JP2009058345A - Connector for measuring electrical resistance, and apparatus and method for measuring electrical resistance of circuit board - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a connector for measuring electrical resistance capable of high-accuracy measurement by having a resist layer on the surface and surely attaining the required electrical connection, even in a circuit board where the height of an electrode to be tested is lower than the height of the resist layer, and to provide an apparatus and a method for measuring the electrical resistance of a circuit board that uses the same. <P>SOLUTION: A first electrode sheet, a first anisotropically conductive sheet, a second electrode sheet, a second anisotropically conductive sheet and a circuit board for testing are provided in layers, in this order, wherein the first electrode sheet includes a ring-like electrode, formed on a face of an insulating sheet surrounding a through-hole and a relay electrode formed in the back face of the insulating sheet; the second electrode sheet includes a core electrode for testing, corresponding to the electrode to be tested and a core electrode for connection, corresponding to the relay electrode. The circuit board for testing has arranged a test electrode, corresponding to the core electrode of the second electrode sheet, and the test electrode electrically connected to the core electrode for testing is provided, extending farther out than the test electrode electrically connected to the core electrode for connection. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、電気抵抗測定用コネクター並びに回路基板の電気抵抗測定装置および測定方法に関する。   The present invention relates to an electrical resistance measurement connector, an electrical resistance measurement device for a circuit board, and a measurement method.

近年、電子部品やこれを内蔵した電子機器における信号伝送の高速化の要請に伴って、ＢＧＡやＣＳＰなどのＬＳＩパッケージを構成する回路基板やこれらの半導体装置が搭載される回路基板として、電極間における配線の電気抵抗が低いものが要求されている。そのため、このような回路基板の電気的検査においては、その電極間における配線の電気抵抗の測定を高い精度で行うことが極めて重要である。
従来、回路基板の電気抵抗の測定においては、例えば、図３１に示すように、被検査回路基板９０の互いに電気的に接続された２つの被検査電極９１，９２の各々に対し、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤおよび電圧測定用プローブＰＢ，ＰＣを押圧して接触させ、この状態で、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤの間に電源装置９３から電流を供給し、このときに電圧測定用プローブＰＢ，ＰＣによって検出される電圧信号を電気信号処理装置９４において処理することにより、当該被検査電極９１，９２間の電気抵抗の大きさを求める四端子法が採用されている。 In recent years, in response to a demand for high-speed signal transmission in electronic components and electronic devices incorporating them, circuit boards constituting LSI packages such as BGA and CSP, and circuit boards on which these semiconductor devices are mounted, There is a demand for wiring having low electrical resistance. Therefore, in such an electrical inspection of a circuit board, it is extremely important to measure the electrical resistance of the wiring between the electrodes with high accuracy.
Conventionally, in the measurement of the electric resistance of a circuit board, for example, as shown in FIG. 31, current supply is performed for each of two electrodes 91 and 92 that are electrically connected to each other on a circuit board 90 to be inspected. The probes PA and PD and the voltage measurement probes PB and PC are pressed and brought into contact with each other. In this state, current is supplied from the power supply device 93 between the current supply probes PA and PD. At this time, the voltage measurement probe PB is supplied. A four-terminal method is employed in which the voltage signal detected by the PC is processed in the electric signal processing device 94 to obtain the magnitude of the electric resistance between the electrodes 91 and 92 to be inspected.

しかしながら、上記の方法においては、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤおよび電圧測定用プローブＰＢ，ＰＣを被検査電極９１，９２に対して相当に大きい押圧力で接触させることが必要であり、しかも当該プローブは金属製であってその先端は尖頭状とされているため、プローブが押圧されることによって被検査電極９１，９２の表面が損傷してしまい、当該回路基板は使用することが不可能なものとなってしまう。このような事情から、電気抵抗の測定は、製品とされるすべての回路基板について行うことができず、いわゆる抜き取り検査とならざるを得ないため、結局、製品の歩留りを大きくすることはできない。   However, in the above method, it is necessary to bring the current supply probes PA and PD and the voltage measurement probes PB and PC into contact with the electrodes 91 and 92 to be inspected with a considerably large pressing force. Is made of metal and has a pointed tip, so that when the probe is pressed, the surfaces of the electrodes 91 and 92 to be inspected are damaged, and the circuit board cannot be used. It becomes a thing. Under such circumstances, the measurement of electrical resistance cannot be performed for all circuit boards that are products, and it must be a so-called sampling inspection, so that the yield of products cannot be increased after all.

このような問題を解決するため、従来、被検査電極に接触する接続用部材が導電性エラストマーにより構成された電気抵抗測定装置が提案されている。
例えば、（ｉ）特許文献１には、エラストマーにより導電性粒子が結着された導電ゴムよりなる弾性接続用部材を、電流供給用電極および電圧測定用電極の個々に配置してなる電気抵抗測定装置が開示され、（ii）特許文献２には、同一の被検査電極に電気的に接続される電流供給用電極および電圧測定用電極の両方の表面に接するよう設けられた、異方導電性エラストマーよりなる共通の弾性接続用部材を有する電気抵抗測定装置が開示され、（iii ）特許文献３には、表面に複数の検査電極が形成された検査用回路基板と、この検査用回路基板の表面に設けられた導電性エラストマーよりなる弾性接続用部材とを有し、被検査電極が接続部材を介して複数の検査電極に電気的に接続された状態で、それらの検査電極のうち２つを選択し、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として電気抵抗を測定する電気抵抗測定装置が開示されている。
このような電気抵抗測定装置によれば、被検査回路基板の被検査電極に対し、弾性接続用部材を介して、電流供給用電極および電圧測定用電極が対接されることによって電気的接続が達成されるため、当該被検査電極を損傷させることなく電気抵抗の測定を行うことができる。 In order to solve such a problem, conventionally, an electrical resistance measuring device in which a connecting member that contacts an electrode to be inspected is made of a conductive elastomer has been proposed.
For example, (i) Patent Document 1 discloses an electrical resistance measurement in which an elastic connection member made of conductive rubber, in which conductive particles are bound by an elastomer, is arranged separately for a current supply electrode and a voltage measurement electrode. An apparatus is disclosed, and (ii) Patent Document 2 discloses anisotropic conductivity provided so as to be in contact with both surfaces of a current supply electrode and a voltage measurement electrode that are electrically connected to the same electrode to be inspected. An electrical resistance measuring device having a common elastic connecting member made of an elastomer is disclosed. (Iii) Patent Document 3 discloses an inspection circuit board having a plurality of inspection electrodes formed on the surface thereof, and a circuit board for the inspection circuit board. An elastic connection member made of a conductive elastomer provided on the surface, and two of the test electrodes in a state where the electrode to be tested is electrically connected to the plurality of test electrodes through the connection member Select One was the current supply electrodes, the electrical resistance measuring device for measuring the electrical resistance is disclosed and the other as an electrode for voltage measurement.
According to such an electrical resistance measurement device, the current supply electrode and the voltage measurement electrode are brought into contact with the electrode to be inspected of the circuit board to be inspected via the elastic connection member, thereby making electrical connection. Thus, the electrical resistance can be measured without damaging the electrode to be inspected.

しかしながら、上記（ｉ）および上記（ii）の構成の電気抵抗測定装置によって、電極間における電気抵抗の測定を行う場合には、以下のような問題がある。
近年、回路基板においては、高い集積度を得るために電極のサイズおよびピッチもしくは電極間距離が小さくなる傾向がある。而して、上記（ｉ）および上記（ii）の構成の電気抵抗測定装置においては、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における被検査電極の各々に、弾性接続用部材を介して電流供給用電極および電圧測定用電極の両方を同時に電気的に接続させる必要がある。従って、小さいサイズの被検査電極が高密度で配置された被検査回路基板についての電気抵抗の測定を行うための電気抵抗測定装置においては、小さなサイズの被検査電極の各々に対応して、当該被検査電極が占有する領域と同等若しくはそれ以下の面積の領域内に、互いに離間した状態で電流供給用電極および電圧測定用電極を形成すること、すなわち被検査電極よりも更に小さいサイズの電流供給用電極および電圧測定用電極を極めて小さい距離で離間した状態で形成することが必要である。
また、回路基板の製造方法としては、生産性を向上させるために、一つの基板材料によって、複数の回路基板が連結されてなる回路基板連結体を製造し、その状態で、当該回路基板連結体における各回路基板についての電気的検査を一括して行い、その後、回路基板連結体を切断することにより、分離された複数の回路基板を製造する方法が採用されている。 However, when measuring the electrical resistance between the electrodes by the electrical resistance measuring device having the configuration of (i) and (ii), there are the following problems.
In recent years, in a circuit board, in order to obtain a high degree of integration, the size and pitch of electrodes or the distance between electrodes tend to be small. Thus, in the electrical resistance measuring apparatus having the configurations of (i) and (ii), a current is supplied to each of the electrodes to be inspected on the circuit board to be inspected whose electrical resistance is to be measured via the elastic connection member. Both the electrode for voltage and the electrode for voltage measurement need to be electrically connected simultaneously. Therefore, in the electrical resistance measuring device for measuring the electrical resistance of the circuit board to be inspected in which the small size inspected electrodes are arranged at high density, Forming the current supply electrode and the voltage measurement electrode in a state of being separated from each other in a region having an area equal to or smaller than the region occupied by the electrode to be inspected, that is, supplying a current having a size smaller than that of the electrode to be inspected. It is necessary to form the working electrode and the voltage measuring electrode in a state of being separated by a very small distance.
In addition, as a method for manufacturing a circuit board, in order to improve productivity, a circuit board connected body in which a plurality of circuit boards are connected with one board material is manufactured, and in that state, the circuit board connected body A method of manufacturing a plurality of separated circuit boards by collectively performing electrical inspection on each circuit board and then cutting the circuit board connector is adopted.

然るに、検査対象である回路基板連結体は、その面積が相当に大きく、また、被検査電極の数も極めて多いものであり、特に多層回路基板を製造する場合には、その製造プロセスにおける工程数が多く、加熱処理による熱履歴を受ける回数が多いため、被検査電極が所期の配置位置から位置ずれした状態で形成されることが少なくない。このように、大面積で、多数の被検査電極を有し、当該被検査電極が所期の配置位置から位置ずれした状態で形成された被検査回路基板について、上記（ｉ）および上記（ii）の構成の電気抵抗測定装置によって電気抵抗の測定を行う場合には、被検査電極の各々に、電流供給用電極および電圧測定用電極の両方を同時に電気的に接続させることは極めて困難である。
具体的な一例を挙げて説明すると、図３２に示すように、直径Ｌが３００μｍの被検査電極Ｔに係る電気抵抗を測定する場合には、当該被検査電極Ｔに電気的に接続される電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖの離間距離Ｄは１５０μｍ程度であるが、図３３（イ）および（ロ）に示すように、被検査回路基板の位置合わせにおいて、電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖに対する被検査電極Ｔの位置が、図３２に示す所期の位置から電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖが並ぶ方向に７５μｍずれたときには、電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖのいずれか一方と被検査電極Ｔとの電気的接続が達成されず、所要の電気抵抗測定を行うことができない。
このような問題を解決する手段として、電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖの離間距離Ｄを小さくする、例えば１００μｍ以下にすることが考えられるが、そのような電気抵抗測定装置を作製することは、実際上極めて困難である。 However, the circuit board assembly to be inspected has a considerably large area and the number of electrodes to be inspected is extremely large. In particular, when manufacturing a multilayer circuit board, the number of steps in the manufacturing process is large. In many cases, the thermal history due to the heat treatment is frequently received, and thus the electrode to be inspected is often formed in a state of being displaced from the intended arrangement position. As described above, the circuit board to be inspected having a large area, a large number of electrodes to be inspected, and the electrodes to be inspected formed in a state shifted from the intended arrangement position is the above (i) and (ii) When measuring the electrical resistance with the electrical resistance measuring device having the configuration of), it is extremely difficult to electrically connect both the current supply electrode and the voltage measurement electrode to each of the electrodes to be inspected simultaneously. .
A specific example will be described below. As shown in FIG. 32, when measuring the electrical resistance of the inspection electrode T having a diameter L of 300 μm, the current electrically connected to the inspection electrode T is measured. The separation distance D between the supply electrode A and the voltage measurement electrode V is about 150 μm. However, as shown in FIGS. 33A and 33B, in the alignment of the circuit board to be inspected, the current supply electrode A and When the position of the electrode T to be inspected with respect to the voltage measuring electrode V deviates by 75 μm from the intended position shown in FIG. 32 in the direction in which the current supplying electrode A and the voltage measuring electrode V are arranged, the current supplying electrode A and the voltage The electrical connection between any one of the measurement electrodes V and the electrode T to be inspected is not achieved, and the required electrical resistance measurement cannot be performed.
As a means for solving such a problem, it is conceivable to reduce the distance D between the current supply electrode A and the voltage measurement electrode V, for example, 100 μm or less. This is extremely difficult in practice.

一方、上記（iii ）の電気抵抗測定装置によれば、被検査電極の各々に対応して、電流供給用電極および電圧測定用電極を形成することが不要であるため、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、多数の被検査電極を有し、かつ、小さいサイズの被検査電極が高密度で配置されてなるものであっても、当該被検査回路基板との位置ずれに対する許容度が大きく、また、当該電気抵抗測定装置の作製が容易である。
しかしながら、このような電気抵抗測定装置は、いわば擬似四端子法による測定装置であるため、測定誤差範囲が大きいものであり、従って、電極間における電気抵抗の低い回路基板について、その電気抵抗の測定を高い精度で行うことは困難である。 On the other hand, according to the electrical resistance measuring apparatus of (iii) above, it is not necessary to form a current supply electrode and a voltage measurement electrode corresponding to each of the electrodes to be inspected. Even if the circuit board to be inspected has a large area, a large number of electrodes to be inspected, and a small size of the electrodes to be inspected arranged at high density, the positional deviation from the circuit board to be inspected And the electrical resistance measuring device can be easily manufactured.
However, since such an electric resistance measuring device is a measuring device based on the pseudo four-terminal method, it has a large measurement error range. Therefore, the measurement of the electric resistance of a circuit board having a low electric resistance between the electrodes is performed. Is difficult to perform with high accuracy.

