JP2007335350A - 放電ランプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 放電ランプは、シリカガラスからなるバルブを具備してなり、バルブの内面に、シリカ粒子により形成された紫外線散乱反射層、あるいはシリカ粒子とシリカ粒子以外の紫外線散乱粒子とにより形成された紫外線散乱反射層が設けられていると共に、当該紫外線散乱反射層が設けられていない紫外線取り出し部がバルブの一部に形成されている。
【選択図】図2
Description
しかしながら、上記のようなアルミナ粒子を主体とした紫外線反射膜をシリカガラス製のバルブの表面に形成すると、紫外線反射膜がもろく剥がれてしまいやすい、という問題がある。
また、紫外線反射膜または紫外線反射層を十分な反射機能を有するものとして構成するためには、比較的に厚みを大きくすることが必要とされるが、紫外線反射膜または紫外線反射層の厚みを大きくした場合には、バルブ形成材料との熱膨張率の差に起因して紫外線反射膜または紫外線反射層にひび割れが発生しやすい、という問題がある。
バルブの内面に、シリカガラス層内にシリカ粒子以外の紫外線散乱粒子が含有されてなる紫外線散乱反射層が設けられていると共に、当該紫外線散乱反射層が設けられていないことによりバルブの一部に紫外線取り出し部が形成されていることを特徴とする。
このエキシマランプ10は、各々、シリカガラスよりなる円筒状の外側管12および円筒状の内側管13が同軸上に配置されると共に、両端部において溶融、接合されて外側管12と内側管13との間に環状の放電空間Sが形成されてなる二重管構造をなすバルブ11を備えており、例えば金網などの導電性材料よりなるメッシュ状の外部電極16が外側管12の外周面に密接して設けられていると共に例えばアルミニウムよりなる内部電極15が内側管13の内周面に密接して設けられており、例えばキセノンガスなどの希ガスや、希ガスに塩素などのハロゲンガスを混合した放電ガスが放電空間S内に封入されて、構成されている。図1において、17は、放電空間S内の一端部に設けられたゲッターであり、18は、ランプ点灯用電源である。
紫外線散乱反射層20は、例えば中心径が0.1〜10μm、好ましくは1〜5μmとなる粒子径分布を有するシリカ粒子により形成されてなり、凹凸のある光散乱面を有し、例えば150〜375nmの波長域の紫外線に対して不透明すなわち紫外線散乱反射機能を備えている。ここに、『粒子径』とは、粒子の投影像を2本の平行線で挟んだとき、平行線の間隔が最大となる粒子の幅をいい、『中心径』とは、累積度数分布において度数が最大となる粒子径をいう。
この紫外線散乱反射層20は、エキシマランプ10の管軸に直交する断面において、エキシマランプ10の管軸を中心とした中心角θが例えば180°以上となる領域(外側管12の内表面の半周以上の領域)にわたって形成されている。また、この紫外線散乱反射層20が形成されてないことにより、放電空間S内で発生した紫外線を放射するための紫外線取り出し部11Aがバルブ11の一部に形成されている。
すなわち、先ず、シリカ粒子と、有機バインダーと、例えばアクリル系樹脂などの可塑剤および分散剤などとを溶剤に混合することにより得られるペーストを、例えばポリエチレンテレフタレート(PET)などの有機フィルム構造体上に一定の厚みで流延し、溶剤を乾燥させてフィルム状としたグリーンシート状成形体を形成する。次に、このグリーンシート状成形体を孔付きステンレス製パイプに仮止めして、シリカガラス製の外側管12内に挿入して配設し、グリーンシート状成形体を外側管12の内面に接着転写した状態において、グリーンシート状成形体を焼成することにより外側管12の内面に固着させ、これにより、シリカ粒子からなる紫外線散乱反射層20を形成することができる。
焼成処理を行う際の処理条件としては、処理温度が例えば1100〜1200℃、処理時間が30〜90分間であることが好ましい。このような条件で熱処理が行われることにより、シリカ粒子のすべてが溶融してバルブ11と一体化してしまうことがなく、十分な紫外線散乱反射機能を確実に得ることができる。
然るに、シリカガラス製のバルブ11の内面に紫外線散乱反射層20が設けられ、当該紫外線散乱反射層20がシリカ粒子により形成された、凹凸のある光散乱面を構成するものであることにより、上記構成のエキシマランプ10によれば、後述する実験例の結果から明らかなように、放電空間S内で発生した紫外線を確実に反射して紫外線取り出し部11Aから放射することができると共にシリカガラス部分を透過することによる紫外線の減衰の程度を小さく抑制することができ、高い紫外線の放射効率を得ることができる。
しかも、紫外線散乱反射層20がシリカ粒子を主体としたものであることにより、バルブ11に対して高い親和性が得られるので、当該紫外線散乱反射層20がもろく剥がれることがなく、紫外線散乱反射層20を確実に形成することができ、ランプを所期の性能が長時間の間にわたって維持されるものとして確実に構成することができる。
このような紫外線散乱反射層20の構成について具体的に説明すると、シリカ粒子は中心径が例えば0.1〜10μm、好ましくは1〜5μmとなる粒子径分布を有するものであり、他の紫外線散乱粒子は中心径が例えば0.1〜3μmとなる粒子径分布を有するものであり、シリカ粒子と他の紫外線散乱粒子とにより凹凸のある光散乱面が構成されている。
