に対してほぼ垂直に照明光が照射するように、いわゆるテレセントリックな照明光を用いて照明して検査を行っていた。これは、もともとCCDなどの撮像素子は受光素子の各位置にに入射する主光線が撮像素子面に対して垂直になるような結像光学系を用いていたためである。
なお、ある光学系からある面上のある点に入射する光の光束を、光軸方向の種々の場所で光軸に垂直な断面で切断したみた場合、その光束の分布する範囲は変化する。そして、前記ある面の点の位置をいろいろ変えた場合に、どの点に入射する光の光束の分布する範囲も同一になる光軸方向の場所をその光学系の出射瞳と呼んでいる。すなわち、受光側からみた場合に、出射瞳位置から光が出射しているように見える。なお、出射瞳の中心を通る光線を主光線と呼んでいる。
一方、受光素子の面上のある点に入射する光束のうち有効な光束の中心となる光線をその点に入射する光束の主光線とよび、受光素子の面上の各点における主光線が交わる光軸方向の場所を入射瞳と呼んでいる。光源又は疑似光源が入射瞳位置にあるとき、その受光素子は、cos4乗則によるものを除いて一様に照明される。
上述のようなテレセントリックな照明装置は、撮像素子の入射瞳が無限遠にあることを前提としており、照明装置の射出瞳の位置も撮像素子面から無限遠にある。そのため、入射瞳が無限遠にある(入射する主光線が受光面に垂直であるように設計されている)撮像素子を検査する場合には問題が発生しない。
しかしながら、デジタルカメラの小型化が進んでくると、入射瞳の位置を受光面の極近傍に位置させるような光学系が使用されるようになってきた。すなわち、受光素子に入射する光束の中心線が撮像素子面に対して大きく傾くような結像光学系を用いるようになってきた。すなわち、撮像素子の各画素の受光面に効率良く結像光束を導くために、受光素子の上にマイクロレンズが、周辺ほどオフセットされて設けられるようになってきた(例えば特開平6−132506号公報参照)。
このように、入射瞳の位置が受光面の極近傍に位置するような撮像素子を、従来のようなテレセトリックな照明光を照射して検査しようとすると、撮像素子の入射瞳位置と照明装置の射出瞳位置の違いのために光線のケラレや周辺減光が発生し、正しい検査ができない。又、固体撮像素子の入射瞳の位置やF値は、各撮像素子の設計仕様によってまちまちであり、それに合わせて検査装置を作ることは経済的でない。
このような問題に対処するために、従来は、テレセトリックな照明装置と被検査体である撮像素子の間に、図4に示すように拡散板31と絞り32を挿入して疑似光源を作り出し、この絞り32の位置を撮像素子33の入射瞳の位置に一致させ、かつ絞り径を所定のものとすることにより、所定の瞳位置と開口の条件で検査するようにしていた(例えば特開2003−156406号公報参照)。
特開平6−132506号公報
特開2003−156406号公報
ところが、拡散板31と絞り32による照明は拡散板での光量ロスが大きく、撮像素子33に到達する光量が10分の1程度になってしまうために、撮像素子33の各画素に所定の光量を蓄積するためには露光時間をかける必要があった。このため、ひとつの撮像素子の検査にかかる時間が長くなってしまうという問題があった。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、照明装置の主要な部分を共通に使用しながら、光量の減少を少なく抑え、かつ、種々の入射瞳距離を持つ撮像素子を同一位置に置いて検査可能な撮像素子検査用照明装置、この撮像素子検査用照明装置を使用した撮像素子の検査装置及び方法、さらには、撮像素子の製造方法を提供することを課題とする。
前記課題を解決するための第1の手段は、被検物体である撮像素子に照明光を照射して、得られる出力信号から前記撮像素子の良否を判定する検査に用いられる撮像素子検査用照明装置であって、
前記撮像素子の撮像面上の任意の点を照明する光束主光線がほぼ平行である照明光を形成する照明装置と、
前記照明装置と前記撮像素子の間に挿脱可能に設けられ、前記照明装置によって前記撮像素子の撮像面が位置する結像面に結像する光束を、前記照明装置と前記撮像素子の間の仮結像面に結像させる第1光学系と、前記仮結像面の像を前記結像面に結像させ、かつ、その射出瞳位置が、前記結像面から有限の距離にある第2光学系とを備えたアダプタ