このような問題を解決するため、絶縁性基板の表面に、コア電極およびこのコア電極を包囲するよう設けられたリング状電極よりなる複数の接続電極対が形成されてなる電気抵抗測定用コネクターが提案されている（特許文献４参照。）。
このような電気抵抗測定用コネクターによれば、電気抵抗を測定すべき回路基板における被検査電極上に、コア電極の少なくとも一部が位置されるよう位置合わせをすれば、当該被検査電極上にはリング状電極の少なくとも一部が位置されるようになる。従って、回路基板が大面積でサイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、被検査電極に対するコア電極およびリング状電極の両方の電気的接続が確実に達成されるので、コア電極およびリング状電極のいずれか一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として使用することにより、回路基板の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができる。
しかしながら、上記の電気抵抗測定用コネクターは、全体の構造が複雑で高い歩留りで製造することが困難である、という問題がある。 In order to solve such a problem, an electrical resistance measurement connector in which a plurality of connection electrode pairs including a core electrode and a ring electrode provided so as to surround the core electrode is formed on the surface of the insulating substrate. It has been proposed (see Patent Document 4).
According to such an electrical resistance measuring connector, if alignment is performed so that at least a part of the core electrode is positioned on the electrode to be inspected on the circuit board whose electrical resistance is to be measured, In this case, at least a part of the ring electrode is positioned. Therefore, even if the circuit board has a large number of small electrodes to be inspected with a large area, electrical connection of both the core electrode and the ring electrode to the electrode to be inspected can be reliably achieved. Further, by using one of the ring-shaped electrodes as a current supply electrode and the other as a voltage measuring electrode, the electrical resistance of the circuit board can be reliably measured with high accuracy.
However, the electrical resistance measuring connector has a problem that the whole structure is complicated and it is difficult to manufacture the connector with a high yield.

また、最近においては、被検査電極に対応するパターンに従って形成された複数の貫通孔を有する柔軟な絶縁性シートおよびこの絶縁性シートの貫通孔を包囲するよう形成された複数のリング状電極を有する第１の電極シートと、この第１の電極シートの表面に配置された第１の異方導電性エラストマーシートと、第１の電極シートの裏面に配置された、被検査電極に対応するパターンに従って形成された複数の貫通孔を有する第２の異方導電性エラストマーシートと、第２の異方導電性エラストマーシートの裏面に配置された、被検査電極に対応するパターンに従って配置された複数の検査用コア電極を有する第２の電極シートとよりなる電気抵抗測定用コネクターが提案されている（特許文献５参照。）。 このような電気抵抗測定用コネクターによれば、第１の電極シートおよび第２の電極シートは、それぞれ簡単な構造であるため、電気抵抗測定用コネクター全体を小さいコストで製造することできる。
しかしながら、上記の電気抵抗測定用コネクターにおいては、検査対象である回路基板が表面にレジスト層を有し、被検査電極の高さレベルがレジスト層の高さレベルより低いものである場合には、検査用コア電極が十分に押圧されないため、検査用コア電極と被検査電極との電気的接続を確実に達成することが困難である、という問題があることが判明した。 In addition, recently, it has a flexible insulating sheet having a plurality of through holes formed according to a pattern corresponding to the electrode to be inspected, and a plurality of ring electrodes formed so as to surround the through holes of the insulating sheet. According to the first electrode sheet, the first anisotropic conductive elastomer sheet disposed on the surface of the first electrode sheet, and the pattern corresponding to the electrode to be inspected disposed on the back surface of the first electrode sheet A plurality of inspections arranged according to a pattern corresponding to the electrode to be inspected arranged on the back surface of the second anisotropic conductive elastomer sheet having a plurality of formed through holes and the second anisotropic conductive elastomer sheet An electrical resistance measurement connector comprising a second electrode sheet having a core electrode for use has been proposed (see Patent Document 5). According to such an electrical resistance measurement connector, since the first electrode sheet and the second electrode sheet have simple structures, the entire electrical resistance measurement connector can be manufactured at a low cost.
However, in the electrical resistance measuring connector, when the circuit board to be inspected has a resist layer on the surface, and the height level of the electrode to be inspected is lower than the height level of the resist layer, It has been found that there is a problem that it is difficult to reliably achieve electrical connection between the inspection core electrode and the electrode to be inspected because the inspection core electrode is not sufficiently pressed.

特開平９−２６４４６号公報JP-A-9-26446 特開２０００−７４９６５号公報JP 2000-74965 A 特開２０００−２４１４８５号公報JP 2000-241485 A 特開２００３−３２２６６５号公報JP 2003-322665 A 特開２００７−４７１５５号公報JP 2007-47155 A

本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その第１の目的は、検査対象である回路基板が、大面積で、サイズが小さい多数の被検査電極を有すると共に、表面にレジスト層を有し、被検査電極の高さレベルがレジスト層の高さレベルより低いものであっても、当該回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができ、しかも、所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができ、更に、小さいコストで製造することが可能な電気抵抗測定用コネクターを提供することにある。
本発明の第２の目的は、上記の電気抵抗測定用コネクターを使用した回路基板の電気抵抗測定装置および電気抵抗測定方法を提供することにある。 The present invention has been made based on the circumstances as described above, and its first object is that a circuit board to be inspected has a large number of electrodes to be inspected having a large area and a small size, Even if it has a resist layer on its surface and the height level of the electrode to be inspected is lower than the height level of the resist layer, it can reliably achieve the required electrical connection to the circuit board, It is an object of the present invention to provide an electrical resistance measurement connector that can reliably perform intended electrical resistance measurement with high accuracy and can be manufactured at a low cost.
A second object of the present invention is to provide a circuit board electrical resistance measuring apparatus and electrical resistance measuring method using the electrical resistance measuring connector.

本発明の電気抵抗測定用コネクターは、第１の電極シートと、この第１の電極シートの裏面に第１の異方導電性エラストマーシートを介して配置された第２の電極シートと、この第２の電極シートの裏面に配置された検査用回路基板とを有してなり、
前記第１の電極シートは、電気抵抗を測定すべき回路基板における被検査電極のパターンに対応するパターンに従って形成された複数の貫通孔を有する柔軟な絶縁性シートと、この絶縁性シートの表面に当該絶縁性シートの貫通孔を包囲するよう形成された複数のリング状電極と、前記絶縁性シートの裏面に形成され、前記リング状電極に電気的に接続された中継電極とを有してなり、
前記第２の電極シートは、前記被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の検査用コア電極と、前記第１の電極シートにおける中継電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用コア電極と、これらの検査用コア電極および接続用コア電極の各々を支持する絶縁性支持シートとを有してなり、
前記検査用回路基板は、前記検査用コア電極および前記接続用コア電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の検査電極を有してなり、
前記検査用コア電極に電気的に接続される検査電極は、前記接続用コア電極に電気的に接続される検査電極より突出した状態で配置されていることを特徴とする。 The electrical resistance measurement connector of the present invention includes a first electrode sheet, a second electrode sheet disposed on the back surface of the first electrode sheet via a first anisotropic conductive elastomer sheet, A circuit board for inspection disposed on the back surface of the electrode sheet of 2,
The first electrode sheet includes a flexible insulating sheet having a plurality of through holes formed according to a pattern corresponding to a pattern of an electrode to be inspected on a circuit board whose electrical resistance is to be measured, and a surface of the insulating sheet. A plurality of ring-shaped electrodes formed so as to surround the through hole of the insulating sheet; and a relay electrode formed on the back surface of the insulating sheet and electrically connected to the ring-shaped electrode. ,
The second electrode sheet includes a plurality of inspection core electrodes arranged in accordance with a pattern corresponding to the pattern of the electrode to be inspected, and a plurality of arranged in accordance with a pattern corresponding to the pattern of the relay electrode in the first electrode sheet. A core electrode for connection, and an insulating support sheet that supports each of the core electrode for inspection and the core electrode for connection,
The inspection circuit board has a plurality of inspection electrodes arranged according to a pattern corresponding to the pattern of the inspection core electrode and the connection core electrode,
The inspection electrode electrically connected to the inspection core electrode is disposed in a state of protruding from the inspection electrode electrically connected to the connection core electrode.

本発明の電気抵抗測定用コネクターにおいては、第１の異方導電性エラストマーシートは、被検査電極のパターンに対応するパターンに従って形成された複数の貫通孔を有するものでっあてもよい。
また、第２の電極シートにおける検査用コア電極および接続用コア電極は、絶縁性支持シートの厚み方向に移動可能に設けられていることが好ましい。
また、検査用コア電極に電気的に接続される検査電極は、接続用コア電極に電気的に接続される検査電極より５〜１００μｍ突出した状態で配置されていることが好ましい。 In the electrical resistance measuring connector of the present invention, the first anisotropic conductive elastomer sheet may have a plurality of through holes formed according to a pattern corresponding to the pattern of the electrode to be inspected.
Moreover, it is preferable that the inspection core electrode and the connection core electrode in the second electrode sheet are provided so as to be movable in the thickness direction of the insulating support sheet.
Moreover, it is preferable that the inspection electrode electrically connected to the inspection core electrode is arranged in a state protruding 5 to 100 μm from the inspection electrode electrically connected to the connection core electrode.

本発明の回路基板の電気抵抗測定装置は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面側に配置される、上記の電気抵抗測定用コネクターを具えてなり、
被検査回路基板における一面側被検査電極の各々に、前記電気抵抗測定用コネクターにおける第１の電極シートのリング状電極および第２の電極シートの検査用コア電極が同時に電気的に接続されて測定可能状態とされ、
この測定可能状態において、指定された１つの一面側被検査電極に電気的に接続された検査用コア電極およびリング状電極のうち、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該指定された１つの一面側被検査電極に係る電気抵抗の測定が実行されることを特徴とする。 An electrical resistance measuring device for a circuit board according to the present invention comprises the above-described electrical resistance measuring connector, which is arranged on one side of a circuit board to be inspected for measuring electrical resistance,
Measurement is performed by simultaneously connecting the ring-shaped electrode of the first electrode sheet and the core electrode for inspection of the second electrode sheet in the electrical resistance measurement connector to each of the electrodes to be inspected on one side of the circuit board to be inspected. Enabled,
In this measurable state, one of the inspection core electrode and the ring-shaped electrode electrically connected to one designated one-surface-inspected electrode is a current supply electrode, and the other is a voltage measurement electrode. By using, the measurement of the electrical resistance concerning the designated one one-surface-side inspected electrode is executed.

本発明の回路基板の電気抵抗測定装置においては、被検査回路基板の他面側に配置される他面側検査用回路基板を具えてなり、
前記他面側検査用回路基板は、その表面にそれぞれ前記被検査回路基板の他面側被検査電極の各々に対応して互いに離間して配置された、それぞれ同一の他面側被検査電極に電気的に接続される電流供給用電極および電圧測定用電極が形成されていることが好ましい。 In the electrical resistance measuring device for a circuit board of the present invention, it comprises a circuit board for other side inspection placed on the other side of the circuit board to be inspected,
The other surface side inspection circuit boards are arranged on the same surface on the same other surface side inspected electrodes, which are arranged to be spaced apart from each other corresponding to the other surface side inspected electrodes of the circuit board to be inspected. It is preferable that a current supply electrode and a voltage measurement electrode to be electrically connected are formed.

本発明の回路基板の電気抵抗測定方法は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面に、上記の電気抵抗測定用コネクターを配置し、
当該被検査回路基板の一面側被検査電極の各々に、前記電気抵抗測定用コネクターにおける第１の電極シートのリング状電極および第２の電極シートの検査用コア電極を同時に電気的に接続して測定可能状態とし、
この測定可能状態において、指定された１つの一面側被検査電極に電気的に接続された検査用コア電極およびリング状電極のうち、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該指定された１つの一面側被検査電極に係る電気抵抗の測定を実行することを特徴とする。 In the method for measuring electrical resistance of a circuit board according to the present invention, the electrical resistance measuring connector is disposed on one surface of a circuit board to be measured whose electrical resistance is to be measured.
A ring-shaped electrode of the first electrode sheet and a core electrode for inspection of the second electrode sheet in the electrical resistance measurement connector are electrically connected simultaneously to each of the electrodes to be inspected on one side of the circuit board to be inspected. Set to measurable state,
In this measurable state, one of the inspection core electrode and the ring-shaped electrode electrically connected to one designated one-surface-inspected electrode is a current supply electrode, and the other is a voltage measurement electrode. By using, the measurement of the electrical resistance concerning the designated one one-surface-side inspected electrode is executed.

上記の構成の電気抵抗測定用コネクターによれば、第１の電極シートにおける絶縁性シートには、第２の電極シートにおける検査用コア電極が進入する貫通孔が形成され、この貫通孔の周囲には、当該貫通孔を包囲するようリング状電極が形成されているため、電気抵抗を測定すべき回路基板における被検査電極上に、検査用コア電極の少なくとも一部が位置されるよう位置合わせをすれば、当該被検査電極上にはリング状電極の少なくとも一部が位置されるようになり、従って、回路基板が大面積でサイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、被検査電極に対する検査用コア電極およびリング状電極の両方の電気的接続を確実に達成することができる。しかも、検査用コア電極およびリング状電極は互いに電気的に独立したものであるため、被検査電極に電気的に接続された検査用コア電極およびリング状電極のうち、一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該回路基板についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。
また、第１の電極シートおよび第２の電極シートは、それぞれ簡単な構造であるため、電気抵抗測定用コネクター全体を小さいコストで製造することが可能である。従って、回路基板の電気抵抗測定において、検査コストの低減化を図ることができる。
そして、検査用回路基板における検査電極においては、検査用コア電極に電気的に接続されるものが、接続用コア電極に電気的に接続されるものより突出していることにより、検査用コア電極を十分に加圧することができるので、検査対象である回路基板が、表面にレジスト層を有し、被検査電極の高さレベルがレジスト層の高さレベルより低いものであっても、検査用コア電極と被検査電極とが確実に電気的に接続され、従って、当該回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができる。 According to the electrical resistance measurement connector having the above-described configuration, the insulating sheet in the first electrode sheet is formed with a through hole into which the inspection core electrode in the second electrode sheet enters, and around the through hole. Since the ring-shaped electrode is formed so as to surround the through-hole, alignment is performed so that at least a part of the core electrode for inspection is positioned on the electrode to be inspected on the circuit board whose electrical resistance is to be measured. Then, at least a part of the ring-shaped electrode is positioned on the electrode to be inspected. Therefore, even if the circuit board has a large number of electrodes to be inspected having a large area and a small size, Electrical connection of both the inspection core electrode and the ring electrode to the inspection electrode can be reliably achieved. Moreover, since the inspection core electrode and the ring-shaped electrode are electrically independent from each other, one of the inspection core electrode and the ring-shaped electrode electrically connected to the electrode to be inspected is used as a current supply electrode. By using the other as the voltage measuring electrode, the electrical resistance of the circuit board can be measured with high accuracy.
In addition, since the first electrode sheet and the second electrode sheet have simple structures, it is possible to manufacture the entire electrical resistance measurement connector at a low cost. Therefore, it is possible to reduce the inspection cost in measuring the electric resistance of the circuit board.
And in the inspection electrode in the circuit board for inspection, what is electrically connected to the core electrode for inspection protrudes from what is electrically connected to the core electrode for connection. Even if the circuit board to be inspected has a resist layer on the surface and the height level of the electrode to be inspected is lower than the height level of the resist layer, the inspection core can be sufficiently pressurized. The electrode and the electrode to be inspected are reliably electrically connected, and therefore, the required electrical connection to the circuit board can be reliably achieved.

