JP2009160916A - 流体噴射装置のクリーニング方法、及び流体噴射装置 - Google Patents

Abstract

【課題】長時間放置された後、印字処理を行う場合における多ノズル抜けの発生を防止できる、流体噴射装置のクリーニング方法、及び流体噴射装置を提供する。
【解決手段】ターゲットに流体を噴射する複数の噴射ノズル４７と、噴射ノズル４７へ流体を供給する共通流体室と、を有する噴射ヘッド３を備える流体噴射装置のクリーニング方法である。ターゲットへの流体噴射に先立ち、噴射ノズル４７から流体を排出させる予備排出動作を行う予備排出ステップと、予備排出ステップ終了後の各噴射ノズル４７における流体の噴射状況を検出する検出ステップと、検査結果に基づいて、噴射ヘッド３のクリーニング時における処理パラメータを決定するパラメータ決定ステップと、処理パラメータに基づき噴射ヘッド３に対してクリーニングを行うクリーニングステップと、を有する。予備排出ステップにおいては、少なくとも共通流体室の容積に相当する流体を噴射する。
【選択図】図４

Description

本発明は、流体噴射装置のクリーニング方法、及び流体噴射装置に関するものである。

流体噴射装置として、記録ヘッド（噴射ヘッド）の噴射口より記録媒体にインク（流体）を噴射するインクジェット式記プリンタ（以下、プリンタと称す）が知られている。このようなプリンタでは、時間の経過に伴って噴射口からのインクの吐出速度や吐出量が変化し、インクの吐出状態（噴射状態）が変化する。このため、インクの吐出速度や吐出量を所望の範囲に維持するために、定期的に記録ヘッドのクリーニング処理が行われる。

記録ヘッドの内部には、時間の経過に伴って気泡が成長したりインクが増粘することでインクの吐出速度や吐出量が所望の値を超えてしまい、吐出不良が生じる。そこで、前回のクリーニングからの経過時間や記録ヘッドの累積印字時間に基づいてタイマークリーニングを行い、インクの吐出不良を防止するプリンタがある（例えば、特許文献１参照）。また、吐出不良がないかどうかを検査した後、クリーニングを行うプリンタがある（例えば、特許文献２参照）。
特開２００１−２１９５６７号公報 特開２００７−０２１７８３号公報

ところで、上記プリンタを用いる場合、インク内に混在される気泡が徐々に成長する。この状態で、吐出不良検査を行っても正常に吐出するが、その後比較的多くのインクが吐出される印字処理を行うとそのとき移動する流体量により気泡が流路内で潰れて広がり、流路を閉塞し、多数のノズル抜けが発生することで、所望の印字処理が実行できなくなるおそれがあった。

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであって、印字処理を行う場合における多ノズル抜けの発生を防止する、流体噴射装置のクリーニング方法、及び流体噴射装置を提供することを目的としている。

上記課題を解決するために、本発明の流体噴射装置のクリーニング方法は、ターゲットに流体を噴射する複数の噴射ノズルと、該噴射ノズルへ前記流体を供給する共通流体室と、を有する噴射ヘッドを備える流体噴射装置のクリーニング方法において、前記ターゲットへの流体噴射に先立ち、前記噴射ノズルから前記流体を排出させる予備排出動作を行う予備排出ステップと、該予備排出ステップ終了後の前記各噴射ノズルにおける前記流体の噴射状況を検出する検出ステップと、該検査結果に基づいて、前記噴射ヘッドのクリーニング時における処理パラメータを決定するパラメータ決定ステップと、前記処理パラメータに基づき前記噴射ヘッドに対してクリーニングを行うクリーニングステップと、を有し、前記予備排出ステップにおいては、少なくとも前記共通流体室の容積に相当する前記流体を噴射することを特徴とする。

流体噴射装置を使用する場合、流体内に混在する気泡が徐々に成長してしまう。この場合において、流体噴射量の比較的多い処理を実行すると、多数のノズル抜けが誘発してしまい、印字処理を良好に行うことができなくなる可能性がある。そこで、本発明を採用すれば、予備排出動作により少なくとも共通流体室の容量に相当する量の流体（多量の流体）を噴射ノズルから排出させることで印字処理に先立ち、多ノズル抜けを誘発させることが可能となる。このように予備排出処理によって多ノズル抜けが発生した場合、クリーニングステップにより流体の噴射特性を回復させることができる。したがって、印字処理に先立ち、予め誘発させたノズル抜けをクリーニングで回復させることにより、印字中に多ノズル抜けが発生することが無く、信頼性の高い印字処理を行うことができる。

また、上記流体噴射装置のクリーニング方法においては、前記検出ステップは、前記流体の噴射不良を引き起こす不良ノズルを検出し、前記パラメータ決定ステップは、前記不良ノズルの数に基づいて前記パラメータを決定するのが好ましい。
この構成によれば、不良ノズルの数に応じた最適なクリーニング処理パラメータとして、例えば吸引時の圧力を設定することで、不良ノズルに応じた強さで吸引動作を行うことができる。不良ノズルの数が多ければ、流路中の気泡によるものであると推測できるので気泡を排出する程度に吸引時の圧力を設定し、不良ノズルの数が少なければ、ノズル部での流体メニスカスの破壊などが原因であると推測できるので、ノズル部の流体を吸引する程度に吸引時の圧力を設定する。これにより噴射ノズルから流体が必要以上に吸引されてしまうといった不具合を防止することができ、信頼性の高いクリーニング処理を行うことができる。
また、上記流体噴射装置のクリーニング方法においては、前記検出ステップと前記パラメータ決定ステップの間において、前記検出結果に基づいて、前記噴射ヘッドのクリーニングを行うか否かを決定するクリーニング決定ステップを有するのが好ましい。
この構成によれば、不良ノズルがなければクリーニングを行う必要がなく、噴射ノズルから流体が無駄に吸引されてしまうといった不具合を防止することができる。

また、上記流体噴射装置のクリーニング方法においては、前記検出ステップにおいては、前記噴射ヘッドにおける前記噴射ノズルが形成されたノズル開口面と、該ノズル開口面に対して非接触状態で対向配置される流体受部との間に電界を付与すると共に、前記噴射ノズルから前記流体受部に向けて前記流体を噴射させ、前記流体受部に向けて前記流体を噴射した際の静電誘導に基づく電圧変化により、前記ノズルの噴射状況を検出するのが好ましい。
この構成によれば、噴射ノズル毎に流体が良好に噴射できるか否かの流体噴射状況を正確に把握することが可能となる。よって、精度の高い検出結果に基づいてクリーニング処理のパラメータが決定されるので、クリーニング時に噴射ノズルから必要以上に流体が吸引されてしまうといった不具合を防止できる。