また、紫外線散乱反射層20の厚みは、例えば30〜300μmであることが好ましく、実際上、紫外線の直線透過率が例えば3%以下となる厚みとされている。これにより、所期の紫外線反射機能が確実に発現されて放電空間S内で発生した紫外線を紫外線取り出し部11Aから確実に放射することができ、従って、高い紫外線放射効率を確実に得ることができる。
他の紫外線散乱粒子の含有割合は、例えば30〜65重量%であることが好ましい。これにより所期の紫外線反射機能を確実に得ることができると共に、紫外線散乱反射層20を確実に形成することができる。
この紫外線散乱反射層20においては、例えばシリカガラス層の内部であって外側管12側には比較的大きな粒径の紫外線散乱粒子が存在し、放電空間側には比較的に細かい紫外線散乱粒子が存在する状態とされている。
紫外線散乱反射層20の厚みは、例えば30〜300μmであることが好ましく、実際上、紫外線の直線透過率が例えば3%以下となる厚みとされている。
<実験例1>
図1および図2に示す構成に従って、粒子の成分比が下記表1に従って変更された紫外線散乱反射層(20)が設けられた3本の二重管構造のエキシマランプ(10)および紫外線散乱反射層を有さない参照用のエキシマランプを作製した。各々のエキシマランプは、全長が300mm、外側管(12)の内径が約24.5mm、内側管(13)の外径が18mmであり、放電用ガスとしてキセノンガスを用い、その封入量を400Torrとした。
また、紫外線散乱反射層(20)は、エキシマランプの管軸に直交する断面において、エキシマランプの管軸を中心とした中心角(θ)が180°(外側管の内表面の半周)となる領域にわたって、上述したグリーンシート(フィルム状成形体)を使用した方法により、50μmの厚みで形成した。グリーンシートを焼成する際の処理温度は1150℃とした。紫外線散乱反射層の構成材料(出発原料)であるシリカ粒子は粒子径が0.5〜5μmの範囲内にあり、中心径が3μmであるものであり、アルミナ粒子(他の紫外線散乱粒子)は粒子径が0.1〜3μmの範囲内にあり、中心径が1μmであるものである。
ここに、エキシマランプ10の外側管12から紫外線照度計34までの距離は33mmであり、エキシマランプ10は、放電空間Sの体積1cm3 あたりの入力が約1Wとなる条件で点灯した。なお、紫外線散乱反射層を有さないエキシマランプの配置方法は特に制限されず、任意の方向を冷却ボックス31側に向けて配置した。
粒子径が0.1〜3μmの範囲内にあり、中心径が1μmであるアルミナ粒子を用い、アルミナ粒子のみからなる紫外線散乱反射層をバルブを構成する外側管の内面に形成しようとしたところ、アルミナ粒子を含むフィルム状成形体をシリカガラス製のバルブに付着させることができず、紫外線散乱反射層を形成することができなかった。
粒子径が0.5〜5μmの範囲内にあり、中心径が3μmであるシリカ粒子と、粒子径が0.1〜3μmの範囲内にあり、中心径が1μmであるアルミナ粒子とからなり、シリカ粒子を20重量%、アルミナ粒子を80重量%の割合で含有する紫外線散乱反射層をバルブを構成する外側管の内面に形成しようとしたところ、フィルム状成形体をシリカガラス製のバルブに付着させることができず、紫外線散乱反射層を形成することができなかった。
特に、シリカ粒子およびアルミナ粒子からなり、シリカ粒子を30%以上含有している紫外線散乱反射層が設けられたエキシマランプによれば、一層高い紫外線放射効率が得られることが確認された。
図1および図2に示す構成に従って、厚みが下記表2に従って変更された、シリカ粒子のみからなる紫外線散乱反射層が設けられた5本の二重管構造のエキシマランプを作製した。各々のエキシマランプは、紫外線散乱反射層の構成が異なることの他は、実験例1において作製したものと同一の構成を有する。
また、紫外線散乱反射層の構成材料(出発原料)であるシリカ粒子は粒子径が0.5〜5μmの範囲内にあり、中心径が3μmであるものである。
作製した5本のエキシマランプの各々について、実験例1と同様の方法により紫外線照度の測定を行った。結果を下記表2に示す。
例えば、本発明は、上記の二重管構造のエキシマランプに限定されず、例えば図4および図5に示すような角型のエキシマランプや、図6に示すようなショートアークランプなどに適用することができることは言うまでもない。
このエキシマランプ40においては、バルブ41の管軸方向の両端壁の内面およびバルブ41の管軸方向に延びる側壁のうち3つの側壁の内面に、上記紫外線散乱反射層50が形成されており、この紫外線散乱反射層50が形成されてないことにより紫外線取り出し部41Aがバルブ41の一部(図4および図5においては下方部)に形成されている。
このエキシマランプ40の一構成例を示すと、バルブ41の全長が150mm、縦方向(図5において上下方向)の寸法が34mm、横方向(図5において左右方向)の寸法が14mm、肉厚が2mmである。また、紫外線散乱反射層50の厚みは例えば50μmである。
このショートアークランプ60は、陰極64が陽極65より前方(図において右方)に位置し、そのアーク方向がリフレクタ70の光軸に一致し、アーク中心Cがリフレクタ70の焦点に一致する状態でリフレクタ70内に組み込まれており、リフレクタ70の開口縁上の任意の点とアーク中心Cとを結ぶ仮想直線Lを想定するとき、当該仮想直線Lより光照射方向前方に位置する膨出部62の内面に、上記紫外線散乱反射層75が形成されている。また、紫外線散乱反射層75が形成されていない紫外線取り出し部61Aがバルブ61に形成されている。