以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
〈電気抵抗測定用コネクター〉
図１は、本発明に係る電気抵抗測定用コネクターの一例における構成を示す説明用断面図である。この電気抵抗測定用コネクター１は、回路基板における電極間の電気抵抗を測定するために用いられるものであって、第１の電極シート１０と、この第１の電極シート１０の裏面に配置された第１の異方導電性エラストマーシート１７と、この第１の異方導電性エラストマーシート１７の裏面に配置された第２の電極シート２０と、この第２の電極シート２０の裏面に配置された第２の異方導電性エラストマーシート１８と、この第２の異方導電性エラストマーシート１８の裏面に配置された検査用回路基板３０とにより構成されている。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
<Electrical resistance measurement connector>
FIG. 1 is an explanatory cross-sectional view showing a configuration of an example of an electrical resistance measurement connector according to the present invention. This electrical resistance measurement connector 1 is used for measuring electrical resistance between electrodes on a circuit board, and is arranged on the first electrode sheet 10 and the back surface of the first electrode sheet 10. The first anisotropic conductive elastomer sheet 17, the second electrode sheet 20 disposed on the back surface of the first anisotropic conductive elastomer sheet 17, and the back surface of the second electrode sheet 20 The second anisotropic conductive elastomer sheet 18 and the inspection circuit board 30 disposed on the back surface of the second anisotropic conductive elastomer sheet 18 are configured.

図２は、第１の電極シート１０の要部を拡大して示す平面図であり、図３は、第１の電極シート１０の要部を拡大して示す説明用断面図である。この第１の電極シート１０は、電気抵抗を測定すべき回路基板（以下、「被検査回路基板」という。）における被検査電極のパターンに対応するパターンに従って複数の貫通孔１２が形成された柔軟な絶縁性シート１１を有する。この絶縁性シート１１の表面には、当該絶縁性シート１１の貫通孔１２の各々を包囲するよう複数のリング状電極１３が形成されている。また、絶縁性シート１１の裏面には、適宜のパターンに従って複数の中継電極１４が形成されている。図示の例では、中継電極１４の各々は、絶縁性シート１１の貫通孔１２の間の中間に位置するよう配置されている。そして、中継電極１４の各々は、絶縁性シート１１をその厚み方向に貫通して伸びる短絡部１５および絶縁性シート１１の表面に形成された配線部１６を介して、リング状電極１３に電気的に接続されている。   FIG. 2 is an enlarged plan view showing the main part of the first electrode sheet 10, and FIG. 3 is an explanatory sectional view showing the main part of the first electrode sheet 10 in an enlarged manner. The first electrode sheet 10 has a flexible structure in which a plurality of through holes 12 are formed in accordance with a pattern corresponding to a pattern of an electrode to be inspected in a circuit board (hereinafter referred to as “circuit to be inspected”) whose electrical resistance is to be measured. Insulating sheet 11 is provided. A plurality of ring electrodes 13 are formed on the surface of the insulating sheet 11 so as to surround each of the through holes 12 of the insulating sheet 11. A plurality of relay electrodes 14 are formed on the back surface of the insulating sheet 11 according to an appropriate pattern. In the illustrated example, each of the relay electrodes 14 is disposed so as to be positioned between the through holes 12 of the insulating sheet 11. Each relay electrode 14 is electrically connected to the ring-shaped electrode 13 through a short-circuit portion 15 extending through the insulating sheet 11 in the thickness direction and a wiring portion 16 formed on the surface of the insulating sheet 11. It is connected to the.

絶縁性シート１１を構成する材料としては、高い機械的強度を有する樹脂材料を用いることが好ましく、その具体例としては、液晶ポリマー、ポリイミドなどが挙げられる。
また、リング状電極１３、中継電極１４、短絡部１５および配線部１６を構成する材料としては、銅、ニッケル、金またはこれらの金属の積層体などを用いることができる。
絶縁性シート１１の厚みは、当該絶縁性シート１１が柔軟性を有するものであれば特に限定されないが、例えば５〜５０μｍであることが好ましく、より好ましくは８〜３０μｍである。
絶縁性シート１１の貫通孔１２の径は、後述する第２の電極シート２０の検査用コア電極２５が移動可能に挿入される得る大きさであればよく、例えば検査用コア電極２５の径の１．０５〜２倍、好ましくは１．１〜１．７倍である。
リング状電極１３の内径は、当該リング状電極１３に電気的に接続される被検査電極の径に応じて設定され、被検査電極に対する電気的接続を確実に達成することができる点で、被検査電極の径の５０〜１１０％であることが好ましく、より好ましくは７０〜１００％である。
また、リング状電極１３の内径は、後述する第２電極シート２０における検査用コア電極２５との絶縁性を確保する観点から、検査用コア電極２５の径の１．１〜２倍であることが好ましく、より好ましくは１．２〜１．７倍である。 As a material constituting the insulating sheet 11, it is preferable to use a resin material having a high mechanical strength, and specific examples thereof include a liquid crystal polymer and polyimide.
Moreover, as a material which comprises the ring-shaped electrode 13, the relay electrode 14, the short circuit part 15, and the wiring part 16, copper, nickel, gold | metal | money, or the laminated body of these metals etc. can be used.
Although the thickness of the insulating sheet 11 will not be specifically limited if the said insulating sheet 11 has a softness | flexibility, For example, it is preferable that it is 5-50 micrometers, More preferably, it is 8-30 micrometers.
The diameter of the through hole 12 of the insulating sheet 11 may be a size that allows the inspection core electrode 25 of the second electrode sheet 20 described later to be movably inserted. 1.05 to 2 times, preferably 1.1 to 1.7 times.
The inner diameter of the ring-shaped electrode 13 is set according to the diameter of the electrode to be inspected that is electrically connected to the ring-shaped electrode 13, and the electrical connection to the electrode to be inspected can be reliably achieved. It is preferably 50 to 110% of the diameter of the inspection electrode, more preferably 70 to 100%.
The inner diameter of the ring-shaped electrode 13 is 1.1 to 2 times the diameter of the inspection core electrode 25 from the viewpoint of ensuring insulation with the inspection core electrode 25 in the second electrode sheet 20 described later. Is preferable, and more preferably 1.2 to 1.7 times.

このような第１の電極シート１０は、例えば以下のようにして製造することができる。 先ず、図４に示すように、絶縁性シート１１の表面に金属層１６Ａが形成されてなる積層材料１０Ａを用意し、この積層材料１０Ａに、図５に示すように、絶縁性シート１１および金属層１６Ａの各々をその厚み方向に貫通する複数の貫通孔１０Ｈを、形成すべき第１の電極シート１０の短絡部１５のパターンに従って形成する。次いで、貫通孔１０Ｈが形成された積層材料１０Ａに対してフォトリソグラフィーおよびメッキ処理を施すことにより、図６に示すように、絶縁性シート１１の裏面に中継電極１４を形成すると共に、当該中継電極１４と金属層１６Ａとを電気的に接続する、当該絶縁性シート１１の厚み方向に伸びる短絡部１５を形成する。その後、金属層１６Ａに対してフォトリソグラフィーおよびエッチンク処理を施してその一部を除去することにより、図７に示すように、絶縁性シート１１の表面にリング状電極１３および配線部１６を形成する。そして、リング状電極１３をマスクとして絶縁性シート１１にレーザー加工を施すことにより、当該絶縁性シート１１に貫通孔１２を形成し、以て第１の電極シート１０が得られる。   Such a 1st electrode sheet 10 can be manufactured as follows, for example. First, as shown in FIG. 4, a laminated material 10A in which a metal layer 16A is formed on the surface of the insulating sheet 11 is prepared, and the insulating sheet 11 and the metal are added to the laminated material 10A as shown in FIG. A plurality of through holes 10H penetrating each of the layers 16A in the thickness direction are formed according to the pattern of the short-circuit portions 15 of the first electrode sheet 10 to be formed. Next, by performing photolithography and plating on the laminated material 10A in which the through-hole 10H is formed, a relay electrode 14 is formed on the back surface of the insulating sheet 11, as shown in FIG. 14 and the metal layer 16 </ b> A are electrically connected, and the short-circuit portion 15 extending in the thickness direction of the insulating sheet 11 is formed. Thereafter, the metal layer 16A is subjected to photolithography and etching to remove a part thereof, thereby forming the ring-shaped electrode 13 and the wiring portion 16 on the surface of the insulating sheet 11 as shown in FIG. . Then, by performing laser processing on the insulating sheet 11 using the ring-shaped electrode 13 as a mask, the through holes 12 are formed in the insulating sheet 11, and thus the first electrode sheet 10 is obtained.

図８は、第１の異方導電性エラストマーシート１７の一部を拡大して示す説明用断面図である。この第１の異方導電性エラストマーシート１７は、絶縁性の弾性高分子物質中に、磁性を示す導電性粒子Ｐが、厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で、かつ、当該導電性粒子Ｐによる連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなるものである。 第１の異方導電性エラストマーシート１７を形成する弾性高分子物質としては、架橋構造を有する高分子物質が好ましい。このような弾性高分子物質を得るために用いることのできる硬化性の高分子物質形成材料としては、種々のものを用いることができるが、耐久性、成形加工性および電気特性の観点から、シリコーンゴムを用いることが好ましい。   FIG. 8 is an explanatory sectional view showing a part of the first anisotropic conductive elastomer sheet 17 in an enlarged manner. This first anisotropic conductive elastomer sheet 17 is in a state in which conductive particles P exhibiting magnetism are aligned in the thickness direction to form a chain in an insulating elastic polymer material, and The chain of the conductive particles P is contained in a state dispersed in the plane direction. As the elastic polymer material forming the first anisotropic conductive elastomer sheet 17, a polymer material having a crosslinked structure is preferable. Various materials can be used as the curable polymer substance-forming material that can be used to obtain such an elastic polymer substance. From the viewpoints of durability, molding processability, and electrical characteristics, silicone can be used. It is preferable to use rubber.

第１の異方導電性エラストマーシート１７に含有される導電性粒子Ｐとしては、後述する方法により当該粒子を容易に厚み方向に並ぶよう配向させることができることから、磁性を示す導電性粒子が用いられる。このような導電性粒子の具体例としては、鉄、コバルト、ニッケルなどの磁性を有する金属の粒子若しくはこれらの合金の粒子またはこれらの金属を含有する粒子、またはこれらの粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に金、銀、パラジウム、ロジウムなどの導電性の良好な金属のメッキを施したもの、あるいは非磁性金属粒子若しくはガラスビーズなどの無機物質粒子またはポリマー粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に、ニッケル、コバルトなどの導電性磁性金属のメッキを施したものなどが挙げられる。
これらの中では、ニッケル粒子を芯粒子とし、その表面に導電性の良好な金のメッキを施したものを用いることが好ましい。
芯粒子の表面に導電性金属を被覆する手段としては、特に限定されるものではないが、例えば化学メッキまたは電解メッキ法、スパッタリング法、蒸着法などが用いられている。 As the conductive particles P contained in the first anisotropic conductive elastomer sheet 17, conductive particles exhibiting magnetism are used because the particles can be easily aligned in the thickness direction by a method described later. It is done. Specific examples of such conductive particles include particles of metal having magnetism such as iron, cobalt, nickel, particles of these alloys, particles containing these metals, or these particles as core particles, The core particles are formed by plating the surface of the core particles with a metal having good conductivity such as gold, silver, palladium, rhodium, or non-magnetic metal particles or inorganic particles such as glass beads or polymer particles. The surface of the particles may be plated with a conductive magnetic metal such as nickel or cobalt.
Among these, it is preferable to use nickel particles as core particles and the surfaces thereof plated with gold having good conductivity.
The means for coating the surface of the core particles with the conductive metal is not particularly limited, and for example, chemical plating or electrolytic plating, sputtering, vapor deposition or the like is used.

導電性粒子Ｐとして、芯粒子の表面に導電性金属が被覆されてなるものを用いる場合には、良好な導電性が得られることから、粒子表面における導電性金属の被覆率（芯粒子の表面積に対する導電性金属の被覆面積の割合）が４０％以上であることが好ましく、さらに好ましくは４５％以上、特に好ましくは４７〜９５％である。
また、導電性金属の被覆量は、芯粒子の０．５〜５０質量％であることが好ましく、より好ましくは２〜３０質量％、さらに好ましくは３〜２５質量％、特に好ましくは４〜２０質量％である。被覆される導電性金属が金である場合には、その被覆量は、芯粒子の０．５〜３０質量％であることが好ましく、より好ましくは２〜２０質量％、さらに好ましくは３〜１５質量％である。 When the conductive particles P used are those in which the surface of the core particles is coated with a conductive metal, good conductivity can be obtained. Therefore, the coverage of the conductive metal on the particle surface (the surface area of the core particles) The ratio of the covering area of the conductive metal with respect to is preferably 40% or more, more preferably 45% or more, and particularly preferably 47 to 95%.
Further, the coating amount of the conductive metal is preferably 0.5 to 50% by mass of the core particle, more preferably 2 to 30% by mass, further preferably 3 to 25% by mass, and particularly preferably 4 to 20%. % By mass. When the conductive metal to be coated is gold, the coating amount is preferably 0.5 to 30% by mass of the core particles, more preferably 2 to 20% by mass, and further preferably 3 to 15%. % By mass.

また、導電性粒子Ｐの数平均粒子径は、３〜２０μｍであることが好ましく、より好ましくは５〜１５μｍである。この数平均粒子径が過小である場合には、後述する製造方法において、導電性粒子Ｐを厚み方向に配向させることが困難となることがある。一方、この数平均粒子径が過大である場合には、分解能の高い異方導電性エラストマーシートを得ることが困難となることがある。
また、導電性粒子Ｐの粒子径分布（Ｄｗ／Ｄｎ）は、１〜１０であることが好ましく、より好ましくは１．０１〜７、さらに好ましくは１．０５〜５、特に好ましくは１．１〜４である。
また、導電性粒子Ｐの形状は、特に限定されるものではないが、高分子物質形成材料中に容易に分散させることができる点で、球状のもの、星形状のものあるいはこれらが凝集した２次粒子であることが好ましい。 Moreover, it is preferable that the number average particle diameter of the electroconductive particle P is 3-20 micrometers, More preferably, it is 5-15 micrometers. When this number average particle diameter is too small, it may be difficult to orient the conductive particles P in the thickness direction in the production method described later. On the other hand, when the number average particle diameter is excessive, it may be difficult to obtain an anisotropic conductive elastomer sheet with high resolution.
The particle size distribution (Dw / Dn) of the conductive particles P is preferably 1 to 10, more preferably 1.01 to 7, still more preferably 1.05 to 5, particularly preferably 1.1. ~ 4.
Further, the shape of the conductive particles P is not particularly limited, but spherical particles, star-shaped particles, or agglomerated particles 2 can be easily dispersed in the polymer substance-forming material. Secondary particles are preferred.

