JP2009181826A - エキシマランプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】真空紫外線を透過する誘電体材料からなる断面矩形の長尺状の放電容器(10)と、この放電容器(10)の内部に封入されたエキシマ発光のための放電用ガスと、放電容器(10)の外面の形成された電極(11)とよりなる。放電容器(10)は前記電極(11a)が形成された部分に相当する放電空間側内壁面に、アルコキシドを塗布することで形成された平滑化膜(12)を有することを特徴とする。
【選択図】 図1
Description
エキシマランプ1は、両端が気密に封止されて内部に放電空間Sが形成された、断面矩形状であって中空長尺状の放電容器10を備えている。放電容器10は上壁10a、下壁10b、前壁10c、後壁10d、側壁10e、側壁10fの全体が扁平形状の直方体を形成しており、材料はシリカガラス(石英ガラス)から構成される。真空紫外光の透過性に優れるからである。本実施例では下壁10bが紫外線放射部となる。
本実施例は、上壁10aの内壁面に塗布された平滑化膜12の中にシリカ粒子13が含まれていることを特徴としており、この点のみが図1から図3に示した実施例と相違する。
平滑化膜12に、シリカ粒子(SiO2)13を含有させることで、平滑化膜12に反射機能を持たせることができる。また、シリカ粒子13以外にアルミナ粒子(AL2O3)も併せて含有させることができる。シリカ粒子は、放電容器を構成する材料と同じ物質でもあるため接着性(接着強度)という点で有用である。また、アルミナ粒子はシリカ粒子よりも紫外線を反射する能力が高い点で利用される。
なお、下壁10bの内壁面に塗布された平滑化膜12にはシリカ粒子やアルミナ粒子は含まれていない。下壁10bから紫外線を外部に放射するからである。
10 放電容器
11 電極
12 平滑化膜
13 シリカ粒子
Claims (3)
- 真空紫外線を透過する誘電体材料からなる断面矩形の長尺状の放電容器と、この放電容器の内部に封入されたエキシマ発光のための放電用ガスと、放電容器の外面に形成された電極とよりなるエキシマランプにおいて、
前記放電容器は、前記電極が形成された部分に相当する放電空間側内壁面に、アルコキシドを塗布することで形成された平滑化膜を有することを特徴とするエキシマランプ。 - 前記平滑化膜に、シリカ粒子が混在していることを特徴とする請求項1のエキシマランプ。
- 前記平滑化膜に、アルミナ粒子が混在していることを特徴とする請求項2のエキシマランプ。
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