11 バルブ
11A 紫外線取り出し部
12 外側管
13 内側管
S 放電空間
15 内部電極
16 外部電極
17 ゲッター
18 電源
20 紫外線散乱反射層
30 アルミボックス
31 冷却ブロック
32 ガラス板
33 反射防止フィルム
34 紫外線照度計
40 エキシマランプ
41 バルブ
41A 紫外線取り出し部
42 電極
43 ゲッター
44 排気管
45 電源
50 紫外線散乱反射層
60 ショートアークランプ
61 バルブ
61A 紫外線取り出し部
62 膨出部
63 封止部
64 陰極
65 陽極
68 口金
70 リフレクタ
75 紫外線散乱反射層
Claims (5)
- シリカガラスからなるバルブを具備した放電ランプであって、
バルブの内面に、少なくともシリカ粒子を含む紫外線散乱粒子により形成された紫外線散乱反射層が設けられていると共に、当該紫外線散乱反射層が設けられていないことによりバルブの一部に紫外線取り出し部が形成されていることを特徴とする放電ランプ。 - 紫外線散乱反射層は、シリカ粒子と、シリカ粒子以外の紫外線散乱粒子とにより形成されており、シリカ粒子を30重量%以上含有するものであることを特徴とする請求項1に記載の放電ランプ。
- シリカガラスからなるバルブを具備した放電ランプであって、
バルブの内面に、シリカガラス層内にシリカ粒子以外の紫外線散乱粒子が含有されてなる紫外線散乱反射層が設けられていると共に、当該紫外線散乱反射層が設けられていないことによりバルブの一部に紫外線取り出し部が形成されていることを特徴とする放電ランプ。 - シリカ粒子以外の紫外線散乱粒子がセラミック粒子であることを特徴とする請求項2または請求項3に記載の放電ランプ。
- 紫外線散乱反射層の厚みが30〜300μmであることを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の放電ランプ。
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---|---|
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Cited By (32)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2056336A1 (en) | 2007-10-11 | 2009-05-06 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | Excimer lamps |
EP2056335A1 (en) * | 2007-10-10 | 2009-05-06 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | Excimer lamps |
JP2009110927A (ja) * | 2007-10-10 | 2009-05-21 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2009117148A (ja) * | 2007-11-06 | 2009-05-28 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2009123348A (ja) * | 2007-11-12 | 2009-06-04 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2009181818A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2009181826A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2009199845A (ja) * | 2008-02-21 | 2009-09-03 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2009199933A (ja) * | 2008-02-22 | 2009-09-03 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2009230868A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2009238880A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Ushio Inc | 紫外線照射処理方法および紫外線照射処理装置 |
JP2009252662A (ja) * | 2008-04-10 | 2009-10-29 | Ushio Inc | エキシマランプおよびこれを備えたランプユニット |
CN101599414A (zh) * | 2008-06-06 | 2009-12-09 | 优志旺电机株式会社 | 准分子灯 |
