JP2008122240A - Connector device for measuring electric resistance, and electric resistance measuring device of circuit board - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a connector device for measuring an electric resistance that certainly achieves required electric connection even when an inspecting object circuit board has a large area and has many inspecting object electrodes of small size, and accurately measures a desired electric resistance, and to provide an electric resistance measuring device of the circuit board. <P>SOLUTION: The connector device for measuring the electric resistance includes a connector plate 11 having an electrode group for connection where two electrodes 14 for current supply positioned at vertex diagonal positions in a rectangle and two electrodes 15 for voltage measurement positioned at the other vertex diagonal positions in the rectangle are arranged; a first anisotropic conductive elastomer sheet 18; a composite conductive sheet 20; and a second anisotropic conductive elastomer sheet 19. The composite conductive sheet is formed of an insulating sheet having through-holes corresponding to the electrodes for current supply and the electrodes for voltage measurement, and a rigid conductor arranged in the through-holes of the insulating sheet. Each rigid conductor can move in the thickness direction of the insulating sheet. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、回路基板における配線の電気抵抗を測定するために用いられる電気抵抗測定用コネクター装置およびこの電気抵抗測定用コネクター装置を具えた回路基板の電気抵抗測定装置に関する。   The present invention relates to an electrical resistance measurement connector device used for measuring the electrical resistance of wiring on a circuit board, and an electrical resistance measurement device for a circuit board including the electrical resistance measurement connector device.

近年、電子部品やこれを内蔵した電子機器における信号伝送の高速化の要請に伴って、ＢＧＡやＣＳＰなどのＬＳＩパッケージを構成する回路基板やこれらの半導体装置が搭載される回路基板として、電極間における配線の電気抵抗が低いものが要求されている。そのため、このような回路基板の電気的検査においては、その電極間における配線の電気抵抗の測定を高い精度で行うことが極めて重要である。
従来、回路基板の電気抵抗の測定においては、例えば、図２６に示すように、被検査回路基板９０の互いに電気的に接続された２つの被検査電極９１，９２の各々に対し、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤおよび電圧測定用プローブＰＢ，ＰＣを押圧して接触させ、この状態で、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤの間に電源装置９３から電流を供給し、このときに電圧測定用プローブＰＢ，ＰＣによって検出される電圧信号を電気信号処理装置９４において処理することにより、当該被検査電極９１，９２間の電気抵抗の大きさを求める四端子法が採用されている。 In recent years, in response to a demand for high-speed signal transmission in electronic components and electronic devices incorporating them, circuit boards constituting LSI packages such as BGA and CSP, and circuit boards on which these semiconductor devices are mounted, There is a demand for wiring having low electrical resistance. Therefore, in such an electrical inspection of a circuit board, it is extremely important to measure the electrical resistance of the wiring between the electrodes with high accuracy.
Conventionally, in the measurement of the electric resistance of a circuit board, for example, as shown in FIG. 26, current supply is performed for each of two electrodes 91 and 92 that are electrically connected to each other on a circuit board 90 to be inspected. The probes PA and PD and the voltage measurement probes PB and PC are pressed and brought into contact with each other. In this state, current is supplied from the power supply device 93 between the current supply probes PA and PD. At this time, the voltage measurement probe PB is supplied. A four-terminal method is employed in which the voltage signal detected by the PC is processed in the electric signal processing device 94 to obtain the magnitude of the electric resistance between the electrodes 91 and 92 to be inspected.

しかしながら、上記の方法においては、電流供給用プローブＰＡ，ＰＤおよび電圧測定用プローブＰＢ，ＰＣを被検査電極９１，９２に対して相当に大きい押圧力で接触させることが必要であり、しかも、当該プローブは金属製であってその先端は尖頭状とされているため、プローブが押圧されることによって被検査電極９１，９２の表面が損傷してしまい、当該回路基板は使用することが不可能なものとなってしまう。このような事情から、電気抵抗の測定は、製品とされるすべての回路基板について行うことができず、いわゆる抜き取り検査とならざるを得ないため、結局、製品の歩留りを大きくすることはできない。   However, in the above method, it is necessary to bring the current supply probes PA and PD and the voltage measurement probes PB and PC into contact with the electrodes 91 and 92 to be inspected with a considerably large pressing force. Since the probe is made of metal and has a pointed tip, the surface of the electrodes 91 and 92 to be inspected is damaged when the probe is pressed, and the circuit board cannot be used. It will become something. Under such circumstances, the measurement of electrical resistance cannot be performed for all circuit boards that are products, and it must be a so-called sampling inspection, so that the yield of products cannot be increased after all.

このような問題を解決するため、従来、被検査電極に接触する接続用部材が導電性エラストマーにより構成された電気抵抗測定装置が提案されており、具体的には、（ｉ）電流供給用電極および電圧測定用電極上に、それぞれの電極に対応して導電路形成部が形成された異方導電性エラストマーシートが配置されてなる電気抵抗測定装置（特許文献１参照。）、（ii）同一の被検査電極に電気的に接続される電流供給用電極および電圧測定用電極の両方の表面に接するよう設けられた、異方導電性エラストマーシートよりなる共通の弾性接続用部材を有する電気抵抗測定装置（特許文献２参照。）、（iii ）表面に複数の検査電極が形成された検査用回路基板と、この検査用回路基板の表面に設けられた導電性エラストマーシートよりなる弾性接続用部材とを有し、被検査電極が接続部材を介して複数の検査電極に電気的に接続された状態で、それらの検査電極のうち２つを選択し、その一方を電流供給用電極とし、他方を電圧測定用電極として電気抵抗を測定する電気抵抗測定装置（特許文献３参照。）などが知られている。
このような電気抵抗測定装置によれば、被検査回路基板の被検査電極に対し、弾性接続用部材を介して、電流供給用電極および電圧測定用電極が対接されることによって電気的接続が達成されるため、当該被検査電極を損傷させることなく電気抵抗の測定を行うことができる。 In order to solve such a problem, there has conventionally been proposed an electrical resistance measuring device in which a connecting member that contacts an electrode to be inspected is made of a conductive elastomer. Specifically, (i) a current supply electrode And an electric resistance measuring device in which an anisotropic conductive elastomer sheet in which a conductive path forming portion is formed corresponding to each electrode is disposed on the voltage measuring electrode (see Patent Document 1), (ii) the same. Electrical resistance measurement having a common elastic connecting member made of an anisotropic conductive elastomer sheet provided in contact with the surfaces of both the current supply electrode and the voltage measurement electrode electrically connected to the electrode to be inspected Apparatus (see Patent Document 2), (iii) an elastic circuit comprising a test circuit board having a plurality of test electrodes formed on the surface and a conductive elastomer sheet provided on the surface of the test circuit board. A connecting member, and in a state where the electrode to be inspected is electrically connected to the plurality of inspection electrodes through the connection member, two of the inspection electrodes are selected, and one of them is an electrode for supplying current An electrical resistance measuring device (see Patent Document 3) that measures electrical resistance using the other as a voltage measuring electrode is known.
According to such an electrical resistance measurement device, the current supply electrode and the voltage measurement electrode are brought into contact with the electrode to be inspected of the circuit board to be inspected via the elastic connection member, thereby making electrical connection. Thus, the electrical resistance can be measured without damaging the electrode to be inspected.

