JP2009074963A - コンタクトプローブユニット及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】金属導体2及び胴体部Aの外径が異なる一組のコンタクトプローブ1a,1bと、それぞれをガイドするためのガイド穴が異なる径で設けられた少なくとも2枚のガイドプレート20,30とを備えたプローブユニット10であって、一方のガイドプレート30に設けられたガイド穴31a,31bは、外径の異なるコンタクトプローブ1a,1bそれぞれの胴体部Aを通過させてガイドするものであり、他方のガイドプレート20に設けられたガイド穴21a,21bは、外径の異なるコンタクトプローブ1a,1bそれぞれの先端の金属導体2のみを通過させてガイドするものであるとともに、小さい径で形成されたガイド穴21bは、大きい外径からなるコンタクトプローブ1bの金属導体2を通過させない大きさで形成されている。
【選択図】図1
Description
前記少なくとも2枚のガイドプレートは一定の距離をもって固定され、当該ガイドプレートのうち、一方のガイドプレートに設けられたガイド穴は、前記外径の異なるコンタクトプローブそれぞれの胴体部を通過させてガイドするものであり、他方のガイドプレートに設けられたガイド穴は、前記外径の異なるコンタクトプローブそれぞれの先端で露出する金属導体のみを通過させてガイドするものであるとともに、小さい径で形成されたガイド穴は、前記大きい外径からなるコンタクトプローブの金属導体を通過させない大きさで形成されていることを特徴とする。
前記外径が異なるコンタクトプローブそれぞれをガイド穴に挿入する工程において、前記ガイド穴を有するガイドプレートを、上方に少なくとも1枚配置するとともに下方に少なくとも1枚配置し、次いで、前記外径が太い方のコンタクトプローブを、上方の少なくとも1枚のガイドプレートに設けられた大きい径のガイド穴に挿入した後、下方の少なくとも1枚のガイドプレートに設けられた大きい径のガイド穴に挿入し、次いで、前記外径が細い方のコンタクトプローブを、上方の少なくとも1枚のガイドプレートに設けられた小さい径のガイド穴に挿入した後、下方の少なくとも1枚のガイドプレートに設けられて前記外径が太い方のコンタクトプローブの金属導体を通過させない小さい径のガイド穴に挿入する、ことを特徴とする。
図1は、本発明のコンタクトプローブユニットの一例を示す構成図である。また、図2は、ガイドプレートに形成されたガイド穴の一例を示す平面図(A)とA−A´断面図(B)である。また、図3は、本発明のコンタクトプローブユニットに装着されるコンタクトプローブの先端形状の好ましい例を示す断面図である。
プローブ1は、図1に示すように、ピン形状の金属導体2の外周に絶縁被膜3を有する胴体部Aと、金属導体2の両端に絶縁被膜3を有しない端部Bとを有し、その金属導体2及び胴体部Aの外径が異なる一組のプローブである。そして、このプローブ1の両端に加重を与えてたわませることにより、被測定体11に対する接触圧力を得て電気特性を測定することができる。なお、図1において、金属導体2の下側の端部2aは、プリント基板12に形成された電極11に接触する端部であり、金属導体2の上側の端部2bは、検査装置側に配置されて検査装置(図示しない)のリード線50に接触する端部である。なお、絶縁被膜3の剥離端面3aは、下側端部2a側の絶縁被膜3の加工端面であり、図1の下側に配置されたガイドプレート20のガイド穴21a,21bに当たってプローブ1a,1bがそのガイド穴21a,21bから抜け落ちないように保持するように作用する。
次に、ガイドプレート20,30について説明する。ガイドプレート20,30は、図1に示すように、少なくとも2枚のプレートで構成され、それぞれのガイドプレート20,30には、外径の異なるプローブ1a,1bそれぞれをガイドするためのガイド穴21,31(21a,21b,31a,31b)が設けられている。そして、そのガイド穴21,31(21a,21b,31a,31b)は、異なる径(R1,R2)で設けられている。
次に、コンタクトプローブ1a,1bをガイドプレート20,30に挿入して本発明のプローブユニット10を製造する方法について説明する。本発明のプローブユニット10の製造方法は、上記本発明のプローブユニット10の製造方法であって、外径が異なるコンタクトプローブ1a,1bそれぞれをガイド穴に挿入する工程において、ガイド穴を有するガイドプレート20,30を、上方に少なくとも1枚配置するとともに下方に少なくとも1枚配置し、次いで、外径が太い方のコンタクトプローブ1aを、上方の少なくとも1枚のガイドプレート30に設けられた大きい径のガイド穴31aに挿入した後、下方の少なくとも1枚のガイドプレート20に設けられた大きい径のガイド穴21aに挿入し、次いで、外径が細い方のコンタクトプローブ1bを、上方の少なくとも1枚のガイドプレート30に設けられた小さい径のガイド穴31bに挿入した後、下方の少なくとも1枚のガイドプレート20に設けられて外径が太い方のコンタクトプローブ1aの金属導体2を通過させない小さい径のガイド穴21bに挿入する。
次に、上述した本発明のプローブユニット10を用いた電気特性の検査方法について説明する。