このような導電性粒子Ｐは、異方導電性エラストマーシート中に体積分率で１０〜４０％、特に１５〜３５％となる割合で含有されていることが好ましい。この割合が過小である場合には、厚み方向に十分に高い導電性を有する異方導電性エラストマーシートが得られないことがある。一方、この割合が過大である場合には、得られる異方導電性エラストーシートは脆弱なものとなりやすく、異方導電性エラストマーシートとして必要な弾性が得られないことがある。   Such conductive particles P are preferably contained in the anisotropic conductive elastomer sheet at a volume fraction of 10 to 40%, particularly 15 to 35%. When this ratio is too small, an anisotropic conductive elastomer sheet having sufficiently high conductivity in the thickness direction may not be obtained. On the other hand, if this ratio is excessive, the resulting anisotropic conductive elastomer sheet tends to be fragile, and the elasticity necessary for the anisotropic conductive elastomer sheet may not be obtained.

また、異方導電性エラストマーシート１７の厚みは、１０〜１００μｍであることが好ましく、より好ましくは１５〜７０μｍである。この厚みが過小である場合には、十分な凹凸吸収能が得られないことがある。一方、この厚みが過大である場合には、高い分解能が得られないことがある。   Moreover, it is preferable that the thickness of the anisotropic conductive elastomer sheet 17 is 10-100 micrometers, More preferably, it is 15-70 micrometers. When this thickness is too small, sufficient unevenness absorbing ability may not be obtained. On the other hand, if this thickness is excessive, high resolution may not be obtained.

第１の異方導電性エラストマーシート１７は、以下のようにして製造することができる。
先ず、図９に示すように、それぞれシート状の一面側成形部材３５および他面側成形部材３６と、目的とする第１の異方導電性エラストマーシート１７の平面形状に適合する形状の開口３７Ｋを有すると共に当該第１の異方導電性エラストマーシート１７の厚みに対応する厚みを有する枠状のスペーサー３７とを用意すると共に、硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料中に導電性粒子が含有されてなる導電性エラストマー用材料を調製する。
そして、図１０に示すように、他面側成形部材３６の成形面（図１０において上面）上にスペーサー３７を配置し、他面側成形部材３６の成形面上におけるスペーサー３７の開口３７Ｋ内に、調製した導電性エラストマー用材料１７Ｂを塗布し、その後、この導電性エラストマー用材料１７Ｂ上に一面側成形部材３５をその成形面（図１０において下面）が導電性エラストマー用材料１７Ｂに接するよう配置する。
以上において、一面側成形部材３５および他面側成形部材３６としては、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂などよりなる樹脂シートを用いることができる。
また、一面側成形部材３５および他面側成形部材３６を構成する樹脂シートの厚みは、５０〜５００μｍであることが好ましく、より好ましくは７５〜３００μｍである。この厚みが５０μｍ未満である場合には、成形部材として必要な強度が得られないことがある。一方、この厚みが５００μｍを超える場合には、後述する導電性エラストマー用材料層に所要の強度の磁場を作用させることが困難となることがある。 The first anisotropic conductive elastomer sheet 17 can be manufactured as follows.
First, as shown in FIG. 9, the opening 37 </ b> K has a shape that matches the planar shape of the sheet-like one-side molding member 35 and the other-side molding member 36 and the target first anisotropic conductive elastomer sheet 17. And a frame-shaped spacer 37 having a thickness corresponding to the thickness of the first anisotropic conductive elastomer sheet 17, and a liquid polymer substance-forming material that is cured to become an elastic polymer substance A conductive elastomer material containing conductive particles is prepared.
Then, as shown in FIG. 10, a spacer 37 is arranged on the molding surface (the upper surface in FIG. 10) of the other surface side molding member 36, and in the opening 37 </ b> K of the spacer 37 on the molding surface of the other surface side molding member 36. Then, the prepared conductive elastomer material 17B is applied, and then the one-surface side molded member 35 is arranged on the conductive elastomer material 17B so that the molding surface (the lower surface in FIG. 10) is in contact with the conductive elastomer material 17B. To do.
In the above, as the one side molding member 35 and the other side molding member 36, resin sheets made of polyimide resin, polyester resin, acrylic resin, or the like can be used.
Moreover, it is preferable that the thickness of the resin sheet which comprises the one surface side molded member 35 and the other surface side molded member 36 is 50-500 micrometers, More preferably, it is 75-300 micrometers. If this thickness is less than 50 μm, the strength required for the molded member may not be obtained. On the other hand, when the thickness exceeds 500 μm, it may be difficult to apply a magnetic field having a required strength to the conductive elastomer material layer described later.

次いで、図１１に示すように、加圧ロール３８ａおよび支持ロール３８ｂよりなる加圧ロール装置３８を用い、一面側成形部材３５および他面側成形部材３６によって導電性エラストマー用材料１７Ｂを挟圧することにより、当該一面側成形部材３５と当該他面側成形部材３６との間に、所要の厚みの導電性エラストマー用材料層１７Ａを形成する。この導電性エラストマー用材料層１７Ａにおいては、図１２に拡大して示すように、導電性粒子Ｐが均一に分散した状態で含有されている。
その後、一面側成形部材３５の裏面および他面側成形部材３６の裏面に、例えば一対の電磁石を配置し、当該電磁石を作動させることにより、導電性エラストマー用材料層１７Ａの厚み方向に平行磁場を作用させる。その結果、導電性エラストマー用材料層１７Ａにおいては、当該導電性エラストマー用材料層１７Ａ中に分散されている導電性粒子Ｐが、図１３に示すように、面方向に分散された状態を維持しながら厚み方向に並ぶよう配向し、これにより、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電性粒子Ｐによる連鎖が、面方向に分散した状態で形成される。
そして、この状態において、導電性エラストマー用材料層１７Ａを硬化処理することにより、弾性高分子物質中に、導電性粒子Ｐが厚み方向に並ぶよう配向した状態で、かつ、当該導電性粒子Ｐによる連鎖が面方向に分散された状態で含有されてなる第１の異方導電性エラストマーシート１７が製造される。 Next, as shown in FIG. 11, using the pressure roll device 38 composed of the pressure roll 38 a and the support roll 38 b, the conductive elastomer material 17 </ b> B is clamped by the one side molding member 35 and the other side molding member 36. Thus, the conductive elastomer material layer 17 </ b> A having a required thickness is formed between the one side molding member 35 and the other side molding member 36. In the conductive elastomer material layer 17A, as shown in an enlarged view in FIG. 12, the conductive particles P are contained in a uniformly dispersed state.
Thereafter, for example, a pair of electromagnets are arranged on the back surface of the one-surface-side molded member 35 and the back surface of the other-surface-side molded member 36, and the electromagnets are operated, thereby generating a parallel magnetic field in the thickness direction of the conductive elastomer material layer 17A. Make it work. As a result, in the conductive elastomer material layer 17A, the conductive particles P dispersed in the conductive elastomer material layer 17A maintain the state of being dispersed in the plane direction as shown in FIG. However, a plurality of conductive particles P, which are aligned in the thickness direction, are formed so as to be dispersed in the plane direction.
In this state, the conductive elastomer material layer 17A is cured, so that the conductive particles P are aligned in the thickness direction in the elastic polymer substance, and the conductive particles P are A first anisotropic conductive elastomer sheet 17 containing the chain dispersed in the plane direction is manufactured.

以上において、導電性エラストマー用材料層１７Ａの硬化処理は、平行磁場を作用させたままの状態で行うこともできるが、平行磁場の作用を停止させた後に行うこともできる。
導電性エラストマー用材料層１７Ａに作用される平行磁場の強度は、平均で０．０２〜２．５テスラとなる大きさが好ましい。
導電性エラストマー用材料層１７Ａの硬化処理は、使用される材料によって適宜選定されるが、通常、加熱処理によって行われる。具体的な加熱温度および加熱時間は、導電性エラストマー用材料層１７Ａを構成する高分子物質用材料などの種類、導電性粒子Ｐの移動に要する時間などを考慮して適宜選定される。 In the above, the curing process of the conductive elastomer material layer 17A can be performed with the parallel magnetic field applied, but can also be performed after the parallel magnetic field is stopped.
The intensity of the parallel magnetic field applied to the conductive elastomer material layer 17A is preferably 0.02 to 2.5 Tesla on average.
The curing process for the conductive elastomer material layer 17A is appropriately selected depending on the material to be used, but is usually performed by a heating process. The specific heating temperature and heating time are appropriately selected in consideration of the type of polymer material constituting the conductive elastomer material layer 17A, the time required to move the conductive particles P, and the like.

図１４は、第２の電極シート２０の要部を拡大して示す説明用断面図である。この第２の電極シート２０は、被検査回路基板の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の検査用コア電極２５と、第１の電極シート１０における中継電極１４のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用コア電極２６と、検査用コア電極２５および接続用コア電極２６の各々を支持する絶縁性支持シート２１とにより構成されている。具体的には、絶縁性支持シート２１には、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔２２が、被検査回路基板の被検査電極のパターンに対応するパターンおよび第１の電極シート１０における中継電極１４のパターンに対応するパターンに従って形成されており、この絶縁性支持シート２１の各貫通孔２２に、検査用コア電極２５および接続用コア電極２６の各々が当該絶縁性支持シート２１の両面の各々から突出するよう配置されている。
検査用コア電極２５の各々は、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２に挿通された円柱状の胴部２５ａと、この胴部２５ａの両端の各々に一体に連結されて形成された、絶縁性支持シート２１の表面に露出する端子部２５ｂとにより構成されている。検査用コア電極２５における胴部２５ａの長さは、絶縁性支持シート２１の厚みより大きく、また、当該胴部２５ａの径は、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の径より小さいものとされており、これにより、当該検査用コア電極２５は、絶縁性支持シート２１の厚み方向に移動可能とされている。また、検査用コア電極２５における端子部２５ｂの径は、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の径より大きいものとされている。
接続用コア電極２６の各々は、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２に挿通された円柱状の胴部２６ａと、この胴部２６ａの両端の各々に一体に連結されて形成された、絶縁性支持シート２１の表面に露出する端子部２６ｂとにより構成されている。接続用コア電極２６における胴部２６ａの長さは、絶縁性支持シート２１の厚みより大きく、また、当該胴部２６ａの径は、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の径より小さいものとされており、これにより、当該接続用コア電極２６は、絶縁性支持シート２１の厚み方向に移動可能とされている。また、接続用コア電極２６における端子部２６ｂの径は、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の径より大きいものとされている。 FIG. 14 is an explanatory cross-sectional view showing an enlarged main part of the second electrode sheet 20. The second electrode sheet 20 corresponds to the pattern of the plurality of inspection core electrodes 25 arranged according to the pattern corresponding to the pattern of the electrode to be inspected on the circuit board to be inspected, and the pattern of the relay electrode 14 in the first electrode sheet 10. And a plurality of connecting core electrodes 26 arranged in accordance with the pattern, and an insulating support sheet 21 that supports each of the inspection core electrode 25 and the connecting core electrode 26. Specifically, the insulating support sheet 21 has a plurality of through holes 22 extending in the thickness direction, corresponding to the pattern of the electrode to be inspected of the circuit board to be inspected, and the relay electrode 14 in the first electrode sheet 10. Each of the inspection core electrode 25 and the connection core electrode 26 is formed in each through-hole 22 of the insulating support sheet 21 from each of both surfaces of the insulating support sheet 21. It is arranged to protrude.
Each of the inspection core electrodes 25 is formed of a cylindrical body portion 25a inserted through the through hole 22 of the insulating support sheet 21 and an insulating material formed integrally connected to both ends of the body portion 25a. It is comprised by the terminal part 25b exposed to the surface of the support sheet 21. FIG. The length of the body portion 25a in the core electrode for inspection 25 is larger than the thickness of the insulating support sheet 21, and the diameter of the body portion 25a is smaller than the diameter of the through hole 22 of the insulating support sheet 21. Thus, the inspection core electrode 25 can be moved in the thickness direction of the insulating support sheet 21. Further, the diameter of the terminal portion 25 b in the inspection core electrode 25 is larger than the diameter of the through hole 22 of the insulating support sheet 21.
Each of the connecting core electrodes 26 is formed by integrally connecting a cylindrical body portion 26a inserted through the through hole 22 of the insulating support sheet 21 and both ends of the body portion 26a. It is comprised by the terminal part 26b exposed to the surface of the support sheet 21. FIG. The length of the body portion 26 a in the connecting core electrode 26 is larger than the thickness of the insulating support sheet 21, and the diameter of the body portion 26 a is smaller than the diameter of the through hole 22 of the insulating support sheet 21. Accordingly, the connecting core electrode 26 is movable in the thickness direction of the insulating support sheet 21. Further, the diameter of the terminal portion 26 b in the connecting core electrode 26 is larger than the diameter of the through hole 22 of the insulating support sheet 21.

絶縁性支持シート２１を構成する材料としては、液晶ポリマー、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアラミド樹脂、ポリアミド樹脂等の樹脂材料、ガラス繊維補強型エポキシ樹脂、ガラス繊維補強型ポリエステル樹脂、ガラス繊維補強型ポリイミド樹脂等の繊維補強型樹脂材料、エポキシ樹脂等にアルミナ、ポロンナイトライド等の無機材料をフィラーとして含有した複合樹脂材料などを用いることができる。
また、絶縁性支持シート２１の厚みは、１０〜２００μｍであることが好ましく、より好ましくは１５〜１００μｍである。
また、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の径は、２０〜８０μｍであることが好ましく、より好ましくは３０〜６０μｍである。 As a material constituting the insulating support sheet 21, resin materials such as liquid crystal polymer, polyimide resin, polyester resin, polyaramid resin, polyamide resin, glass fiber reinforced epoxy resin, glass fiber reinforced polyester resin, glass fiber reinforced polyimide A fiber reinforced resin material such as a resin, a composite resin material containing an inorganic material such as alumina or poron nitride as a filler in an epoxy resin or the like can be used.
Moreover, it is preferable that the thickness of the insulating support sheet 21 is 10-200 micrometers, More preferably, it is 15-100 micrometers.
Moreover, it is preferable that the diameter of the through-hole 22 of the insulating support sheet 21 is 20-80 micrometers, More preferably, it is 30-60 micrometers.