しかしながら、上記（ｉ）および上記（ii）の構成の電気抵抗測定装置によって、電極間における電気抵抗の測定を行う場合には、以下のような問題がある。
近年、回路基板においては、高い集積度を得るために電極のサイズおよびピッチもしくは電極間距離が小さくなる傾向がある。而して、上記（ｉ）および上記（ii）の構成の電気抵抗測定装置においては、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における被検査電極の各々に、弾性接続用部材を介して電流供給用電極および電圧測定用電極の両方を同時に電気的に接続させる必要がある。従って、小さいサイズの被検査電極が高密度で配置された被検査回路基板についての電気抵抗の測定を行うための電気抵抗測定装置においては、小さなサイズの被検査電極の各々に対応して、当該被検査電極が占有する領域と同等若しくはそれ以下の面積の領域内に、互いに離間した状態で電流供給用電極および電圧測定用電極を形成すること、すなわち被検査電極よりも更に小さいサイズの電流供給用電極および電圧測定用電極を極めて小さい距離で離間した状態で形成することが必要である。
また、回路基板の製造方法としては、生産性を向上させるために、一つの基板材料によって、複数の回路基板が連結されてなる回路基板連結体を製造し、その状態で、当該回路基板連結体における各回路基板についての電気的検査を一括して行い、その後、回路基板連結体を切断することにより、分離された複数の回路基板を製造する方法が採用されている。 However, when measuring the electrical resistance between the electrodes by the electrical resistance measuring device having the configuration of (i) and (ii), there are the following problems.
In recent years, in a circuit board, in order to obtain a high degree of integration, the size and pitch of electrodes or the distance between electrodes tend to be small. Thus, in the electrical resistance measuring apparatus having the configurations of (i) and (ii), a current is supplied to each of the electrodes to be inspected on the circuit board to be inspected whose electrical resistance is to be measured via the elastic connection member. Both the electrode for voltage and the electrode for voltage measurement need to be electrically connected simultaneously. Therefore, in the electrical resistance measuring device for measuring the electrical resistance of the circuit board to be inspected in which the small size inspected electrodes are arranged at high density, Forming the current supply electrode and the voltage measurement electrode in a state of being separated from each other in a region having an area equal to or smaller than the region occupied by the electrode to be inspected, that is, supplying a current having a size smaller than that of the electrode to be inspected. It is necessary to form the working electrode and the voltage measuring electrode in a state of being separated by a very small distance.
In addition, as a method for manufacturing a circuit board, in order to improve productivity, a circuit board connected body in which a plurality of circuit boards are connected with one board material is manufactured, and in that state, the circuit board connected body A method of manufacturing a plurality of separated circuit boards by collectively performing electrical inspection on each circuit board and then cutting the circuit board connector is adopted.

然るに、検査対象である回路基板連結体は、その面積が相当に大きく、また、被検査電極の数も極めて多いものであり、特に多層回路基板を製造する場合には、その製造プロセスにおける工程数が多く、加熱処理による熱履歴を受ける回数が多いため、被検査電極が所期の配置位置から位置ずれした状態で形成されることが少なくない。このように、大面積で、多数の被検査電極を有し、当該被検査電極が所期の配置位置から位置ずれした状態で形成された被検査回路基板について、上記（ｉ）および上記（ii）の構成の電気抵抗測定装置によって電気抵抗の測定を行う場合には、被検査電極の各々に、電流供給用電極および電圧測定用電極の両方を同時に電気的に接続させることは極めて困難である。
具体的な一例を挙げて説明すると、図２７に示すように、直径Ｌが３００μｍの被検査電極Ｔに係る電気抵抗を測定する場合には、当該被検査電極Ｔに電気的に接続される電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖの離間距離Ｄは１５０μｍ程度であるが、図２８（イ）および（ロ）に示すように、被検査回路基板の位置合わせにおいて、電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖに対する被検査電極Ｔの位置が、図２７に示す所期の位置から電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖが並ぶ方向（図において左右方向）に７５μｍずれたときには、電流供給用電極Ａおよび電圧測定用電極Ｖのいずれか一方と被検査電極Ｔとの電気的接続が達成されず、所要の電気抵抗測定を行うことができない。 However, the circuit board assembly to be inspected has a considerably large area and the number of electrodes to be inspected is extremely large. In particular, when manufacturing a multilayer circuit board, the number of steps in the manufacturing process is large. In many cases, the thermal history due to the heat treatment is frequently received, and thus the electrode to be inspected is often formed in a state of being displaced from the intended arrangement position. As described above, the circuit board to be inspected having a large area, a large number of electrodes to be inspected, and the electrodes to be inspected formed in a state shifted from the intended arrangement position is the above (i) and (ii) When measuring the electrical resistance with the electrical resistance measuring device having the configuration of), it is extremely difficult to electrically connect both the current supply electrode and the voltage measurement electrode to each of the electrodes to be inspected simultaneously. .
A specific example will be described below. As shown in FIG. 27, when measuring the electrical resistance of the electrode T to be inspected having a diameter L of 300 μm, the current electrically connected to the electrode T to be inspected. The separation distance D between the supply electrode A and the voltage measurement electrode V is about 150 μm. However, as shown in FIGS. 28A and 28B, in the alignment of the circuit board to be inspected, the current supply electrode A and When the position of the electrode T to be inspected with respect to the voltage measuring electrode V is deviated by 75 μm from the intended position shown in FIG. 27 in the direction in which the current supply electrode A and the voltage measuring electrode V are aligned (left and right in the figure), The electrical connection between one of the supply electrode A and the voltage measurement electrode V and the electrode T to be inspected is not achieved, and the required electrical resistance measurement cannot be performed.

