JP5266972B2 - エキシマランプ - Google Patents
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Description
放電容器61は、長尺状の板ガラスよりなる長辺面62a、62bが互いに向かい合うように配置され、長辺面62aと長辺面62bとをつなぐ短辺面63a、63bにより断面矩形状の管が形成される。矢印は、放電容器の内部に働く応力の方向を示したものである。
このエキシマランプ10は、両端が気密に封止されて内部に放電空間Sが形成された、断面矩形状で中空長尺状の放電容器11を備えており、この放電容器11の内部には、放電用ガスとして、キセノンガスが封入されている。ここに、キセノンガスは、圧力が例えば10〜60kPaの範囲内となる封入量とされる。
放電容器11は、真空紫外光を良好に透過するシリカガラス、例えば合成石英ガラスよりなり、誘電体としての機能を兼ねている。
紫外線反射膜20は、放電容器11における長辺面12aの高電圧給電電極として機能する一方の電極15aに対応する内表面領域と、この領域に連続する短辺面13a、13bの内表面領域とにわたって形成されている。また、端面14a、14bの内表面領域にも紫外線反射膜20が形成される。一方、放電容器11における長辺面12bの、接地電極として機能する他方の電極15bに対応する内表面領域において紫外線反射膜20が形成されていないことによって光出射部17が構成されている。なお、長辺面12bの電極15bが形成されていない端部の内表面領域にも紫外線反射膜20を形成することによって、反射効率を高めることができる。
長辺面12aの両端に短辺面13a、または短辺面13bの一端が接合され、長辺面12aと短辺面13aを接合するエッジ部16a、および、長辺面12aと短辺面13bを接合するエッジ部16bが形成される。同様にして、長辺面12bの両端において短辺面13bまたは短辺面13aの一端が接合され、長辺面12bと短辺面13bを接合するエッジ部16c、および、長辺面12bと短辺面13aを接合するエッジ部16dが形成されている。
エッジ部16a、16b、16c、16dが放電空間Sの外方に向かって膨れている放電容器11は、円筒状のシリカガラスよりなる丸型管25を、取出し棒24が取り付けられた矩形状の引抜型23によって、該丸型管を加熱軟化した状態で該引抜型を引き抜くことによって成形される。エッジ部16a、16b、16c、16dが外方に向かって膨れるように成形するために、引抜型23の角に膨らみが形成されている。
紫外線反射膜20は、例えば「流下法」と呼ばれる方法により行うことができる。まず、放電容器11の内側に流し込むコート液を調合する。コート液は、紫外線散乱粒子、結着剤、分散剤、および、溶剤から構成される。紫外線散乱粒子は例えばシリカ粒子とアルミナ粒子であり、結着材はオルトケイ酸テトラエチルを含み、分散剤はシランカップリング剤であり、溶剤はエタノールである。
コート液に溶剤を含有することにより、コート液の紫外線散乱粒子の含有濃度を調整することができる。
コート液を放電容器11の内部に流し込み、放電容器11の内表面における所定の領域に付着させる。
上記工程により、長辺面12aの内表面領域において、短辺面13a、13bの内表面領域に比べて膜厚が厚い紫外線反射膜20を形成することができる。さらに、放電容器11の長辺面12a、12bや短辺面13a、13bが湾曲状に加工されていること、および製造工程におけるコート液の表面張力により、エッジ部16a、16b、16c、16dの内表面領域には、他の領域に比べて、紫外線反射膜20の膜厚が厚くなるように形成することができる。
11 放電容器
12a、12b 長辺面
13a、13b 短辺面
14a、14b 端面
15a、15b 電極
16a、16b、16c、16d エッジ部
17 光出射部
20 紫外線反射膜
Claims (3)
- 両端が端面によって閉じられ、互いに対向する長辺面と該長辺面をつなぐ短辺面とによって囲まれた断面矩形状の放電容器を備え、該放電容器の互いに対向する該長辺面、または、該短辺面には一対の電極が配置され、該放電容器の内部にキセノンガスを封入し、放電空間内にエキシマ放電を発生させるエキシマランプにおいて、
該長辺面は、該長辺面と該短辺面とをつなぐエッジ部に対して、該長辺面の中央部が該放電空間の内側に向かう方向に湾曲しており、
該放電容器の内表面には中央部が該放電空間の内側に向かう方向に湾曲した紫外線反射膜が形成され、
該紫外線反射膜は、該エッジ部に形成された膜厚の方が、該放電容器の他の内表面に形成された膜厚に比べて、厚くなっていることを特徴とするエキシマランプ。
- 前記短辺面は、該長辺面と該短辺面とをつなぐエッジ部に対して、該短辺面の中央部が該放電空間の内側に向かう方向に湾曲していることを特徴とする請求項1に記載のエキシマランプ。
- 前記紫外線反射膜は、シリカ粒子とアルミナ粒子とを含むことを特徴とする請求項1乃至請求項2に記載のエキシマランプ。
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