太い方のコンタクトプローブ1aとして、金属導体2の径が0.055mmで、絶縁被膜3を形成した後の胴体部Aの外径が0.070mmで、長さが20mmであるものを準備した。また、細い方のコンタクトプローブ1bとして、金属導体2の径が0.040mmで、絶縁被膜3を形成した後の胴体部Aの外径が0.055mmで、長さが20mmであるものを準備した。なお、いずれの場合も、電極側の金属導体先端の形状を、平坦形状とした。
実施例1において、下側のガイドプレート20に振動装置である神鋼電機株式会社製 バイブレートリ パッカ VP−4Dを設けた他は、実施例1と同様のプローブユニット10を作製した。このプローブユニット10の作製においては、コンタクトプローブ1 a,1bを下側ガイドプレート20に挿入する際に、特に太い方のコンタクトプローブ1aの挿入を速やかに行うことができた。
実施例1において、電極側の金属導体先端を、それぞれの金属導体の半径と同じアールで形成した。それ以外は実施例1と同様のプローブユニット10を作製した。このプローブユニット10の作製においては、実施例1と同様、問題なく行うことができた。
図4に示すように、コンタクトプローブ101a,101bとして、金属導体102の径が0.055mmで、絶縁被膜103を形成した後の胴体部Aの外径が0.070mmで、長さが20mmであるものを準備した。なお、いずれの場合も、電極側の金属導体先端の形状を、平坦形状とした。
2 金属導体
2a,2b 端部
3 絶縁被膜
3a 絶縁被膜の端面
10 プローブユニット
11 電極
12 プリント基板
20 被測定体側(下側)のガイドプレート
21a,21b ガイド穴
22 ブリッジ
30,30a,30b リード線側(上側)のガイドプレート
31a,31b ガイド穴
32 ブリッジ
40 リード線用の保持板
50 リード線
A 胴体部
B 端部
R1,R2 ガイド穴の径
W ブリッジの長さ
Claims (6)
- ピン形状の金属導体の外周に絶縁被膜を有する胴体部と、前記金属導体の両端に絶縁被膜を有しない端部とを有し、当該金属導体及び当該胴体部の外径が異なる一組のコンタクトプローブと、
前記外径の異なるコンタクトプローブそれぞれをガイドするためのガイド穴が異なる径で設けられた少なくとも2枚のガイドプレートと、を少なくとも備え、
前記ガイドプレートのガイド穴に挿入された前記コンタクトプローブそれぞれの先端を被測定体に接触させて電気特性を測定する方式のコンタクトプローブユニットであって、
前記少なくとも2枚のガイドプレートは一定の距離をもって固定され、当該ガイドプレートのうち、
一方のガイドプレートに設けられたガイド穴は、前記外径の異なるコンタクトプローブそれぞれの胴体部を通過させてガイドするものであり、
他方のガイドプレートに設けられたガイド穴は、前記外径の異なるコンタクトプローブそれぞれの先端で露出する金属導体のみを通過させてガイドするものであるとともに、小さい径で形成されたガイド穴は、大きい外径からなるコンタクトプローブの金属導体を通過させない大きさで形成されていることを特徴とするコンタクトプローブユニット。 - 前記外径の異なるコンタクトプローブそれぞれをガイドするガイド穴間のブリッジ長さが、15μm以上100μm以下の範囲であり、
前記外径の異なるコンタクトプローブそれぞれをガイドするガイド穴の穴径の差が、13μm以上50μm以下の範囲である、請求項1に記載のコンタクトプローブユニット。 - 前記被測定体に接触する側のコンタクトプローブ先端の形状が、平坦形状又は略半球形状である、請求項1又は2に記載のコンタクトプローブユニット。
- ピン形状の金属導体の外周に絶縁被膜を有する胴体部と前記金属導体の両端に絶縁被膜を有しない端部とを有し、当該金属導体及び当該胴体部の外径が異なる一組のコンタクトプローブと、前記外径の異なるコンタクトプローブそれぞれをガイドするためのガイド穴が異なる穴径で設けられた少なくとも2枚のガイドプレートとを少なくとも備え、前記ガイドプレートのガイド穴に挿入された前記コンタクトプローブそれぞれの先端を被測定体に接触させて電気特性を測定する方式のコンタクトプローブユニットの製造方法であって、
前記外径が異なるコンタクトプローブそれぞれをガイド穴に挿入する工程において、
前記ガイド穴を有するガイドプレートを、上方に少なくとも1枚配置するとともに下方に少なくとも1枚配置し、次いで、
前記外径が太い方のコンタクトプローブを、上方の少なくとも1枚のガイドプレートに設けられた大きい径のガイド穴に挿入した後、下方の少なくとも1枚のガイドプレートに設けられた大きい径のガイド穴に挿入し、次いで、
前記外径が細い方のコンタクトプローブを、上方の少なくとも1枚のガイドプレートに設けられた小さい径のガイド穴に挿入した後、下方の少なくとも1枚のガイドプレートに設けられて前記外径が太い方のコンタクトプローブの金属導体を通過させない小さい径のガイド穴に挿入する、
ことを特徴とするコンタクトプローブユニットの製造方法。 - 前記外径が太い方のコンタクトプローブを下方に配置されたガイドプレートのガイド穴に挿入するとき、当該ガイドプレートに振動を与える、請求項4に記載のコンタクトプローブユニットの製造方法。
- 前記被測定体に接触する側のコンタクトプローブ先端の形状が、平坦形状又は略半球形状である、請求項4又は5に記載のコンタクトプローブユニットの製造方法。
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