また、電流供給用電極および電圧供給用電極の各々を、互いに電気的に絶縁された状態で一の被検査電極に同時に電気的に接続するためには、隣接する電極間に必要な絶縁性が確保された状態で当該電極の各々に対する電気的な接続を達成することができる性能、すなわち分解能の高い異方導電性エラストマーシートを用いることが必要となる。そして、分解能の高い異方導電性エラストマーシートを得るためには、当該異方導電性エラストマーシートの厚みを小さくすることが肝要である。
然るに、厚みの小さい異方導電性エラストマーシートにおいては、被検査電極の各々における高さレベルのバラツキを吸収して当該電極の各々に対する電気的な接続を達成することができる性能、すなわち凹凸吸収能が低い、という問題がある。具体的には、異方導電性エラストマーシートの凹凸吸収能は、当該異方導電性エラストマーシートの厚みの２０％程度であり、例えば厚みが１００μｍの異方導電性エラストマーシートにおいては、電極の高さレベルのバラツキが２０μｍ程度の接続対象体に対しても安定な電気的接続を達成することができるが、厚みが５０μｍの異方導電性エラストマーシートにおいては、電極の高さレベルのバラツキが１０μｍを超える接続対象体に対しては、安定な電気的接続を達成することが困難となる。 In addition, in order to simultaneously connect each of the current supply electrode and the voltage supply electrode to one electrode to be inspected while being electrically insulated from each other, there is a necessary insulation between adjacent electrodes. It is necessary to use an anisotropic conductive elastomer sheet having a performance capable of achieving electrical connection to each of the electrodes in a secured state, that is, a high resolution. In order to obtain an anisotropic conductive elastomer sheet with high resolution, it is important to reduce the thickness of the anisotropic conductive elastomer sheet.
However, in the anisotropically conductive elastomer sheet having a small thickness, the ability to absorb the variation in the height level in each of the electrodes to be inspected and achieve electrical connection to each of the electrodes, that is, the unevenness absorbing ability There is a problem that is low. Specifically, the unevenness-absorbing ability of the anisotropic conductive elastomer sheet is about 20% of the thickness of the anisotropic conductive elastomer sheet. For example, in the anisotropic conductive elastomer sheet having a thickness of 100 μm, the height of the electrode is high. A stable electrical connection can be achieved even for a connection object having a thickness variation of about 20 μm. However, in the anisotropic conductive elastomer sheet having a thickness of 50 μm, the variation in the height level of the electrode is 10 μm. It is difficult to achieve stable electrical connection for objects to be connected that exceed.

一方、上記（iii ）の電気抵抗測定装置によれば、被検査電極の各々に対応して、電流供給用電極および電圧測定用電極を形成することが不要であるため、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、多数の被検査電極を有し、かつ、小さいサイズの被検査電極が高密度で配置されてなるものであっても、当該被検査電極に対する位置ずれの許容度が大きく、また、当該電気抵抗測定装置の作製が容易である。
しかしながら、このような電気抵抗測定装置は、いわば擬似四端子法による測定装置であるため、測定誤差範囲が大きいものであり、従って、電極間における電気抵抗の低い回路基板について、その電気抵抗の測定を高い精度で行うことは困難である。 On the other hand, according to the electrical resistance measuring apparatus of (iii) above, it is not necessary to form a current supply electrode and a voltage measurement electrode corresponding to each of the electrodes to be inspected. Even if the circuit board to be inspected has a large area, a large number of electrodes to be inspected, and a small size of the electrodes to be inspected arranged at high density, tolerance of displacement with respect to the electrodes to be inspected is allowed. The electrical resistance measuring device is easy to manufacture.
However, since such an electric resistance measuring device is a measuring device based on the pseudo four-terminal method, it has a large measurement error range. Therefore, the measurement of the electric resistance of a circuit board having a low electric resistance between the electrodes is performed. Is difficult to perform with high accuracy.

特開平９−２６４４６号公報JP-A-9-26446 特開２０００−７４９６５号公報JP 2000-74965 A 特開２０００−２４１４８５号公報JP 2000-241485 A

本発明は、以上のような事情に基づいてなされたものであって、その第１の目的は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができ、しかも、所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができる電気抵抗測定用コネクター装置およびこの電気抵抗測定用コネクター装置を具えた回路基板の電気抵抗測定装置を提供することにある。   The present invention has been made on the basis of the above circumstances, and a first object thereof is to provide a large number of small electrodes to be inspected with a large circuit board to be inspected for measuring electric resistance. Even if it has, it is possible to reliably achieve the required electrical connection to the circuit board to be inspected, and furthermore, the electrical resistance measurement that can reliably perform the intended electrical resistance measurement with high accuracy It is an object of the present invention to provide an electrical resistance measuring device for a circuit board including the connector device for electrical use and the electrical resistance measuring connector device.

本発明の電気抵抗測定用コネクター装置は、絶縁性基板およびその表面に電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における複数の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用電極組を有し、当該接続用電極組の各々が、矩形における互いに対角する頂点位置に位置する２つの電流供給用電極および当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置する２つの電圧測定用電極が、互いに離間して配置されてなるコネクター板と、このコネクター板上に配置された第１の異方導電性エラストマーシートと、この第１の異方導電性エラストマーシート上に配置された複合導電性シートと、この複合導電性シート上に配置された第２の異方導電性エラストマーシートとを具えてなり、 前記複合導電性シートは、前記電流供給用電極および前記電圧測定用電極に対応するパターンに従って厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成された絶縁性シートと、この絶縁性シートの貫通孔の各々に、当該絶縁性シートの両面から突出するよう配置された複数の剛性導体とからなり、当該剛性導体の各々が、当該絶縁性シートに対して厚み方向に移動可能とされていることを特徴とする。   An electrical resistance measurement connector device according to the present invention includes a plurality of connection electrode groups arranged according to a pattern corresponding to a pattern of a plurality of electrodes to be inspected on an insulating substrate and a circuit board to be inspected on which electrical resistance is to be measured. And each of the connection electrode sets has two current supply electrodes located at mutually opposite vertex positions in the rectangle and two voltage measurement positions located at other mutually opposite vertex positions in the rectangle A connector plate in which electrodes are spaced apart from each other, a first anisotropic conductive elastomer sheet disposed on the connector plate, and a composite disposed on the first anisotropic conductive elastomer sheet Comprising a conductive sheet and a second anisotropic conductive elastomer sheet disposed on the composite conductive sheet, wherein the composite conductive sheet comprises: An insulating sheet in which a plurality of through holes extending in the thickness direction are formed according to a pattern corresponding to the current supply electrode and the voltage measuring electrode, and each of the through holes of the insulating sheet is formed on both sides of the insulating sheet. It comprises a plurality of rigid conductors arranged so as to protrude, and each of the rigid conductors is movable in the thickness direction with respect to the insulating sheet.

