JP2009136806A - ガス不純物除去方法及び装置 - Google Patents
ガス不純物除去方法及び装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2009136806A JP2009136806A JP2007317128A JP2007317128A JP2009136806A JP 2009136806 A JP2009136806 A JP 2009136806A JP 2007317128 A JP2007317128 A JP 2007317128A JP 2007317128 A JP2007317128 A JP 2007317128A JP 2009136806 A JP2009136806 A JP 2009136806A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- liquid contact
- liquid
- contact element
- pure water
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000012535 impurity Substances 0.000 title claims abstract description 136
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 24
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 255
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 205
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 43
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 27
- 230000002745 absorbent Effects 0.000 claims description 25
- 239000002250 absorbent Substances 0.000 claims description 25
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 3
- 238000009736 wetting Methods 0.000 claims 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 abstract 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 6
- 239000000047 product Substances 0.000 description 4
- 230000003749 cleanliness Effects 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 238000004887 air purification Methods 0.000 description 1
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 1
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000003365 glass fiber Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Gas Separation By Absorption (AREA)
Abstract
【解決手段】最上段の気液接触エレメント14aに可溶性ガス不純物を除去する新しい純水16を滴下して最下段のエレメント14cまで流し、各エレメント14a〜14cの通気路に吸収液の水膜を形成し、最上段のエレメント14aより下側に位置する任意の気液接触エレメント14bに新たな純水16又は使用済み純水16のいずれかを補給し、上方から滴下する純水16と共に最下段のエレメント14cまで滴下し、最上段の気液接触エレメント14aから最下段のエレメント14cまで滴下した純水と補給的に供給された純水とを受けて排出する。
【選択図】図1
Description
11 流通路
12,13,31 気液接触ユニット
14a,14b,14c 気液接触エレメント
16 純水
17 純水供給手段
18 供給配管
18a,18b,18c,18d 分岐管
19 純水噴出穴
21,32 ドレンパン
22 排水管
24 純水補給手段
24a,34,41 純水補給管
35 連通配管手段
35a 連通管
42 第1連通管
43 第2連通管
Claims (7)
- 流通路内を流れる可溶性ガス不純物を含む汚染空気を吸収液との気液接触により浄化するガス不純物除去装置において、
気液接触用の吸収液湿潤素材で構成された少なくとも2つ以上の気液接触エレメントを上下左右方向に並べて構成され、前記流通路内に設置された第1気液接触ユニットと、前記各液接触エレメントに前記吸収液を滴下し、前記各気液接触エレメントの通気路に前記吸収液の水膜を形成すべく最上段の前記気液接触エレメントに前記吸収液を供給する吸収液供給手段と、最上段の前記気液接触エレメントから最下段の前記気液接触エレメントまで滴下した前記吸収液と補給された前記吸収液とを受けて排出する排出手段とから構成され、
前記第1気液接触ユニットが、最上段の前記気液接触エレメントより下側に位置する任意の前記気液接触エレメント間に前記吸収液を補給する第1補給部を備え、
前記ガス不純物除去装置が、前記第1補給部に新たな吸収液又は使用済み吸収液のいずれかを補給する吸収液補給手段を備えているガス不純物除去装置。 - 前記ガス不純物除去装置が、前記流通路内において上流側に配置された前記第1気液接触ユニットと、下流側に配置された第2気液接触ユニットとを備え、
前記第2気液接触ユニットが、最上段の前記気液接触エレメントより下側に位置する任意の前記気液接触エレメント間に設置され、上方から滴下してくる前記吸収液を集めるドレンパンと、このドレンパンの下部に配置され、該ドレンパンより下に位置する前記気液接触エレメントに新たな前記吸収液を補給する第2補給部とを備え、
