JP2009127634A - ベローズ機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ベローズ12が伸張する際に作用する衝撃力は各ブロック123、124、125、126が一定程度伸張したタイミングで各コイルスプリング機構部13−1〜13−3のバネ台座133aとバネ台座133bとの間に装着されたコイルスプリング134によって弾性的に減衰されて衝撃吸収されるので、ベローズ12の各ブロック123、124、125、126における上方部分が設計上の安全限度を超えて衝撃的に過度に伸張されることが防止される。
【選択図】図1
Description
このプロセスが行なわれる基板処理装置では各処理室に基板を収納した収納室から基板を搬送し、処理室内にて基板を位置決めして各種プロセスを実行し、各種プロセス実行後の基板を各処理室から搬出して他の処理室若しくは収納室に搬入する基板搬送装置が用いられる。
本発明のベローズ機構によれば内部に気密な空間を規定するように伸縮自在に設けられたベローズには圧縮力が作用して短縮され、圧縮力が解放されて伸長し、その様にベローズが伸長される際のベローズの各ブロックの動きはコイルスプリングによって均一に規制され、各ブロックの動きが不均一となることによって各ブロックのベローズに過度な衝撃が加えられることが防止される。
図1は本発明のベローズ機構を適用してなる基板処理装置の概略構成を示し、図に示すように基板処理装置1は、基板搬送装置2を介して基板処理室3及び基板収納室4を配置してなり、基板搬送装置2内側には搬送ロボット5が配置される。
例えば荷電粒子線を応用したエッチング処理装置においては液晶基板ステージを真空室である基板処理室3内に収納することが必須である。従って、その基板処理室3内に液晶基板等の被処理基板を供給したり搬出したりする基板搬送装置2も真空室として構成される必要がある。
そのため、以上の基板搬送装置2、基板処理室3は何れも図示しない真空ポンプによって抜気されて、その内側が真空状態に保持されるように気密に構成される。
前記昇降機構9における動きを基板搬送装置2内の搬送ロボット5に伝えるシャフト8は、下端が昇降部10の支持部11に固定され、基板搬送装置2の底部から気密に内部に挿通されて上端が搬送ロボット5の搬送アーム7に連結される。
この各コイルスプリング機構部13−1〜13−3はスプリング軸131の先端に係止部132が設けられ、この係止部132に係止されるバネ台座133aとスプリング軸131に摺動可能に装着されたバネ台座133bとの間にコイルスプリング134が装着されてなる。
また積層板129に先端部13−3bが取り付けられるコイルスプリング機構部13−3の基端部13−3aは積層板129よりも上方に位置する積層板128に固定される。
基板搬送装置2と昇降機構9との協働により被処理物6を保持している基板搬送装置2を、基板処理室3への被処理物6挿入高さ位置に合せる。基板搬送装置2を駆動して搬送アーム7を基板処理室3側へ伸ばし、被処理物6を基板処理室3内の載置位置まで搬送する。
次に基板搬送装置2の搬送アーム7を縮めて元の位置に戻し、再度、基板搬送装置2と昇降機構9を協働して基板搬送装置2を動かし、昇降機構9によりシャフトを一定量上昇させることにより前記基板搬送装置2を上昇して、基板収納室4から搬送アーム7上に被処理物6を移載する。移載後、基板搬送装置2の搬送アーム7を縮めて搬送アーム7を元の位置に戻す。
その際、ベローズ12はその全長に渡る伸縮を均一化するために、積層板127〜129によって区分された4層のブロック123、124、125、126を積層して構成されており、そのため伸張時に衝撃力が作用する結果として各ブロック123、124、125、126における上方部分が下方部分に比し伸張の程度が高くなる傾向を生じる。
Claims (4)
- ベローズの伸張を減衰するコイルスプリングを設けてなることを特徴とするベローズ機構。
- 前記ベローズは、基板を搬送する搬送アームの支柱が挿通されて内側が減圧される基板搬送装置のベローズである請求項1に記載のベローズ機構。
- 前記ベローズが複数のブロックを積層板を介して積層してなり、前記ベローズの伸縮方向に沿って前記積層板に付勢可能に前記コイルスプリングが配設される請求項1又は請求項2に記載のベローズ機構。
- 前記ベローズがn層のブロックを積層板を介して積層してなり、前記ベローズの伸縮方向に沿って積層板に対して付勢可能にn−1個の前記コイルスプリングが配設される請求項1乃至請求項3の何れか一に記載のベローズ機構。
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JP2007299575A JP2009127634A (ja) | 2007-11-19 | 2007-11-19 | ベローズ機構 |
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ID=40818790
Family Applications (1)
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JP2007299575A Pending JP2009127634A (ja) | 2007-11-19 | 2007-11-19 | ベローズ機構 |
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- 2007-11-19 JP JP2007299575A patent/JP2009127634A/ja active Pending
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