を有することを特徴とする撮像素子検査用照明装置(請求項1)である。
前記撮像素子の撮像面上の任意の点を照明する光束主光線がほぼ平行である照明光を形成する照明装置と、
前記照明装置と前記撮像素子の間に挿脱可能に設けられ、前記照明装置によって前記撮像素子の撮像面が位置する結像面に結像する光束を、前記照明装置と前記撮像素子の間の仮結像面に結像させる第1光学系と、前記仮結像面の像を前記結像面に結像させ、かつ、その射出瞳位置が、前記結像面から有限の距離にある第2光学系とを備えたアダプタ
を有することを特徴とする撮像素子検査用照明装置(請求項1)である。
本手段においては、第1光学系によって、照明装置によって撮像素子の撮像面が位置する結像面に結像する光線を、照明装置と前記撮像素子の間の仮結像面に結像させるようにしている。そして、第2光学系において射出瞳位置を結像面から有限の位置として、仮結像面の像を結像面に結像させるようにしている。よって、例えば、同一の第1光学系を使用し、第2光学系の射出瞳位置を、被検査体である撮像素子の入射瞳位置に一致させることにより、瞳位置の違いに基づく光線のケラレや周辺減光を起こさずに、撮像素子を照明することができる。
なお、第2光学系に開口絞りを設け、絞り径を調整することにより、被検査体である撮像素子のF値に合わせることもできる。又、通常、第2光学系のみを変えることによって撮像素子の種類の違いに対処できるが、場合によっては第1光学系と第2光学系の両方を異ならせてもよい。
前記課題を解決するための第2の手段は、前記第1の手段であって、前記第1光学系が、光反射装置を有することを特徴とするもの(請求項2)である。
通常、照明装置と被検査体である撮像素子間の距離は短いので、この間にアダプタを設けることが困難となる場合がある。このような場合、本手段においては、ミラーやプリズム等の光反射手段によって光の進行方向を曲げて迂回させることによって光路長を長くし、それによりアダプタの長さを短くして、照明装置と被検査体である撮像素子間に入るようにすることができる。
前記課題を解決するための第3の手段は、前記第1の手段又は第2の手段であって、前記第1光学系が、縮小結像光学系を有することを特徴とするもの(請求項3)である。
本手段においては第1光学系が、縮小結像光学系を有するので、第1光学系の一部の光学要素及び第2光学系の光学要素を小型化しても照射光量を減らさなくて済み、その分アダプタを小型化することが可能である。
前記課題を解決するための第4の手段は、前記第1の手段から第3の手段のいずれかであって、一つの前記照明装置に対して複数の前記アダプタが設けられていることを特徴とするもの(請求項4)である。
本手段においては照明装置から出射する光を複数のアダプタで受けて、複数の撮像素子を同時に照明するようにしている。よって、複数の撮像素子を同時に検査することが可能になり、その分検査時間を短縮することができる。
前記課題を解決するための第5の手段は、前記第4の手段であって、前記複数のアダプタのうち隣り合うもの同士が、千鳥配列されていることを特徴とするもの(請求項5)である。
一般にアダプタにおいては、できるだけ多くの光を取り込み、照明領域を明るく照明するために、第1光学系の寸法が大きく、第2光学系の寸法が小さい。よって、これらが、光軸方向以外の方向にずれて配置される場合には、千鳥配置を行うことによって設置スペースが減少し、その分多数のアダプタを設けることができる。
前記課題を解決するための第6の手段は、前記第1の手段から第5の手段のいずれかである撮像素子検査用照明装置を構成要素の一部として有することを特徴とする撮像素子検査装置(請求項6)である。
このような撮像素子検査装置においては、入射瞳位置が異なった種々の撮像素子を、十分な光量照明して検査することが可能である。
前記課題を解決するための第7の手段は、被検物体である撮像素子に照明光を照射して得られる出力信号から前記撮像素子の良否を判定する検査方法であって、前記撮像素子の入射瞳位置に前記第2光学系の射出瞳位置が一致する前記第1の手段から第5の手段のいずれかである撮像素子検査用照明装置を使用して、前記撮像素子を照明することを特徴とする撮像素子の検査方法(請求項7)である。