JP2009289721A (ja) * | 2008-06-02 | 2009-12-10 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2009295469A (ja) * | 2008-06-06 | 2009-12-17 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2010003437A (ja) * | 2008-06-18 | 2010-01-07 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2010015839A (ja) * | 2008-07-04 | 2010-01-21 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2010027268A (ja) * | 2008-07-16 | 2010-02-04 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2010030223A (ja) * | 2008-07-30 | 2010-02-12 | Fujifilm Corp | インクジェット記録方法、インクジェット記録装置、及び、印刷物 |
JP2010055971A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2010125368A (ja) * | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Ushio Inc | エキシマランプ装置 |
JP2010153054A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-07-08 | Ushio Inc | 蛍光ランプ |
JP2010225343A (ja) * | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2011524616A (ja) * | 2008-06-16 | 2011-09-01 | ヘレーウス ノーブルライト ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 小型のuv放射モジュール |
JP2012195058A (ja) * | 2011-03-15 | 2012-10-11 | Ushio Inc | 光照射装置 |
KR20150015410A (ko) * | 2013-07-31 | 2015-02-10 | 가부시키가이샤 지에스 유아사 | 방전 램프 |
JP2015046388A (ja) * | 2013-07-31 | 2015-03-12 | 株式会社Gsユアサ | 放電ランプ |
TWI485746B (zh) * | 2011-03-18 | 2015-05-21 | Ushio Electric Inc | Long arc metal halogen lamp |
WO2020095835A1 (ja) | 2018-11-06 | 2020-05-14 | ウシオ電機株式会社 | 気体処理装置 |
KR20200085823A (ko) | 2017-12-27 | 2020-07-15 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 기체 처리 장치 |
WO2020262478A1 (ja) | 2019-06-28 | 2020-12-30 | ウシオ電機株式会社 | 気体処理方法、気体処理装置 |
EP3886142A2 (en) | 2020-03-26 | 2021-09-29 | USHIO Denki Kabushiki Kaisha | Excimer lamp and light irradiation device including the same |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50147180A (ja) * | 1974-05-17 | 1975-11-26 | ||
JPH02223146A (ja) * | 1989-02-23 | 1990-09-05 | Nichia Chem Ind Ltd | 高演色型蛍光ランプ |
JPH1131480A (ja) * | 1997-05-12 | 1999-02-02 | Toshiba Lighting & Technol Corp | 誘電体バリヤ放電ランプ用放電体、誘電体バリヤ放電ランプ、誘電体バリヤ放電ランプ装置および紫外線照射装置 |
JP2000515299A (ja) * | 1996-05-31 | 2000-11-14 | フュージョン ライティング,インコーポレイテッド | 硫黄又はセレン充填物を有する多数回反射無電極ランプ及びこの様なランプを使用して光を供給する方法 |
JP2002093377A (ja) * | 2000-09-19 | 2002-03-29 | Ushio Inc | 誘電体バリア放電ランプ装置 |
-
2006
- 2006-06-19 JP JP2006168475A patent/JP4857939B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50147180A (ja) * | 1974-05-17 | 1975-11-26 | ||
