JP2009092397A

JP2009092397A - Integration cylinder, and linear lighting system using integration cylinder

Info

Publication number: JP2009092397A
Application number: JP2007260614A
Authority: JP
Inventors: Shinichi Hattori; 新一服部
Original assignee: Nippon Avionics Co Ltd
Current assignee: Nippon Avionics Co Ltd
Priority date: 2007-10-04
Filing date: 2007-10-04
Publication date: 2009-04-30

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a linear lighting system having excellent uniformity in an illuminance distribution of linear outgoing light. <P>SOLUTION: The integration cylinder 20 is equipped with a cylindrical body 1, a diffuser panel 4, and end face covers 6, 7. The cylindrical body 1 is provided with light incidence slits 11, 12 and a light emission slit 13. Linear light guides 2, 3 allow linear light to enter the light incidence slits 11, 12 respectively. The entering linear light is integrated in a process of reflection repeated on the inner wall 14 of the cylindrical body 1. Illuminance of light entering the diffuser panel 4 from the emission slit 13 is uniformized also in the line direction by an integration function of the light in a cylindrical space of the integration cylinder 20, and the linear light having illuminance having improved uniformity is subjected further to an illuminance uniforming function by the diffuser panel 4, and resultantly linear light having excellent uniformity wherein a variance of an illuminance distribution in the line direction is 2% is emitted from the diffuser panel 4. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、ライン状の光を出射するライン型照明装置に関し、特に電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置における光源として好適なライン型照明装置に関する。 The present invention relates to a line illumination device that emits line-shaped light, and more particularly to a line illumination device suitable as a light source in an inspection device for a film carrier tape for mounting electronic components.

電子部品実装用フィルムキャリアテープとしては、ＴＡＢ（Tape Automated Bonding ）テープ、Ｔ−ＢＧＡ（Tape Ball Grid Array）テープ、ＡＳＩＣ(application Specific Integration Circuit) テープ、ＣＯＦ（Chip On Film）テープ等が知られている。電子部品実装用フィルムキャリアテープは、透明なフィルム、このフィルムに貼り付けられた電子部品、これら電子部品相互を接続するためにそのフィルムに印刷された導体パターン等からなる。電子部品実装用フィルムキャリアテープの検査装置は、例えば特許文献１（特開２００１−１６０５７０）に記載されているように、それら電子部品と導体パターンとを接続する半田付けの良否、半田による導体パターンの誤接続の有無などを検査する装置であり、テープ搬送機構、テープに光を照射するライン型照明装置、テープで反射し、又はテープを透過した光を受け、テープを撮像するラインセンサカメラを備えてなる。ライン型照明装置は、テープの搬送方向に直交する方向に長いライン状光を出射する。他方、ラインセンサカメラは、複数のＣＣＤ（電荷結合素子）等の受光素子をライン状に配列した受光領域を有し、この受光領域に前記ライン状光を受光する。 As a film carrier tape for mounting electronic components, TAB (Tape Automated Bonding) tape, T-BGA (Tape Ball Grid Array) tape, ASIC (Application Specific Integration Circuit) tape, COF (Chip On Film) tape, etc. are known. Yes. The film carrier tape for mounting electronic parts includes a transparent film, electronic parts attached to the film, and a conductor pattern printed on the film for connecting the electronic parts to each other. An inspection device for a film carrier tape for mounting electronic components is disclosed in, for example, Patent Document 1 (Japanese Patent Laid-Open No. 2001-160570). It is a device that inspects the presence or absence of misconnection of the tape, a tape transport mechanism, a line type illumination device that irradiates the tape with light, a line sensor camera that receives light reflected by the tape or transmitted through the tape, and images the tape Prepare. The line illumination device emits long line-shaped light in a direction orthogonal to the tape transport direction. On the other hand, the line sensor camera has a light receiving region in which light receiving elements such as a plurality of CCDs (charge coupled devices) are arranged in a line, and receives the line light in this light receiving region.

ライン型照明装置としては、例えば特許文献２（特開２００２−１９６１５７）のライン型ライトガイド、特許文献３（特開平６−５１１２７）のライン状ライトガイド等が知られている。この種のライン型照明装置はライン型ライトガイドとして市販されている（例えば、株式会社フォルテシモから販売されている）ので、本願ではこの種のライン型照明装置をライン型ライトガイドと称することとする。図１２（Ａ）は、このライン型ライトガイド５０でＣＯＦテープ７０を照明するＣＯＦテープ検査装置を概念的に示す図であり、同図（Ｂ）はライン型ライトガイド５０で照射されたＣＯＦテープ７０の表面７１における光の照度分布特性を示す図であり、同図（Ｃ）はライン型ライトガイド５０の光出射端面１０５を示す部分正面図（同図（Ａ）におけるライン型ライトガイド５０を光出射端面１０５の下方から見た図）である。同図（Ｂ）の横軸は、ＣＯＦテープ７０のＸ方向位置を示し、その縦軸はそのＸ方向位置における表面７１上の照度を表している。図１２のＣＯＦテープ検査装置では、ラインセンサカメラは、ＣＯＦテープ７０を透過した光を受光するように、ＣＯＦテープ７０の下側に配置されている（ラインセンサカメラは図示が省略されている）。 As a line type illumination device, for example, a line type light guide disclosed in Patent Document 2 (Japanese Patent Laid-Open No. 2002-196157), a line type light guide disclosed in Patent Document 3 (Japanese Patent Laid-Open No. 6-51127), and the like are known. Since this type of line-type lighting device is commercially available as a line-type light guide (for example, sold by Fortesimo Co., Ltd.), in this application, this type of line-type lighting device is referred to as a line-type light guide. . FIG. 12A is a diagram conceptually showing a COF tape inspection apparatus that illuminates the COF tape 70 with the line type light guide 50, and FIG. 12B shows the COF tape irradiated with the line type light guide 50. FIG. 7C is a partial front view showing the light emission end face 105 of the line type light guide 50 (the line type light guide 50 in FIG. It is the figure seen from the downward direction of the light-projection end surface 105). The horizontal axis of FIG. 5B indicates the X direction position of the COF tape 70, and the vertical axis indicates the illuminance on the surface 71 at the X direction position. In the COF tape inspection apparatus of FIG. 12, the line sensor camera is disposed below the COF tape 70 so as to receive light transmitted through the COF tape 70 (the line sensor camera is not shown). .