本発明の流体噴射装置は、ターゲットに流体を噴射する複数の噴射ノズルと、該噴射ノズルへ前記流体を供給する共通流体室と、を有する噴射ヘッドを備える流体噴射装置において、前記ターゲットへの流体噴射に先立ち、前記噴射ノズルから前記流体を排出させる予備排出動作を行う排出装置と、前記予備排出動作後の前記各噴射ノズルにおける前記流体の噴射状況を検出すると共に、該検出結果に基づいて前記噴射ヘッドに対してクリーニングを行う際の処理パラメータを決定する流体検出部と、前記フラッシング装置及び前記流体検出部に電気的に接続され、前記処理パラメータに基づいて前記噴射ヘッドに対するクリーニング処理を実行する制御装置と、を備え、該制御装置は、少なくとも前記共通流体室の容積に相当する量の前記流体を噴射させるように前記予備排出動作を行うことを特徴とする。

流体噴射装置を使用する場合、流体内に混在する気泡が成長してしまう。この場合において、流体噴射量の比較的多い処理を実行すると、多数のノズル抜けを誘発してしまい、印字処理を良好に行うことができなくなる可能性がある。そこで、本発明を採用すれば、予備排出動作により少なくとも共通流体室の容量に相当する量の流体（多量の流体）を噴射ノズルから噴射させることで印字処理に先立ち、多ノズル抜けを誘発させることが可能となる。このように予備排出処理によって多ノズル抜けが発生した場合、クリーニングステップにより流体の噴射特性を回復させることができる。したがって、印字処理に先立ち、予め誘発させたノズル抜けをクリーニングで回復させることにより、印字中に多ノズル抜けが発生することが無く、信頼性の高い印字処理を行うことができる。

以下、本発明に係る流体噴射装置のクリーニング方法、及び流体噴射装置の実施形態について、図を参照して説明する。本実施形態では、本発明に係る流体噴射装置として、インクジェット式プリンタ（以下、プリンタ１と称す）を例示する。図１は、本発明の実施形態に係るプリンタの概略構成を示す一部分解図である。

プリンタ１は、サブタンク２及び記録ヘッド３を搭載したキャリッジ４と、プリンタ本体５とから概略構成される。プリンタ本体５には、キャリッジ４を往復移動させるキャリッジ移動機構６５（図７参照）と、不図示の記録紙（流体噴射対象）を搬送する紙送り機構６６（図７参照）と、記録ヘッド（噴射ヘッド）３のクリーニング機構としてのクリーニング機構１４と、記録ヘッド３に供給するインクを貯留したインクカートリッジ６とが設けられている。

また、プリンタ１は、記録ヘッド３から吐出されるインク滴Ｄを検出可能なインク滴センサ（流体検査部）７を備えている（図４，７参照）。このインク滴センサ７は、記録ヘッド３のノズルから吐出されるインク滴Ｄを帯電させ、この帯電したインク滴Ｄが飛翔する際の静電誘導に基づく電圧変化を検出信号として出力することで、ノズルのインク吐出状態を把握可能とするように構成されたものである。なお、このインク滴センサ７の詳細については、後述する。

上記キャリッジ移動機構６５は、図１に示される、プリンタ本体５の幅方向に架設されたガイド軸８と、パルスモータ９と、パルスモータ９の回転軸に接続されてこのパルスモータ９によって回転駆動される駆動プーリー１０と、駆動プーリー１０とはプリンタ本体５の幅方向の反対側に設けられた遊転プーリー１１と、駆動プーリー１０と遊転プーリー１１との間に掛け渡されてキャリッジ４に接続されたタイミングベルト１２と、から構成されている。
そして、パルスモータ９を駆動することで、キャリッジ４がガイド軸８に沿って主走査方向に往復移動するように構成されている。また、上記紙送り機構６６は、紙送りモータやこの紙送りモータによって回転駆動される紙送りローラ（いずれ不図示）等から構成され、記録紙を記録（印字・印刷）動作に連動させてプラテン上に順次送り出すようになっている。

図２は、プリンタにおける記録ヘッドの構成を説明する断面図であり、図３は、記録ヘッドの構成を説明する要部断面図である。また、図４は記録ヘッド３の周辺における要部構成を示す模式図である。

図２に示されるように、本実施形態における記録ヘッド３は、導入針ユニット１７、ヘッドケース１８、流路ユニット１９及びアクチュエータユニット２０を主な構成要素としている。
導入針ユニット１７の上面にはフィルタ２１を介在させた状態で２本のインク導入針２２が横並びで取り付けられている。これらのインク導入針２２には、サブタンク２がそれぞれ装着される。また、導入針ユニット１７の内部には、各インク導入針２２に対応したインク導入路２３が形成されている。
このインク導入路２３の上端はフィルタ２１を介してインク導入針２２に連通し、下端はパッキン２４を介してヘッドケース１８内部に形成されたケース流路２５と連通する。
なお、本実施形態は、２種類のインクを使用する構成であるため、サブタンク２を２つ配設しているが、本発明は３種類以上のインクを使用する構成にも当然に適用されるものである。

サブタンク２は、ポリプロピレン等の樹脂製材料によって成型されている。このサブタンク２には、インク室２７となる凹部が形成され、この凹部の開口面に透明な弾性シート２６を貼設してインク室２７が区画されている。
また、サブタンク２の下部にはインク導入針２２が挿入される針接続部２８が下方に向けて突設されている。サブタンク２におけるインク室２７は、底の浅いすり鉢形状をしており、その側面における上下中央よりも少し下の位置には、針接続部２８との間を連通する接続流路２９の上流側開口が臨んでおり、この上流側開口にはインクＬを濾過するタンク部フィルタ３０が取り付けられている。針接続部２８の内部空間にはインク導入針２２が液密に嵌入されるシール部材３１が嵌め込まれている。

このサブタンク２には、図４に示されるようにインク室２７に連通する連通溝部３２′を有する延出部３２が形成されており、この延出部３２の上面にはインク流入口３３が突設されている。このインク流入口３３には、インクカートリッジ６に貯留されたインクＬを供給するインク供給チューブ３４が接続される。従って、インク供給チューブ３４を通ってきたインクＬは、このインク流入口３３から連通溝部３２′を通ってインク室２７に流入するようになっている。