本発明の電気抵抗測定用コネクター装置においては、複合導電性シートの剛性導体の各々は、絶縁性シートの貫通孔に挿通された胴部の両端に、当該絶縁性シートの貫通孔の径より大きい径を有する端子部が形成されてなることが好ましい。
また、コネクター板の絶縁性基板の裏面に、電流供給用電極および電圧測定用電極のいずれか一方に電気的に接続された複数の中継電極が配置されていることが好ましい。
このような電気抵抗測定用コネクター装置においては、複数の電流供給用電極に電気的に接続された中継電極を有することが好ましい。 In the electrical resistance measuring connector device of the present invention, each of the rigid conductors of the composite conductive sheet is larger than the diameter of the through hole of the insulating sheet at both ends of the body portion inserted into the through hole of the insulating sheet. It is preferable that a terminal portion having a diameter is formed.
Moreover, it is preferable that a plurality of relay electrodes electrically connected to either the current supply electrode or the voltage measurement electrode are disposed on the back surface of the insulating substrate of the connector plate.
Such an electrical resistance measurement connector device preferably has a relay electrode electrically connected to the plurality of current supply electrodes.

本発明の回路基板の電気抵抗測定装置は、上記の電気抵抗測定用コネクター装置を具えてなることを特徴とする。   A circuit board electrical resistance measuring apparatus according to the present invention comprises the electrical resistance measuring connector device described above.

本発明の電気抵抗測定用コネクター装置によれば、コネクター板の接続用電極組における２つの電流供給用電極が、矩形における互いに対角する頂点位置に位置され、かつ、２つの電圧測定用電極が、当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置されることにより、当該矩形における辺方向に被検査電極が位置ずれした場合であっても、当該被検査電極は、少なくとも１つの電流供給用電極および少なくとも１つの電圧測定用電極の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
また、複合導電性シートの剛性導体の各々は、絶縁性シートに対してその厚み方向に移動可能とされているため、被検査電極によって厚み方向に加圧されたときには、複合導電性シートの一面に配置された第１の異方導電性エラストマーシートおよび当該複合導電性シートの他面に配置された第２の異方導電性エラストマーシートは、剛性導体が絶縁性シートの厚み方向に移動することによって互いに連動して圧縮変形するため、両者の有する凹凸吸収能の合計が電気抵抗測定用コネクター装置の凹凸吸収能として発現されるので、高い凹凸吸収能を得ることができる。そして、所要の凹凸吸収能を得るために必要な厚みは、第１の異方導電性エラストマーシートおよび第２の異方導電性エラストマーシートの合計の厚みによって確保すればよく、個々の異方導電性エラストマーシートとしては、厚みが小さいものを用いることができるので、高い分解能を得ることができる。
従って、本発明の電気抵抗測定用コネクター装置によれば、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができ、しかも、所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができる。 According to the electrical resistance measurement connector device of the present invention, the two current supply electrodes in the connection electrode set of the connector plate are positioned at the opposite vertex positions in the rectangle, and the two voltage measurement electrodes are Even if the electrode to be inspected is displaced in the side direction of the rectangle by being positioned at other vertex positions diagonal to each other in the rectangle, the electrode to be inspected is used for at least one current supply. It is electrically connected to both the electrode and at least one voltage measuring electrode simultaneously.
In addition, each of the rigid conductors of the composite conductive sheet is movable in the thickness direction with respect to the insulating sheet. Therefore, when pressed in the thickness direction by the electrode to be inspected, one surface of the composite conductive sheet In the first anisotropic conductive elastomer sheet disposed on the second conductive sheet and the second anisotropic conductive elastomer sheet disposed on the other surface of the composite conductive sheet, the rigid conductor moves in the thickness direction of the insulating sheet. Therefore, since the total of the irregularity absorption capacity of both is expressed as the irregularity absorption capacity of the electrical resistance measuring connector device, a high irregularity absorption capacity can be obtained. The thickness necessary for obtaining the required unevenness absorbing capability may be ensured by the total thickness of the first anisotropic conductive elastomer sheet and the second anisotropic conductive elastomer sheet. Since a thing with small thickness can be used as a property elastomer sheet, high resolution can be obtained.
Therefore, according to the electrical resistance measuring connector device of the present invention, even if the circuit board to be inspected for measuring the electrical resistance has a large area and a large number of small electrodes to be inspected, The required electrical connection to the circuit board can be reliably achieved, and the intended electrical resistance can be reliably measured with high accuracy.

本発明の回路装置の電気抵抗測定装置によれば、上記の電気抵抗測定用コネクター装置を有するため、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板が、大面積で、サイズの小さい多数の被検査電極を有するものであっても、当該被検査回路基板に対する所要の電気的接続を確実に達成することができ、しかも、所期の電気抵抗の測定を高い精度で確実に行うことができる。   According to the electrical resistance measuring device for a circuit device of the present invention, since the electrical resistance measuring connector device is provided, the circuit board to be inspected for measuring electrical resistance has a large area and a large number of small electrodes to be inspected. Even if it has, the required electrical connection to the circuit board to be inspected can be reliably achieved, and the intended electrical resistance can be reliably measured with high accuracy.

以下、本発明の実施の形態について詳細に説明する。
〈電気抵抗測定用コネクター装置〉
図１は、本発明の電気抵抗測定用コネクター装置の一例における構成を示す説明用断面図であり、図２は、図１に示す電気抵抗測定用コネクター装置の要部を拡大して示す説明用断面図である。この電気抵抗測定用コネクター装置１０は、コネクター板１１と、このコネクター板１１の表面上に配置された第１の異方導電性エラストマーシート１８と、この第１の異方導電性エラストマーシート１８上に配置された複合導電性シート２０と、この複合導電性シート２０上に配置された第２の異方導電性エラストマーシート１９とにより構成されている。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail.
<Connector device for electrical resistance measurement>
FIG. 1 is a cross-sectional view illustrating the configuration of an example of an electrical resistance measurement connector device according to the present invention, and FIG. 2 is an explanatory diagram illustrating an enlarged main portion of the electrical resistance measurement connector device illustrated in FIG. It is sectional drawing. The electrical resistance measuring connector device 10 includes a connector plate 11, a first anisotropic conductive elastomer sheet 18 disposed on the surface of the connector plate 11, and the first anisotropic conductive elastomer sheet 18. And a second anisotropic conductive elastomer sheet 19 disposed on the composite conductive sheet 20.