図１２のライン型ライトガイド５０は、多数の光ファイバ素線１０１を外被１０２で包んでなる光ファイババンドル９０を有し、その光ファイババンドル９０の一端における光ファイバ素線１０１の束を円状に収束して光入射端面１０４とし、その他端における光ファイバ素線１０１の束を広げて、多数の光ファイバ素線１０１の端をライン状に配列して光出射端面１０５とし、広げられた多数の光ファイバ素線１０１の端部をライン型ケース１０３で覆ってなる。光出射端面１０５は、図のＸ方向に長く、Ｙ方向の幅が狭いライン型をなしている。光出射端面１０５近傍における光ファイバ素線は、軸線を図のＺ方向に互いに平行に揃えて配列されている。光入射端面１０４及び光出射端面１０５は、平面状に研磨された端面である。ハロゲンランプ８１及びリフレクタ８２でなる光源８０に光入射端面１０４を結合し、光入射端面１０４にハロゲンランプ８１の光を入射すると、Ｘ方向に長く、Ｙ方向の幅の狭いライン状の光が光出射端面１０５から出射する。 A line type light guide 50 in FIG. 12 has an optical fiber bundle 90 in which a large number of optical fiber strands 101 are wrapped with an outer sheath 102, and the bundle of optical fiber strands 101 at one end of the optical fiber bundle 90 is circular. The bundle of optical fiber strands 101 at the other end is widened, and the ends of a number of optical fiber strands 101 are arranged in a line to form a light exit end face 105, which is widened. The ends of many optical fiber strands 101 are covered with a line type case 103. The light emitting end face 105 has a line shape that is long in the X direction and narrow in the Y direction. The optical fiber strands in the vicinity of the light emitting end face 105 are arranged with their axes aligned parallel to each other in the Z direction in the figure. The light incident end face 104 and the light emitting end face 105 are end faces polished in a flat shape. When the light incident end face 104 is coupled to a light source 80 composed of a halogen lamp 81 and a reflector 82 and the light from the halogen lamp 81 is incident on the light incident end face 104, linear light that is long in the X direction and narrow in the Y direction is emitted. The light exits from the exit end face 105.

照度分布の均一性に優れた照明装置としては、特許文献４（特許第３１７２７６８号）に開示されているような積分球が知られている。積分球は、円形の入射開口および円形の出射開口を有するボール状の球体であり、入射光が内壁で反射を繰り返すことにより、空間的に積分される作用を利用し、出射開口から照度分布の均一性に優れた光を得る照明装置である。 An integrating sphere as disclosed in Patent Document 4 (Patent No. 3172768) is known as an illumination device having excellent uniformity of illuminance distribution. The integrating sphere is a ball-shaped sphere having a circular incident aperture and a circular output aperture. Utilizing the action of spatial integration by incident light repeatedly reflecting on the inner wall, the illuminance distribution from the output aperture is It is an illumination device that obtains light with excellent uniformity.

ライン型ライトガイドを光源とするパターン検査装置が特許文献５（特開平７−３３３１６９）の図７に示され、その説明が段落０００３−０００６に記載されている。その段落０００６には、特許文献５の図７のパターン検査装置９０に関し、「光源（９４、図１２の光源８０に相当）からの光は、透明光ファイバ束（９３、図１２のライン型ライトガイド５０に相当）によって導いており、該透明光ファイバ束（９３）は光源（９４）に対する面は円形状に束ねられている。そのため、透明光ファイバ束（９３）に入る光量が、円形の透明光ファイバ束（９３）における中心部分と外周部分とで異なる。それ故、パターン（９６１）に光照射される光量が不均一となり、検査に正確性を欠く場合がある。」と記載されている。 A pattern inspection apparatus using a line type light guide as a light source is shown in FIG. 7 of Patent Document 5 (Japanese Patent Laid-Open No. 7-333169), and its description is described in paragraphs 0003-0006. The paragraph 0006 relates to the pattern inspection apparatus 90 shown in FIG. 7 of Patent Document 5, “the light from the light source (94, corresponding to the light source 80 in FIG. 12) is a transparent optical fiber bundle (93, line type light shown in FIG. 12). The transparent optical fiber bundle (93) is bundled in a circular shape with respect to the light source (94), so that the amount of light entering the transparent optical fiber bundle (93) is circular. The central portion and the outer peripheral portion of the transparent optical fiber bundle (93) are different.Therefore, the amount of light irradiated to the pattern (961) is non-uniform, and the inspection may be inaccurate. Yes.

特許文献５の段落０００６には、光照射面における光量（照度に比例）の不均一が記述されているが、図１２（Ｂ）はその光量分布の不均一性を具体的に示す図である。図１２（Ｂ）には、ライン型ライトガイド５０でＣＯＦテープ７０を照射したとき、ＣＯＦテープ７０の表面７１上のライン状光照射領域において光の照度分布が均一ではなく、ライン状光照射領域の長手方向（Ｘ方向）に関し、両縁近傍の領域では中央領域に比べて照度が１０〜２０％程度低減することが示されている。 Paragraph 0006 of Patent Document 5 describes nonuniformity in the amount of light (proportional to illuminance) on the light irradiation surface, and FIG. 12B is a diagram specifically showing the nonuniformity in the light amount distribution. . In FIG. 12B, when the COF tape 70 is irradiated with the line-type light guide 50, the illuminance distribution of light is not uniform in the line-shaped light irradiation region on the surface 71 of the COF tape 70, and the line-shaped light irradiation region. With respect to the longitudinal direction (X direction), it is shown that the illuminance is reduced by about 10 to 20% in the region near both edges as compared with the central region.

図１３は、ＣＯＦテープ検査装置においてＣＯＦテープを照明するライン型照明装置として図１２のライン型ライトガイドを用いた場合の問題点を説明するための説明図である。図１３（Ａ）は、導体パターン７２，７３が印刷されているＣＯＦテープ７０をＣＯＦテープ検査装置で検査する際に、ライン型ライトガイドのライン状の出射光がＣＯＦテープ７０を照射する領域をとして例示する模式図である。図の矢印は、ＣＯＦテープ７０が搬送される方向を示す。同図（Ｂ）は、そのライン状光照射領域３１におけるＣＯＦテープを透過し、ラインセンサカメラで受光された光の照度Ｄ１と、閾値Thとを示す図である。Ｐ０からＰ５は、ＣＯＦテープ７０上のＸ方向位置である。同図（Ｃ）は、図１２においてＣＯＦテープ７０の下側に配置されたラインセンサカメラが、ＣＯＦテープ７０を透過した光を受光するときに、そのラインセンサカメラから出力される検知出力Ｄ２と閾値Thとを示す図である。 FIG. 13 is an explanatory diagram for explaining a problem when the line type light guide of FIG. 12 is used as a line type illumination device that illuminates the COF tape in the COF tape inspection apparatus. FIG. 13A shows a region where line-shaped emitted light of a line type light guide irradiates the COF tape 70 when the COF tape 70 on which the conductor patterns 72 and 73 are printed is inspected by the COF tape inspection apparatus. It is a schematic diagram illustrated as. The arrows in the figure indicate the direction in which the COF tape 70 is conveyed. FIG. 5B is a diagram showing the illuminance D1 of light transmitted through the COF tape in the line light irradiation region 31 and received by the line sensor camera, and the threshold Th. P0 to P5 are positions on the COF tape 70 in the X direction. FIG. 10C shows a detection output D2 output from the line sensor camera when the line sensor camera disposed below the COF tape 70 in FIG. 12 receives light transmitted through the COF tape 70. It is a figure which shows threshold value Th.