図２に示した上記弾性シート２６は、インク室２７を収縮させる方向と膨張させる方向とに変形可能である。そして、この弾性シート２６の変形によるダンパ機能によって、インクＬの圧力変動が吸収される。すなわち、弾性シート２６の作用によってサブタンク２が圧力ダンパとして機能する。従って、インクＬは、サブタンク２内で圧力変動が吸収された状態で記録ヘッド３側に供給されるようになっている。

ヘッドケース１８は、合成樹脂製の中空箱体状部材であり、下端面に流路ユニット１９を接合し、内部に形成された収容空部３７内にアクチュエータユニット２０を収容し、流路ユニット１９側とは反対側の上端面にパッキン２４を介在した状態で導入針ユニット１７を取り付けるようになっている。
このヘッドケース１８の内部には、高さ方向を貫通してケース流路２５が設けられている。このケース流路２５の上端は、パッキン２４を介して導入針ユニット１７のインク導入路２３と連通するようになっている。
また、ケース流路２５の下端は、流路ユニット１９内の共通インク室４４に連通するようになっている。したがって、インク導入針２２から導入されたインクＬは、インク導入路２３及びケース流路２５を通じて共通インク室４４側に供給される。

また、ヘッドケース１８の収容空部３７内に収容されるアクチュエータユニット２０は、図３に示されるように、櫛歯状に列設された複数の圧電振動子３８と、この圧電振動子３８が接合される固定板３９と、プリンタ本体側からの駆動信号を圧電振動子３８に供給する配線部材としてのフレキシブルケーブル４０とから構成される。各圧電振動子３８は、固定端部側が固定板３９上に接合され、自由端部側が固定板３９の先端面よりも外側に突出している。即ち、各圧電振動子３８は、所謂片持ち梁の状態で固定板３９上に取り付けられている。

また、各圧電振動子３８を支持する固定板３９は、例えば厚さ１ｍｍ程度のステンレス鋼によって構成されている。そして、アクチュエータユニット２０は、固定板３９の背面を、収容空部３７を区画するケース内壁面に接着することで収容空部３７内に収納・固定されている。

流路ユニット１９は、振動板（封止板）４１、流路基板４２及びノズル基板４３からなる流路ユニット構成部材を積層した状態で接着剤で接合して一体化することにより作製されており、共通インク室４４からインク供給口４５及び圧力室４６を通りノズル４７に至るまでの一連のインク流路（液体流路）を形成する部材である。圧力室４６は、ノズル４７の列設方向（ノズル列方向）に対して直交する方向に細長い室として形成されている。
また、共通インク室４４は、ケース流路２５と連通し、インク導入針２２側からのインクＬが導入される室である。
そして、この共通インク室４４に導入されたインクＬは、インク供給口４５を通じて各圧力室４６に分配供給される。

上記クリーニング機構１４は、図４に示されるようにキャップ部材１５、吸引ポンプ１６等から構成される。キャップ部材１５は、ゴム等の弾性材をトレイ形状に成型した部材によって構成してあり、ホームポジションに配設されている。このホームポジションとは、キャリッジ４の移動範囲内であって記録領域よりも外側の端部領域に設定され、記録ヘッド３のノズル４７からインクを吐出することで噴射特性を回復又は維持するフラッシング動作を行う際、又は記録ヘッド３による記録動作前や記録動作中等においてインクＬや気泡を排出すべく、インク滴Ｄを吐出するフラッシング処理を行う際に、キャリッジ４が位置する場所である。

また、キャップ部材１５は、記録ヘッド３のクリーニング処理時にキャリッジ４がホームポジションに位置する。このとき、キャップ部材１５が記録ヘッド３のノズル基板４３の表面（即ち、ノズル開口面４３ａ）に当接して封止した状態で処理を行う。クリーニング処理は、封止状態で吸引ポンプを動作させることで、キャップ部材１５の内部を減圧し、記録ヘッド３内のインクＬをノズル４７から強制的に排出する処理である。

ところで、本実施形態に係るプリンタ１は、主にビジネス用途（例えば、文書作成）に用いられる。

ここで、インクカートリッジ６に貯留されたインクＬは上述したようにインク供給チューブ３４を介してインク導入針２２に供給されるようになっている。そして、インクカートリッジ６の交換の際に空気を取り込んでしまうと、インク導入針２２に供給されたインクＬ内には気泡が浮遊した状態となる。また、脱気していないインクを用いた場合は、インク中に気泡が溶存している状態となる。

そこで、プリンタ１を長期間使用すると、上記溶存気泡が気泡へと成長し、浮遊している気泡はさらに成長する。これらの気泡が記録ヘッドへ供給されると吐出不良となるので図２に示したフィルタ２１にて気泡の通過を防止している。フィルタ２１は、液体を通過させるが大きな気泡を通過させないメッシュ状になっている。ここで、フィルタ自体は流路の抵抗となり、そこに気泡が存在するとさらに流路面積が減るので、フィルタを配置している部屋は他の流路より断面積を大きくし、フィルタや気泡による流路抵抗の増加を防いでいる。これによりフィルタに気泡が存在しても気泡の周囲をインクが流れていく。ところが、ＤＵＴＹの高い吐出を行う（吐出量が多い）と上記フィルタ２１に張り付いた気泡がインクの流れにより押しつぶされ、フィルタ全体を塞いでしまうことによりインクＬがインク導入路２３からケース流路２５を介し、流路ユニット１９内の共通インク室４４に良好に供給することができなくなってしまう。すると、共通インク室４４からインク供給口４５を通じて各圧力室４６にインクＬを供給できなくなってしまい、結果的に多数のノズル４７からインクが吐出されない、所謂、多ノズル抜けの状態を生じる可能性がある。

そこで、本実施形態では長期間待機状態とされたプリンタ１において印字動作を行う場合、プリンタ１の印字処理に先立ち、ノズル４７からインクを吐出させる予備フラッシング動作（予備排出動作）を行うフラッシング装置（排出装置）として、上記キャップ部材１５を備えている。また、プリンタ１は、上記予備フラッシング動作後の各ノズル４７におけるインクの噴射状況を検出すると共に、この検出結果に基づいて記録ヘッド３のクリーニング時における処理パラメータを決定する検査装置として、上記インク滴センサ７を備えている。さらに、プリンタ１は、上記処理パラメータに基づいて、上記クリーニング機構１４を動作させ、上記記録ヘッド３に対するクリーニング処理を実行する制御装置５８と、を備え、クリーニング処理を実行可能となっている。