前記課題を解決するための第8の手段は、被検物体である撮像素子に照明光を照射して得られる出力信号から前記撮像素子の良否を判定する検査方法であって、前記第1の手段から第5の手段のいずれかである撮像素子検査用照明装置を使用して、前記仮結像面に検査用チャートを入れて、その像を前記撮像素子上に形成して検査を行うことを特徴とする撮像素子の検査方法(請求項8)である。
前記課題を解決するための第9の手段は、ウエハ上に形成された撮像素子を、前記第7の手段又は第8の手段であるである撮像素子の検査方法を使用して検査する工程を有することを特徴とする撮像素子の製造方法(請求項9)である。
以上説明したように、本発明によれば、照明装置の主要な部分を共通に使用しながら、光量の減少を少なく抑え、かつ、種々の入射瞳距離を持つ撮像素子を同一位置に置いて検査可能な撮像素子検査用照明装置、この撮像素子検査用照明装置を使用した撮像素子検査装置及び方法、さらには、撮像素子の製造方法を提供することができる。
以下、本発明の実施の形態の例を、図を用いて説明する。まず、本発明の実施の形態で用いる照明装置(請求の範囲及び課題を解決する手段の欄で「照明装置」と呼ばれているもの)の概略図を図1に示す。
ハロゲンランプやキセノンランプなどの光源1から放出された光は、コレクタレンズ2を介して以後説明する照明光学系に導かれる。照明光学系では照明光が所定の分光分布になるようにフィルタ3aを透過させる。さらに、検査条件に応じて必要な分光分布を作り出すフィルタ3b(例えば赤(Red),緑(Green),青(Blue)など)が出し入れできるようになっている。
さらに光量を調整するためのNDフィルター(Neutral Density Filter)4a,4bを介して所定の光量に調整される。一般のカメラで用いる撮像素子は白昼の数十万luxから夜間の数luxまでの広い光量の条件で用いられるため、光量の設定精度が非常に重要となる。そのため、フィルタの光学濃度のばらつきの影響を受けないように、大きく光量設定をする切り換え式のNDフィルタ4aと、円盤形状をし、その回転方向に段階的または濃度勾配のある調整用のNDフィルタ4bを用い、NDフィルタ4aを交換して光量の粗調整を行い、NDフィルタ4bを回転させて光量の微調整を行えるようにしている。
分光特性と光量を調整された照明光束は、インプットレンズ5により照度均一化光学系に導かれる。この例では、ロッドレンズ6とフライアイレンズ7を使った照度均一化光学系の例を示している。斜めに入射した照明光はロッドレンズ6の側面で反射し、ロッドレンズ6の出射端に導かれ、光源から広がる光束が折り返され出射端で重ね合わされ、ロッドレンズ6の出射端で光量が均一化される。
ロッドレンズ6を出た光束はフライアイレンズ7で複数の光束に分割されるが、各フライフライアイレンズ7から射出した光束はコンデンサレンズ8により照射面で重ね合わされるようになっており、これにより照射面での照度分布が一様になる。
この照射面には、検査用チャート9が出し入れできるようになっている。この検査用チャート9(照射面)は、その後の光学系に対して撮像素子面12と共役な位置とされている。照射面を通過した光は、折り曲げミラー10で反射され投影レンズ11を介して撮像素子面12に前記照射面の像を結ぶ。照射面に検査用チャート9が入れられているときには、検査用チャート9の像が、撮像素子面12に形成される。照射面に検査用チャート9が入れられていないときには、照明光が撮像素子面12をテレセントリックに照明する。
図2は、本発明の実施の形態の1例に用いられるアダプタの光学系の概要を示す図である。この光学系は図1における投影レンズ11と撮像素子面12の間に挿入して用いられる。
図2において、このアダプタを用いなかったときに撮像素子面12上を照明する光束のひとつを破線で表す。この照明光束を第1のレンズ群21および第2のレンズ群22で、プリズム23を介して視野絞り24が設けられている仮結像面に集光させる。このとき第1のレンズ群21は正の屈折力を持ち、第2のレンズ群22は負の屈折力を持ち、ガリレオ型の縮小光学系を構成していて、光軸に平行に入射した光線は光軸からの距離が第1のレンズ群21の焦点距離で第2のレンズ群22の焦点距離を割った倍率がかけられて、再び光軸に平行に出射される。すなわち、仮結像面に集光される光束は、仮結像面をテレセントリックに照明し、かつ、アダプタが無いときに撮像素子面12を照明する光に縮小倍率を掛けた光束であり、図1の照射面(検査チャート9の面)の像がこの位置に形成されることになる。つまり、仮結像面は、図1の投影レンズについて、前記照射面と撮像素子面12の双方に対して共役な位置にある。