図１３（Ｂ）に示したラインセンサカメラの受光照度Ｄ１は、図１２（Ｂ）に示したＣＯＦテープ表面７１の照度Ｌ２に対応した特性となるが、導体パターン７２，７３等の不透明物がＣＯＦテー無７０に形成されている領域では、ほとんどゼロとなる。閾値Thは、ラインセンサカメラの受光照度Ｄ１と比較するための所定値である。ラインセンサカメラは、受光照度Ｄ１が閾値Thを越えたときに、導体パターンが無いと判定し、受光照度Ｄ１が閾値Th以下であるときに、導体パターンが有ると判定する。図１３（Ｂ）に示すように、導体パターン７２がある領域Ｐ１−Ｐ２及び導体パターン７３がある領域Ｐ３−Ｐ４では、ライン型ライトガイドの出射光は導体パターン７２及び７３で遮られるから、ラインセンサカメラの受光照度Ｄ１は閾値Th以下となる。これに対応して、図１３（Ｃ）に示すように、導体パターン７２がある領域Ｐ１−Ｐ２及び導体パターン７３がある領域Ｐ３−Ｐ４では検知出力Ｄ２は低レベルとなるので、検知出力Ｄ２から導体パターン７２及び７３の有無が判別できる。 The light receiving illuminance D1 of the line sensor camera shown in FIG. 13 (B) has characteristics corresponding to the illuminance L2 of the COF tape surface 71 shown in FIG. 12 (B). In the area formed with no COF tail 70, it becomes almost zero. The threshold value Th is a predetermined value for comparison with the received light illuminance D1 of the line sensor camera. The line sensor camera determines that there is no conductor pattern when the received light illuminance D1 exceeds the threshold Th, and determines that there is a conductor pattern when the received light illuminance D1 is equal to or less than the threshold Th. As shown in FIG. 13B, in the region P1-P2 where the conductor pattern 72 is present and the region P3-P4 where the conductor pattern 73 is present, the light emitted from the line type light guide is blocked by the conductor patterns 72 and 73. The light reception illuminance D1 of the sensor camera is equal to or less than the threshold value Th. Correspondingly, as shown in FIG. 13C, the detection output D2 is at a low level in the region P1-P2 where the conductor pattern 72 is present and in the region P3-P4 where the conductor pattern 73 is present. The presence or absence of the conductor patterns 72 and 73 can be determined.

ところが、ＣＯＦテープ７０における位置Ｐ０より左側の領域および位置Ｐ５より右側の領域でも、ラインセンサカメラの受光照度Ｄ１が閾値Th以下となるので、検知出力Ｄ２が低レベルとなる。すると、ラインセンサカメラは、ＣＯＦテープ７０の左右両縁領域には導体パターンが無いにも拘らず、左右両縁領域に導体パターンがあると誤って検知してしまう。このように、ライン型照明装置として図１２のようなライン型ライトガイドを用いたＣＯＦテープ検査装置では、ライン状出射光におけるライン方向（図１２のＸ方向）の照度分布が均一性に欠け、照度がライン方向（図１２のＸ方向）において１０〜２０％程度も分散して（バラついて）いるので、本来存在しない導体パターンを誤って存在すると判定してしまうという解決するべき課題がある。検査の対象がＣＯＦテープであるときだけではなく、他の電子部品実装用フィルムキャリアテープを検査対象とする検査装置でも、ライン型照明装置のライン状出射光における照度分布がライン方向（図１２のＸ方向）において均一性に優れていることが、検出精度の向上のために必要である。同様に、特許文献６（特開２００２−２８８６４４）に、その図３を参照して段落０００２−０００５に説明されているように、ライン型照明装置のライン状出射光における照度分布が幅方向（図１２のＹ方向）においても均一性に優れていることが検出精度の向上のために好ましい。そこで、ライン状出射光の照度分布の均一性に優れたライン型照明装置が求められている。 However, even in the region on the left side of the position P0 and the region on the right side of the position P5 on the COF tape 70, the light reception illuminance D1 of the line sensor camera is equal to or less than the threshold value Th, so that the detection output D2 is low. Then, the line sensor camera erroneously detects that there is a conductor pattern in the left and right edge regions even though there is no conductor pattern in the left and right edge regions of the COF tape 70. Thus, in the COF tape inspection apparatus using the line type light guide as shown in FIG. 12 as the line type illuminating device, the illuminance distribution in the line direction (X direction in FIG. 12) in the line-shaped emitted light lacks uniformity, Since the illuminance is dispersed (varied) by about 10 to 20% in the line direction (X direction in FIG. 12), there is a problem to be solved that it is determined that a conductor pattern that does not originally exist is erroneously present. Not only when the inspection object is a COF tape, but also in an inspection apparatus that inspects other electronic component mounting film carrier tapes, the illuminance distribution in the line-shaped emitted light of the line-type illumination device is in the line direction (FIG. 12). In order to improve detection accuracy, it is necessary to have excellent uniformity in the X direction). Similarly, in Patent Document 6 (Japanese Patent Laid-Open No. 2002-288644), as described in paragraphs 0002-0005 with reference to FIG. In order to improve detection accuracy, it is preferable to have excellent uniformity in the Y direction in FIG. Therefore, there is a demand for a line type illumination device that is excellent in the uniformity of the illuminance distribution of the line-shaped emitted light.

照度分の均一性に優れた照明装置としては、前述の積分球がある。しかしながら、積分球は球形をなすから、その出射開口をスリット状に成形したとしても、電子部品実装用フィルムキャリアテープ検査装置のライン型照明装置として、図１２のライン型ライトガイドに代えて用いたとき、光出射端面が曲面をなすから、ＣＯＦテープ表面７１における光照射領域の形は、長さ方向の両端近傍で幅が広がり、図１２（Ｂ）と同様に、その光照射領域における照度は中央部に比べ両端部で低くなり、照度分布の均一性は得られない。もし、光出射端面が平面に近似する程に積分球の径を拡大するならば、積分球が巨大となり、特にライン状出射光のライン方向に直交する方向の厚みがライン型ライトガイドに比べて極端に大きくなるので、実用に供し得ない。 As an illuminating device excellent in uniformity of illuminance, there is the aforementioned integrating sphere. However, since the integrating sphere has a spherical shape, it was used in place of the line-type light guide of FIG. 12 as a line-type illumination device for a film carrier tape inspection apparatus for mounting electronic components, even if the exit opening was formed into a slit shape. Since the light emitting end surface is curved, the shape of the light irradiation region on the COF tape surface 71 is wide in the vicinity of both ends in the length direction, and the illuminance in the light irradiation region is the same as in FIG. It becomes lower at both ends than at the center, and the uniformity of illuminance distribution cannot be obtained. If the diameter of the integrating sphere is enlarged so that the light exit end face approximates to a flat surface, the integrating sphere becomes enormous, and the thickness in the direction perpendicular to the line direction of the line-shaped outgoing light is particularly large compared to the line type light guide. Since it becomes extremely large, it cannot be put to practical use.

そこで、本発明の目的は、実用的な大きさであっても、ライン状出射光の照度分布の均一性に優れるライン型照明装置、およびそのライン型照明装置に用いられ、ライン状入射光の照度分布の均一性を改善したライン状光を出射する積分筒の提供にある。 Accordingly, an object of the present invention is to be used in a line-type illumination device that is excellent in uniformity of illuminance distribution of line-shaped emitted light, and the line-type illumination device, even if it has a practical size. An object of the present invention is to provide an integrating cylinder that emits line-shaped light with improved uniformity of illuminance distribution.

特開２００１−１６０５７０JP 2001-160570 A 特開２００２−１９６１５７JP2002-196157 特開平６−５１１２７JP-A-6-51127 特許第３１７２７６８号Japanese Patent No. 3172768 特開平７−３３３１６９JP-A-7-333169 特開２００２−２８８６４４JP 2002-288644 A

前述の課題を解決するために、本発明は次の手段を提供する。 In order to solve the above-described problems, the present invention provides the following means.

（１）光入射スリット及び光出射スリットを有し、両端が閉止され、内壁が光反射面をなす円筒体でなり、前記光入射スリット及び光出射スリットの長手方向は前記円筒体の軸に概ね平行であることを特徴とする積分筒。 (1) It has a light entrance slit and a light exit slit, both ends are closed, and the inner wall is a cylindrical body forming a light reflecting surface, and the longitudinal direction of the light entrance slit and the light exit slit is approximately the axis of the cylindrical body An integrating cylinder characterized by being parallel.

（２）前記光入射スリット及び光出射スリットは前記軸に関し非対称の位置に設けてあることを特徴とする前記（１）に記載の積分筒。 (2) The integrating cylinder according to (1), wherein the light entrance slit and the light exit slit are provided at asymmetric positions with respect to the axis.

（３）前記光出射スリットを覆う拡散板が前記円筒体に固定してあることを特徴とする前記（１）又は（２）に記載の積分筒。 (3) The integrating cylinder according to (1) or (2), wherein a diffusion plate covering the light exit slit is fixed to the cylindrical body.

（４）前記光入射スリットが複数設けてあることを特徴とする前記（１）乃至（３）に記載の積分筒。 (4) The integrating cylinder according to any one of (1) to (3), wherein a plurality of the light incident slits are provided.

（５）前記（１）乃至（４）に記載の積分筒と、この積分筒の前記光入射スリットに光出射端面を接続したライン型ライトガイドとを備えることを特徴とするライン型照明装置 (5) A line-type illuminating device comprising: the integrating cylinder according to (1) to (4); and a line-type light guide having a light emitting end face connected to the light incident slit of the integrating cylinder.

上述の構成の本発明によれば、ライン状光の照度分布の均一性を改善する実用的な大きさの積分筒、及び照度分布の均一性に優れた実用的な大きさのライン型照明装置を提供できる。 According to the present invention having the above-described configuration, the practical size integrating cylinder for improving the uniformity of the illuminance distribution of the line-shaped light, and the practically sized line-type illumination device excellent in the uniformity of the illuminance distribution. Can provide.

次に、本発明の実施形態について図面を参照して説明する。図１乃至図３は本発明になる積分筒の第１の実施例を示す図であり、図１（Ａ）はその斜視図、同図（Ｂ）は原理説明図である。図２（Ａ）は平面図、同図（Ｂ）は正面図、同図（Ｃ）は右側面図である。また、図３（Ａ）は平面図、同図（Ｂ）はＢ−Ｂ矢視断面図、同図（Ｃ）はＡ−Ａ矢視断面図である。本実施例の積分筒１０は円筒体１、端面カバー６及び７でなる。円筒体１には、光入射スリット１１，１２及び光出射スリット１３が設けてある。これらスリット１１，１２及び１３の長さ方向は円筒体１の軸に平行であり、光入射スリット１１及び１２は、円筒体１の軸に関し対称である。光出射スリット１３は、光入射スリット１１及び１２とは円筒体１の軸に関し非対称な位置に設けてある。円筒体１の両端面は端面カバー６及び７で閉止してある。円筒体１における円筒空間の内壁１４（端面カバー６及び７の内表面を含む）は、反射面をなし、光入射スリット１１及び１２から入射した光を反射する。内壁１４の反射特性は、一般的な積分球の内壁の反射特性と同様でよい。円筒体１の軸方向長さは256mm、円筒の内径は40mm、光入射スリット１１、１２の長さ及び幅はそれぞれ220mm及び2mm、光出射スリット１３の長さ及び幅はそれぞれ180mm及び5mmである。 Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. FIGS. 1 to 3 are views showing a first embodiment of an integrating cylinder according to the present invention. FIG. 1 (A) is a perspective view thereof, and FIG. 2A is a plan view, FIG. 2B is a front view, and FIG. 2C is a right side view. 3A is a plan view, FIG. 3B is a cross-sectional view taken along the line B-B, and FIG. 3C is a cross-sectional view taken along the line A-A. The integrating cylinder 10 of the present embodiment includes a cylindrical body 1 and end face covers 6 and 7. The cylindrical body 1 is provided with light entrance slits 11 and 12 and a light exit slit 13. The length directions of the slits 11, 12 and 13 are parallel to the axis of the cylindrical body 1, and the light incident slits 11 and 12 are symmetric with respect to the axis of the cylindrical body 1. The light exit slit 13 is provided at a position asymmetric with respect to the axis of the cylindrical body 1 with respect to the light entrance slits 11 and 12. Both end surfaces of the cylindrical body 1 are closed by end surface covers 6 and 7. The inner wall 14 (including the inner surfaces of the end surface covers 6 and 7) of the cylindrical space in the cylindrical body 1 forms a reflecting surface and reflects the light incident from the light incident slits 11 and 12. The reflection characteristic of the inner wall 14 may be the same as the reflection characteristic of the inner wall of a general integrating sphere. The length of the cylindrical body 1 in the axial direction is 256 mm, the inner diameter of the cylinder is 40 mm, the length and width of the light entrance slits 11 and 12 are 220 mm and 2 mm, respectively, and the length and width of the light exit slit 13 are 180 mm and 5 mm, respectively. .

図１乃至図３に示す積分筒１０において、光入射スリット１１及び１２から入射した光は、内壁１４で繰り返し反射され、積分され、光出射スリット１３からライン状の光として出射する。図１（Ｂ）は、そのような積分筒１０の作用を模式的に示している。本図では、積分筒１０は軸に直交する面における断面で描かれているが、断面のハッチングは省略してある。また、光入射スリット１１，１２から入射した光が光出射スリット１３から出射するまでに内壁１４で反射される回数は実際は広い範囲に分散しているが、反射の様子の概念的な理解を容易にするために、光入射スリット１１及び１２からの入射光はそれぞれ５回及び９回の反射の後に出射スリット１３から出射するように反射光２００が描いてある。 In the integrating cylinder 10 shown in FIGS. 1 to 3, light incident from the light incident slits 11 and 12 is repeatedly reflected by the inner wall 14, integrated, and emitted from the light emitting slit 13 as line-shaped light. FIG. 1B schematically shows the operation of such an integrating cylinder 10. In this figure, the integrating cylinder 10 is drawn in a cross section in a plane perpendicular to the axis, but cross section hatching is omitted. In addition, the number of times the light incident from the light entrance slits 11 and 12 is reflected by the inner wall 14 before exiting from the light exit slit 13 is actually dispersed in a wide range, but it is easy to conceptually understand the state of reflection. Therefore, the reflected light 200 is drawn so that the incident light from the light incident slits 11 and 12 exits from the exit slit 13 after being reflected 5 times and 9 times, respectively.

図１２（Ａ）に示したライン型ライトガイド５０を２個用意し、両ライン型ライトガイド５０の出射端面１０５を光入射スリット１１及び１２にそれぞれ接続することにより、光入射スリット１１及び１２にライン状の光を入射することができる。従って、本実施例の積分筒１０と２個のライン型ライトガイドとを結合した構成により、光出射スリット１３からライン状光を出射するライン型照明装置を得ることができる。 Two line type light guides 50 shown in FIG. 12A are prepared, and the light emitting slits 11 and 12 are connected to the emission end faces 105 of both line type light guides 50, respectively. Line-shaped light can be incident. Therefore, a line-type illumination device that emits line-shaped light from the light-emitting slit 13 can be obtained by combining the integrating cylinder 10 of this embodiment and the two line-type light guides.

上述の如くに積分筒１０と２個のライン型ライトガイドとで構成したライン型照明装置では、光入射スリット１１，１２からの入射光のレベルが、これら各スリットの長さ方向に関しある相当程度に揃っているが、積分筒１の内壁１４で反射を繰り返し、積分される光は、積分球と同様な原理で、全ての方向での照度の均一性が改善され、照度分布の均一性に優れたライン状光として光出射スリット１３から出射される。かくして、光出射スリット１３からは、ライン方向、すなわち光出射スリット１３の長手方向に関する照度分布において均一性が高いばかりではなく、ラインの幅方向、すなわち光出射スリット１３の幅方向に関する照度分布の均一性も高いライン状光が得られる。 As described above, in the line type illumination device constituted by the integrating cylinder 10 and the two line type light guides, the level of the incident light from the light incident slits 11 and 12 is in a certain extent with respect to the length direction of each slit. However, the light that is repeatedly reflected and integrated by the inner wall 14 of the integrating cylinder 1 is improved in the uniformity of the illuminance in all directions by the same principle as the integrating sphere, and the illuminance distribution is uniform. The light is emitted from the light exit slit 13 as excellent line light. Thus, the light exit slit 13 is not only highly uniform in the illuminance distribution in the line direction, that is, the longitudinal direction of the light exit slit 13, but also has a uniform illuminance distribution in the line width direction, that is, the width direction of the light exit slit 13. A highly linear light can be obtained.

図４乃至図６は、本発明になる積分筒の第２の実施例を示す図であり、図４（Ａ）は斜視図、同図（Ｂ）は原理説明図である。図５（Ａ）は平面図、同図（Ｂ）は正面図、同図（Ｃ）は右側面図である。また、図６（Ａ）は平面図、同図（Ｂ）はＤ−Ｄ矢視断面図、同図（Ｃ）はＣ−Ｃ矢視断面図である。本実施例の積分筒２０は、図１乃至図３に示した第１の実施例の積分筒１０に加えて、拡散板４、拡散板押え枠５及び６個のネジ５１を備えてなり、円筒体１及び端面カバー６，７はその積分筒１０におけるものと同じである。積分筒２０では、拡散板押え枠５により拡散板４の縁を押えるとともに、ネジ５１でもって拡散板押え枠５を円筒体１に固定することにより、拡散板４が円筒体１に固定されている。拡散板４は、光出射スリット１３を覆っており、光出射スリット１３から出射されるライン状光を拡散し、ライン状光の照度分布の均一性を一層改善する。したがって、図４乃至図６の実施例によれば、ライン方向及びラインの幅方向に関する照度分布の均一性が更に向上したライン状光が光出射スリット１３から得られる。 FIGS. 4 to 6 are views showing a second embodiment of the integrating cylinder according to the present invention. FIG. 4 (A) is a perspective view and FIG. 4 (B) is a principle explanatory view. 5A is a plan view, FIG. 5B is a front view, and FIG. 5C is a right side view. 6A is a plan view, FIG. 6B is a cross-sectional view taken along the arrow D-D, and FIG. 6C is a cross-sectional view taken along the line C-C. The integrating cylinder 20 of the present embodiment includes a diffusion plate 4, a diffusion plate holding frame 5, and six screws 51 in addition to the integrating cylinder 10 of the first embodiment shown in FIGS. The cylindrical body 1 and the end surface covers 6 and 7 are the same as those in the integrating cylinder 10. In the integrating cylinder 20, the edge of the diffusion plate 4 is pressed by the diffusion plate holding frame 5, and the diffusion plate holding frame 5 is fixed to the cylindrical body 1 with a screw 51, whereby the diffusion plate 4 is fixed to the cylindrical body 1. Yes. The diffuser plate 4 covers the light exit slit 13 and diffuses the line light emitted from the light exit slit 13 to further improve the uniformity of the illuminance distribution of the line light. Therefore, according to the embodiment shown in FIGS. 4 to 6, line-shaped light with further improved uniformity of illuminance distribution in the line direction and the line width direction is obtained from the light emitting slit 13.

図７乃至図１０は、本発明になるライン型照明装置の一実施例を示す図であり、図７（Ａ）は斜視図、同図（Ｂ）は原理説明図である。図８（Ａ）は平面図、同図（Ｂ）は正面図、同図（Ｃ）は右側面図である。また、図９（Ａ）は平面図、同図（Ｂ）はＦ−Ｆ矢視断面図、同図（Ｃ）はＥ−Ｅ矢視断面図である（但し、図９（Ｃ）ではライン型ライトガイド２及び３は、右側面図として描いてある。）。図１０（Ａ）は光ファイバ束を広げて、多数の光ファイバ素線の端をライン状に配列した様子を示すための平面図、同図（Ｂ）は右側面図である。 7 to 10 are diagrams showing an embodiment of the line type lighting device according to the present invention, in which FIG. 7A is a perspective view and FIG. 7B is a principle explanatory view. 8A is a plan view, FIG. 8B is a front view, and FIG. 8C is a right side view. 9A is a plan view, FIG. 9B is a cross-sectional view taken along the line FF, and FIG. 9C is a cross-sectional view taken along the line EE (note that the line in FIG. 9C is a line). The mold light guides 2 and 3 are depicted as right side views). FIG. 10A is a plan view for showing a state in which optical fiber bundles are expanded and the ends of a number of optical fiber strands are arranged in a line, and FIG. 10B is a right side view.

このライン型照明装置４０は、図４乃至図６に示した積分筒２０の光入射スリット１１及び１２に、ライン型ライトガイド２及び３をそれぞれ接続してなる。したがって、円筒体１、端面カバー６、７、拡散板４、拡散板押え枠５及びねじ５１でなる積分筒２０は、図４乃至図６に示したものと同じである。ライン型ライトガイド２は、光ファイババンドル２１、光ファイバ保持部２２及び口金２３を備える。また、ライン型ライトガイド３は、光ファイババンドル３１、光ファイバ保持部３２及び口金３３を備える。 This line type illumination device 40 is formed by connecting line type light guides 2 and 3 to the light incident slits 11 and 12 of the integrating cylinder 20 shown in FIGS. Therefore, the integrating cylinder 20 including the cylindrical body 1, the end surface covers 6 and 7, the diffusion plate 4, the diffusion plate holding frame 5, and the screw 51 is the same as that shown in FIGS. 4 to 6. The line type light guide 2 includes an optical fiber bundle 21, an optical fiber holding part 22, and a base 23. The line type light guide 3 includes an optical fiber bundle 31, an optical fiber holding portion 32, and a base 33.

光ファイバ保持部２２は、光ファイババンドル２１が挿通される管状部であり、光ファイババンドル２１が鋭角に曲げられ難いように光ファイババンドル２１を保持し、光ファイババンドル２１の損傷を防ぐために、ライン型ライトガイド２本体に設けてある。光ファイババンドル２１の各光ファイバ素線の端面には、ハロゲンランプ等の光源の光が入射する。その端面は、光の入射を均等にするために平面状に研磨されていることが必要である。口金２３は、光ファイババンドル２１内の多数の光ファイバ素線の端部を束ね、その研磨を容易にするために、光ファイババンドル２１の光入射端部に設けてある。光ファイバ保持部３２及び口金３３は、前記光ファイバ保持部２２及び口金２３と同様な目的でそれぞれ設けてある。 The optical fiber holding portion 22 is a tubular portion through which the optical fiber bundle 21 is inserted. In order to hold the optical fiber bundle 21 so that the optical fiber bundle 21 is not easily bent at an acute angle, and to prevent the optical fiber bundle 21 from being damaged, The line type light guide 2 is provided in the main body. Light from a light source such as a halogen lamp enters the end face of each optical fiber of the optical fiber bundle 21. The end face needs to be polished in a flat shape in order to make the incidence of light uniform. The base 23 is provided at the light incident end of the optical fiber bundle 21 in order to bundle the ends of a number of optical fiber strands in the optical fiber bundle 21 and to facilitate polishing. The optical fiber holding part 32 and the base 33 are provided for the same purpose as the optical fiber holding part 22 and the base 23, respectively.

図１０に表されているように、ライン型ライトガイド２本体内では、光ファイババンドル２１における光ファイバ束１００（光ファイバ素線１０１の束）の端部が広げられ、多数の光ファイバ素線１０１の端がライン状に配列されている。ライン状に配列された光ファイバ素線１０１の端面は、光入射スリット１１に調度対応しており、ライン型ライトガイド２のライン状出射光は光入射スリット１１から積分筒２０に入射される。ライン型ライトガイド３は、ライン型ライトガイド２と同じ構造であり、同様に積分筒２０の光入射スリット１２に接続され、ライン状出射光を光入射スリット１２から積分筒２０に出射する。 As shown in FIG. 10, in the main body of the line type light guide 2, end portions of the optical fiber bundle 100 (bundle of optical fiber strands 101) in the optical fiber bundle 21 are widened, and a large number of optical fiber strands are formed. The ends of 101 are arranged in a line. The end faces of the optical fiber strands 101 arranged in a line shape correspond to the light incident slit 11, and the line-shaped emitted light of the line type light guide 2 enters the integrating cylinder 20 from the light incident slit 11. The line-type light guide 3 has the same structure as the line-type light guide 2 and is similarly connected to the light incident slit 12 of the integrating cylinder 20, and emits line-shaped outgoing light from the light incident slit 12 to the integrating cylinder 20.

図１１（Ａ）は、図７乃至図１０のライン型照明装置４０でＣＯＦテープ７０を照明するＣＯＦテープ検査装置の照明部を概念的に示す図であり、同図（Ｂ）はそのライン型照明装置４０で照明されたＣＯＦテープ７０の表面７１における光の照度分布を示す図である。光ファイババンドル２１の光入射端面１０４にはハロゲンランプ等の光源の光が入射する。その光入射端面１０４に入射した光は、ライン型照明装置４０からライン状光３０として出射され、ＣＯＦテープ７０の上面７１を照射する。 FIG. 11A is a diagram conceptually showing an illumination unit of a COF tape inspection apparatus that illuminates the COF tape 70 with the line illumination device 40 of FIGS. 7 to 10, and FIG. It is a figure which shows the illumination intensity distribution of the light in the surface 71 of the COF tape 70 illuminated with the illuminating device 40. FIG. Light from a light source such as a halogen lamp enters the light incident end face 104 of the optical fiber bundle 21. The light incident on the light incident end face 104 is emitted from the line illumination device 40 as the line light 30 and irradiates the upper surface 71 of the COF tape 70.

ＣＯＦテープ７０の表面７１における光の照度は、Ｘ方向に関し、図１１（Ｂ）に実線Ｌ１で示すように分布する。同図の破線Ｌ２は、図１２（Ｂ）におけるＬ２と同様な特性線であり、ライン型ライトガイド２の照度分布を示す。ライン型ライトガイド２は光ファイババンドル２１の長さ方向に対し直交する方向に出射する側方照射型であり、図１２のライン型ライトガイド５０は光ファイババンドル９０の長さ方向に出射する前方照射型であるが、ライン型ライトガイド２及び５０の照度分布は、ライン状光のライン方向（Ｘ方向）及びライン状光の幅方向（Ｙ方向）に関し、同じである。したがって、図７乃至図１１におけるライン型ライトガイド２の照度は、図１２に特性線Ｌ２で示した照度と同じ分布であり、Ｘ方向に関し、中央部と両端部とでは１０〜２０％相違する。ライン型ライトガイド３はライン型ライトガイド２と同じ構成であるので、ライン型ライトガイド２について上に述べた事項は、ライン型ライトガイド３にそのまま当て嵌まる。 The illuminance of light on the surface 71 of the COF tape 70 is distributed in the X direction as shown by a solid line L1 in FIG. A broken line L2 in the figure is a characteristic line similar to L2 in FIG. 12B, and shows the illuminance distribution of the line type light guide 2. The line-type light guide 2 is a side irradiation type that emits in a direction orthogonal to the length direction of the optical fiber bundle 21, and the line-type light guide 50 in FIG. 12 is a front that emits in the length direction of the optical fiber bundle 90. Although it is an irradiation type, the illuminance distribution of the line type light guides 2 and 50 is the same with respect to the line direction (X direction) of the line light and the width direction (Y direction) of the line light. Therefore, the illuminance of the line light guide 2 in FIGS. 7 to 11 has the same distribution as the illuminance indicated by the characteristic line L2 in FIG. 12, and is different by 10 to 20% between the central portion and both end portions in the X direction. . Since the line-type light guide 3 has the same configuration as the line-type light guide 2, the above-described matters regarding the line-type light guide 2 apply directly to the line-type light guide 3.

上述のとおり、図１２に示したライン型ライトガイド５０でなる従来のライン型照明装置では、図１２（Ｂ）に特性線Ｌ２に示すように、ライン方向におけるライン状出射光３０aの照度の分散は１０〜２０％であった。これに対し、図７乃至図１０に示した本実施例のライン型照明装置４０では、図１１（Ｂ）に特性線Ｌ１に示すように、ライン方向におけるライン状出射光３０の照度の分散は２％である。このように、本実施例によるライン方向の照度の分散は、従来のものに比べ、格段に改善された。 As described above, in the conventional line type illumination device including the line type light guide 50 shown in FIG. 12, as shown by the characteristic line L2 in FIG. Was 10 to 20%. On the other hand, in the line type illumination device 40 of the present embodiment shown in FIGS. 7 to 10, the illuminance dispersion of the line-shaped emitted light 30 in the line direction is as shown by the characteristic line L1 in FIG. 2%. As described above, the dispersion of the illuminance in the line direction according to the present embodiment is remarkably improved as compared with the conventional one.

図１３を参照して先に説明したように、ライン型ライトガイド５０でなる従来のライン型照明装置でＣＯＦテープを照明するＣＯＦテープ検査装置では、ライン状出射光におけるライン方向の照度分布が均一性に欠け、照度がライン方向において１０〜２０％程度も分散していることに起因し、本来存在しない導体パターンがＣＯＦテープの両端部に存在すると誤って判定してしまうことがあった。これに対し、本実施の形態のライン型照明装置４０でＣＯＦテープを照明するＣＯＦテープ検査装置では、ライン状出射光におけるライン方向の照度分布の均一性に優れ、照度分散が２％であるので、本来存在しない導体パターンがＣＯＦテープの両端部に存在すると誤って判定してしまうという虞はない。 As described above with reference to FIG. 13, in the COF tape inspection apparatus that illuminates the COF tape with the conventional line-type illumination device composed of the line-type light guide 50, the illuminance distribution in the line direction in the line-shaped emitted light is uniform. Due to the lack of illuminance and the illuminance being dispersed by about 10 to 20% in the line direction, it may be erroneously determined that a conductor pattern that does not originally exist is present at both ends of the COF tape. On the other hand, the COF tape inspection apparatus that illuminates the COF tape with the line illumination device 40 of the present embodiment is excellent in the uniformity of the illuminance distribution in the line direction in the line-shaped emitted light, and the illuminance dispersion is 2%. There is no risk of erroneously determining that a conductor pattern that does not originally exist is present at both ends of the COF tape.

また、本実施例のライン型照明装置４０によれば、先に積分筒の実施例に関し説明したところと同様に、ライン方向に関する照度分布において均一性が高いばかりではなく、ラインの幅方向に関する照度分布の均一性も高いライン状光が得られる。したがって、特許文献６の発明で解決しようとしたラインの幅方向に関する照度分布の不均一性も、本実施の形態のライン型照明装置４０により解決される。 Further, according to the line type illumination device 40 of the present embodiment, not only the illuminance distribution with respect to the line direction is highly uniform, but also the illuminance with respect to the width direction of the line, as described above with respect to the embodiment of the integrating cylinder. Line-shaped light with high distribution uniformity can be obtained. Therefore, the non-uniformity of the illuminance distribution with respect to the width direction of the line, which is to be solved by the invention of Patent Document 6, is also solved by the line illumination device 40 of the present embodiment.

また、本実施例のライン型照明装置４０における積分筒２０は、先に挙げた第１の実施例の積分筒１０とほぼ同じ大きさであり、特に円筒の内径が40mmで足りるから、全体の寸法は実用的な大きさである。もし、積分球に光出射スリットを設けることにより、ライン状光を得ようとすれば、積分球は、光出射スリットの曲率が大きく、実質的に直線とみなせる程に大きくする必要がある。したがって、本実施例のライン型照明装置４０は、積分球でライン状光を得る場合に比べて、格段に小型で、必要な程度に優れた照度の均一性を実現できる。 Further, the integrating cylinder 20 in the line type illumination device 40 of the present embodiment is almost the same size as the integrating cylinder 10 of the first embodiment mentioned above, and in particular, the inner diameter of the cylinder is sufficient to be 40 mm. The dimensions are practical. If it is intended to obtain line-shaped light by providing a light exit slit in the integrating sphere, the integrating sphere needs to be large enough to have a large curvature of the light exit slit and be regarded as a substantially straight line. Therefore, the line type illumination device 40 of the present embodiment is much smaller than the case where the line-shaped light is obtained with an integrating sphere, and can achieve the illuminance uniformity superior to a necessary level.

上に図１乃至６を参照して説明した積分筒１０，２０及び図７乃至図１０を参照して説明したライン型照明装置４０における積分筒２０では、光出射スリット１３は、光入射スリット１１及び１２とは円筒体１の軸に関し非対称な位置に設けてある。このような構造を採用したのは、光入射スリットから入射したライン状光が、円筒体の内壁で反射されることなく光出射スリットに直接に入射するのを避け、積分筒の内部空間における光の反射による積分効果を十分に得て、光出射スリットから出射されるライン状光における照度の均一性を向上するためである。 In the integrating cylinders 10 and 20 described with reference to FIGS. 1 to 6 and the integrating cylinder 20 in the line illumination device 40 described with reference to FIGS. 7 to 10, the light exit slit 13 is the light incident slit 11. And 12 are asymmetrical with respect to the axis of the cylindrical body 1. This structure is adopted because the line-shaped light incident from the light incident slit is not directly reflected on the light exit slit without being reflected by the inner wall of the cylindrical body, and the light in the inner space of the integrating cylinder is avoided. This is because the integration effect due to the reflection is sufficiently obtained and the illuminance uniformity in the line light emitted from the light exit slit is improved.

なお、以上に挙げた実施の形態では、本発明をＣＯＦテープ検査装置用のライン型照明装置に適用する例について説明したが、本発明の積分筒およびライン型照明装置は、ＣＯＦテープに限らず、ＴＡＢテープ、Ｔ−ＢＧＡテープ、ＡＳＩＣテープ等の各種の電子部品実装用フィルムキャリアテープを検査する装置の照明装置、ＬＳＩ等の半導体装置にライン状光を照射してそのパターンの良否を検査するパターン検査装置における照明装置、均一な照度分布のライン状光で対象物を照明し、検査するその他各種の検査装置における照明装置に適用できることは勿論である。 In the embodiment described above, the example in which the present invention is applied to the line type illumination device for the COF tape inspection apparatus has been described. However, the integrating cylinder and the line type illumination device of the present invention are not limited to the COF tape. Irradiation equipment for inspecting various electronic component mounting film carrier tapes such as TAB tape, T-BGA tape, ASIC tape, and semiconductor devices such as LSIs are irradiated with line light to inspect the quality of the pattern Needless to say, the present invention can be applied to an illumination device in a pattern inspection device, and an illumination device in various other inspection devices that illuminate and inspect an object with line-shaped light having a uniform illuminance distribution.

また、本発明の理解を容易にするために、構造、寸法等を具体的に示し、実施例を説明したが、本発明はこれら実施例に限定されるものでないことは言うまでもない。例えば、図１乃至図３の実施例の積分筒１０及び図４乃至図６の実施例の積分筒２０は、光入射スリット１１及び１２を備えているが、本発明の積分筒では、光入射スリットは１つでも差し支えない。同様に、図７乃至図１０に示したライン型照明装置においても、積分筒２０は２つの光入射スリットを備え、２つのライン型ライトガイドがそれら光入射スリットに接続されているが、これら光入射スリット及びライン型ライトガイドは一つでも差し支えない。また、本発明の積分筒は光入射スリットを３又は３以上としても、実施可能であるし、このような積分筒を用い、ライン型ライトガイドを光入射スリットと同数とするライン型照明装置も本発明により実現可能である。 Further, in order to facilitate understanding of the present invention, the structure, dimensions, and the like are specifically shown and examples have been described, but it is needless to say that the present invention is not limited to these examples. For example, the integrating cylinder 10 of the embodiment of FIGS. 1 to 3 and the integrating cylinder 20 of the embodiment of FIGS. 4 to 6 include the light incident slits 11 and 12, but in the integrating cylinder of the present invention, the light incident There can be one slit. Similarly, in the line type illumination device shown in FIGS. 7 to 10, the integrating cylinder 20 includes two light incident slits, and two line light guides are connected to the light incident slits. There may be one entrance slit and one line type light guide. Further, the integrating cylinder of the present invention can be implemented even if the number of light incident slits is three or three or more, and there is also a line type illumination device that uses such an integrating cylinder and has the same number of line type light guides as the number of light incident slits. It can be realized by the present invention.

本発明になる積分筒の第１の実施例を示す図であり、（Ａ）はその斜視図、（Ｂ）は原理説明図である。It is a figure which shows the 1st Example of the integration cylinder which becomes this invention, (A) is the perspective view, (B) is a principle explanatory drawing. 図１の積分筒の図であり、（Ａ）はその平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は右側面図である。FIGS. 2A and 2B are diagrams of the integrating cylinder of FIG. 1, in which FIG. 1A is a plan view, FIG. 1B is a front view, and FIG. 図１の積分筒の図であり、（Ａ）はその平面図、（Ｂ）はＢ−Ｂ矢視断面図、（Ｃ）はＡ−Ａ矢視断面図である。2A and 2B are views of the integrating cylinder of FIG. 1, in which FIG. 1A is a plan view thereof, FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line BB, and FIG. 本発明になる積分筒の第２の実施例を示す図であり、（Ａ）はその斜視図、（Ｂ）は原理説明図である。It is a figure which shows the 2nd Example of the integration cylinder which becomes this invention, (A) is the perspective view, (B) is a principle explanatory drawing. 図４の積分筒の図であり、（Ａ）は平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は右側面図である。5A is a plan view, FIG. 5B is a front view, and FIG. 5C is a right side view. 図４の積分筒の図であり、（Ａ）はその平面図、（Ｂ）はＤ−Ｄ矢視断面図、（Ｃ）はＣ−Ｃ矢視断面図である。FIG. 5A is a plan view of the integrating cylinder of FIG. 4, FIG. 5B is a cross-sectional view taken along the line DD, and FIG. 5C is a cross-sectional view taken along the line CC. 本発明になるライン型照明装置の一実施例を示す図であり、（Ａ）は斜視図、（Ｂ）は原理説明図である。It is a figure which shows one Example of the line type illuminating device which becomes this invention, (A) is a perspective view, (B) is principle explanatory drawing. 図７のライン型照明装置の図であり、（Ａ）はその平面図、（Ｂ）は正面図、（Ｃ）は右側面図である。It is a figure of the line type illuminating device of FIG. 7, (A) is the top view, (B) is a front view, (C) is a right view. 図７のライン型照明装置の図であり、（Ａ）はその平面図、（Ｂ）はＦ−Ｆ矢視断面図、（Ｃ）はＥ−Ｅ矢視断面図である。It is a figure of the line type illuminating device of FIG. 7, (A) is the top view, (B) is FF arrow sectional drawing, (C) is EE arrow sectional drawing. 図７のライン型照明装置の図であり、（Ａ）は光ファイバ束を広げて、多数の光ファイバ素線の端をライン状に配列した様子を示すための平面図、（Ｂ）は右側面図である。FIG. 8A is a diagram of the line illumination device of FIG. 7, in which FIG. 7A is a plan view illustrating a state in which optical fiber bundles are spread and ends of a large number of optical fiber wires are arranged in a line, and FIG. FIG. 図７乃至図１０に示したライン型照明装置４０を説明する図であり、（Ａ）はそのＣＯＦテープ検査装置４０を概念的に示す図、（Ｂ）はライン型照明装置４０で照明されたＣＯＦテープ７０の表面７１における光の照度分布を示す図である。It is a figure explaining the line type illuminating device 40 shown in FIG. 7 thru | or FIG. 10, (A) is a figure which shows the COF tape test | inspection apparatus 40 notionally, (B) was illuminated with the line type illuminating device 40. FIG. 6 is a diagram showing an illuminance distribution of light on a surface 71 of a COF tape 70. ライン型ライトガイド５０でＣＯＦテープ７０を照明する従来のＣＯＦテープ検査装置を説明する図である。It is a figure explaining the conventional COF tape test | inspection apparatus which illuminates the COF tape 70 with the line type light guide 50. FIG. ＣＯＦテープを照明するライン型照明装置として図１２のライン型ライトガイド５０を用いたＣＯＦテープ検査装置の問題点を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating the problem of the COF tape test | inspection apparatus using the line type light guide 50 of FIG. 12 as a line type illuminating device which illuminates a COF tape.

符号の説明Explanation of symbols

１円筒体
２，３側方照射型のライン型ライトガイド
４拡散板
５拡散板押え枠
６，７端面カバー
１０，２０積分筒
１１，１２光入射スリット
１３光出射スリット
１４円筒体１の内壁
１５光出射端面
２１，３１光ファイババンドル
２２，３２光ファイババンドル保持部
２３，３３光ファイババンドルの口金
３０積分筒２０から出射されるライン状光
３１ＣＯＦテープ表面７１における出射光３０の照射領域（ライン状照射領域）
４０ライン型照明装置
５０ライン型ライトガイド
５１拡散板押さえ枠固定用ネジ
６１端面カバー固定用ネジ
７０ＣＯＦテープ
７１ＣＯＦテープの表面
７２，７３導体パターン
８０光源
８１ハロゲンランプ
８２リフレクタ
９０光ファイババンドル
１００光ファイバ束
１０１光ファイバ素線
１０２光ファイバ束１００の外被
１０３ライン型ケース
１０５光出射端面
２００積分筒１０の内壁１４で反射する光
Ｄ１ラインセンサカメラの受光照度
Ｄ２ラインセンサカメラの検知出力
Th ラインセンサカメラ受光照度と比較するための閾値 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cylindrical body 2, 3 Side-illuminated line type light guide 4 Diffusion plate 5 Diffusion plate holding frame 6, 7 End surface cover 10, 20 Integration cylinder 11, 12 Light entrance slit 13 Light exit slit 14 Inner wall 15 of cylinder 1 Light exit end faces 21, 31 Optical fiber bundles 22, 32 Optical fiber bundle holders 23, 33 Optical fiber bundle cap 30 Lined light 31 emitted from integrating cylinder 20 Irradiation region (line of emitted light 30 on COF tape surface 71 Irradiation area)
40 Line-type lighting device 50 Line-type light guide 51 Diffusion plate holding frame fixing screw 61 End face cover fixing screw 70 COF tape 71 COF tape surface 72, 73 Conductive pattern 80 Light source 81 Halogen lamp 82 Reflector 90 Optical fiber bundle 100 Light Fiber bundle 101 Optical fiber strand 102 Outer sheath 103 of optical fiber bundle 100 Line-type case 105 Light emitting end face 200 Light reflected by inner wall 14 of integrating cylinder 10 Light reception illuminance D2 of line sensor camera Detection output of line sensor camera
Threshold for comparison with Th line sensor camera light intensity

Claims

光入射スリット及び光出射スリットを有し、両端が閉止され、内壁が光反射面をなす円筒体でなり、前記光入射スリット及び光出射スリットの長手方向は前記円筒体の軸に概ね平行であることを特徴とする積分筒。 It has a light entrance slit and a light exit slit, both ends are closed and the inner wall is a cylindrical body forming a light reflecting surface, and the longitudinal direction of the light entrance slit and the light exit slit is substantially parallel to the axis of the cylindrical body. An integrating cylinder characterized by that.

前記光入射スリット及び光出射スリットは前記軸に関し非対称の位置に設けてあることを特徴とする請求項１に記載の積分筒。 2. The integrating cylinder according to claim 1, wherein the light entrance slit and the light exit slit are provided at asymmetric positions with respect to the axis.

前記光出射スリットを覆う拡散板が前記円筒体に固定してあることを特徴とする請求項１又は２に記載の積分筒。 The integrating cylinder according to claim 1, wherein a diffusion plate that covers the light exit slit is fixed to the cylindrical body.

前記光入射スリットが複数設けてあることを特徴とする請求項１乃至３に記載の積分筒。 4. The integrating cylinder according to claim 1, wherein a plurality of the light incident slits are provided.

請求項１乃至４に記載の積分筒と、この積分筒の前記光入射スリットに光出射端面を接続したライン型ライトガイドとを備えることを特徴とするライン型照明装置 5. A line type illumination apparatus comprising: the integrating cylinder according to claim 1; and a line type light guide having a light emitting end face connected to the light incident slit of the integrating cylinder.