すなわち、本実施形態に係るプリンタ１は、所定時間待機状態とされた記録ヘッド３における印字処理に先立ち、ノズル４７からインクを吐出させる予備フラッシング動作を行う予備フラッシングステップと、この予備フラッシングステップ終了後の各ノズル４７におけるインクの噴射状況を検出する検出ステップと、この検出結果に基づいて、記録ヘッド３のクリーニング時における処理パラメータを決定する検査ステップと、この処理パラメータに基づき記録ヘッド３に対しクリーニングを行うクリーニングステップと、を含むクリーニングが行われるようになっている。

また、上記制御装置５８は、上記予備フラッシング処理において、上記共通インク室（共通流体室）４４の容積に相当する量のインクを噴射させる。従来は、予備フラッシング処理において、フラッシングを各ノズルで数滴吐出すればインクの噴射状況を検出することができた。しかし、数滴ではインクの流れが速くなく時間も短いのでフィルタに張り付いた気泡を押しつぶすことはできない。そのため、従来の予備フラッシング処理では、その後の印字中により多くのインク滴を吐出すると多ノズル抜けになるような気泡が存在していてもそれを検出することができなかった。なお、従来では吐出不良を検出するだけでなく、気泡の成長を前回のクリーニングからの時間によって推測して、気泡が大きくなってきた時間になったらクリーニングを行うようにしていた。しかし、気泡の成長は周囲の温度や、それまでのインクカートリッジ６の交換回数などによっても異なる。そのため、まだ多ノズル抜けに至らない程度の気泡の大きさであってもクリーニングをすることによりインクをより多く消費してしまうことがあった。本願では、このように予備フラッシング処理により多量のインクをノズル４７から吐出させることで印字処理前に多ノズル抜けの状態を誘発させることが可能となる。ここで重要なのは、多ノズル抜けを起こすためには、気泡をインクの流れにより押しつぶす必要があるので、それに必要なインクを流すことになる。従来行っている、ノズル内のインク増粘を抑制するためのフラッシングは、ノズル開口部のインク量を排出するだけであり僅かな時間しか吐出しないので、全ノズルを吐出しても気泡をつぶすことはできない。吐出不良検出のためのフラッシングも同様である。そこで、フィルタ上の気泡をつぶして閉塞するだけの時間流す量として、少なくとも共通インク室（共通流体室）４４の容積に相当する量のインクを流す必要がある。少なくとも共通インク室の容積なので、それより大きい容積、例えばノズルから共通インク室４４までの容積でも良いし、フィルタ２１からインク導入針２２までの容積でも良いし、共通インク室４４からフィルタ２１までの容積でもよい。なお、多量のインクを流すことができればよいので、全ノズルから吐出する必要はない。また、その量をノズル４７から排出できればよいので、フラッシングではなく吸引や加圧によってインクを流しても良い。予備フラッシング動作や吸引や加圧が予備排出動作に相当する。このように予備フラッシング処理によって多ノズル抜けが誘発された場合は、クリーニング機構１４によるクリーニング処理によって記録ヘッド３の吐出特性を回復できる。これにより、長時間の使用により気泡が成長したプリンタ１に印字処理を実行させる場合であっても、印字中に多ノズル抜けが発生するのを防止し、プリンタ１の信頼性が向上させている。
また、予備フラッシング処理によって多ノズル抜けが誘発されなかった場合、クリーニングは行われないことになる。その後の印字中に気泡が成長し、比較的多くのインク量を使用する高ＤＵＴＹ印字をされたときに多ノズル抜けを発生してしまうのでは意味がない。そこで、予備フラッシング処理によって流すインク量は、印字時にありうる高ＤＵＴＹ印字で流れるインク量より多くし、印字中に気泡が成長しても多ノズル抜けにならないようにする。どの程度インク量を多くするかは、予備フラッシング処理の間隔をどの程度の頻度で設定するかによる。例えば、朝から夜までプリンタを稼動する場合、約１日で気泡が成長する分を見込めばよい。しかし、毎日予備フラッシング処理を行うと、それによって消費されるインク量が多くなり、その分、印字に使うインク量が少なくなってしまう。そこで、タイマにより１週間毎に予備フラッシング動作をするようにし、１週間分の気泡成長分を見込んでインク量を設定すれば、予備フラッシング動作は１週間に１度になり、インク消費量を削減できる。もともと１日での気泡成長は微量であり、インク量として差を確実に出すためにも少なくとも１週間以上が必要となる。なお、印字処理の前に予備フラッシング処理をしないときは、気泡以外の原因で吐出不良がないかを確認するために、従来のような数滴のフラッシングでの吐出検査を行っても良い。

流路ユニット１９の底部に配置されるノズル基板４３は、ドット形成密度に対応したピッチ（例えば１８０ｄｐｉ）で複数のノズル４７を列状に開設した金属製の薄い板材である。本実施形態のノズル基板４３は、ステンレス鋼の板材によって作製され、本実施形態においてはノズル４７の列（即ち、ノズル列）が、各サブタンク２に対応して合計８列並設されている。そして、１つのノズル列は、例えば、１８０個のノズル４７によって構成される。ノズル基板４３と振動板４１との間に配置される流路基板４２は、インク流路となる流路部、具体的には、共通インク室４４、インク供給口４５及び圧力室４６となる空部が区画形成された板状の部材である。

本実施形態において、流路基板４２は、結晶性を有する基材であるシリコンウェハを異方性エッチング処理することによって作製されている。振動板４１は、ステンレス鋼等の金属製の支持板上に弾性フィルムをラミネート加工した二重構造の複合板材である。この振動板４１の圧力室４６に対応する部分には、エッチングなどによって支持板を環状に除去することで、圧電振動子３８の先端面が接合される島部４８が形成されており、この部分はダイヤフラム部として機能する。即ち、この振動板４１は、圧電振動子３８の作動に応じて島部４８の周囲の弾性フィルムが弾性変形するように構成されている。また、振動板４１は、流路基板４２の一方の開口面を封止し、コンプライアンス部４９としても機能する。このコンプライアンス部４９に相当する部分についてはダイヤフラム部と同様にエッチングなどにより支持板を除去して弾性フィルムだけにしている。

そして、上記の記録ヘッド３において、フレキシブルケーブル４０を通じて駆動信号が圧電振動子３８に供給されると、この圧電振動子３８が素子長手方向に伸縮し、これに伴い島部４８が圧力室４６に近接する方向或いは離隔する方向に移動する。これにより、圧力室４６の容積が変化し、圧力室４６内のインクＬに圧力変動が生じる。この圧力変動によってノズル４７からインク滴Ｄが吐出される。