検査用コア電極２５および接続用コア電極２６を構成する材料としては、剛性を有する金属材料を好適に用いることができ、特に、後述する製造方法において、絶縁性支持シート２１に形成される金属薄層よりエッチングされにくいものを用いることが好ましい。このような金属材料の具体例としては、ニッケル、コバルト、金、アルミニウムなどの単体金属またはこれらの合金などを挙げることができる。
検査用コア電極２５および接続用コア電極２６の各々における胴部２５ａ，２６ａの径は、１８μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは２５μｍ以上である。この径が過小である場合には、検査用コア電極２５および接続用コア電極２６に必要な強度が得られないことがある。また、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の径と検査用コア電極２５および接続用コア電極２６の各々における胴部２５ａ，２６ａの径との差は、１μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは２μｍ以上である。この差が過小である場合には、絶縁性支持シート２１の厚み方向に対して検査用コア電極２５および接続用コア電極２６を移動させることが困難となることがある。
検査用コア電極２５および接続用コア電極２６の各々における端子部２５ｂ，２６ｂの径は、被検査電極の径の７０〜１５０％であることが好ましい。また、検査用コア電極２５および接続用コア電極２６の各々における端子部２５ｂ，２６ｂの径と絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の径との差は、５μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは１０μｍ以上である。この差が過小である場合には、検査用コア電極２５および接続用コア電極２６が絶縁性支持シート２１から脱落する恐れがある。
絶縁性支持シート２１の厚み方向における検査用コア電極２５および接続用コア電極２６の各々の移動可能距離、すなわち検査用コア電極２５および接続用コア電極２６の各々における胴部２５ａ，２６ａの長さと絶縁性支持シート２１の厚みとの差は、５〜５０μｍであることが好ましく、より好ましくは８〜４０μｍである。これらの移動可能距離が過小である場合には、十分な凹凸吸収能を得ることが困難となることがある。一方、これらの移動可能距離が過大である場合には、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２から露出する検査用コア電極２５の胴部２５ａおよび接続用コア電極２６の胴部２６ａの長さが大きくなり、検査に使用したときに、検査用コア電極２５の胴部２５ａおよび接続用コア電極２６の胴部２６ａが座屈または損傷するおそれがある。 As a material constituting the inspection core electrode 25 and the connection core electrode 26, a metal material having rigidity can be preferably used. In particular, in the manufacturing method described later, a metal thin film formed on the insulating support sheet 21 is used. It is preferable to use a material that is more difficult to etch than the layer. Specific examples of such a metal material include simple metals such as nickel, cobalt, gold, and aluminum, or alloys thereof.
The diameters of the body portions 25a and 26a in each of the inspection core electrode 25 and the connection core electrode 26 are preferably 18 μm or more, and more preferably 25 μm or more. When this diameter is too small, the strength required for the inspection core electrode 25 and the connection core electrode 26 may not be obtained. The difference between the diameter of the through hole 22 of the insulating support sheet 21 and the diameter of the body portions 25a and 26a in each of the inspection core electrode 25 and the connection core electrode 26 is preferably 1 μm or more. Is 2 μm or more. If this difference is too small, it may be difficult to move the inspection core electrode 25 and the connection core electrode 26 in the thickness direction of the insulating support sheet 21.
The diameters of the terminal portions 25b and 26b in each of the inspection core electrode 25 and the connection core electrode 26 are preferably 70 to 150% of the diameter of the electrode to be inspected. Further, the difference between the diameters of the terminal portions 25b and 26b and the diameter of the through hole 22 of the insulating support sheet 21 in each of the inspection core electrode 25 and the connection core electrode 26 is preferably 5 μm or more. Is 10 μm or more. If this difference is too small, the inspection core electrode 25 and the connection core electrode 26 may fall off the insulating support sheet 21.
The movable distance of each of the inspection core electrode 25 and the connection core electrode 26 in the thickness direction of the insulating support sheet 21, that is, the length of the body portions 25 a and 26 a in each of the inspection core electrode 25 and the connection core electrode 26 The difference from the thickness of the insulating support sheet 21 is preferably 5 to 50 μm, more preferably 8 to 40 μm. If these movable distances are too small, it may be difficult to obtain sufficient irregularity absorbing ability. On the other hand, when these movable distances are excessive, the lengths of the body part 25a of the inspection core electrode 25 and the body part 26a of the connection core electrode 26 exposed from the through hole 22 of the insulating support sheet 21 are long. There is a possibility that the body 25a of the inspection core electrode 25 and the body 26a of the connecting core electrode 26 may be buckled or damaged when used for inspection.

上記の第２の電極シート２０は、例えば以下のようにして製造することができる。
先ず、図１５に示すように、絶縁性支持シート２１の一面に易エッチング性の金属層２３Ａが一体的に積層されてなる積層材料２０Ｂを用意し、この積層材料２０Ｂにおける金属層２３Ａに対してエッチング処理を施してその一部を除去することにより、図１６に示すように、金属層２３Ａに接続すべき電極のパターンに対応するパターンに従って複数の開口２３Ｋを形成する。次いで、図１７に示すように、積層材料２０Ｂにおける絶縁性支持シート２１に、それぞれ金属層２３Ａの開口２３Ｋに連通して厚み方向に伸びる貫通孔２２を形成する。そして、図１８に示すように、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の内壁面および金属層２３Ａの開口縁を覆うよう、易エッチング性の筒状の金属薄層２３Ｂを形成する。このようにして、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔２２が形成された絶縁性支持シート２１と、この絶縁性支持シート２１の一面に積層された、それぞれ絶縁性支持シート２１の貫通孔２２に連通する複数の開口２３Ｋを有する易エッチング性の金属層２３Ａと、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の内壁面および金属層２３Ａの開口縁を覆うよう形成された易エッチング性の金属薄層２３Ｂとを有してなる複合積層材料２０Ａが製造される。
以上において、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２を形成する方法としては、レーザー加工法、ドリル加工法、エッチング加工法などを利用することができる。
金属層２３Ａおよび金属薄層２３Ｂを構成する易エッチング性の金属材料としては、銅、ニッケルなどを用いることができる。
また、金属層２３Ａの厚みは、目的とする検査用コア電極２５および接続用コア電極２６の移動可能距離などを考慮して設定され、具体的には、５〜５０μｍであることが好ましく、より好ましくは８〜４０μｍである。
また、金属薄層２３Ｂの厚みは、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の径と形成すべき検査用コア電極２５および接続用コア電極２６の各々における胴部２５ａ，２６ａの径とを考慮して設定される。
また、金属薄層２３Ｂを形成する方法としては、無電解メッキ法などを利用することができる。 Said 2nd electrode sheet 20 can be manufactured as follows, for example.
First, as shown in FIG. 15, a laminated material 20B is prepared in which an easily etchable metal layer 23A is integrally laminated on one surface of an insulating support sheet 21, and the metal layer 23A in the laminated material 20B is prepared. By performing an etching process and removing a part thereof, as shown in FIG. 16, a plurality of openings 23K are formed according to a pattern corresponding to the pattern of the electrodes to be connected to the metal layer 23A. Next, as shown in FIG. 17, through-holes 22 that extend in the thickness direction are formed in the insulating support sheet 21 in the laminated material 20 </ b> B, each communicating with the opening 23 </ b> K of the metal layer 23 </ b> A. Then, as shown in FIG. 18, an easily etchable cylindrical metal thin layer 23 </ b> B is formed so as to cover the inner wall surface of the through hole 22 of the insulating support sheet 21 and the opening edge of the metal layer 23 </ b> A. Thus, the insulating support sheet 21 formed with a plurality of through holes 22 extending in the thickness direction, respectively, and the through holes 22 of the insulating support sheet 21 laminated on one surface of the insulating support sheet 21. An easily etchable metal layer 23A having a plurality of communicating openings 23K, and an easily etchable metal thin layer 23B formed so as to cover the inner wall surface of the through hole 22 of the insulating support sheet 21 and the opening edge of the metal layer 23A. A composite laminate material 20A is manufactured.
In the above, as a method of forming the through hole 22 of the insulating support sheet 21, a laser processing method, a drill processing method, an etching processing method, or the like can be used.
Copper, nickel, or the like can be used as an easily etchable metal material constituting the metal layer 23A and the metal thin layer 23B.
The thickness of the metal layer 23A is set in consideration of the movable distance of the target inspection core electrode 25 and the connection core electrode 26, and is specifically preferably 5 to 50 μm. Preferably it is 8-40 micrometers.
The thickness of the thin metal layer 23B takes into consideration the diameter of the through hole 22 of the insulating support sheet 21 and the diameters of the body portions 25a and 26a in each of the inspection core electrode 25 and the connection core electrode 26 to be formed. Is set.
Further, as a method of forming the metal thin layer 23B, an electroless plating method or the like can be used.

そして、この複合積層材料２０Ａに対してフォトメッキ処理を施すことにより、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２の各々に検査用コア電極２５および接続用コア電極２６を形成する。具体的に説明すると、図１９に示すように、絶縁性支持シート２１の一面に形成された金属層２３Ａの表面および絶縁性支持シート２１の他面の各々に、形成すべき検査用コア電極２５および接続用コア電極２６における端子部２５ｂ，２６ｂのパターンに対応するパターンに従ってそれぞれ絶縁性支持シート２１の貫通孔２２に連通する複数のパターン孔２４Ｋが形成されたレジスト膜２４を形成する。次いで、金属層２３Ａを共通電極として電解メッキ処理を施して当該金属層２３Ａにおける露出した部分および金属薄層２３Ｂの表面に金属を堆積させ、絶縁性支持シート２１の貫通孔２２内およびレジスト膜２４のパターン孔２４Ｋ内に金属を充填することにより、図２０に示すように、それぞれ絶縁性支持シート２１の厚み方向に伸びる検査用コア電極２５および接続用コア電極２６を形成する。
このようにして検査用コア電極２５および接続用コア電極２６を形成した後、金属層２３Ａの表面からレジスト膜２４を除去することにより、図２１に示すように、金属層２３Ａを露出させる。そして、エッチング処理を施して金属層２３Ａを除去することにより、第２の電極シート２０が得られる。 Then, the composite laminated material 20 </ b> A is subjected to a photoplating process to form the inspection core electrode 25 and the connection core electrode 26 in each of the through holes 22 of the insulating support sheet 21. More specifically, as shown in FIG. 19, the inspection core electrode 25 to be formed on each of the surface of the metal layer 23 </ b> A formed on one surface of the insulating support sheet 21 and the other surface of the insulating support sheet 21. Then, a resist film 24 in which a plurality of pattern holes 24K communicating with the through holes 22 of the insulating support sheet 21 is formed according to a pattern corresponding to the pattern of the terminal portions 25b and 26b in the connecting core electrode 26 is formed. Next, electrolytic plating is performed using the metal layer 23A as a common electrode to deposit metal on the exposed portion of the metal layer 23A and the surface of the metal thin layer 23B, and in the through holes 22 of the insulating support sheet 21 and the resist film 24. By filling the pattern holes 24K with metal, as shown in FIG. 20, the test core electrode 25 and the connection core electrode 26 extending in the thickness direction of the insulating support sheet 21 are formed.
After forming the inspection core electrode 25 and the connection core electrode 26 in this manner, the resist film 24 is removed from the surface of the metal layer 23A, thereby exposing the metal layer 23A as shown in FIG. Then, the second electrode sheet 20 is obtained by performing an etching process to remove the metal layer 23A.

第２の異方導電性エラストマーシート１８としては、第１の異方導電性エラストマーシート１７と同様の構成のものを用いることができる。   As the second anisotropic conductive elastomer sheet 18, one having the same configuration as that of the first anisotropic conductive elastomer sheet 17 can be used.

検査用回路基板３０においては、図２２にも示すように、その表面に第２の電極シート２０における検査用コア電極および接続用コア電極のパターンに対応するパターンに従って複数の検査電極３１が形成され、当該検査用回路基板３０の裏面には、適宜のパターンに従って複数の端子電極３２が形成されており、検査電極３１の各々は、当該検査用回路基板３０に形成された内部配線（図示省略）によって適宜の端子電極３２に電気的に接続されている。
そして、検査電極３１のうち、検査用コア電極２５に電気的に接続される検査電極３１ａは、接続用コア電極２６に電気的に接続される検査電極３１ｂより突出した状態で形成されている。
検査電極３１ａにおける検査電極３１ｂからの突出高さは、５〜１００μｍであることが好ましく、より好ましくは１０〜７０μｍである。
この突出高さが過小である場合には、検査用コア電極２１と被検査電極との電気的接続を確実に達成することが困難となることがある。一方、この突出高さが過大である場合には、検査時における押圧により、第１の異方導電性エラストマーシート１７が過度に変形されて破損することがある。 In the inspection circuit board 30, as shown in FIG. 22, a plurality of inspection electrodes 31 are formed on the surface according to a pattern corresponding to the pattern of the inspection core electrode and the connection core electrode in the second electrode sheet 20. A plurality of terminal electrodes 32 are formed on the back surface of the inspection circuit board 30 according to an appropriate pattern, and each of the inspection electrodes 31 is an internal wiring (not shown) formed on the inspection circuit board 30. Are electrically connected to an appropriate terminal electrode 32.
Of the inspection electrodes 31, the inspection electrode 31 a electrically connected to the inspection core electrode 25 is formed so as to protrude from the inspection electrode 31 b electrically connected to the connection core electrode 26.
The protruding height of the inspection electrode 31a from the inspection electrode 31b is preferably 5 to 100 μm, and more preferably 10 to 70 μm.
If the protruding height is too small, it may be difficult to reliably achieve electrical connection between the inspection core electrode 21 and the electrode to be inspected. On the other hand, if the protruding height is excessive, the first anisotropic conductive elastomer sheet 17 may be excessively deformed and damaged by pressing during inspection.

上記の電気抵抗測定用コネクター１においては、図２３に示すように、被検査回路基板５の一面に、電気抵抗測定用コネクター１における各検査用コア電極２５が当該被検査回路基板５の各一面側被検査電極６上に位置するよう配置され、更に、適宜の手段によって電気抵抗測定用コネクター１が押圧される。そして、この状態においては、図２４に示すように、第１の電極シート１０におけるリング状電極１３の各々は、被検査回路基板５の一面側被検査電極６の各々に接触して電気的に接続される。また、第２の電極シート２０における検査用コア電極２５の各々は、検査電極３１ａによって第２の異方導電性エラストマーシート１８を介して押圧されることにより、当該検査電極３１ａに電気的に接続されると共に、第１の異方導電性エラストマーシート１７を介して、被検査回路基板５の一面側被検査電極６の各々に電気的に接続される。また、第２の電極シート２０の接続用コア電極２６の各々は、検査電極３１ｂによって第２の異方導電性エラストマーシート１８を介して押圧されることにより、当該検査電極３１ｂに電気的に接続されると共に、第１の異方導電性エラストマーシート１７を介して、第１の電極シート１０における中継電極１４に電気的に接続される。
このとき、第１の電極シート１０におけるリング状電極１３は、絶縁性シート１１の貫通孔１２を包囲するよう形成されているため、図２５に示すように、絶縁性シート１１の貫通孔１２に進入する検査用コア電極２５の中心位置が一面側被検査電極６の中心位置から位置ずれした場合であっても、一面側被検査電極６に検査用コア電極２５が電気的に接続されていれば、リング状電極１３も必ず一面側被検査電極６に電気的に接続される。
このような状態において、被検査回路基板５における複数の一面側被検査電極６のうち１つの一面側被検査電極６を指定し、この指定された一面側被検査電極６に電気的に接続されている検査用コア電極２５およびリング状電極１３のうち、一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、指定された一面側被検査電極６に係る電気抵抗の測定が行われる。 In the electrical resistance measurement connector 1, as shown in FIG. 23, each test core electrode 25 in the electrical resistance measurement connector 1 is provided on one surface of the circuit board 5 to be tested. The electrical resistance measuring connector 1 is pressed by an appropriate means. In this state, as shown in FIG. 24, each of the ring-shaped electrodes 13 in the first electrode sheet 10 comes into contact with each of the electrodes 6 to be inspected on the one surface side of the circuit board 5 to be inspected electrically. Connected. Further, each of the inspection core electrodes 25 in the second electrode sheet 20 is electrically connected to the inspection electrode 31a by being pressed through the second anisotropic conductive elastomer sheet 18 by the inspection electrode 31a. At the same time, the first anisotropic conductive elastomer sheet 17 is electrically connected to each of the electrodes 6 to be inspected on the one surface side of the circuit board 5 to be inspected. Further, each of the connecting core electrodes 26 of the second electrode sheet 20 is electrically connected to the inspection electrode 31b by being pressed through the second anisotropic conductive elastomer sheet 18 by the inspection electrode 31b. In addition, the first anisotropic conductive elastomer sheet 17 is electrically connected to the relay electrode 14 in the first electrode sheet 10.
At this time, since the ring-shaped electrode 13 in the first electrode sheet 10 is formed so as to surround the through hole 12 of the insulating sheet 11, as shown in FIG. 25, the ring electrode 13 is formed in the through hole 12 of the insulating sheet 11. Even when the center position of the entering inspection core electrode 25 is displaced from the center position of the one-surface-side inspection electrode 6, the inspection core electrode 25 is electrically connected to the one-surface-side inspection electrode 6. For example, the ring-shaped electrode 13 is always electrically connected to the one-surface-side inspection electrode 6.
In such a state, one one-surface-side inspected electrode 6 is designated out of the plurality of one-surface-side inspected electrodes 6 in the circuit board 5 to be inspected, and is electrically connected to the designated one-side-side inspected electrode 6. Among the inspection core electrode 25 and the ring-shaped electrode 13 that are used, one is used as a current supply electrode and the other is used as a voltage measurement electrode, whereby the electrical resistance of the designated one-surface-side inspected electrode 6 can be measured. Done.