コネクター板１１は、図３にも示すように、絶縁性基板１２を有し、この絶縁性基板１２の表面には、複数の接続用電極組１３が、電気抵抗を測定すべき回路基板の一面に形成された一面側被検査電極２（図３において一点鎖線で示す）のパターンに対応するパターンに従って配置されている。この接続用電極組１３の各々は、２つの矩形の電流供給用電極１４および２つの矩形の電圧測定用電極１５の合計４つの電極よりなり、これらの４つの電極は、電流供給用電極１４の各々が、矩形における互いに対角する頂点位置に位置され、かつ、電圧測定用電極１５の各々が、当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置されるよう、互いに離間して配置されている。
また、絶縁性基板１２の裏面には、複数の中継電極１６が適宜のパターンに従って配置され、これらの中継電極１６の各々には、絶縁性基板１１に形成された配線部１７によって、電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５のいずれか一方が電気的に接続されている。 As shown in FIG. 3, the connector plate 11 has an insulating substrate 12, and on the surface of the insulating substrate 12, a plurality of connection electrode sets 13 are provided on one surface of a circuit board whose electrical resistance is to be measured. Are arranged in accordance with a pattern corresponding to the pattern of the one-surface-side inspected electrode 2 (shown by a one-dot chain line in FIG. 3). Each of the connection electrode sets 13 includes a total of four electrodes, ie, two rectangular current supply electrodes 14 and two rectangular voltage measurement electrodes 15, and these four electrodes are the current supply electrodes 14. Each of the voltage measuring electrodes 15 is positioned apart from each other so that each of the voltage measuring electrodes 15 is positioned at another vertex position diagonally opposite to each other in the rectangle. Yes.
In addition, a plurality of relay electrodes 16 are arranged according to an appropriate pattern on the back surface of the insulating substrate 12, and each of these relay electrodes 16 is provided for current supply by a wiring portion 17 formed on the insulating substrate 11. Either one of the electrode 14 and the voltage measuring electrode 15 is electrically connected.

絶縁性基板１２を構成する材料としては、ポリイミド樹脂、ガラス繊維補強型ポリイミド樹脂、ガラス繊維補強型エポキシ樹脂、ガラス繊維補強型ビスマレイミドトリアジン樹脂などを用いることができる。また、絶縁性基板１２は、単層構成のものであっても多層構成のものであってもよい。
絶縁性基板１２の厚みは、例えば５０〜１０００μｍであることが好ましく、より好ましくは１００〜５００μｍである。 As a material constituting the insulating substrate 12, polyimide resin, glass fiber reinforced polyimide resin, glass fiber reinforced epoxy resin, glass fiber reinforced bismaleimide triazine resin, or the like can be used. The insulating substrate 12 may have a single layer structure or a multilayer structure.
The thickness of the insulating substrate 12 is preferably 50 to 1000 μm, for example, and more preferably 100 to 500 μm.

電流供給用電極１４、電圧測定用電極１５、中継電極１６および配線部１７を構成する材料としては、銅、ニッケル、金またはこれらの金属の積層体などを用いることができる。
また、電流供給用電極１４、電圧測定用電極１５、中継電極１６および配線部１７は、プリント配線板を製造するために一般に用いられる方法によって、形成することができる。 As a material constituting the current supply electrode 14, the voltage measurement electrode 15, the relay electrode 16, and the wiring portion 17, copper, nickel, gold, or a laminate of these metals can be used.
In addition, the current supply electrode 14, the voltage measurement electrode 15, the relay electrode 16, and the wiring portion 17 can be formed by a method generally used for manufacturing a printed wiring board.

接続用電極組１３における電流供給用電極１４と電圧測定用電極１５との間の離間距離は、２０〜１００μｍであることが好ましく、より好ましくは３０〜８０μｍである。この離間距離が過小である場合には、電流供給用電極１４と電圧測定用電極１５との間に必要な絶縁性を確保することが困難となることがあり、また、当該コネクター板１１の製造が困難となることがある。一方、この離間距離が過大である場合には、被検査電極に対する位置ずれの許容度が小さくなり、電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方を被検査電極に確実に電気的に接続することが困難となることがある。   The separation distance between the current supply electrode 14 and the voltage measurement electrode 15 in the connection electrode set 13 is preferably 20 to 100 μm, more preferably 30 to 80 μm. If this distance is too small, it may be difficult to ensure the necessary insulation between the current supply electrode 14 and the voltage measurement electrode 15, and the connector plate 11 may be manufactured. May be difficult. On the other hand, when the separation distance is excessive, the tolerance of displacement with respect to the electrode to be inspected is reduced, and both the current supply electrode 14 and the voltage measuring electrode 15 are reliably electrically connected to the electrode to be inspected. May be difficult to do.

この例における第１の異方導電性エラストマーシート１８および第２の異方導電性エラストマーシート１９は、いずれも絶縁性の弾性高分子物質中に、磁性を示す導電性粒子Ｐが、厚み方向に並ぶよう配向して連鎖が形成された状態で、かつ、当該導電性粒子Ｐによる連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなるものである。
第１の異方導電性エラストマーシート１８および第２の異方導電性エラストマーシート１９を形成する弾性高分子物質としては、架橋構造を有する高分子物質が好ましい。このような弾性高分子物質を得るために用いることのできる硬化性の高分子物質形成材料としては、種々のものを用いることができ、その具体例としては、ポリブタジエンゴム、天然ゴム、ポリイソプレンゴム、スチレン−ブタジエン共重合体ゴム、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体ゴムなどの共役ジエン系ゴムおよびこれらの水素添加物、スチレン−ブタジエン−ジエンブロック共重合体ゴム、スチレン−イソプレンブロック共重合体などのブロック共重合体ゴムおよびこれらの水素添加物、クロロプレン、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、エピクロルヒドリンゴム、シリコーンゴム、エチレン−プロピレン共重合体ゴム、エチレン−プロピレン−ジエン共重合体ゴムなどが挙げられる。これらの中では、耐久性、成形加工性および電気特性の観点から、シリコーンゴムを用いることが好ましい。
シリコーンゴムとしては、液状シリコーンゴムを架橋または縮合したものが好ましい。液状シリコーンゴムは、その粘度が歪速度１０^-1ｓｅｃで１０⁵ ポアズ以下のものが好ましく、縮合型のもの、付加型のもの、ビニル基やヒドロキシル基を含有するものなどのいずれであってもよい。具体的には、ジメチルシリコーン生ゴム、メチルビニルシリコーン生ゴム、メチルフェニルビニルシリコーン生ゴムなどを挙げることができる。
また、シリコーンゴムは、その分子量Ｍｗ（標準ポリスチレン換算重量平均分子量をいう。以下同じ。）が１０，０００〜４０，０００のものであることが好ましい。また、得られる異方導電性エラストマーシートに良好な耐熱性が得られることから、分子量分布指数（標準ポリスチレン換算重量平均分子量Ｍｗと標準ポリスチレン換算数平均分子量Ｍｎとの比Ｍｗ／Ｍｎの値をいう。以下同じ。）が２以下のものが好ましい。 In the first anisotropic conductive elastomer sheet 18 and the second anisotropic conductive elastomer sheet 19 in this example, the conductive particles P exhibiting magnetism are in the thickness direction in the insulating elastic polymer material. The chain is formed in such a state that a chain is formed by being oriented so that the chain is formed, and the chain of the conductive particles P is dispersed in the plane direction.
As the elastic polymer material forming the first anisotropic conductive elastomer sheet 18 and the second anisotropic conductive elastomer sheet 19, a polymer material having a crosslinked structure is preferable. Various materials can be used as the curable polymer substance-forming material that can be used to obtain such an elastic polymer substance. Specific examples thereof include polybutadiene rubber, natural rubber, and polyisoprene rubber. , Conjugated diene rubbers such as styrene-butadiene copolymer rubber, acrylonitrile-butadiene copolymer rubber and hydrogenated products thereof, blocks such as styrene-butadiene-diene block copolymer rubber, styrene-isoprene block copolymer Examples include copolymer rubber and hydrogenated products thereof, chloroprene, urethane rubber, polyester rubber, epichlorohydrin rubber, silicone rubber, ethylene-propylene copolymer rubber, and ethylene-propylene-diene copolymer rubber. In these, it is preferable to use a silicone rubber from a viewpoint of durability, a moldability, and an electrical property.
As the silicone rubber, those obtained by crosslinking or condensing liquid silicone rubber are preferable. The liquid silicone rubber preferably has a viscosity of 10 ⁵ poise or less at a strain rate of 10 ⁻¹ sec, and may be any of a condensation type, an addition type, a vinyl group or a hydroxyl group. Good. Specific examples include dimethyl silicone raw rubber, methyl vinyl silicone raw rubber, methyl phenyl vinyl silicone raw rubber, and the like.
The silicone rubber preferably has a molecular weight Mw (referred to as a standard polystyrene-converted weight average molecular weight; the same shall apply hereinafter) of 10,000 to 40,000. Moreover, since favorable heat resistance is obtained in the anisotropically conductive elastomer sheet obtained, it means the molecular weight distribution index (the value of the ratio Mw / Mn between the standard polystyrene equivalent weight average molecular weight Mw and the standard polystyrene equivalent number average molecular weight Mn). The same shall apply hereinafter) is preferably 2 or less.