インクカートリッジ６は、図４に示したように、中空箱形状に形成されたケース部材５１と、可塑性材料によって形成されたインクパック５２とから構成されており、ケース部材５１内の収容室にインクパック５２を収容している。
このインクカートリッジ６は、インク供給チューブ３４の一端部と連通しており、記録ヘッド３のノズル開口面４３ａとの水頭差によってインクパック５２内のインクＬを記録ヘッド３側に供給するように構成されている。具体的には、インクカートリッジ６と記録ヘッド３との重量方向の相対的な位置関係がノズル４７のメニスカスに対して極僅かに負圧がかかるような状態に設定されている。
そして、圧電振動子３８を駆動することによる圧力変化によって、圧力室４６にインクＬを供給すると共に、上述したように圧力室４６内からインク滴Ｄを吐出させるようになっている。

（インク滴センサ７）
続いて、上記インク滴センサ７の構成について詳細に説明する。インク滴センサ７は、図４に示されるように記録ヘッド３のノズル開口面４３ａと所定ギャップを介して対向するように配置され、ノズル４７から吐出されたインクが供給される検出部７８を有し、ノズル４７から吐出されたインクに応じた検出波形を出力することで各ノズル４７におけるインクの吐出状況を検出可能とする検出装置７６と、検出装置７６から出力された検出波形に基づいて、インクの重量に関する情報を取得する処理装置８２とを備える。上記処理装置８２は、検出装置７６の検出結果に基づき、クリーニング処理のパラメータを決定する機能を有する。

上記検出装置７６は、検出部７８と記録ヘッド３のノズル開口面４３ａとの間に電圧を印加する電圧印加器７５と、検出部７８の電圧を検出する電圧検出器８１とを備えている。なお、本実施形態においては、検出装置７６の検出部７８は、上述したようにホームポジションに配置されている上記キャップ部材１５の内側に設けられている。

上記キャップ部材１５は、上面が開放されたトレイ状の部材であり、エラストマー等の弾性部材により作製されている。このキャップ部材１５の内側には、インク吸収体７７と電極部材７９とが配設されている。電極部材７９は、例えばステンレス鋼等の金属のメッシュ部材で形成されている。検出部７８は、電極部材７９の上面によって形成されている。検出部７８は、キャップ部材１５の上端面よりも低い位置に配置されている。

インク吸収体７７は、例えば非記録中には、インク吸収体７７に吸収されたインクが、ノズル開口面４３ａとキャップ部材１５とが当接することによって形成された空間内を保湿し、ノズル４７内のインクの乾燥を抑制可能となっている。

検出部７８上に着弾したインク滴Ｄは、格子状の電極部材７９の隙間を通過して下側に配置されたインク吸収体７７に保持（吸収）されるようになっている。なお、インク滴Ｄが通過できれば、電極部材７９はメッシュ部材でなくてもよい。また、インク吸収体７７が無い場合には、電極部材７９は、キャップ部材１５の底面から延びるように設けられたリブに保持される。上述のように、キャップ部材１５の底には、不図示のチューブが接続されており、インク吸収体７７のインク滴Ｄはチューブを介して、吸引ポンプ１６によって吸引され外部に排出されるようになっている。

電圧印加器７５は、記録ヘッド３のノズル基板４３の噴射面（ノズル開口面４３ａ）と電極部材７９の検出部（上面）７８との間に電圧を印加可能な電子回路を含む。本実施形態においては、電圧印加器７５は、電極部材７９が正極、ノズル基板４３が負極となるように、直流電源と抵抗素子とを介して、電極部材７９とノズル基板４３とを電気的に接続する。

上述のように、ノズル基板４３はステンレス鋼等の金属で形成されており、電極部材７９はステンレス鋼等の金属で形成されており、ノズル基板４３及び電極部材７９のそれぞれは導電性を有する。すなわち、電圧印加器７５は、ノズル開口面４３ａと検出部７８との間に電圧を印加可能となっている。

電圧検出器８１は、電極部材７９の電圧信号を積分して出力する積分回路、この積分回路から出力された信号を反転増幅して出力する反転増幅回路、及びこの反転増幅回路から出力された信号をＡ／Ｄ変換して出力するＡ／Ｄ変換回路等を含む。

本実施形態においては、検出装置７６は、ノズル開口面４３ａと検出部７８との間に電界を与えて、ノズル４７から検出部７８にインクが移動するときの静電誘導に基づく電圧値の時間的変化を検出波形として処理装置８２に出力する。処理装置８２は、検出装置７６の出力を演算処理可能であり、検出装置７６から出力された検出波形に基づいて、インクの重量に関する情報を取得可能となっている。

ここで、インク滴センサ７の原理、すなわち静電誘導によって誘導電圧が生じる原理について図面を参照しながら説明する。図５は、静電誘導によって誘導電圧が生じる原理を説明する模式図であり、同図（ａ）はインク滴Ｄが吐出された直後の状態を示し、同図（ｂ）はインク滴Ｄがキャップ部材１５の検査領域７４に着弾した状態を示している。図６は、インク滴センサ７から出力される検出信号（インク１滴分）の波形の一例を示す図である。ノズル基板４３と電極部材７９との間に電圧が印加した状態で、吐出パルスＤＰを用いて圧電振動子３８を駆動させて、任意の一つノズル４７からインク滴Ｄを吐出させる。

この際、ノズル基板４３は負極となっているため、図５（ａ）に示すように、ノズル基板４３の一部の負電荷がインク滴Ｄに移動し、吐出されたインク滴Ｄは負に帯電する。そして、このインク滴Ｄがキャップ部材１５の検出部７８に対して近づくに連れ、静電誘導によって電極部材７９の表面では正電荷が増加する。
これにより、ノズル基板４３と電極部材７９との間の電圧は、静電誘導によって生じる誘導電圧により、インク滴Ｄを吐出しない状態における当初の電圧値よりも高くなる。
その後、図５（ｂ）に示すように、インク滴Ｄが電極部材７９に着弾すると、インク滴Ｄの負電荷により電極部材７９の正電荷が中和される。このため、ノズル基板４３と電極部材７９との間の電圧は当初の電圧値を下回る。
そして、その後に、ノズル基板４３と電極部材７９との間の電圧は当初の電圧値に戻る。
したがって、図６に示すように、インク滴センサ７から出力される検出波形は、一旦電圧が上昇した後に、当初の電圧値を下回るまで下降し、その後当初の電圧値に戻る波形となる。
このようにして、インク滴センサ７により各ノズル４７からインク滴Ｄを吐出した際の電圧変化が検出される。