ここで、被検査回路基板５としては、図２６（イ）に示すように、一面に形成された一面側被検査電極６のみを有し、当該一面側被検査電極６間に形成された回路８ａのみを有するもの、図２６（ロ）に示すように、一面に形成された一面側被検査電極６および他面に形成された他面側被検査電極７を有し、一面側被検査電極６と他面側被検査電極７との間に形成された回路８ｂのみを有するもの、図２６（ハ）に示すように、一面に形成された一面側被検査電極６および他面に形成された他面側被検査電極７を有し、一面側被検査電極６間に形成された回路８ａおよび一面側被検査電極６と他面側被検査電極７との間に形成された回路８ｂの両方を有するもののいずれであってもよい。   Here, as the circuit board 5 to be inspected, as shown in FIG. 26A, the circuit board 5 has only one surface-side inspected electrode 6 formed on one surface, and is formed between the one surface-side inspected electrodes 6. One having only 8a, as shown in FIG. 26 (b), has one surface-side inspection electrode 6 formed on one surface and another surface-side inspection electrode 7 formed on the other surface, and one surface-side inspection electrode 6 having only the circuit 8b formed between the other surface side inspected electrode 7 and the one surface side inspected electrode 6 formed on one surface and the other surface as shown in FIG. A circuit 8a formed between the one-surface-side inspected electrode 6 and a circuit 8b formed between the one-surface-side inspected electrode 6 and the other-surface-side inspected electrode 7. Any of those having both may be used.

上記の構成の電気抵抗測定用コネクター１によれば、第１の電極シート１０における絶縁性シート１１には、第２の電極シート２０における検査用コア電極２５が進入する貫通孔１２が形成され、この貫通孔１２の周囲には、当該貫通孔１２を包囲するようリング状電極１３が形成されているため、被検査回路基板５における一面側被検査電極６上に、検査用コア電極２５の少なくとも一部が位置されるよう位置合わせをすれば、当該一面側被検査電極６上にはリング状電極１３の少なくとも一部が位置されるようになり、従って、被検査回路基板５が大面積でサイズの小さい多数の一面側被検査電極６を有するものであっても、一面側被検査電極６に対する検査用コア電極２５およびリング状電極１３の両方の電気的接続を確実に達成することができる。しかも、検査用コア電極２５およびリング状電極１３は互いに電気的に独立されているので、当該一面側被検査電極６に電気的に接続された検査用コア電極２５およびリング状電極１３のうち、一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該被検査回路基板５についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。
また、第１の電極シート１０および第２の電極シート２０は、それぞれ簡単な構造であるため、電気抵抗測定用コネクター１全体を小さいコストで製造することが可能である。従って、検査コストの低減化を図ることができる。
そして、検査用回路基板３０においては、検査用コア電極２５に電気的に接続される検査電極３１ａが、接続用コア電極２６に電気的に接続される検査電極３１ｂより突出していることにより、検査用コア電極２５を十分に加圧することができるので、被検査回路基板５が、表面にレジスト層９を有し、一面側被検査電極６の高さレベルがレジスト層９の高さレベルより低いものであっても、検査用コア電極２５と一面側被検査電極６とが確実に電気的に接続され、従って、被検査回路基板５に対する所要の電気的接続を確実に達成することができる。 According to the electrical resistance measurement connector 1 having the above-described configuration, the insulating sheet 11 in the first electrode sheet 10 is formed with the through hole 12 into which the inspection core electrode 25 in the second electrode sheet 20 enters, Since the ring-shaped electrode 13 is formed around the through-hole 12 so as to surround the through-hole 12, at least the inspection core electrode 25 is formed on the one-surface-side inspected electrode 6 in the circuit board 5 to be inspected. If the alignment is performed so that a part of the ring-shaped electrode 13 is positioned, at least a part of the ring-shaped electrode 13 is positioned on the inspected electrode 6 on the one surface side. Therefore, the circuit board 5 to be inspected has a large area. Even in the case of having a large number of one-surface-side inspected electrodes 6 having a small size, the electrical connection of both the inspection core electrode 25 and the ring-shaped electrode 13 to the one-surface-side inspected electrode 6 is reliably achieved. Door can be. Moreover, since the inspection core electrode 25 and the ring-shaped electrode 13 are electrically independent from each other, of the inspection core electrode 25 and the ring-shaped electrode 13 electrically connected to the one-surface-side inspected electrode 6, By using one as a current supply electrode and the other as a voltage measurement electrode, the electrical resistance of the circuit board 5 to be inspected can be measured with high accuracy.
Moreover, since each of the first electrode sheet 10 and the second electrode sheet 20 has a simple structure, the entire electrical resistance measuring connector 1 can be manufactured at a low cost. Accordingly, the inspection cost can be reduced.
In the inspection circuit board 30, the inspection electrode 31 a electrically connected to the inspection core electrode 25 protrudes from the inspection electrode 31 b electrically connected to the connection core electrode 26. Since the core electrode 25 can be sufficiently pressurized, the circuit board to be inspected 5 has the resist layer 9 on the surface, and the height level of the one-surface-side inspected electrode 6 is lower than the height level of the resist layer 9. Even if it is a thing, the core electrode 25 for a test | inspection and the one surface side test | inspection electrode 6 are reliably electrically connected, Therefore The required electrical connection with respect to the to-be-tested circuit board 5 can be achieved reliably.

〈回路基板の電気抵抗測定装置〉
図２７は、本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の一例における構成を示す説明図である。この電気抵抗測定装置は、一面に一面側被検査電極６を有すると共に他面に他面側被検査電極７を有する被検査回路基板５について、各配線パターンの電気抵抗測定試験を行うためのものであって、被検査回路基板５を検査実行領域Ｅに保持するためのホルダー２を有し、このホルダー２には、被検査回路基板５を検査実行領域Ｅにおける適正な位置に配置するための位置決めピン３が設けられている。
検査実行領域Ｅの上方には、図１に示す構成の電気抵抗測定用コネクター１および上部側検査ヘッド５０ａが下からこの順で配置され、更に、上部側検査ヘッド５０ａの上方には、上部側支持板５６ａが配置されており、上部側検査ヘッド５０ａは、支柱５４ａによって上部側支持板５６ａに固定されている。一方、検査実行領域Ｅの下方には、電気抵抗測定用コネクター４０および下部側検査ヘッド５０ｂが上からこの順で配置され、更に、下部側検査ヘッド５０ｂの下方には、下部側支持板５６ｂが配置されており、下部側検査ヘッド５０ｂは、支柱５４ｂによって下部側支持板５６ｂに固定されている。 <Circuit board electrical resistance measurement device>
FIG. 27 is an explanatory diagram showing a configuration of an example of an electrical resistance measurement device for a circuit board according to the present invention. This electrical resistance measuring apparatus is for performing an electrical resistance measurement test of each wiring pattern on a circuit board 5 to be inspected having one surface-side inspected electrode 6 on one surface and the other surface-side inspected electrode 7 on the other surface. In addition, the holder 2 for holding the circuit board 5 to be inspected in the inspection execution area E is provided, and in this holder 2, the circuit board 5 to be inspected is arranged at an appropriate position in the inspection execution area E. A positioning pin 3 is provided.
Above the inspection execution region E, the electrical resistance measurement connector 1 and the upper side inspection head 50a having the configuration shown in FIG. 1 are arranged in this order from the bottom. Further, above the upper side inspection head 50a, the upper side A support plate 56a is disposed, and the upper inspection head 50a is fixed to the upper support plate 56a by a support 54a. On the other hand, below the inspection execution area E, the electrical resistance measurement connector 40 and the lower side inspection head 50b are arranged in this order from the top, and further below the lower side inspection head 50b, there is a lower side support plate 56b. The lower inspection head 50b is fixed to the lower support plate 56b by a column 54b.

電気抵抗測定用コネクター４０は、検査用回路基板４１上に異方導電性エラストマー層４５が一体的に形成されて構成されている。
検査用回路基板４１の表面（図２７において上面）には、互いに離間して配置された電流供給用電極４２ａおよび電圧測定用検査電極４２ｂよりなる検査電極対が、被検査回路基板５の他面側被検査電極７の配置パターンに対応するパターンに従って配置されている。検査用回路基板４１の裏面には、適宜のパターンに従って端子電極４３が配置されており、これらの端子電極４３の各々は、電流供給用電極４２ａおよび電圧測定用検査電極４２ｂのいずれかに電気的に接続されている。
検査用回路基板４１における電流供給用電極４２ａと電圧測定用検査電極４２ｂとの間の離間距離は１０μｍ以上であることが好ましい。この離間距離が１０μｍ未満である場合には、異方導電性エラストマー層４５を介して電流供給用電極４２ａと電圧測定用検査電極４２ｂとの間に流れる電流が大きくなるため、高い精度で電気抵抗を測定することが困難となることがある。
一方、この離間距離の上限は、各検査電極のサイズと、関連する他面側被検査電極７の寸法およびピッチによって定まり、通常は５００μｍ以下である。この離間距離が過大である場合には、他面側被検査電極７の１つに対して両検査電極を適切に配置することが困難となることがある。 The electrical resistance measuring connector 40 is configured by integrally forming an anisotropic conductive elastomer layer 45 on an inspection circuit board 41.
On the surface of the inspection circuit board 41 (upper surface in FIG. 27), an inspection electrode pair composed of a current supply electrode 42 a and a voltage measurement inspection electrode 42 b that are spaced apart from each other is provided on the other surface of the circuit board 5 to be inspected. It arrange | positions according to the pattern corresponding to the arrangement pattern of the to-be-tested electrode 7. Terminal electrodes 43 are arranged in accordance with an appropriate pattern on the back surface of the circuit board 41 for inspection, and each of these terminal electrodes 43 is electrically connected to either the current supply electrode 42a or the voltage measurement inspection electrode 42b. It is connected to the.
The separation distance between the current supply electrode 42a and the voltage measurement inspection electrode 42b in the inspection circuit board 41 is preferably 10 μm or more. When the separation distance is less than 10 μm, the current flowing between the current supply electrode 42a and the voltage measurement test electrode 42b through the anisotropic conductive elastomer layer 45 becomes large, so that the electric resistance is highly accurate. May be difficult to measure.
On the other hand, the upper limit of the separation distance is determined by the size of each inspection electrode and the dimension and pitch of the related other surface side inspection electrode 7 and is usually 500 μm or less. When this separation distance is excessive, it may be difficult to appropriately dispose both inspection electrodes with respect to one of the other surface side inspection electrodes 7.

異方導電性エラストマー層４５は、検査用回路基板４１の検査用電極対のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の導電路形成部４６と、これらを相互に絶縁する絶縁部４７とにより構成されており、導電路形成部４６は、検査用回路基板４１の検査電極対における電流供給用電極４２ａおよび電圧測定用検査電極４２ｂの両方の全面に接するよう配置されている。
異方導電性エラストマー層４５における導電路形成部４６は、弾性高分子物質中に磁性を示す導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなるものである。一方、絶縁部４７は弾性高分子物質よりなり、導電性粒子が全く或いは殆ど含有されていないものである。
導電路形成部４６は、その厚み方向における導電性が、厚み方向と直角な面方向における導電性より高いことが好ましく、具体的には、面方向の電気抵抗値に対する厚み方向の電気抵抗値の比が１以下、特に０．５以下であるような電気的特性を有するものであることが好ましい。この比が１を超える場合には、導電路形成部４６を介して電流供給用電極４２ａと電圧測定用検査電極４２ｂとの間に流れる電流が大きくなるため、高い精度で電気抵抗を測定することが困難となることがある。
異方導電性エラストマー層４５を構成する弾性高分子物質および導電性粒子としては、段１の異方導電性エラストマーシート１７を構成する弾性高分子物質および導電性粒子として例示したものと同様のものを用いることができる。
このような異方導電性エラストマー層４５は、適宜の方法例えば特開２０００−７４９６５号公報に記載された方法によって形成することができる。 The anisotropic conductive elastomer layer 45 includes a plurality of conductive path forming portions 46 arranged according to a pattern corresponding to the pattern of the inspection electrode pair of the inspection circuit board 41, and an insulating portion 47 that insulates them from each other. The conductive path forming portion 46 is disposed so as to be in contact with the entire surfaces of both the current supply electrode 42 a and the voltage measurement test electrode 42 b in the test electrode pair of the test circuit board 41.
The conductive path forming portion 46 in the anisotropic conductive elastomer layer 45 is formed by containing conductive particles exhibiting magnetism in an elastic polymer substance so as to be aligned in the thickness direction. On the other hand, the insulating portion 47 is made of an elastic polymer material and contains no or almost no conductive particles.
The conductive path forming portion 46 preferably has a higher conductivity in the thickness direction than a conductivity in a plane direction perpendicular to the thickness direction. Specifically, the electrical resistance value in the thickness direction with respect to the electrical resistance value in the plane direction. It is preferable to have electrical characteristics such that the ratio is 1 or less, particularly 0.5 or less. When this ratio exceeds 1, the current flowing between the current supply electrode 42a and the voltage measurement test electrode 42b through the conductive path forming portion 46 becomes large, so that the electrical resistance is measured with high accuracy. May be difficult.
The elastic polymer substance and conductive particles constituting the anisotropic conductive elastomer layer 45 are the same as those exemplified as the elastic polymer substance and conductive particles constituting the anisotropic conductive elastomer sheet 17 of stage 1. Can be used.
Such an anisotropic conductive elastomer layer 45 can be formed by an appropriate method, for example, a method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-74965.