JPH02223146A (ja) * | 1989-02-23 | 1990-09-05 | Nichia Chem Ind Ltd | 高演色型蛍光ランプ |
JP2000515299A (ja) * | 1996-05-31 | 2000-11-14 | フュージョン ライティング,インコーポレイテッド | 硫黄又はセレン充填物を有する多数回反射無電極ランプ及びこの様なランプを使用して光を供給する方法 |
JPH1131480A (ja) * | 1997-05-12 | 1999-02-02 | Toshiba Lighting & Technol Corp | 誘電体バリヤ放電ランプ用放電体、誘電体バリヤ放電ランプ、誘電体バリヤ放電ランプ装置および紫外線照射装置 |
JP2002093377A (ja) * | 2000-09-19 | 2002-03-29 | Ushio Inc | 誘電体バリア放電ランプ装置 |
Cited By (48)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2056335A1 (en) * | 2007-10-10 | 2009-05-06 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | Excimer lamps |
JP2009110927A (ja) * | 2007-10-10 | 2009-05-21 | Ushio Inc | エキシマランプ |
US8164239B2 (en) | 2007-10-10 | 2012-04-24 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | Excimer lamps |
EP2056336A1 (en) | 2007-10-11 | 2009-05-06 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | Excimer lamps |
US7859191B2 (en) | 2007-10-11 | 2010-12-28 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | Excimer lamps |
JP2009117148A (ja) * | 2007-11-06 | 2009-05-28 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2009123348A (ja) * | 2007-11-12 | 2009-06-04 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2009181818A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2009181826A (ja) * | 2008-01-31 | 2009-08-13 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2009199845A (ja) * | 2008-02-21 | 2009-09-03 | Ushio Inc | エキシマランプ |
KR101220549B1 (ko) * | 2008-02-21 | 2013-01-10 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 엑시머 램프 |
TWI407483B (zh) * | 2008-02-21 | 2013-09-01 | Ushio Electric Inc | Excimer lamp |
JP2009199933A (ja) * | 2008-02-22 | 2009-09-03 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2009230868A (ja) * | 2008-03-19 | 2009-10-08 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2009238880A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Ushio Inc | 紫外線照射処理方法および紫外線照射処理装置 |
JP2009252662A (ja) * | 2008-04-10 | 2009-10-29 | Ushio Inc | エキシマランプおよびこれを備えたランプユニット |
JP2009289721A (ja) * | 2008-06-02 | 2009-12-10 | Ushio Inc | エキシマランプ |
TWI402883B (zh) * | 2008-06-02 | 2013-07-21 | Ushio Electric Inc | Excimer lamp |
KR101246431B1 (ko) * | 2008-06-06 | 2013-03-21 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 엑시머 램프 |