ところが、例えばノズル抜けが生じている場合、同一の吐出パルスＤＰを用いたとしても、インク滴Ｄが着弾しないために波形が得ることができない。よって、抜けが生じたノズル４７を良好に検出することができる。

また、インク滴センサ７は、上記検出結果に基づいて、処理装置８２がクリーニングパラメータを決定するようになっている。本実施形態では、クリーニング時の吸引動作における上記吸引ポンプ１６の駆動条件をクリーニングパラメータとした。

このようなインク滴センサ７を用いることで、各ノズル４７から１滴ずつ吐出することによりノズル４７毎にインクが良好に吐出できるか否かのインク吐出状況を正確に把握することが可能となる。よって、精度の高い検出結果に基づいてクリーニング時の処理パラメータを決定することができ、クリーニング時にノズル４７から必要以上にインクが吸引されてしまうといった不具合を防止できる。なお、吐出するインク滴は１滴ではなく、数滴ずつでもよい。

図７はプリンタ１の電気的な構成を示すブロック図である。本実施形態におけるプリンタ１は、プリンタ１全体の動作を制御する制御装置５８を備えている。この制御装置５８には、プリンタ１の動作に関する各種情報を入力する入力装置５９と、プリンタ１の動作に関する各種情報を記憶した記憶装置６０と、時間の計測を実行可能な計測装置６１とが接続されている。

また、制御装置５８には、上述した紙送り機構６６、キャリッジ移動機構６５、キャッピング機構１４、及びインク滴センサ７（検出装置７６、処理装置８２）等が接続されている。

また、プリンタ１は、圧電振動子３８に入力する駆動信号を発生する駆動信号発生器６２を備えている。この駆動信号発生器６２は、制御装置５８に接続されている。

以上の構成により、プリンタ１は、インク滴センサ７の検出装置７６における検出結果に基づいて処理装置８２が決定したクリーニングパラメータを記憶装置６０に保持する。そして、プリンタ１は記憶装置６０から呼び出したクリーニングパラメータに基づいて、吸引ポンプ１６を駆動させることでクリーニング処理を実行するようになっている。よって、プリンタ１は、記録ヘッド３の各ノズル４７内から増粘したインクＬや気泡等を吸引してキャップ部材１５内に強制的に排出し、記録ヘッド３の噴射特性を回復させることができる。

続いて、図８〜図１０に示すフローを参照しながら本発明における流体噴射装置のクリーニング方法の一実施形態として、上記プリンタ１のクリーニング方法について具体的に説明する。

本実施形態におけるプリンタ１におけるクリーニング処理は、記録ヘッド３の初期駆動時、すなわちプリンタ１の電源ＯＮ時や、印字処理前に実行される。
そして、本実施形態のクリーニング処理は、ノズル４７からインクを吐出させる予備フラッシング動作を行う予備フラッシングステップと、この予備フラッシングステップ終了後の各ノズル４７におけるインクの噴射状況を検出する検出ステップと、この検出結果に基づいて、記録ヘッド３のクリーニング時における処理パラメータを決定する検査ステップと、この処理パラメータに基づき記録ヘッド３に対しクリーニングを行うクリーニングステップと、を含む。

以下、クリーニング処理について具体的に説明する。
まず、クリーニング処理の準備工程について図８を参照にしながら説明する。この準備工程では、昇降機構（不図示）によってキャップ部材１５が下降して、記録ヘッド３がキャップ部材１５の上方に位置付けられ、記録ヘッド３のノズル開口面４３ａと電極部材７９とが非接触状態で対向させ、これによりインク滴センサ７が待機状態とされる（ステップＳ１）。なお、インク滴センサ７を利用しない場合、プリンタ１は通常印字処理状態を継続する（ステップＳ２）。

続いて、制御装置５８は前回の予備フラッシング動作からの経過時間を検出する。このとき、前回の予備フラッシング動作から１週間（１Ｗ）以上経過している場合、印字開始前フラッシング（予備フラッシングステップ）を行う（ステップＳ３，４）。なお、上記時間が経過していない場合は何もしない。

ここで、予備フラッシング処理が、プリンタ１の印字動作前に実行される場合、上述したようにプリンタ１に多ノズル抜けが生じるおそれがある。このような場合、後述のインク滴センサ７による検査ステップに先立ち、制御装置５８は、予備フラッシング動作を行い、上記共通インク室４４の容積に相当する量のインクをノズル４７から吐出させる。このインク量は通常行われるフラッシング処理時に比べて多量である。上述したインク量を吐出するためには、吐出時におけるＤＵＴＹを高くする必要がある。したがって、このようなＤＵＴＹの高い予備フラッシング動作を行うことで、上述した気泡に起因するノズル抜けを誘発させることができる。これにより、印字処理に先立ち、多ノズル抜けを発生させることができる。なお、本発明は印字処理中に多ノズル抜けを発生するような気泡が流路内に存在する場合に、印字処理前にノズル抜けを誘発させることが目的であり、上述したインク量を吐出した場合においてノズル抜けが発生しないノズル４７が存在してもよい。

続いて、不図示のサーミスタにより記録ヘッド３の温度検出を行い、温度データを記憶装置６０に記憶する（ステップＳ５）。ここで、記録ヘッド３の温度は、ノズル４７から吐出されるインクの粘度に影響を及ぼす。そのため、インクの粘度に応じて後述するクリーニングパラメータを変化させるようにしている。具体的に本実施形態では、上述のように記憶装置６０に記憶されたヘッド温度に基づいて、吸引動作時における吸引ポンプ１６の吸引力を微調整するようにしている。

続いて、インク滴センサ７における検査工程について図９に示すフローを参照して説明する。この図９に示されるフローは、クリーニング処理のうち、各ノズル４７におけるインクの噴射状況を検出する検出ステップに対応するものである。

まず、ノズル列カウンタ（＝１）をセットする（ステップＳ６）。このノズル列カウンタは、記録ヘッド３のノズル列に対応するものであって、後述するようにノズル列毎の検査が終了するに従いインクリメント（＋１ずつ加算）される。

次に、電圧印加器７５によって、ノズル基板４３と電極部材７９との間に電圧を印加する。すなわち、インク滴センサ７をＯＮ状態とする（ステップＳ７）。このとき、例えば電圧が良好に印加されず、センサ不良が検出された場合、上記ノズル基板４３及び電極部材７９間への電圧印加を中止（センサＯＦＦ）し、通常印字処理状態に戻す。