前記吸収液補給手段が、前記第2気液接触ユニットの前記第2補給部を介して前記ドレンパンより下に位置する前記気液接触エレメントに新たな前記吸収液を補給し、さらに前記吸収液補給手段が、前記ドレンパンで集められた前記吸収液を前記第1気液接触ユニットの前記第1補給部に送給してそれより下方の前記気液接触エレメントに補給する連通配管手段を備える請求項1に記載のガス不純物除去装置。 - 前記ガス不純物除去装置が、前記流通路内において上流側に並んで配置された2つの前記第1気液接触ユニットと、下流側に並んで配置された2つの前記第2気液接触ユニットとを含み、
前記連通配管手段が、2つの前記第2気液接触ユニットのうち上流側に位置する前記第2気液接触ユニットの前記ドレンパンに集められた前記吸収液を最上流側の前記第1気液接触ユニットの前記第1補給部に補給する第1配管と、2つの前記第2気液接触ユニットのうち下流側に位置する前記第2気液接触ユニットの前記ドレンパンに集められた前記吸収液を2つの前記第1気液接触ユニットのうち下流側に位置する前記第1気液接触ユニットの前記第1補給部に補給する第2配管とから構成されている請求項2に記載のガス不純物除去装置。 - 気液接触用の吸収液湿潤素材で構成された少なくとも2つ以上の気液接触エレメントを、可溶性ガス不純物を含む汚染空気の流通路内に上下左右方向に並べて構成された少なくとも1つの気液接触ユニットを備え、前記流通路を通過する前記汚染空気中の前記可溶性ガス不純物を前記気液接触ユニットにより除去して浄化するガス不純物除去方法において、
最上段の前記気液接触エレメントに前記可溶性ガス不純物を除去する吸収液を供給して最下段の前記気液接触エレメントまで滴下し、前記各気液接触エレメントの通気路に前記吸収液の水膜を形成すること、
最上段の前記気液接触エレメントより下側に位置する任意の前記気液接触エレメントに新たな吸収液又は使用済み吸収液のいずれかを補給し、上方から流れ落ちる前記吸収液と共に最下段の前記気液接触エレメントまで滴下させること、最上段の前記気液接触エレメントから最下段の前記気液接触エレメントまで滴下した前記吸収液と補給された前記吸収液とを受けて排出することを含むガス不純物除去方法。 - 前記流通路内には、少なくとも2以上の前記気液接触ユニットが前記汚染空気の流れ方向に並べて設置され、上流側に設置された前記気液接触エレメントにおける最上段の前記気液接触エレメントより下側に位置する任意の前記気液接触エレメントに、下流側に設置された前記気液接触ユニットにおける少なくとも1の前記気液接触エレメントを滴下した前記吸収液を集めて補給すると共に、集めた前記吸収液が滴下した前記気液接触エレメントより下側に位置する前記気液接触エレメントに新たな前記吸収液を供給して最下段の前記気液接触エレメントまで滴下する請求項4に記載のガス不純物除去方法。
- 前記流通路内には、少なくとも3つの前記気液接触ユニットが前記汚染空気の流れ方向に並べて設置され、最上流側に設置された前記気液接触ユニットにおける最上段の前記気液接触エレメントより下側に位置する任意の前記気液接触エレメントに、最下流側に設置された前記気液接触ユニットにおける最上段の前記気液接触エレメントを滴下した前記吸収液を集めて補給すると共に、集めた前記吸収液が滴下した前記気液接触エレメントより下側に位置する前記気液接触エレメントに新たな前記吸収液を供給して最下段の前記気液接触エレメントまで滴下する請求項4に記載のガス不純物除去方法。
- 最上段の前記気液接触エレメントより下側に位置する任意の前記気液接触エレメント上から補給する前記吸収液の補給量が、最上段の前記気液接触エレメントに供給される前記吸収液の量の1.0〜1/3倍である請求項4〜6のいずれかに記載のガス不純物除去方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007317128A JP4827828B2 (ja) | 2007-12-07 | 2007-12-07 | ガス不純物除去方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007317128A JP4827828B2 (ja) | 2007-12-07 | 2007-12-07 | ガス不純物除去方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009136806A true JP2009136806A (ja) | 2009-06-25 |
JP4827828B2 JP4827828B2 (ja) | 2011-11-30 |
Family
ID=40868016
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007317128A Expired - Fee Related JP4827828B2 (ja) | 2007-12-07 | 2007-12-07 | ガス不純物除去方法及び装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4827828B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103007692A (zh) * | 2012-12-21 | 2013-04-03 | 东南大学 | 一种管壳卧式液膜翻转降膜吸收装置 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000257914A (ja) * | 1999-03-05 | 2000-09-22 | Techno Ryowa Ltd | 強酸性水を用いた除菌空調システム |
JP2000317248A (ja) * | 1999-05-14 | 2000-11-21 | Yamaha Corp | ガス不純物の除去システム |
JP2003202191A (ja) * | 2002-01-09 | 2003-07-18 | Tadahiro Omi | 空気冷却方法 |
JP2003326102A (ja) * | 2002-05-10 | 2003-11-18 | Tadahiro Omi | 気液接触装置 |