第１の異方導電性エラストマーシート１８および第２の異方導電性エラストマーシート１９に含有される導電性粒子Ｐとしては、後述する方法により当該粒子を容易に厚み方向に並ぶよう配向させることができることから、磁性を示す導電性粒子が用いられる。このような導電性粒子の具体例としては、鉄、コバルト、ニッケルなどの磁性を有する金属の粒子若しくはこれらの合金の粒子またはこれらの金属を含有する粒子、またはこれらの粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に金、銀、パラジウム、ロジウムなどの導電性の良好な金属のメッキを施したもの、あるいは非磁性金属粒子若しくはガラスビーズなどの無機物質粒子またはポリマー粒子を芯粒子とし、当該芯粒子の表面に、ニッケル、コバルトなどの導電性磁性金属のメッキを施したものなどが挙げられる。
これらの中では、ニッケル粒子を芯粒子とし、その表面に導電性の良好な金のメッキを施したものを用いることが好ましい。
芯粒子の表面に導電性金属を被覆する手段としては、特に限定されるものではないが、例えば化学メッキまたは電解メッキ法、スパッタリング法、蒸着法などが用いられている。 As the conductive particles P contained in the first anisotropic conductive elastomer sheet 18 and the second anisotropic conductive elastomer sheet 19, the particles can be easily aligned in the thickness direction by a method described later. For this reason, conductive particles exhibiting magnetism are used. Specific examples of such conductive particles include particles of metal having magnetism such as iron, cobalt, nickel, particles of these alloys, particles containing these metals, or these particles as core particles, The core particles are formed by plating the surface of the core particles with a metal having good conductivity such as gold, silver, palladium, rhodium, or non-magnetic metal particles or inorganic particles such as glass beads or polymer particles. The surface of the particles may be plated with a conductive magnetic metal such as nickel or cobalt.
Among these, it is preferable to use nickel particles as core particles and the surfaces thereof plated with gold having good conductivity.
The means for coating the surface of the core particles with the conductive metal is not particularly limited, and for example, chemical plating or electrolytic plating, sputtering, vapor deposition or the like is used.

導電性粒子Ｐとして、芯粒子の表面に導電性金属が被覆されてなるものを用いる場合には、良好な導電性が得られることから、粒子表面における導電性金属の被覆率（芯粒子の表面積に対する導電性金属の被覆面積の割合）が４０％以上であることが好ましく、さらに好ましくは４５％以上、特に好ましくは４７〜９５％である。
また、導電性金属の被覆量は、芯粒子の０．５〜５０質量％であることが好ましく、より好ましくは２〜３０質量％、さらに好ましくは３〜２５質量％、特に好ましくは４〜２０質量％である。被覆される導電性金属が金である場合には、その被覆量は、芯粒子の０．５〜３０質量％であることが好ましく、より好ましくは２〜２０質量％、さらに好ましくは３〜１５質量％である。 When the conductive particles P used are those in which the surface of the core particles is coated with a conductive metal, good conductivity can be obtained. Therefore, the coverage of the conductive metal on the particle surface (the surface area of the core particles) The ratio of the covering area of the conductive metal with respect to is preferably 40% or more, more preferably 45% or more, and particularly preferably 47 to 95%.
Further, the coating amount of the conductive metal is preferably 0.5 to 50% by mass of the core particle, more preferably 2 to 30% by mass, further preferably 3 to 25% by mass, and particularly preferably 4 to 20%. % By mass. When the conductive metal to be coated is gold, the coating amount is preferably 0.5 to 30% by mass of the core particles, more preferably 2 to 20% by mass, and further preferably 3 to 15%. % By mass.

また、導電性粒子Ｐの数平均粒子径は、３〜２０μｍであることが好ましく、より好ましくは５〜１５μｍである。この数平均粒子径が過小である場合には、後述する製造方法において、導電性粒子Ｐを厚み方向に配向させることが困難となることがある。一方、この数平均粒子径が過大である場合には、分解能の高い異方導電性エラストマーシートを得ることが困難となることがある。
また、導電性粒子Ｐの粒子径分布（Ｄｗ／Ｄｎ）は、１〜１０であることが好ましく、より好ましくは１．０１〜７、さらに好ましくは１．０５〜５、特に好ましくは１．１〜４である。
また、導電性粒子Ｐの形状は、特に限定されるものではないが、高分子物質形成材料中に容易に分散させることができる点で、球状のもの、星形状のものあるいはこれらが凝集した２次粒子であることが好ましい。
また、導電性粒子Ｐとして、その表面がシランカップリング剤などのカップリング剤や潤滑剤で処理されたものを適宜用いることができる。カップリング剤や潤滑剤で粒子表面を処理することにより、得られる異方導電性エラストマーシートの耐久性が向上する。 Moreover, it is preferable that the number average particle diameter of the electroconductive particle P is 3-20 micrometers, More preferably, it is 5-15 micrometers. When this number average particle diameter is too small, it may be difficult to orient the conductive particles P in the thickness direction in the production method described later. On the other hand, when the number average particle diameter is excessive, it may be difficult to obtain an anisotropic conductive elastomer sheet with high resolution.
The particle size distribution (Dw / Dn) of the conductive particles P is preferably 1 to 10, more preferably 1.01 to 7, still more preferably 1.05 to 5, particularly preferably 1.1. ~ 4.
Further, the shape of the conductive particles P is not particularly limited, but spherical particles, star-shaped particles, or agglomerated particles 2 can be easily dispersed in the polymer substance-forming material. Secondary particles are preferred.
Further, as the conductive particles P, those whose surfaces are treated with a coupling agent such as a silane coupling agent or a lubricant can be appropriately used. By treating the particle surface with a coupling agent or a lubricant, the durability of the resulting anisotropic conductive elastomer sheet is improved.