一方、良好に電圧が印加された場合（センサ不良無）、インク滴センサ７によりノズル列毎の各ノズル４７に対してそれぞれ検査を行う（ステップＳ８）。なお、検査は、図５を参照して説明したようにして実行される。ノズル列に対する検査が終了した後、上述したノズル列カウンタがノズル列分（８列）に対応しているか否か判定する。ここで、ノズル列カウンタが８未満の場合、ノズル列カウンタをインクリメント（＋１）し（ステップＳ１９）、ステップＳ１６に戻り、他のノズル列に対して同様の検査を行う。全てのノズル列に対して検査が終了するまで、上記ステップＳ８〜ステップＳ１０までのフローが繰り返えされる。全てのノズル列に対して検査が終了した後、ノズル基板４３と電極部材７９との間への電圧印加を中止（センサＯＦＦ）する（ステップＳ１１）。

以上のフローにより、ノズル基板４３に形成された全てのノズル４７におけるインクの吐出状態を検出する検出ステップが終了する。このとき、インク滴センサ７の記憶装置６０には不良ノズルの数、及び位置等のデータが記録される。

続いて、上記検出結果に基づき、クリーニング処理のパラメータを決定するパラメータ決定ステップ、及びこのパラメータに基づいてクリーニング処理を実行するクリーニングステップについて図１０に示すフローを参照して説明する。

上記検出ステップが終了した後、まずインク滴センサ７のタイマをリセットすると共に、タイマを再スタート（ＳＴＡＲＴ）する。そして、センサ検出回数カウンタをインクリメントする（ステップＳ１２）。このセンサ検出回数カウンタは、上記インク滴センサ７の起動回数を管理するためのものであり、上記検出ステップを行う毎に値が１ずつ加算される。

ここで、クリーニングパラメータの設定を行う。具体的に、本実施形態ではクリーニングパラメータとして、吸引動作時の強さを抜けノズル（不良ノズル）の数に応じて決定する（ステップＳ１３）。
例えば、抜けノズルが０〜２個の場合において、抜けノズルが隣接する２ノズルの場合、第一クリーニングパラメータＣＬ１が設定される（ステップＳ１４、ステップＳ１５）。この第一クリーニングパラメータＣＬ１は、一般的な強さの吸引力で吸引ポンプ１６を駆動させるもので、ノズル開口のインクメニスカスを回復させたり、ノズル開口部の増粘インクや付着ゴミを除去することができるようノズル近傍のインクを吸引排出する。なお、抜けノズルが隣接しない２個の場合、及び抜けノズルが１個の場合、及び不良ノズルが無い（ゼロ）場合、本実施形態ではこれらを許容し、原則的にはパラメータ決定ステップを行うことなく、クリーニングステップを中止して印字可能状態に戻す（ステップＳ２０）。この理由として、本実施形態に係るプリンタ１は、上述したようにビジネス用途（文書作成）に用いられることから、１個の抜けノズル又は隣接しない２個の抜けノズルの場合、であっても表示品位を大きく損なうといったことはなく問題とならない。よって、本実施形態によれば、実使用上問題とならない場合にまで、クリーニング処理が必要以上に行われてしまうといった不具合の発生を防止している。なお、クリーニングパラメータ設定ステップによりクリーニングを行うかどうかが決められるので、このステップが本願の請求項ではクリーニング決定ステップに相当する。

また、不良ノズルが３〜１０個の場合には、第二クリーニングパラメータＣＬ２を設定するようにしている（ステップＳ１６）。この第二クリーニングパラメータＣＬ２は、上記第一クリーニングパラメータＣＬ１に比べて強力な吸引力が得られるように吸引ポンプ１６を駆動させる。これによりノズル開口近傍よりさらに奥の流路にまで増粘しているインクを排出することができる。

ところで、予備フラッシング処理が長期間待機状態とされたプリンタ１の印字動作前に実行された場合、上述したように多ノズル抜けが生じる可能性がある。この場合、不良ノズルが少なくとも１１個以上検出される。
そこで、本実施形態では、不良ノズルが１１〜１００個の場合に、第三クリーニングパラメータＣＬ３を設定するようにしている（ステップＳ１７）。この第三クリーニングパラメータＣＬ３は、チョーククリーニングに対応する。チョーククリーニングとは、インク流路の上流側の弁を閉じた状態（チョーク状態）とし、ノズル側から吸引ポンプにより吸引する。そして、記録ヘッド３内を負圧にして気泡を膨張させ、この状態で、弁を開いて高流速にてインクを流して気泡を排出させるものである。例えばフィルタ上に付着した気泡は、第二クリーニングパラメータＣＬ２の吸引力ではフィルタを通過することができない。そこで、チョーククリーニングにより確実に気泡を排出することが可能となる。

さらに本実施形態では、不良ノズルがより多い１０１個以上の場合に、第四クリーニングパラメータＣＬ４を設定するようにしている（ステップＳ１８）。この第四クリーニングパラメータＣＬ４は、上記チョーククリーニングを２段階で行う２段階チョーククリーニングに対応する。

このように本実施形態においては、上記インク滴センサ７の検出ステップの検出結果に基づいて、クリーニングパラメータが決定される。このクリーニングパラメータは記憶装置６０内に保持される。本実施形態では、１回のクリーニングによって記録ヘッド３のインク吐出特性の回復を目的とすることから、上記クリーニングパラメータＣＬ１〜ＣＬ４は不良ノズル数に対し、インク吸引量を多めに設定されている。

そして、記録ヘッド３に対してクリーニング処理を実行する（ステップＳ１９）。このとき、制御装置５８は、記憶装置６０内に保持されているクリーニングパラメータＣＬ１〜ＣＬ４のいずれかに基づいて、クリーニング動作を実行する。具体的には、制御装置５８は上記クリーニングパラメータに応じて吸引ポンプ１６の吸引力を設定し、吸引動作を実行する。

そして、図８に示されるようにステップＳ５に戻る。
また、本実施形態においては、各クリーニング処理において、上記クリーニングステップの後、検出ステップを再度行い、該検出結果に応じてパラメータ決定ステップ及びクリーニングステップを繰り返すようにしている。具体的には、クリーニング後に上記検査ステップを実行し、不良ノズルが検出されなかった場合、クリーニング処理が終了となる。クリーニング処理が失敗した場合、上記検出ステップ、パラメータ決定ステップ、及びクリーニングステップが順に繰り返される。これにより、クリーニングにおける失敗の可否を判定することで信頼性を向上している。なお、上述の吸引動作後、ノズル基板４３の表面（即ち、ノズル開口面４３ａ）にワイピング処理を施すようにしてもよい。