JP2009295468A (ja) * | 2008-06-06 | 2009-12-17 | Ushio Inc | エキシマランプ |
CN101599414A (zh) * | 2008-06-06 | 2009-12-09 | 优志旺电机株式会社 | 准分子灯 |
JP2009295469A (ja) * | 2008-06-06 | 2009-12-17 | Ushio Inc | エキシマランプ |
DE102009022823A1 (de) | 2008-06-06 | 2009-12-10 | Ushiodenki Kabushiki Kaisha | Excimer-Lampe |
JP2011524616A (ja) * | 2008-06-16 | 2011-09-01 | ヘレーウス ノーブルライト ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | 小型のuv放射モジュール |
JP2010003437A (ja) * | 2008-06-18 | 2010-01-07 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2010015839A (ja) * | 2008-07-04 | 2010-01-21 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2010027268A (ja) * | 2008-07-16 | 2010-02-04 | Ushio Inc | エキシマランプ |
JP2010030223A (ja) * | 2008-07-30 | 2010-02-12 | Fujifilm Corp | インクジェット記録方法、インクジェット記録装置、及び、印刷物 |
JP2010055971A (ja) * | 2008-08-29 | 2010-03-11 | Ushio Inc | エキシマランプ |
KR101343230B1 (ko) | 2008-11-26 | 2013-12-18 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 엑시머 램프 장치 |
CN101740316A (zh) * | 2008-11-26 | 2010-06-16 | 优志旺电机株式会社 | 准分子灯装置 |
JP2010125368A (ja) * | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Ushio Inc | エキシマランプ装置 |
JP2010153054A (ja) * | 2008-12-24 | 2010-07-08 | Ushio Inc | 蛍光ランプ |
JP2010225343A (ja) * | 2009-03-23 | 2010-10-07 | Ushio Inc | エキシマランプ |
KR101301806B1 (ko) | 2009-03-23 | 2013-08-29 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 엑시머 램프 |
JP2012195058A (ja) * | 2011-03-15 | 2012-10-11 | Ushio Inc | 光照射装置 |
KR101553735B1 (ko) | 2011-03-15 | 2015-09-16 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 광 조사 장치 |
TWI485746B (zh) * | 2011-03-18 | 2015-05-21 | Ushio Electric Inc | Long arc metal halogen lamp |
KR20150015410A (ko) * | 2013-07-31 | 2015-02-10 | 가부시키가이샤 지에스 유아사 | 방전 램프 |
JP2015046388A (ja) * | 2013-07-31 | 2015-03-12 | 株式会社Gsユアサ | 放電ランプ |
KR102219742B1 (ko) * | 2013-07-31 | 2021-02-23 | 가부시키가이샤 지에스 유아사 | 방전 램프 |
KR20200085823A (ko) | 2017-12-27 | 2020-07-15 | 우시오덴키 가부시키가이샤 | 기체 처리 장치 |
WO2020095835A1 (ja) | 2018-11-06 | 2020-05-14 | ウシオ電機株式会社 | 気体処理装置 |
JP2020074870A (ja) * | 2018-11-06 | 2020-05-21 | ウシオ電機株式会社 | 気体処理装置 |
CN112805041A (zh) * | 2018-11-06 | 2021-05-14 | 优志旺电机株式会社 | 气体处理装置 |
WO2020262478A1 (ja) | 2019-06-28 | 2020-12-30 | ウシオ電機株式会社 | 気体処理方法、気体処理装置 |
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