このような導電性粒子Ｐは、異方導電性エラストマーシート中に体積分率で１０〜４０％、特に１５〜３５％となる割合で含有されていることが好ましい。この割合が過小である場合には、厚み方向に十分に高い導電性を有する異方導電性エラストマーシートが得られないことがある。一方、この割合が過大である場合には、得られる異方導電性エラストーシートは脆弱なものとなりやすく、異方導電性エラストマーシートとして必要な弾性が得られないことがある。   Such conductive particles P are preferably contained in the anisotropic conductive elastomer sheet at a volume fraction of 10 to 40%, particularly 15 to 35%. When this ratio is too small, an anisotropic conductive elastomer sheet having sufficiently high conductivity in the thickness direction may not be obtained. On the other hand, if this ratio is excessive, the resulting anisotropic conductive elastomer sheet tends to be fragile, and the elasticity necessary for the anisotropic conductive elastomer sheet may not be obtained.

また、第１の異方導電性エラストマーシート１８および第２の異方導電性エラストマーシート１９の各々の厚みは、２０〜１００μｍであることが好ましく、より好ましくは２５〜７０μｍである。この厚みが過小である場合には、十分な凹凸吸収能が得られないことがある。一方、この厚みが過大である場合には、高い分解能が得られないことがある。   Moreover, it is preferable that each thickness of the 1st anisotropically conductive elastomer sheet 18 and the 2nd anisotropically conductive elastomer sheet 19 is 20-100 micrometers, More preferably, it is 25-70 micrometers. When this thickness is too small, sufficient unevenness absorbing ability may not be obtained. On the other hand, if this thickness is excessive, high resolution may not be obtained.

第１の異方導電性エラストマーシート１８は、以下のようにして製造することができる。
先ず、図４に示すように、それぞれシート状の一面側成形部材３０および他面側成形部材３１と、目的とする第１の異方導電性エラストマーシート１６の平面形状に適合する形状の開口３２Ｋを有すると共に当該第１の異方導電性エラストマーシート１６の厚みに対応する厚みを有する枠状のスペーサー３２とを用意すると共に、硬化されて弾性高分子物質となる液状の高分子物質形成材料中に導電性粒子が含有されてなる導電性エラストマー用材料を調製する。
そして、図５に示すように、他面側成形部材３１の成形面（図５において上面）上にスペーサー３２を配置し、他面側成形部材３１の成形面上におけるスペーサー３２の開口３２Ｋ内に、調製した導電性エラストマー用材料１８Ｂを塗布し、その後、この導電性エラストマー用材料１８Ｂ上に一面側成形部材３０をその成形面（図５において下面）が導電性エラストマー用材料１８Ｂに接するよう配置する。
以上において、一面側成形部材３０および他面側成形部材３１としては、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、アクリル樹脂などよりなる樹脂シートを用いることができる。
また、一面側成形部材３０および他面側成形部材３１を構成する樹脂シートの厚みは、５０〜５００μｍであることが好ましく、より好ましくは７５〜３００μｍである。この厚みが５０μｍ未満である場合には、成形部材として必要な強度が得られないことがある。一方、この厚みが５００μｍを超える場合には、後述する導電性エラストマー用材料層に所要の強度の磁場を作用させることが困難となることがある。 The first anisotropic conductive elastomer sheet 18 can be manufactured as follows.
First, as shown in FIG. 4, each of the sheet-like one-side molding member 30 and the other-side molding member 31, and the opening 32 </ b> K having a shape that matches the planar shape of the target first anisotropic conductive elastomer sheet 16. And a frame-shaped spacer 32 having a thickness corresponding to the thickness of the first anisotropic conductive elastomer sheet 16, and a liquid polymer substance-forming material that is cured to become an elastic polymer substance A conductive elastomer material containing conductive particles is prepared.
Then, as shown in FIG. 5, the spacer 32 is disposed on the molding surface (upper surface in FIG. 5) of the other surface side molding member 31, and the opening 32 </ b> K of the spacer 32 on the molding surface of the other surface side molding member 31. Then, the prepared conductive elastomer material 18B is applied, and then the one-surface side molded member 30 is arranged on the conductive elastomer material 18B so that the molding surface (the lower surface in FIG. 5) is in contact with the conductive elastomer material 18B. To do.
In the above, as the one side molding member 30 and the other side molding member 31, a resin sheet made of polyimide resin, polyester resin, acrylic resin, or the like can be used.
Moreover, it is preferable that the thickness of the resin sheet which comprises the one surface side molded member 30 and the other surface side molded member 31 is 50-500 micrometers, More preferably, it is 75-300 micrometers. If this thickness is less than 50 μm, the strength required for the molded member may not be obtained. On the other hand, when the thickness exceeds 500 μm, it may be difficult to apply a magnetic field having a required strength to the conductive elastomer material layer described later.