上部側検査ヘッド５０ａは、板状の電極装置５１ａと、この電極装置５１ａの下面に固定されて配置された弾性を有する異方導電性シート５５ａとにより構成されている。電極装置５１ａは、電気抵抗測定用コネクター１における検査用コア電極２５および接続用コア電極２６のパターンに対応するパターンに従って配列された複数の電極ピン５２ａを有し、これらの電極ピン５２ａの各々は、電線５３ａによって、上部側支持板５６ａに設けられたコネクター５７ａに電気的に接続され、更に、このコネクター５７ａを介してテスターの検査回路（図示省略）に電気的に接続されている。
下部側検査ヘッド５０ｂは、板状の電極装置５１ｂと、この電極装置５１ｂの上面に固定されて配置された弾性を有する異方導電性シート５５ｂとにより構成されている。電極装置５１ｂは、電気抵抗測定用コネクター４０における端子電極４３のパターンに対応するパターンに従って配列された複数の電極ピン５２ｂを有し、これらの電極ピン５２ｂの各々は、電線５３ｂによって、下部側支持板５６ｂに設けられたコネクター５７ｂに電気的に接続され、更に、このコネクター５７ｂを介してテスターの検査回路（図示省略）に電気的に接続されている。 The upper side inspection head 50a is composed of a plate-like electrode device 51a and an anisotropic conductive sheet 55a having elasticity and fixed to the lower surface of the electrode device 51a. The electrode device 51a has a plurality of electrode pins 52a arranged according to a pattern corresponding to the pattern of the inspection core electrode 25 and the connection core electrode 26 in the electrical resistance measurement connector 1, and each of these electrode pins 52a is The electric wire 53a is electrically connected to a connector 57a provided on the upper support plate 56a, and is further electrically connected to a tester inspection circuit (not shown) via the connector 57a.
The lower inspection head 50b is composed of a plate-like electrode device 51b and an anisotropic conductive sheet 55b having elasticity arranged and fixed to the upper surface of the electrode device 51b. The electrode device 51b has a plurality of electrode pins 52b arranged according to a pattern corresponding to the pattern of the terminal electrode 43 in the electrical resistance measurement connector 40, and each of these electrode pins 52b is supported on the lower side by the electric wire 53b. It is electrically connected to a connector 57b provided on the plate 56b, and further electrically connected to an inspection circuit (not shown) of the tester via this connector 57b.

上部側検査ヘッド５０ａおよび下部側検査ヘッド５０ｂにおける異方導電性シート５５ａ，５５ｂは、いずれもその厚み方向にのみ導電路を形成する導電路形成部が形成されてなるものである。このような異方導電性シート５５ａ，５５ｂとしては、各導電路形成部が少なくとも一面において厚み方向に突出するよう形成されているものが、高い電気的な接触安定性を発揮する点で好ましい。   The anisotropic conductive sheets 55a and 55b in the upper side inspection head 50a and the lower side inspection head 50b are each formed with a conductive path forming portion that forms a conductive path only in the thickness direction. As such anisotropically conductive sheets 55a and 55b, those in which the respective conductive path forming portions are formed so as to protrude in the thickness direction on at least one surface are preferable in terms of exhibiting high electrical contact stability.

このような回路基板の電気抵抗測定置においては、被検査回路基板５がホルダー２によって検査実行領域Ｅに保持され、この状態で、上部側支持板５６ａおよび下部側支持板５６ｂの各々が被検査回路基板５に接近する方向に移動することにより、当該被検査回路基板５が電気抵抗測定用コネクター１および電気抵抗測定用コネクター４０によって挟圧される。
この状態においては、被検査回路基板５の一面側被検査電極６の各々は、図２８に示すように、電気抵抗測定用コネクター１におけるリング状電極１３に接触して電気的に接続接続されると共に、検査用コア電極２５に第１の異方導電性エラストマーシート１７を介して電気的に接続される。また、電気抵抗測定用コネクター１における検査用コア電極２５の各々は、第２の異方導電性エラストマーシート１８を介して検査用回路基板３０の検査電極３１ａに電気的に接続されると共に、接続用コア電極２６の各々は、第２の異方導電性エラストマーシート１８を介して検査用回路基板３０の検査電極３１ｂに電気的に接続される。更に、検査用回路基板３０の端子電極３２の各々は、異方導電性シート５５ａを介して電極装置５１ａの電極ピン５２ａに電気的に接続されている。一方、被検査回路基板５の他面側被検査電極７は、電気抵抗測定用コネクター４０の検査用回路基板４１の検査用電極対における電流供給用電極４２ａおよび電圧測定用電極４２ｂの両方に、異方導電性エラストマー層４５を介して電気的に接続され、この電気抵抗測定用コネクター４０の端子電極４３の各々は、異方導電性シート５５ｂを介して電極装置５１ｂの電極ピン５２ｂに電気的に接続されている。 In such a circuit board electrical resistance measurement device, the circuit board 5 to be inspected is held in the inspection execution region E by the holder 2, and in this state, each of the upper support plate 56a and the lower support plate 56b is inspected. By moving in the direction approaching the circuit board 5, the circuit board 5 to be inspected is pinched by the electrical resistance measurement connector 1 and the electrical resistance measurement connector 40.
In this state, each of the electrodes 6 to be inspected on one side of the circuit board 5 to be inspected is in contact with and electrically connected to the ring electrode 13 in the electrical resistance measuring connector 1 as shown in FIG. At the same time, it is electrically connected to the inspection core electrode 25 via the first anisotropic conductive elastomer sheet 17. Each of the inspection core electrodes 25 in the electrical resistance measuring connector 1 is electrically connected to the inspection electrode 31a of the inspection circuit board 30 via the second anisotropic conductive elastomer sheet 18 and connected. Each of the core electrodes 26 is electrically connected to the inspection electrode 31b of the inspection circuit board 30 via the second anisotropic conductive elastomer sheet 18. Furthermore, each of the terminal electrodes 32 of the circuit board 30 for inspection is electrically connected to the electrode pins 52a of the electrode device 51a via the anisotropic conductive sheet 55a. On the other hand, the inspected electrode 7 on the other surface side of the circuit board 5 to be inspected is provided on both the current supply electrode 42a and the voltage measuring electrode 42b in the inspection electrode pair of the inspection circuit board 41 of the electrical resistance measurement connector 40. Each of the terminal electrodes 43 of the electrical resistance measuring connector 40 is electrically connected to the electrode pin 52b of the electrode device 51b via the anisotropic conductive sheet 55b. It is connected to the.

このようにして、被検査回路基板５の被検査電極６，７の各々が、上部側検査ヘッド５０ａにおける電極装置５１ａの検査電極５２ａおよび下部側検査ヘッド５０ｂにおける電極装置５１ｂの検査電極５２ｂの各々に電気的に接続されることにより、テスターの検査回路に電気的に接続された状態が達成される。この状態が測定可能状態である。
そして、この測定可能状態において、被検査回路基板５における複数の一面側被検査電極６のうち１つの一面側被検査電極６を指定し、この指定された一面側被検査電極６に電気的に接続されている検査用コア電極２５およびリング状電極１３のうち、一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、電流供給用電極とされた検査用コア電極２５またはリング状電極１３と、指定された一面側被検査電極６に対応する他面側被検査電極７に電気的に接続された検査電極対における電流供給用電極４２ａとの間に電流を供給すると共に、電圧測定用電極とされた検査用コア電極２５またはリング状電極１３と、指定された一面側被検査電極６に対応する他面側被検査電極７に電気的に接続された検査電極対における電圧測定用検査電極４２ｂとの間の電圧を測定し、得られた電圧値に基づいて、当該指定された一面側被検査電極６とこれに対応する他面側被検査電極７との間に形成された配線パターンの電気抵抗値が取得される。そして、指定する一面側被検査電極６を順次変更することにより、全ての配線パターンの電気抵抗の測定が行われる。 In this way, each of the electrodes 6 and 7 to be inspected of the circuit board 5 to be inspected is an inspection electrode 52a of the electrode device 51a in the upper inspection head 50a and an inspection electrode 52b of the electrode device 51b in the lower inspection head 50b. Is electrically connected to the tester test circuit. This state is a measurable state.
Then, in this measurable state, one one-surface-side inspected electrode 6 is designated among the plurality of one-surface-side inspected electrodes 6 in the circuit board 5 to be inspected, and the designated one-side-side inspected electrode 6 is electrically Of the connected inspection core electrode 25 and ring-shaped electrode 13, one is used as a current supply electrode and the other is used as a voltage measurement electrode. A current is supplied between the electrode 13 and the current supply electrode 42a in the inspection electrode pair electrically connected to the other surface side inspection electrode 7 corresponding to the designated one surface side inspection electrode 6; In an inspection core electrode 25 or a ring-shaped electrode 13 which is a voltage measuring electrode, and an inspection electrode pair which is electrically connected to the other surface side inspection electrode 7 corresponding to the designated one surface side inspection electrode 6 The voltage between the pressure measuring test electrode 42b is measured, and based on the obtained voltage value, between the designated one-surface-side inspected electrode 6 and the corresponding other-surface-side inspected electrode 7 The electrical resistance value of the formed wiring pattern is acquired. Then, the electrical resistance of all the wiring patterns is measured by sequentially changing the designated one-surface-side inspected electrode 6.

上記の回路基板の電気的検査装置によれば、図１に示す構成の電気抵抗測定用コネクター１を有するため、被検査回路基板５が大面積でサイズの極めて小さい多数の一面側被検査電極６を有するものであっても、一面側被検査電極６に対する電気的接続を確実に達成することができ、当該被検査回路基板５についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。   According to the circuit board electrical inspection apparatus described above, since the electrical resistance measuring connector 1 having the configuration shown in FIG. 1 is provided, the circuit board 5 to be inspected has a large area and a large number of electrodes 6 to be inspected on one side. Even if it has, it can achieve the electrical connection with respect to the one surface side to-be-inspected electrode 6 reliably, and can measure the electrical resistance about the said to-be-inspected circuit board 5 with high precision.

本発明においては、上記の実施の形態に限定されず、種々の変更を加えることが可能である。
例えば、図２９に示すように、第１の電極シート１０におけるリング状電極１３は、その内縁部に切り込みＺが形成されていてもよい。このようて構成によれば、リング状電極１３の可撓性が向上し、被検査電極が半田ボールなどの突起状のものである場合に、当該被検査電極とリング状電極１３との接触性が向上する、という効果が得られる。 The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made.
For example, as shown in FIG. 29, the ring-shaped electrode 13 in the first electrode sheet 10 may have a notch Z formed at the inner edge thereof. According to this configuration, the flexibility of the ring-shaped electrode 13 is improved, and the contact property between the electrode to be inspected and the ring-shaped electrode 13 when the electrode to be inspected is a protrusion such as a solder ball. Is obtained.

また、図３０に示すように、第１の異方導電性エラストマーシート１７には、それぞれ厚み方向に貫通する複数の貫通孔１７Ｈが、被検査回路基板５における一面側被検査電極６のパターンに対応するパターンに従って形成されていてもよい。
このような構成の電気抵抗測定用コネクターにおいては、第２の電極シート２０における検査用コア電極２５が、被検査回路基板５の一面側被検査電極６に直接接触して両者の電気的接続が達成される。
第１の異方異方導電性エラストマーシート１７の貫通孔１７Ｈの径は、第２の電極シート２０の検査用コア電極２５が移動可能に挿入される得る大きさであればよく、例えば検査用コア電極２５の径の１．１〜２倍、好ましくは１．２〜１．７倍である。
このような第１の異方導電性エラストマーシート１７の貫通孔１７Ｈは、例えばレーザー加工を施すことによって形成することができる。 Further, as shown in FIG. 30, the first anisotropic conductive elastomer sheet 17 has a plurality of through holes 17 </ b> H penetrating in the thickness direction in the pattern of the one-surface-side inspected electrode 6 in the circuit board 5 to be inspected. It may be formed according to a corresponding pattern.
In the electrical resistance measuring connector having such a configuration, the inspection core electrode 25 in the second electrode sheet 20 is in direct contact with the inspected electrode 6 on the one surface side of the circuit board 5 to be inspected, and the electrical connection between them is established. Achieved.
The diameter of the through hole 17H of the first anisotropically conductive elastomer sheet 17 may be a size that allows the inspection core electrode 25 of the second electrode sheet 20 to be movably inserted. The diameter of the core electrode 25 is 1.1 to 2 times, preferably 1.2 to 1.7 times.
Such a through hole 17H of the first anisotropically conductive elastomer sheet 17 can be formed, for example, by performing laser processing.