第2のレンズ群22を出射した光束はプリズム23に入射し、第1の反射面23aで折り曲げられ、プリズム23の内部を通過して第2の反射面23bで反射され、再び鉛直下方に向かう。プリズム23から出射した光は前述のように視野絞り24が設けられた仮結像面に集光される。この第1のレンズ群21からプリズム23までの光学系が特許請求の範囲及び課題を解決するための手段で「第1光学系」と呼ばれる部分である。
仮結像面に集光した光は再びリレー光学系25〜27を介して撮像素子面12に照射され、仮結像面の像を撮像素子面12に形成する。視野絞り24とこのリレー光学系が、特許請求項及び課題を解決するための手段で「第2光学系」と呼ばれる部分である。
リレー光学系には、リレーレンズ25、開口絞り26、リレーレンズ27が設けられている(通常、開口絞り26を設ける位置が、図2に示すようにリレーレンズ25の焦点位置となるようにリレーレンズ25を設計することが好ましい)。開口絞り26は、リレーレンズ27から所定の位置にあり、撮像素子面12を照明する光束の主光線が交わる位置P(図2の二点鎖線と光軸が交わる位置)を決める。この位置Pがリレー光学系(第2光学系)の射出瞳位置にあたる。リレーレンズ27の後側焦点面に撮像素子面12があるとき、位置Pと撮像素子面12の距離をLとすると、開口絞り26とリレーレンズ27の間隔eは、リレーレンズ27の焦点距離fから次のようにして求められる。
すなわち、被検査体である撮像素子の入射瞳距離が分かれば、その値をLとし、(1)式でeを決定し、eで決定される位置に開口絞り26を設ければよいことになる。
また、開口絞り26の径は照明光束の太さを決める。照明光束の太さは、リレーレンズ27の焦点距離fを開口絞り26の径φで割ったF値で表される。すなわち、
F=f/φ …(2)
である。
F=f/φ …(2)
である。
例えば、投影レンズ11から撮像素子面12を照明する光束のF値がF10である場合、この光束を瞳位置L=31.5mm、F値をF7にするようなアダプタを考えると、リレーレンズ27の焦点距離は7mm,リレーレンズ27と開口絞り26の間隔は5.4mmとなる。さらにリレーレンズ25の焦点距離を7mmとすると、当倍で視野絞り24の像を撮像素子面12に投影する。プリズム23による光軸のシフト量を9.5mmとした場合、第1のレンズ群21の焦点距離は50mm、第2のレンズ群22の焦点距離は-35mmとなる。このような配置をとることにより第1のレンズ群は撮像素子面からおよそ70mmの高さまでに抑えることができる。
視野絞り24の位置にチャートを入れれば、従来の方式では行うことのできなかった、有限の瞳距離の照明状態の下でチャート投影をすることができる。
なお、図2に示す光学系においては、第1のレンズ群21、第2のレンズ群22からなる縮小光学系を有しており、これにより、第2のレンズ群22、プリズム23、リレー光学系の寸法を小さくすることができる。もし、このようなことが必要なければ、第1のレンズ群21、第2のレンズ群22は不要であり、プリズム23によって、投影レンズ11から撮像素子面12までの光路長と、投影レンズ11から仮結像面までの距離を同じにしてやればよい。
又、図2において、アダプタを使用したときと使用しないときでは、撮像素子面12の光軸方向の位置は変わっていないが、光軸に垂直な方向の位置は変わっている。しかし、通常、プローバ装置には検査するウエハを光軸に垂直な方向に移動させるステージが設けられているのでこの方向の位置の違いは問題にならない。勿論、さらにプリズム、反射鏡等により、光路を折り返すことにより、投影レンズ11の光軸とリレー光学系の光軸を合わせるようにしてもよい。
又、通常投影レンズ11は、広い面積をテレセントリックに照明できるようになっているが、ウエハに形成される撮像素子の入射瞳距離が短い場合、複数の撮像素子を照明するには、それぞれの素子に対応する別々の光源が必要である。よって、このような場合には、一つの投影レンズ11に対して複数のアダプタを設け、複数の撮像素子を同時に照明して検査することにより、検査時間を短くすることができる。