したがって、本実施形態に係るプリンタ１によれば、予備フラッシング処理によって多ノズル抜けが発生した場合には、クリーニングパラメータＣＬ３，ＣＬ４に基づいて強力なクリーニング処理が実行されて記録ヘッド３の吐出特性が回復される。したがって、印字処理に先立ち、予め誘発させたノズル抜けをクリーニンプリンタ１に印字処理を実行させる場合であっても、印字中に多ノズル抜けが発生することが無く、ビジネス用途として信頼性の高いプリンタを提供できる。

なお、上記実施形態では、本発明の好適な具体例として種々の限定がされているが、本発明はこれに限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲内において種々の変形が可能である。

例えば、上記実施形態においては、各ノズル４７におけるインクの吐出状況を検出する検出ステップにおいてインク滴センサ７を用いたが、本発明はこれに限定されず、例えば短時間でノズル４７におけるインクの吐出状態を検出可能な手段であれば、これに置き換え可能である。具体的には、吐出されたインクにレーザー光を当て、受光装置の受光具合によりインクが吐出されているかどうかを検出する手段でもよい。

上記実施形態では、液体噴射装置として、インクジェット式プリンタ（記録装置）に具体化したが、この限りではなく、インク以外の他の液体（機能材料の粒子が分散されている液状体、ジェルのような流状体）を噴射したり吐出したりする流体噴射装置に具体化することもできる。
例えば、液晶ディスプレイ、ＥＬ（エレクトロルミネッセンス）ディスプレイ及び面発光ディスプレイの製造などに用いられる電極材や色材などの材料を分散または溶解のかたちで含む液状体を噴射する液状体噴射装置、バイオチップ製造に用いられる生体有機物を噴射する液体噴射装置、精密ピペットとして用いられ試料となる液体を噴射する液体噴射装置であってもよい。
さらに、時計やカメラ等の精密機械にピンポイントで潤滑油を噴射する液体噴射装置、光通信素子等に用いられる微小半球レンズ（光学レンズ）などを形成するために紫外線硬化樹脂等の透明樹脂液を基板上に噴射する液体噴射装置、基板などをエッチングするために酸又はアルカリ等のエッチング液を噴射する液体噴射装置、ジェルを噴射する流状体噴射装置であってもよい。
そして、これらのうちいずれか一種の液体噴射装置において、噴射される液体（液状体、流状体）が、例えば乾燥等により増粘し吐出不良を引き起こす可能性があれば、本発明を適用することができる。

プリンタの概略構成を示す一部分解図である。 記録ヘッドの構成を説明する断面図である。 記録ヘッドの構成を説明する要部断面図である。 記録ヘッドの周辺における要部構成を示す模式図である。 静電誘導によって誘導電圧が生じる原理を説明する模式図である。 インク滴センサから出力される検出信号の波形の一例を示す図である。 プリンタの電気的な構成を示すブロック図である。 クリーニング処理を説明するためのフロー図である。 図８に続く、クリーニング処理を説明するための図である。 図９に続く、クリーニング処理を説明するための図である。

符号の説明

１…プリンタ（流体噴射装置）、３…噴射ヘッド（記録ヘッド）、４…インク滴センサ（流体検出部）、１５…キャップ部材（フラッシング装置）、４３ａ…ノズル開口面、４４…共通インク室（共通流体室）、４７…ノズル（噴射ノズル）、５８…制御装置、ＣＬ１，ＣＬ２，ＣＬ３，ＣＬ４…クリーニングパラメータ（処理パラメータ）

Claims (5)

1. ターゲットに流体を噴射する複数の噴射ノズルと、該噴射ノズルへ前記流体を供給する共通流体室と、を有する噴射ヘッドを備える流体噴射装置のクリーニング方法において、
   前記ターゲットへの流体噴射に先立ち、前記噴射ノズルから前記流体を排出させる予備排出動作を行う予備排出ステップと、
   該予備排出ステップ終了後の前記各噴射ノズルにおける前記流体の噴射状況を検出する検出ステップと、
   該検査結果に基づいて、前記噴射ヘッドのクリーニング時における処理パラメータを決定するパラメータ決定ステップと、
   前記処理パラメータに基づき前記噴射ヘッドに対してクリーニングを行うクリーニングステップと、を有し、
   前記予備排出ステップにおいては、少なくとも前記共通流体室の容積に相当する前記流体を噴射することを特徴とする流体噴射装置のクリーニング方法。
2. 前記検出ステップは、前記流体の噴射不良を引き起こす不良ノズルを検出し、前記パラメータ決定ステップは、前記不良ノズルの数に基づいて前記パラメータを決定することを特徴とする請求項１に記載の流体噴射装置のクリーニング方法。
3. 前記検出ステップと前記パラメータ決定ステップの間において、前記検出結果に基づいて、前記噴射ヘッドのクリーニングを行うか否かを決定するクリーニング決定ステップを有することを特徴とする請求項１又は２に記載の流体噴射装置のクリーニング方法。
4. 前記検出ステップにおいては、前記噴射ヘッドにおける前記噴射ノズルが形成されたノズル開口面と、該ノズル開口面に対して非接触状態で対向配置される流体受部との間に電界を付与すると共に、前記噴射ノズルから前記流体受部に向けて前記流体を噴射させ、前記流体受部に向けて前記流体を噴射した際の静電誘導に基づく電圧変化により、前記ノズルの噴射状況を検出することを特徴とする請求項１又は２に記載の流体噴射装置のクリーニング方法。
5. ターゲットに流体を噴射する複数の噴射ノズルと、該噴射ノズルへ前記流体を供給する共通流体室と、を有する噴射ヘッドを備える流体噴射装置において、
   前記ターゲットへの流体噴射に先立ち、前記噴射ノズルから前記流体を排出させる予備排出動作を行う排出装置と、
   前記予備排出動作後の前記各噴射ノズルにおける前記流体の噴射状況を検出すると共に、該検出結果に基づいて前記噴射ヘッドに対してクリーニングを行う際の処理パラメータを決定する流体検出部と、
   前記フラッシング装置及び前記流体検出部に電気的に接続され、前記処理パラメータに基づいて前記噴射ヘッドに対するクリーニング処理を実行する制御装置と、を備え、
   該制御装置は、少なくとも前記共通流体室の容積に相当する量の前記流体を噴射させるように前記予備排出動作を行うことを特徴とする流体噴射装置。

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