本発明に係る電気抵抗測定用コネクターの一例における構成を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the structure in an example of the connector for an electrical resistance measurement which concerns on this invention. 図１に示す電気抵抗測定用コネクターにおける第１の電極シートの要部を拡大して示す平面図である。It is a top view which expands and shows the principal part of the 1st electrode sheet in the electrical resistance measurement connector shown in FIG. 図１に示す電気抵抗測定用コネクターにおける第１の電極シートの要部を拡大して示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which expands and shows the principal part of the 1st electrode sheet in the electrical resistance measurement connector shown in FIG. 第１の電極シートを得るための積層材料を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the laminated material for obtaining a 1st electrode sheet. 積層材料に貫通孔が形成された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state by which the through-hole was formed in the laminated material. 積層材料における絶縁性シートに中継電極および短絡部が形成された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state by which the relay electrode and the short circuit part were formed in the insulating sheet in a laminated material. 積層材料における絶縁性シートにリング状電極および配線部が形成された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state by which the ring-shaped electrode and the wiring part were formed in the insulating sheet in a laminated material. 第１の異方導電性エラストマーシートの要部を拡大して示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which expands and shows the principal part of a 1st anisotropically conductive elastomer sheet. 第１の異方導電性エラストマーシートを製造するための一面側成形部材、他面側成形部材およびスペーサーを示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the 1st surface side molded member, the other surface side molded member, and spacer for manufacturing a 1st anisotropically conductive elastomer sheet. 他面側成形部材の表面に導電性エラストマー用材料が塗布された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state by which the material for conductive elastomer was apply | coated to the surface of the other surface side molded member. 一面側成形部材と他面側成形部材との間に導電性エラストマー用材料層が形成された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state in which the conductive elastomer material layer was formed between the one surface side molded member and the other surface side molded member. 図１１に示す導電性エラストマー用材料層を拡大して示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which expands and shows the material layer for electroconductive elastomers shown in FIG. 図１１に示す導電性エラストマー用材料層に対して厚み方向に磁場を作用させた状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state which made the magnetic field act on the thickness direction with respect to the material layer for conductive elastomers shown in FIG. 第２の電極シートの要部を拡大して示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which expands and shows the principal part of a 2nd electrode sheet. 第２の電極シートを製造するための積層材料の構成を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the structure of the laminated material for manufacturing a 2nd electrode sheet. 積層材料における金属層に開口が形成された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state by which the opening was formed in the metal layer in a laminated material. 積層材料における絶縁性支持シートに貫通孔が形成された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state by which the through-hole was formed in the insulating support sheet in a laminated material. 複合積層材料の構成を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the structure of a composite laminated material. 複合積層材料にレジスト膜が形成された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state by which the resist film was formed in the composite laminated material. 複合積層材料における絶縁性支持シートの貫通孔に検査用コア電極および接続用コア電極が形成された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state by which the core electrode for a test | inspection and the core electrode for a connection were formed in the through-hole of the insulating support sheet in a composite laminated material. 複合積層材料からレジスト膜が除去された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state from which the resist film was removed from the composite laminated material. 検査用回路基板の要部の構成を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the structure of the principal part of the circuit board for a test | inspection. 本発明に係る電気抵抗測定用コネクターが被検査回路基板の一面に配置された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state by which the connector for an electrical resistance measurement which concerns on this invention was arrange | positioned on one surface of a to-be-inspected circuit board. 電気抵抗測定用コネクターが押圧された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state by which the connector for electrical resistance measurement was pressed. 被検査電極と接続電極対との間に位置ずれが生じた状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which position shift produced between the to-be-inspected electrode and the connection electrode pair. 被検査回路基板の構成を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the structure of a to-be-inspected circuit board. 本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の一例における構成の概略を、被検査回路基板と共に示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the outline of a structure in an example of the electrical resistance measuring apparatus of the circuit board concerning this invention with a to-be-inspected circuit board. 図２７に示す回路基板の電気抵抗測定装置において、被検査回路基板の一面側被検査電極が電極装置の電極ピンに電気的に接続された状態を示す説明用断面図である。FIG. 28 is an explanatory cross-sectional view showing a state in which an electrode to be inspected on one surface side of the circuit board to be inspected is electrically connected to an electrode pin of the electrode device in the circuit board electrical resistance measuring apparatus shown in FIG. 27. 第１の電極シートにおけるリング状電極の変形例を示す平面図である。It is a top view which shows the modification of the ring-shaped electrode in a 1st electrode sheet. 本発明に係る電気抵抗測定用コネクターの他の例における要部の構成を被検査回路基板と共に示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the structure of the principal part in the other example of the electrical resistance measurement connector which concerns on this invention with a to-be-tested circuit board. 電流供給用プローブおよび電圧測定用プローブにより、回路基板における電極間の電気抵抗を測定する装置の模式図である。It is a schematic diagram of the apparatus which measures the electrical resistance between the electrodes in a circuit board with the probe for electric current supply, and the probe for voltage measurement. 従来の回路基板の電気抵抗測定装置において、被検査電極上に電流供給用電極および電圧測定用電極が適正に配置された状態を示す説明図である。In the conventional electrical resistance measuring device of a circuit board, it is explanatory drawing which shows the state by which the electrode for electric current supply and the electrode for a voltage measurement are arrange | positioned appropriately on a to-be-inspected electrode. 従来の回路基板の電気抵抗測定装置において、被検査電極上に電流供給用電極および電圧測定用電極が位置ずれした状態で配置された状態を示す説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram showing a state in which a current supply electrode and a voltage measurement electrode are arranged in a misaligned state on an electrode to be inspected in a conventional circuit board electrical resistance measurement device.

符号の説明Explanation of symbols

１ 電気抵抗測定用コネクター
２ ホルダー
３ 位置決めピン
５ 被検査回路基板
６ 一面側被検査電極
７ 他面側被検査電極
８ａ，８ｂ 回路
９ レジスト層
１０ 第１の電極シート
１０Ａ 積層材料
１０Ｈ 貫通孔
１１ 絶縁性シート
１２ 貫通孔
１３ リング状電極
１４ 中継電極
１５ 短絡部
１６ 配線部
１６Ａ 金属層
１７ 第１の異方導電性エラストマーシート
１７Ａ 導電性エラストマー用材料層
１７Ｂ 導電性エラストマー用材料
１７Ｈ 貫通孔
１８ 第２の異方導電性エラストマーシート
２０ 第２の電極シート
２０Ａ 複合積層材料
２０Ｂ 積層材料
２１ 絶縁性支持シート
２２ 貫通孔
２３Ａ 金属層
２３Ｂ 金属薄層
２３Ｋ 開口
２４ レジスト膜
２４Ｋ パターン孔
２５ 検査用コア電極
２５ａ 胴部
２５ｂ 端子部
２６ 接続用コア電極
２６ａ 胴部
２６ｂ 端子部
３０ 検査用回路基板
３１，３１ａ，３１ｂ 検査電極
３２ 端子電極
３５ 一面側成形部材
３６ 他面側成形部材
３７ スペーサー
３７Ｋ 開口
３８ 加圧ロール装置
３８ａ 加圧ロール
３８ｂ 支持ロール
４０ 電気抵抗測定用コネクター
４１ 検査用回路基板
４２ａ 電流供給用電極
４２ｂ 電圧測定用電極
４３ 端子電極
４５ 異方導電性エラストマー層
４６ 導電路形成部
４７ 絶縁部
５０ａ 上部側検査ヘッド
５０ｂ 下部側検査ヘッド
５１ａ，５１ｂ 電極装置
５２ａ，５２ｂ 電極ピン
５３ａ，５３ｂ 電線
５４ａ，５４ｂ 支柱
５５ａ，５５ｂ 異方導電性シート
５６ａ 上部側支持板
５６ｂ 下部側支持板
５７ａ，５７ｂ コネクター
９０ 被検査回路基板
９１，９２ 被検査電極
９３ 電源装置
９４ 電気信号処理装置
ＰＡ，ＰＤ 電流供給用プローブ
ＰＢ，ＰＣ 電圧測定用プローブ
Ａ 電流供給用電極
Ｖ 電圧測定用電極
Ｔ 被検査電極
Ｐ 導電性粒子
Ｚ 切り込み DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Connector for electrical resistance measurement 2 Holder 3 Positioning pin 5 Circuit board to be inspected 6 One surface side inspected electrode 7 Other side inspected electrode 8a, 8b Circuit 9 Resist layer 10 First electrode sheet 10A Laminated material 10H Through hole 11 Insulation Conductive sheet 12 Through hole 13 Ring electrode 14 Relay electrode 15 Short-circuit portion 16 Wiring portion 16A Metal layer 17 First anisotropic conductive elastomer sheet 17A Conductive elastomer material layer 17B Conductive elastomer material 17H Through hole 18 Second Anisotropic conductive elastomer sheet 20 second electrode sheet 20A composite laminated material 20B laminated material 21 insulating support sheet 22 through hole 23A metal layer 23B thin metal layer 23K opening 24 resist film 24K pattern hole 25 core electrode 25a for inspection body Part 25b terminal part 26 connecting core electrode 26a body part 26b terminal Part 30 Inspection circuit board 31, 31a, 31b Inspection electrode 32 Terminal electrode 35 One side molding member 36 Other side molding member 37 Spacer 37K Opening 38 Pressure roll device 38a Pressure roll 38b Support roll 40 Electrical resistance measurement connector 41 Inspection circuit board 42a Current supply electrode 42b Voltage measurement electrode 43 Terminal electrode 45 Anisotropic conductive elastomer layer 46 Conductive path forming portion 47 Insulating portion 50a Upper side inspection head 50b Lower side inspection heads 51a and 51b Electrode devices 52a and 52b Electrode pins 53a, 53b Electric wires 54a, 54b Struts 55a, 55b Anisotropic conductive sheet 56a Upper support plate 56b Lower support plates 57a, 57b Connector 90 Circuit board 91, 92 Test electrode 93 Power supply device 94 Electric signal processing Equipment PA, PD Current supply probes PB, PC Voltage measurement probe A Current supply electrode V Voltage measurement electrode T Inspected electrode P Conductive particle Z Notch

Claims (7)

第１の電極シートと、この第１の電極シートの裏面に第１の異方導電性エラストマーシートを介して配置された第２の電極シートと、この第２の電極シートの裏面に配置された検査用回路基板とを有してなり、
前記第１の電極シートは、電気抵抗を測定すべき回路基板における被検査電極のパターンに対応するパターンに従って形成された複数の貫通孔を有する柔軟な絶縁性シートと、この絶縁性シートの表面に当該絶縁性シートの貫通孔を包囲するよう形成された複数のリング状電極と、前記絶縁性シートの裏面に形成され、前記リング状電極に電気的に接続された中継電極とを有してなり、
前記第２の電極シートは、前記被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の検査用コア電極と、前記第１の電極シートにおける中継電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用コア電極と、これらの検査用コア電極および接続用コア電極の各々を支持する絶縁性支持シートとを有してなり、
前記検査用回路基板は、前記検査用コア電極および前記接続用コア電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の検査電極を有してなり、
前記検査用コア電極に電気的に接続される検査電極は、前記接続用コア電極に電気的に接続される検査電極より突出した状態で形成されていることを特徴とする電気抵抗測定用コネクター。 The first electrode sheet, the second electrode sheet disposed on the back surface of the first electrode sheet via the first anisotropic conductive elastomer sheet, and the back surface of the second electrode sheet A circuit board for inspection,
The first electrode sheet includes a flexible insulating sheet having a plurality of through holes formed according to a pattern corresponding to a pattern of an electrode to be inspected on a circuit board whose electrical resistance is to be measured, and a surface of the insulating sheet. A plurality of ring-shaped electrodes formed so as to surround the through hole of the insulating sheet; and a relay electrode formed on the back surface of the insulating sheet and electrically connected to the ring-shaped electrode. ,
The second electrode sheet includes a plurality of inspection core electrodes arranged in accordance with a pattern corresponding to the pattern of the electrode to be inspected, and a plurality of arranged in accordance with a pattern corresponding to the pattern of the relay electrode in the first electrode sheet. A core electrode for connection, and an insulating support sheet that supports each of the core electrode for inspection and the core electrode for connection,
The inspection circuit board has a plurality of inspection electrodes arranged according to a pattern corresponding to the pattern of the inspection core electrode and the connection core electrode,
The electrical resistance measurement connector, wherein the inspection electrode electrically connected to the inspection core electrode is formed in a state of protruding from the inspection electrode electrically connected to the connection core electrode. 第１の異方導電性エラストマーシートは、被検査電極のパターンに対応するパターンに従って形成された複数の貫通孔を有することを特徴とする請求項１に記載の電気抵抗測定用コネクター。   The electrical resistance measurement connector according to claim 1, wherein the first anisotropic conductive elastomer sheet has a plurality of through holes formed according to a pattern corresponding to a pattern of the electrode to be inspected. 第２の電極シートにおける検査用コア電極および接続用コア電極は、絶縁性支持シートの厚み方向に移動可能に設けられていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の電気抵抗測定用コネクター。   The electrical resistance measurement according to claim 1 or 2, wherein the inspection core electrode and the connection core electrode in the second electrode sheet are provided so as to be movable in a thickness direction of the insulating support sheet. Connector. 検査用コア電極に電気的に接続される検査電極は、接続用コア電極に電気的に接続される検査電極より５〜１００μｍ突出した状態で配置されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３のいずれかに記載の電気抵抗測定用コネクター。   The inspection electrode electrically connected to the inspection core electrode is arranged in a state of protruding from 5 to 100 μm from the inspection electrode electrically connected to the connection core electrode. Item 4. The electrical resistance measurement connector according to any one of Items 3 to 3. 電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面側に配置される、請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の電気抵抗測定用コネクターを具えてなり、
被検査回路基板における一面側被検査電極の各々に、前記電気抵抗測定用コネクターにおける第１の電極シートのリング状電極および第２の電極シートの検査用コア電極が同時に電気的に接続されて測定可能状態とされ、
この測定可能状態において、指定された１つの一面側被検査電極に電気的に接続された検査用コア電極およびリング状電極のうち、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該指定された１つの一面側被検査電極に係る電気抵抗の測定が実行されることを特徴とする回路基板の電気抵抗測定装置。 The electrical resistance measuring connector according to any one of claims 1 to 4, wherein the electrical resistance measuring connector is disposed on one surface side of a circuit board to be inspected to measure electrical resistance,
Measurement is performed by simultaneously connecting the ring-shaped electrode of the first electrode sheet and the core electrode for inspection of the second electrode sheet in the electrical resistance measurement connector to each of the electrodes to be inspected on one side of the circuit board to be inspected. Enabled,
In this measurable state, one of the inspection core electrode and the ring-shaped electrode electrically connected to one designated one-surface-inspected electrode is a current supply electrode, and the other is a voltage measurement electrode. The circuit board electrical resistance measurement apparatus according to claim 1, wherein the electrical resistance measurement of the designated one-surface-side inspected electrode is performed. 被検査回路基板の他面側に配置される他面側検査用回路基板を具えてなり、
前記他面側検査用回路基板は、その表面にそれぞれ前記被検査回路基板の他面側被検査電極の各々に対応して互いに離間して配置された、それぞれ同一の他面側被検査電極に電気的に接続される電流供給用電極および電圧測定用電極が形成されていることを特徴とする請求項５に記載の回路基板の電気抵抗測定装置。 Comprising a circuit board for inspection on the other side arranged on the other side of the circuit board to be inspected,
The other surface side inspection circuit boards are arranged on the same surface on the same other surface side inspected electrodes, which are arranged to be spaced apart from each other corresponding to the other surface side inspected electrodes of the circuit board to be inspected. 6. The circuit board electrical resistance measuring device according to claim 5, wherein a current supplying electrode and a voltage measuring electrode to be electrically connected are formed. 電気抵抗を測定すべき被検査回路基板の一面に、請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の電気抵抗測定用コネクターを配置し、
当該被検査回路基板の一面側被検査電極の各々に、前記電気抵抗測定用治具における第１の電極シートのリング状電極および第２の電極シートの検査用コア電極を同時に電気的に接続して測定可能状態とし、
この測定可能状態において、指定された１つの一面側被検査電極に電気的に接続された検査用コア電極およびリング状電極のうち、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として用いることにより、当該指定された１つの一面側被検査電極に係る電気抵抗の測定を実行することを特徴とする回路基板の電気抵抗測定方法。 The electrical resistance measurement connector according to any one of claims 1 to 4 is disposed on one surface of a circuit board to be inspected for measuring electrical resistance,
The ring-shaped electrode of the first electrode sheet and the core electrode for inspection of the second electrode sheet in the electrical resistance measurement jig are electrically connected to each of the electrodes to be inspected on one side of the circuit board to be inspected simultaneously. To enable measurement,
In this measurable state, one of the inspection core electrode and the ring-shaped electrode electrically connected to one designated one-surface-inspected electrode is a current supply electrode, and the other is a voltage measurement electrode. A method of measuring an electrical resistance of a circuit board, comprising: using the specified one-surface-side inspected electrode to measure electrical resistance.

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