この場合、縮小光学系を使用すると、一般に第1のレンズ群21の光軸に直角な方向の寸法が大きくなり、残りの部分の寸法は小さくなる。よって、図3に示すように、アダプタを交互に千鳥配置することにより、第1のレンズ群21の機械的な干渉を避け、多くのアダプタを配置することができる。
図1、図2に示すような撮像素子検査用照明装置を用いた撮像素子検査装置においては、アダプタの交換により種々の撮像素子の検査が可能となる。よって、撮像素子の製造工程において、このような撮像素子検査装置を使用してウエハ上に形成された撮像素子の検査を行うことにより、1台の検査装置を使用して、種々の撮像装置を製造することができる。
1…光源、2…コレクタレンズ、3a…フィルタ、3b…フィルタ、4a…NDフィルタ、4b…NDフィルタ、5…インプットレンズ、6…ロッドレンズ、7…フライアイレンズ、8…コンデンサレンズ、9…検査用チャート、10…折り曲げミラー、11…投影レンズ、12…撮像素子面、21…第1のレンズ群、22…第2のレンズ群、23…プリズム、23a…第1の反射面、23b…第2の反射面、24…視野絞り、25…リレーレンズ、26…開口絞り、27…リレーレンズ
Claims (9)
- 被検物体である撮像素子に照明光を照射して、得られる出力信号から前記撮像素子の良否を判定する検査に用いられる撮像素子検査用照明装置であって、
前記撮像素子の撮像面上の任意の点を照明する光束の主光線がほぼ平行である照明光を形成する照明装置と、
前記照明装置と前記撮像素子の間に挿脱可能に設けられ、前記照明装置によって前記撮像素子の撮像面が位置する結像面に結像する光束を、前記照明装置と前記撮像素子の間の仮結像面に結像させる第1光学系と、前記仮結像面の像を前記結像面に結像させ、かつ、その射出瞳位置が、前記結像面から有限の距離にある第2光学系とを備えたアダプタ
を有することを特徴とする撮像素子検査用照明装置。 - 前記第1光学系が、光反射装置を有することを特徴とする請求項1に記載の撮像素子検査用照明装置。
- 前記第1光学系が、縮小結像光学系を有することを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の撮像素子検査用照明装置。
- 一つの前記照明装置に対して複数の前記アダプタが設けられていることを特徴とする請求項1から請求項3のうちいずれか1項に記載の撮像素子検査用照明装置。
- 前記複数のアダプタのうち隣り合うもの同士が、千鳥配列されていることを特徴とする請求項4に記載の撮像素子検査用照明装置。
- 請求項1から請求項5のうちいずれ1項に記載の撮像素子検査用照明装置を構成要素の一部として有することを特徴とする撮像素子検査装置。
- 被検物体である撮像素子に照明光を照射して得られる出力信号から前記撮像素子の良否を判定する検査方法であって、前記撮像素子の入射瞳位置に前記第2光学系の射出瞳位置が一致する請求項1から請求項5のうちいずれ1項に記載の撮像素子検査用照明装置を使用して、前記撮像素子を照明することを特徴とする撮像素子の検査方法。
- 被検物体である撮像素子に照明光を照射して得られる出力信号から前記撮像素子の良否を判定する検査方法であって、前記撮像素子の入射瞳位置に前記第2光学系の射出瞳位置が一致する請求項1から請求項5のうちいずれ1項に記載の撮像素子検査用照明装置を使用して、前記仮結像面に検査用チャートを入れて、その像を前記撮像素子上に形成して検査を行うことを特徴とする撮像素子の検査方法。
- ウエハ上に形成された撮像素子を、請求項7又は請求項8に記載の撮像素子の検査方法を使用して検査する工程を有することを特徴とする撮像素子の製造方法。
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---|---|---|---|---|
JP2009074851A (ja) * | 2007-09-19 | 2009-04-09 | Nuflare Technology Inc | 検査装置及び検査方法 |
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2004
- 2004-02-23 JP JP2004045766A patent/JP2005233863A/ja active Pending
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