JP2004347165A (ja) * | 2003-05-20 | 2004-12-09 | Daiei Project:Kk | 空気清浄化装置 |
JP2005257220A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-22 | Toyo Netsu Kogyo Kk | エアワッシャー |
JP2007050405A (ja) * | 2005-08-17 | 2007-03-01 | Samsung Electronics Co Ltd | 汚染物質捕集器、汚染物質捕集方法、空気管理システム並びに除去器 |
-
2007
- 2007-12-07 JP JP2007317128A patent/JP4827828B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000257914A (ja) * | 1999-03-05 | 2000-09-22 | Techno Ryowa Ltd | 強酸性水を用いた除菌空調システム |
JP2000317248A (ja) * | 1999-05-14 | 2000-11-21 | Yamaha Corp | ガス不純物の除去システム |
JP2003202191A (ja) * | 2002-01-09 | 2003-07-18 | Tadahiro Omi | 空気冷却方法 |
JP2003326102A (ja) * | 2002-05-10 | 2003-11-18 | Tadahiro Omi | 気液接触装置 |
JP2004347165A (ja) * | 2003-05-20 | 2004-12-09 | Daiei Project:Kk | 空気清浄化装置 |
JP2005257220A (ja) * | 2004-03-15 | 2005-09-22 | Toyo Netsu Kogyo Kk | エアワッシャー |
JP2007050405A (ja) * | 2005-08-17 | 2007-03-01 | Samsung Electronics Co Ltd | 汚染物質捕集器、汚染物質捕集方法、空気管理システム並びに除去器 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103007692A (zh) * | 2012-12-21 | 2013-04-03 | 东南大学 | 一种管壳卧式液膜翻转降膜吸收装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4827828B2 (ja) | 2011-11-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6553051B2 (ja) | 気泡カラム凝縮器等の凝縮装置を含むシステム | |
TW420829B (en) | Treatment device and method, impurity removing apparatus | |
CN109562316A (zh) | 湿式空气洗涤器 | |
JP2004305919A (ja) | 空気浄化装置 | |
KR101874936B1 (ko) | 냉각 장치 | |
JP5933231B2 (ja) | 空気清浄装置および空気調和機および空気清浄方法 | |
KR101783373B1 (ko) | 반도체공정에서 배출되는 유독성 폐가스를 처리하는 스크러버 | |
CN109562331A (zh) | 虹吸式散气装置、膜分离活性污泥装置、水处理方法 | |
JP4827828B2 (ja) | ガス不純物除去方法及び装置 | |
JP4940004B2 (ja) | ガス不純物除去装置 | |
WO2013077303A1 (ja) | 空気清浄装置 | |
JPWO2007023749A1 (ja) | 脱臭装置及び脱臭方法 | |
KR200447349Y1 (ko) | 공기 청정기 | |
CN206886714U (zh) | 一种烟气脱硫废水蒸发浓缩处理装置 | |
JP7243057B2 (ja) | 気液接触装置 | |
JP6223112B2 (ja) | 空気清浄装置および空気調和機 | |
TW201704157A (zh) | 膜分離活性污泥處理方法及膜分離活性污泥處理系統 | |
JP2008104919A (ja) | 湿式空気清浄装置 | |
JPS6269033A (ja) | 気体の除塵・除菌装置 | |
CN206799201U (zh) | 一种烟气脱硫废水蒸发浓缩处理装置 | |
DK3015157T3 (en) | Filter and filter system | |
KR102335397B1 (ko) | 일정한 공기 정화 성능을 유지하는 공기 정화기 필터 장치 | |
JP4796990B2 (ja) | ガス不純物除去装置 | |
JP5762259B2 (ja) | 空気清浄装置および空気調和機 | |
CN105828918A (zh) | 膜分离装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101122 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110603 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110614 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110812 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110830 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110913 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140922 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4827828 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |