JP2009075309A - 光走査素子およびその駆動方法、並びに光走査素子を用いた光走査プローブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上に支持された微小ミラー29を物理的作用力によって揺動させる光走査素子であって、基板上で該基板の面に平行な第1の軸を中心として揺動変位可能に支持された第1可動部11と、第1可動部11上に一体に配置され、第1の軸とは直交する第2の軸を中心として揺動変位可能に支持されるともに、上面に微小ミラー29を備えた第2可動部13と、第1可動部11および第2可動部13に物理的作用力を印加することで、微小ミラー29を第1の軸及び前記第2の軸方向を中心とする2軸方向に揺動変位させる駆動手段31,33,35,36,・・・と、を具備した。
【選択図】図1
Description
特許文献1に開示された光走査素子の構成を図30に示した。この光走査素子1A,1Bは、内視鏡への適用を前提としている構成されており、光走査素子の駆動方式については一般的な静電駆動を採用している。つまり、図30(a)に示すように、可動部2の左右に備わる可動電極3a,3bと、図示しない対面的に設置された固定電極との間に電圧を印加し、発生する静電力によって可動部2が梁4を中心軸として回転変位するものである。図中ハッチ領域はミラー部分を表している。図31(a)は1軸ミラー、図31(b)は、可動電極3a,3bおよび可動電極3c,3dへの電圧印加により梁4及び5を中心軸として回転変位する2軸ミラーの構成を示している。
IBM J.Res.Develop Vol.24 (1980)
(1) 基板上に支持された微小ミラーを物理的作用力によって揺動させる光走査素子であって、
前記基板上で該基板の面に平行な第1の軸を中心として揺動変位可能に支持された第1可動部と、
前記第1可動部上に一体に配置され、前記第1の軸とは直交する第2の軸を中心として揺動変位可能に支持されるともに、上面に前記微小ミラーを備えた第2可動部と、
前記第1可動部および前記第2可動部に物理的作用力を印加することで、前記微小ミラーを前記第1の軸及び前記第2の軸方向を中心とする2軸方向に揺動変位させる駆動手段と、
を具備した光走査素子。
前記駆動手段が、前記第1可動部と前記第2可動部の少なくともいずれかに対して、各可動部の厚み方向に重なり合う範囲内に配置された光走査素子。
前記駆動手段が、
前記第1可動部に前記第1の軸を中心とする第1の回転方向に物理的作用力を加える第1駆動部と、
前記第1可動部に前記第1の回転方向とは反対の第2の回転方向に物理的作用力を加える第2駆動部と、
前記第2可動部に前記第2の軸を中心とする第3の回転方向に物理的作用力を加える第3駆動部と、
前記第2可動部に前記第3の回転方向とは反対の第4の回転方向に物理的作用力を加える第4駆動部と、
を備えた光学走査素子。
前記第3駆動部および前記第4駆動部が、前記第1可動部と前記第2可動部との間の高さ位置に配置された光学走査素子。
前記第2可動部の厚み方向に重なり合う領域内に配置され、該第2可動部に対して弾性変位可能に接続された支持部材を有する光走査素子。
前記第2可動部の前記第2の軸に直交する方向の最大寸法は、前記第1可動部の前記第1の軸に沿った方向の最大寸法に略等しい光走査素子。
少なくとも前記第1可動部および前記第2可動部が減圧状態で封止される封止構造を備えた光走査素子。
前記物理的作用力が静電気力である光走査素子。
前記第1可動部と前記第2可動部は、少なくとも一部に導電性を有し、互いに電気的に接続されている光走査素子。
前記第2可動部を第1の周波数で主走査駆動し、
前記第1可動部が1回揺動する間に複数回揺動するように、前記第1可動部を前記第1の周波数より低い第2の周波数で副走査駆動する光走査素子の駆動方法。
前記第1可動部と前記第2可動部とが一方の回転方向から他方の回転方向へ遷移する際に、前記一方の回転方向の最終変位位置で前記可動部の下端が下方の部材に接触する前に前記他方の回転方向への変位を開始させる光走査素子の駆動方法。
前記第2可動部を、該第2可動部の共振周波数に略等しい周波数で振動駆動する光走査素子の駆動方法。
前記第2可動部を、該第2可動部の共振周波数より高い周波数で揺動駆動する光走査素子の駆動方法。
前記第2可動部を、該第2可動部の共振周波数より低い周波数で揺動駆動する光走査素子の駆動方法。
前記第1可動部を、該第1可動部に一体とされた構造体の共振周波数に略等しい周波数で振動させる光走査素子の駆動方法。
前記被検体に光を照射するための光を発生する光源と、
前記光源からの光を前記プローブの先端部に導く光伝達手段と、
請求項1〜請求項9のいずれか1項記載の光走査素子が前記プローブの先端部に搭載され、前記光走査素子に導かれた前記光源からの光を前記被検体に向けて二次元走査する光走査部と、
前記光走査部の前記光走査素子に前記微小ミラーを揺動駆動する駆動信号を供給する走査駆動部と、
前記光走査部によって二次元走査された光の前記被検体からの反射光を基端部に導く反射光伝達手段と、
を備えた光走査プローブ。
前記光源と前記光走査部との間にピンホールが形成され、該ピンホールを通過する光が実質的に点光源となり、前記被検体との間に共焦点光学系が構成される共焦点ピンホールを備えた光走査プローブ。
また、本発明の光走査プローブによれば、光走査部に設けられた光走査素子を用いて光を二次元走査するので、被検体内の特定領域を照明すると共に、この特定領域からの反射光(戻り光)を基端側に導くので、特定領域の二次元画像を検出できる。また、微小ミラーの開口率が高いので、径が細い内視鏡などの用途に採用する場合であっても、高い解像度で対象物(生体組織や細胞の表面、その他、工業製品などの内部等)の像を検出できる。
(第1の実施の形態)
本実施の形態で想定している光走査素子については、例えば内視鏡のプローブ先端付近の内部空間に搭載可能な非常に小さいサイズのもの(例えば最大寸法が1mm以下程度)を想定している。勿論、異なる用途で使用する場合には、上記より少し大きな光走査素子を構成することもできる。
図1に示すように、この光走査素子100は、可動部として、平板形状の第1可動板(第1可動部)11及びこの第1可動板11上に一体に配置される第2可動板(第2可動部)13を備えている。第1可動板11と第2可動板13は、それらの厚み方向(図中に示すZ方向)に重なるように基板15上で上下に重なる位置に配置され、双方が独立して傾斜可能に支持されている。また、第1可動板11は、図2に示すように平面視でH形状であり、第2可動板13の平面形状は長方形とされ、それぞれ均一な厚みに形成されている。
図5は光走査素子とそれを駆動するための電気信号の接続状態を示す説明図である。
光走査素子100を駆動する場合には、図5に示すように各電極に駆動信号φV1〜φV4が印加される。すなわち、第1固定電極31には駆動信号φV1、第1固定電極33には駆動信号φV2、第2固定電極35,36には駆動信号φV3、第2固定電極37,38には駆動信号φV4が印加される。また、第1可動板11と、第2可動板13と、これらを支持している第1支持部19,21並びに第2支持部25,27は、電気的に互いに共通に接続され、これらはアースと接続されて接地電位とされている。
図6に示す駆動ユニット41は、駆動電圧制御回路43とメモリ回路45とを備えている。駆動電圧制御回路43は、光走査素子100の各電極に印加される駆動信号φV1〜φV4を生成する。メモリ回路45は、素子の駆動に先立ち、各駆動信号φV1〜φV4として出力すべき信号波形の情報を、光走査素子100の微小ミラー29の各軸に対する傾きの変位量に対応付けて保持している。メモリ回路45が外部から変位量の指示が入力されると、その変位量に対応する信号波形を生成するために必要な情報を駆動電圧制御回路43に与える。駆動電圧制御回路43は、メモリ回路45から入力される情報に基づいて、各駆動信号φV1〜φV4の波形を必要なタイミングで生成する。
図7(a)に示すように、光走査素子の第2可動板13は回転軸Ax1を中心に傾斜(傾斜角θ2)し、図7(b)に示すように、第1可動板11は回転軸Ax2を中心に傾斜(傾斜角θ1)する。
図8は光走査素子を図3と同じ方向から見た場合の第1可動板の各動作状態(a)〜(d)を示す説明図である。
ここで、第1可動板11は導電性材料からなり、その板面全体が電極として機能するものとする。
第1可動板11と第1固定電極31,第1可動板11と第1固定電極33との間の電位差が0である定常状態においては、図8(a)に示すように、基板15の面と、第1可動板11の面は、互いに平行な状態で配置されている。なお、第2可動板13の面は、第1可動板11の面に平行な状態にされているものとする。
図9は光走査素子を図4と同じ方向から見た場合の各動作状態(a)〜(d)を示す説明図である。
ここで、第2可動板13は導電性材料からなり、その板面全体が電極として機能するものとする。
第2可動板13と第2固定電極35,36、第2可動板13と第2固定電極37,38との間の電位差が0である定常状態においては、図9(a)に示すように、基板15の面と、第2可動板13の面(微小ミラー29の反射面)は、互いに平行な状態で配置されている。なお、第1可動板13の面は、基板15の面に平行な状態にされているものとする。
(第1の駆動例)
図10に光走査素子を駆動する駆動信号及びこれによる動作のタイムチャートを示した。
図10に示す例では、第2可動板13の変位(傾斜角θ2)を第2可動板13の固有振動数に相当する共振振動数によって定まる第1の周波数(f1)の駆動信号を用いて駆動し、第1可動板11の変位(傾斜角θ1)を第1の周波数(f1)よりも低い第2の周波数(f2)の駆動信号を用いて駆動する。共振周波数は、第2可動板13の形状や質量によって固有振動数が定まり、この固有振動数、すなわち共振周波数で駆動することで、揺動動作を安定化できる。
第2可動板13の傾斜角θ2が0°の定常状態(静止状態)で、駆動信号φV3を低電位から高電位に切り替えると、前述の静電吸引力によって傾斜角θ2(図9(b)参照)は徐々に大きくなり、最大値Δθ2に達する。そして、最大値Δθ2に達した後、駆動信号φV3が再び低電位に切り替わると、静電吸引力が解除されるので、弾性支持梁23A,23Bの弾性復元力により、傾斜角θ2は再び0°の状態に戻るように変化する。
つまり、第1可動板11と第2可動板13とが一方の回転方向から他方の回転方向へ遷移する際に、一方の回転方向の最終変位位置で可動板の下端が下方の部材に接触する前に他方の回転方向への変位を開始させるので、第1可動板11及び第2可動板13がそれぞれ揺動する際に、それらが周囲の他の部材と接触することなく揺動を繰り返すことができる。これにより、接触による機械振動の発生を防止でき、微小ミラーの面が向く方向を高精度で制御することが可能になる。
ところで、画像の取り込み用として実際に二次元走査を行う場合には、解像度を上げる要求があり、短時間で1画面の二次元走査を完了させるには、特に主走査を速めることが得策となる。そこで、第2可動板13の駆動を、第2可動板13の構造体固有の共振周波数よりも更に高い周波数で駆動する例を説明する。
図12に示す例では、第1可動板11の駆動は前述の第2の周波数(f2)で行い、第2可動板13の駆動を前述の共振周波数である第1の周波数(f1)よりも高い周波数(f3)の駆動信号を用いて行う場合を想定している。第1可動板11の駆動については、既に説明した図10の例と同様であるので、その説明は省略する。
一方、用途によっては比較的ゆっくりとした速度で光走査素子100の走査を行う場合もある。そのような場合には、第2可動板13の共振周波数よりも低い周波数で第2可動板13を駆動する。ここでは、第2可動板13の駆動を、第2可動板13の構造体固有の共振周波数よりも低い第4の周波数で駆動する例を説明する。
図13に示す例では、第1可動板11の駆動は前述の第1の周波数(f1)で行い、第2可動板13の駆動を前述の共振周波数である第2の周波数(f2)よりも低い第4の周波数(f4)の駆動信号を用いて行う場合を想定している。なお、第1可動板11の駆動については、既に説明した図10の例と同様であるので、その説明は省略する。
次に、本発明に係る光走査素子の第2の実施の形態を説明する。本実施形態の光走査素子は、第2可動板を更に大型化している。
図14は第2の実施の形態における光走査素子の基本構造を示す斜視図、図15は図14に示した光走査素子の一部分解斜視図である。また、図16は図14のA2−A2線から見た縦断面図、図17は図14のB2−B2線から見た縦断面図である。なお、図14〜図17において第1の実施の形態における構造に対応する要素は同一の符号を付けて示してある。
次に、本発明に係る光走査素子の第3の実施の形態を説明する。本実施形態の光走査素子は、第2可動板と第2固定電極との間の電極間距離を狭めた構成としている。
図18は第3の実施の形態における光走査素子の基本構造を示す斜視図、図19は図18に示した光走査素子の一部分解斜視図である。また、図20は図18のA3−A3線から見た縦断面図、図21は図18のB3−B3線から見た縦断面図である。なお、図18〜図21において第1の実施の形態又は第2の実施の形態に対応する要素は同一の符号を付けて示してある。
支持台40は、基板15の上面15aに立設され、それぞれの頂部に第2固定電極35,36,37,38を配置している。第2固定電極35,36,37,38の高さは、図20,図21に示すように、第1可動板11と第2可動板14との間の高さ位置、すなわち弾性支持梁51の高さと略同一とされ、第1可動板11の設置面高さから突出した高さにされている。そして、第1可動板11を跨ぐ第2固定電極35−37間の距離、同じく第2固定電極36−38間の距離は、第1可動板11のY方向の幅が狭くなっている凹領域の幅を更に細くすることで、前述の第2実施形態の場合より短くされている。つまり、第2可動板14の回転軸Ax2と第2固定電極35,36,37,38との距離が近くなっている。
図22に光走査素子の製造工程(a)〜(l)の各段階を表す説明図を示した。なお、図22に示す各工程の状態は、図14に示す光走査素子200の前面側(Y方向の手前側)の構造と対応している。
次いで、駆動回路57の上部に、SiO2をPECVDより成膜して第2絶縁層59を形成し、駆動回路57の出力を素子の各電極と接続するためのコンタクトホール61をフォトリソグラフィとフッ素系のRIEエッチングによりパターニング形成する。
その後、下地膜TiN薄膜(図示略)をスパッタにより成膜し、続けてタングステンWをスパッタにより成膜する。これによりタングステンWがコンタクトホール61内に埋め込まれる。さらにその表面をCMPで平坦化する。そして、コンタクトホール61がタングステンWで埋め込まれた平坦面を覆うように第2絶縁膜(図示略)を形成する。
なお、上記の材料及び製造方法は例であり、本発明の主旨に沿えば、如何なる材料及製造方法でも良い。
次に、本発明に係る光走査素子を内視鏡装置の光学素子に適用した例を説明する。
本実施の形態においては、前述のように構成された光走査素子を内視鏡装置に採用した場合の具体例について、図23〜図28を参照しながら説明する。
図23は光走査素子が搭載された光走査プローブを含む光走査プローブ装置および内視鏡装置全体の構成を示す正面図である。
光走査プローブ400は、先端部が被検体内に挿入され、被検体内の所定領域に光を走査しつつ照射し、照射点より発せられる光を検出することで被検体内を観察する。この光走査プローブ400は、細長で可撓性を有するシース81で覆われている。
内視鏡装置90の接続部92にはスコープ94の基端側が接続され、このスコープ94の他端側には操作部89が接続される。そして、操作部89の先には細長の挿入部87が接続されている。操作部89には鉗子の挿入口89aが設けられ、この挿入口89aからプローブが挿入される。プローブは、挿入部89aに形成される鉗子口85を通じて挿入部87の先端まで延設されている。
内視鏡83は、光走査プローブ400に光学情報を入出力する光学系統と、駆動制御情報を入力する駆動系統とを備えており、双方から情報を入出力することで観察画像を信号処理装置91を介して表示部93に出力する構成となっている。
光学系統では、半導体レーザ等で構成される光源95、光検出部97、光カプラ99、これらを結ぶ光伝達手段(および反射光伝達手段)である光ファイバ101を備え、駆動系統では、操作部89、およびこれに接続される制御部103、走査駆動部105、補正テーブル131(いずれも詳細は後述する)を備える。
光走査プローブ400は、シース81の先端に先端枠体111がリング状の連結部113を介して接続されており、シース81内に挿通された光ファイバ101および信号線115が先端枠体111側に接続されている。先端枠体111は、先端部が閉塞した円筒形状の構造になっている。
図26は減圧封止した光走査素子の構成例を示す縦断面図である。
この光走査素子100によれば、パッケージ133内に光走査素子100が収容され、パッケージ133の内部空間を減圧状態として透明なカバーガラス135により封止されている。パッケージ133内の光走査素子100の下方には、光走査素子100の各電極と電気的に接続される駆動回路137が配置され、光走査素子100のパッケージ133封入後における駆動信号の入出力機能を担っている。
図27は、光走査プローブの先端枠体111の内部空間を減圧状態とした場合を示す説明図である。
この場合の構成は、前述の内視鏡の構成と同様であるが、光走査プローブ400の先端枠体111の内部に、減圧空間143を画成することで、光走査素子100単体で減圧封止する必要がなくなり、構造が簡略化される。具体的には、図中点線部分の部材を減圧環境下化で製作し、密封後に光走査プローブ400に固定すればよい。
次に、光走査素子の具体的構造とその動作解析結果について説明する。
ここでは、走査線数300×300の場合を想定し、実際に光走査素子の構造を決定し、有限要素法による構造解析を行った。この構造解析で用いた光走査素子の構造を図28に示した。図28(a)は解析モデルの全体構成を示す斜視図、図28(b)は第1可動板11の形状および寸法を示す平面図、図28(c)は第2の可動部(第2可動板13)の形状および寸法を示す平面図である。
L11=640μm: L12=640μm: L13=120μm: L14=400μm
L15=200μm: L16=200μm: L17= 10μm: L21=400μm
L22=500μm: L23= 10μm: L24= 40μm
また、第1可動板11と、その弾性支持梁17A,17Bの厚みはいずれも10μm。また、第2可動板13の厚みは10μmで、弾性支持梁23A.23Bの厚みは4μmである。そして、各部材の材料は、Siを想定しており、ヤング率は170GPa、ポアソン比は0.26とした。
図29に示すように、第1可動板11が走査範囲のY軸方向に1走査する時間は、振動周期の半周期なので、第1可動板11の駆動周波数を50Hzとすると、(1/50Hz)/2=0.01secとなる。第1可動板11がY軸方向に1走査する時間に、第2可動板13はX軸方向に300走査する。また、第2可動板13が1走査する時間は、同様に駆動周期の半周期なので、第2可動板13の駆動周波数(この場合は共振周波数)を15kHzとすると、 ((1/15kHz)/2)×300=0.01secとなり、第1可動板11がY軸方向に1走査する時間と一致する。よって、この素子の設計値を採用すると、第1可動板11がY軸方向に1走査する間に、第2可動板13はX軸方向の走査を300走査することができる。
したがって、このX軸方向の1走査の間に、光源をパルス的に300回照射するか、検出器のシャッタを高速に300回切替えれば、走査範囲を300×300の測定点として走査することができる。
13,14 第2可動板
13a,13b 端部
15 基板
15a 上面
17A,17B 弾性支持梁
19,21 第1支持部
23A,23B 弾性支持梁
25,27 第2支持部
29 微小ミラー
31,33 第1固定電極
35,36,37,38 第2固定電極
39,40 支持台
41 駆動ユニット
43 駆動電圧制御回路
45 メモリ回路
51 弾性支持梁
53 接合部
55 SOI基板
57 駆動回路
81 シース
83 内視鏡
85 鉗子口
87 挿入部
89 操作部
91 信号処理装置
93 表示部
95 光源
97 光検出部
99 光カプラ
100,200,300 光走査素子
101 光ファイバ
103 制御部
105 走査駆動部
107 被検体
111 先端枠体
113 連結部
115 信号線
117 保持部材
117a,117b 連通孔
119 フェルール
121 パッキン
123 内部空間
125 カバーガラス
127 集光レンズ
129 コリメータレンズ
131 補正テーブル
133 パッケージ
135 カバーガラス
137 駆動回路
141 パッケージ素子
143 減圧空間
400 光走査プローブ
Claims (17)
- 基板上に支持された微小ミラーを物理的作用力によって揺動させる光走査素子であって、
前記基板上で該基板の面に平行な第1の軸を中心として揺動変位可能に支持された第1可動部と、
前記第1可動部上に一体に配置され、前記第1の軸とは直交する第2の軸を中心として揺動変位可能に支持されるともに、上面に前記微小ミラーを備えた第2可動部と、
前記第1可動部および前記第2可動部に物理的作用力を印加することで、前記微小ミラーを前記第1の軸及び前記第2の軸方向を中心とする2軸方向に揺動変位させる駆動手段と、
を具備した光走査素子。 - 請求項1記載の光走査素子であって、
前記駆動手段が、前記第1可動部と前記第2可動部の少なくともいずれかに対して、各可動部の厚み方向に重なり合う範囲内に配置された光走査素子。 - 請求項1または請求項2記載の光走査素子であって、
前記駆動手段が、
前記第1可動部に前記第1の軸を中心とする第1の回転方向に物理的作用力を加える第1駆動部と、
前記第1可動部に前記第1の回転方向とは反対の第2の回転方向に物理的作用力を加える第2駆動部と、
前記第2可動部に前記第2の軸を中心とする第3の回転方向に物理的作用力を加える第3駆動部と、
前記第2可動部に前記第3の回転方向とは反対の第4の回転方向に物理的作用力を加える第4駆動部と、
を備えた光学走査素子。 - 請求項3記載の光走査素子であって、
前記第3駆動部および前記第4駆動部が、前記第1可動部と前記第2可動部との間の高さ位置に配置された光学走査素子。 - 請求項1〜請求項4のいずれか1項記載の光走査素子であって、
前記第2可動部の厚み方向に重なり合う領域内に配置され、該第2可動部に対して弾性変位可能に接続された支持部材を有する光走査素子。 - 請求項1〜請求項5のいずれか1項記載の光走査素子であって、
前記第2可動部の前記第2の軸に直交する方向の最大寸法は、前記第1可動部の前記第1の軸に沿った方向の最大寸法に略等しい光走査素子。 - 請求項1〜請求項6のいずれか1項記載の光走査素子であって、
少なくとも前記第1可動部および前記第2可動部が減圧状態で封止される封止構造を備えた光走査素子。 - 請求項1〜請求項7のいずれか1項記載の光走査素子であって、
前記物理的作用力が静電気力である光走査素子。 - 請求項8記載の光走査素子であって、
前記第1可動部と前記第2可動部は、少なくとも一部に導電性を有し、互いに電気的に接続されている光走査素子。 - 請求項1〜請求項9のいずれか1項記載の光走査素子の駆動方法であって、
前記第2可動部を第1の周波数で主走査駆動し、
前記第1可動部が1回揺動する間に複数回揺動するように、前記第1可動部を前記第1の周波数より低い第2の周波数で副走査駆動する光走査素子の駆動方法。 - 請求項10記載の光走査素子の駆動方法であって、
前記第1可動部と前記第2可動部とが一方の回転方向から他方の回転方向へ遷移する際に、前記一方の回転方向の最終変位位置で前記可動部の下端が下方の部材に接触する前に前記他方の回転方向への変位を開始させる光走査素子の駆動方法。 - 請求項10または請求項11記載の光走査素子の駆動方法であって、
前記第2可動部を、該第2可動部の共振周波数に略等しい周波数で揺動駆動する光走査素子の駆動方法。 - 請求項10または請求項11記載の光走査素子の駆動方法であって、
前記第2可動部を、該第2可動部の共振周波数より高い周波数で揺動駆動する光走査素子の駆動方法。 - 請求項10または請求項11記載の光走査素子の駆動方法であって、
前記第2可動部を、該第2可動部の共振周波数より低い周波数で揺動駆動する光走査素子の駆動方法。 - 請求項13または請求項14記載の光走査素子の駆動方法であって、
前記第1可動部を、該第1可動部に一体とされた構造体の共振周波数に略等しい周波数で振動させる光走査素子の駆動方法。 - 被検体の体内に挿入されるプローブと、
前記被検体に光を照射するための光を発生する光源と、
前記光源からの光を前記プローブの先端部に導く光伝達手段と、
請求項1〜請求項9のいずれか1項記載の光走査素子が前記プローブの先端部に搭載され、前記光走査素子に導かれた前記光源からの光を前記被検体に向けて二次元走査する光走査部と、
前記光走査部の前記光走査素子に前記微小ミラーを揺動駆動する駆動信号を供給する走査駆動部と、
前記光走査部によって二次元走査された光の前記被検体からの反射光を基端部に導く反射光伝達手段と、
を備えた光走査プローブ。 - 請求項16記載の光走査プローブであって、
前記光源と前記光走査部との間にピンホールが形成され、該ピンホールを通過する光が実質的に点光源となり、前記被検体との間に共焦点光学系が構成される共焦点ピンホールを備えた光走査プローブ。
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