次いで、図６に示すように、加圧ロール３３および支持ロール３４よりなる加圧ロール装置３５を用い、一面側成形部材３０および他面側成形部材３１によって導電性エラストマー用材料１８Ｂを挟圧することにより、当該一面側成形部材３０と当該他面側成形部材３１との間に、所要の厚みの導電性エラストマー用材料層１８Ａを形成する。この導電性エラストマー用材料層１８Ａにおいては、図７に拡大して示すように、導電性粒子Ｐが均一に分散した状態で含有されている。
その後、一面側成形部材３０の裏面および他面側成形部材３１の裏面に、例えば一対の電磁石を配置し、当該電磁石を作動させることにより、導電性エラストマー用材料層１８Ａの厚み方向に平行磁場を作用させる。その結果、導電性エラストマー用材料層１８Ａにおいては、当該導電性エラストマー用材料層１８Ａ中に分散されている導電性粒子Ｐが、図８に示すように、面方向に分散された状態を維持しながら厚み方向に並ぶよう配向し、これにより、それぞれ厚み方向に伸びる複数の導電性粒子Ｐによる連鎖が、面方向に分散した状態で形成される。
そして、この状態において、導電性エラストマー用材料層１８Ａを硬化処理することにより、弾性高分子物質中に、導電性粒子Ｐが厚み方向に並ぶよう配向した状態で、かつ、当該導電性粒子Ｐによる連鎖が面方向に分散された状態で含有されてなる第１の異方導電性エラストマーシート１８が製造される。 Next, as shown in FIG. 6, using the pressure roll device 35 including the pressure roll 33 and the support roll 34, the conductive elastomer material 18 </ b> B is clamped by the one-surface-side molded member 30 and the other-surface-side molded member 31. Thus, a conductive elastomer material layer 18 </ b> A having a required thickness is formed between the one side molding member 30 and the other side molding member 31. In the conductive elastomer material layer 18A, as shown in an enlarged view in FIG. 7, the conductive particles P are contained in a uniformly dispersed state.
Thereafter, for example, a pair of electromagnets are disposed on the back surface of the one-surface-side molded member 30 and the back surface of the other-surface-side molded member 31, and the electromagnet is operated to generate a parallel magnetic field in the thickness direction of the conductive elastomer material layer 18A. Make it work. As a result, in the conductive elastomer material layer 18A, the conductive particles P dispersed in the conductive elastomer material layer 18A maintain a state of being dispersed in the plane direction as shown in FIG. However, a plurality of conductive particles P, which are aligned in the thickness direction, are formed so as to be dispersed in the plane direction.
In this state, by curing the conductive elastomer material layer 18A, the conductive particles P are aligned in the thickness direction in the elastic polymer substance, and the conductive particles P are A first anisotropic conductive elastomer sheet 18 containing the chain dispersed in the plane direction is manufactured.

以上において、導電性エラストマー用材料層１８Ａの硬化処理は、平行磁場を作用させたままの状態で行うこともできるが、平行磁場の作用を停止させた後に行うこともできる。
導電性エラストマー用材料層１８Ａに作用される平行磁場の強度は、平均で０．０２〜２．５テスラとなる大きさが好ましい。
導電性エラストマー用材料層１８Ａの硬化処理は、使用される材料によって適宜選定されるが、通常、加熱処理によって行われる。具体的な加熱温度および加熱時間は、導電性エラストマー用材料層１８Ａを構成する高分子物質用材料などの種類、導電性粒子Ｐの移動に要する時間などを考慮して適宜選定される。 In the above, the curing process of the conductive elastomer material layer 18A can be performed with the parallel magnetic field applied, but can also be performed after the parallel magnetic field is stopped.
The magnitude of the parallel magnetic field applied to the conductive elastomer material layer 18A is preferably 0.02 to 2.5 Tesla on average.
The curing treatment of the conductive elastomer material layer 18A is appropriately selected depending on the material to be used, but is usually performed by heat treatment. The specific heating temperature and heating time are appropriately selected in consideration of the type of polymer material constituting the conductive elastomer material layer 18A, the time required to move the conductive particles P, and the like.

また、第２の異方導電性エラストマーシート１９は、第１の異方導電性エラストマーシート１８と同様の方法によって製造することができる。   Further, the second anisotropic conductive elastomer sheet 19 can be manufactured by the same method as the first anisotropic conductive elastomer sheet 18.

複合導電性シート２０は、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔２１Ｈがコネクター板１１における電流供給用電極１４およひ電圧測定用電極１５のパターンに対応するパターンに従って形成された絶縁性シート２１と、この絶縁性シート２１の各貫通孔２１Ｈに当該絶縁性シート２１の両面の各々から突出するよう配置された複数の剛性導体２２とにより構成されている。
剛性導体２２の各々は、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈに挿通された円柱状の胴部２２ａと、この胴部２２ａの両端の各々に一体に連結されて形成された、絶縁性シート２１の表面に露出する端子部２２ｂとにより構成されている。剛性導体２２における胴部２２ａの長さは、絶縁性シート２１の厚みより大きく、また、当該胴部２２ａの径は、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの径より小さいものとされており、これにより、当該剛性導体２２は、絶縁性シート２１の厚み方向に移動可能とされている。また、剛性導体２２における端子部２２ｂの径は、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの径より大きいものとされている。 The composite conductive sheet 20 includes an insulating sheet 21 in which a plurality of through holes 21H extending in the thickness direction are formed according to a pattern corresponding to the pattern of the current supply electrode 14 and the voltage measurement electrode 15 in the connector plate 11; Each of the through holes 21H of the insulating sheet 21 includes a plurality of rigid conductors 22 arranged so as to protrude from both surfaces of the insulating sheet 21.
Each of the rigid conductors 22 is formed of a cylindrical body portion 22a inserted through the through hole 21H of the insulating sheet 21 and the insulating sheet 21 formed integrally connected to both ends of the body portion 22a. It is comprised by the terminal part 22b exposed to the surface. The length of the trunk portion 22a of the rigid conductor 22 is larger than the thickness of the insulating sheet 21, and the diameter of the trunk portion 22a is smaller than the diameter of the through hole 21H of the insulating sheet 21. Thus, the rigid conductor 22 is movable in the thickness direction of the insulating sheet 21. Further, the diameter of the terminal portion 22 b in the rigid conductor 22 is larger than the diameter of the through hole 21 </ b> H of the insulating sheet 21.

絶縁性シート２１を構成する材料としては、液晶ポリマー、ポリイミド樹脂、ポリエステル樹脂、ポリアラミド樹脂、ポリアミド樹脂等の樹脂材料、ガラス繊維補強型エポキシ樹脂、ガラス繊維補強型ポリエステル樹脂、ガラス繊維補強型ポリイミド樹脂等の繊維補強型樹脂材料、エポキシ樹脂等にアルミナ、ポロンナイトライド等の無機材料をフィラーとして含有した複合樹脂材料などを用いることができる。
また、電気抵抗測定用コネクター装置１０を高温環境下で使用する場合には、絶縁性シート２１として、線熱膨張係数が３×１０^-5／Ｋ以下のものを用いることが好ましく、より好ましくは１×１０^-6〜２×１０^-5／Ｋ、特に好ましくは１×１０^-6〜６×１０^-6／Ｋである。このような絶縁性シート２１を用いることにより、当該絶縁性シート２１の熱膨張による剛性導体２２の位置ずれを抑制することができる。
また、絶縁性シート２１の厚みは、１０〜２００μｍであることが好ましく、より好ましくは１５〜１００μｍである。
また、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの径は、２０〜３００μｍであることが好ましく、より好ましくは３０〜１５０μｍである。 The material constituting the insulating sheet 21 is a resin material such as liquid crystal polymer, polyimide resin, polyester resin, polyaramid resin, polyamide resin, glass fiber reinforced epoxy resin, glass fiber reinforced polyester resin, glass fiber reinforced polyimide resin. For example, a fiber-reinforced resin material such as an epoxy resin or a composite resin material containing an inorganic material such as alumina or poron nitride as a filler can be used.
When the electrical resistance measuring connector device 10 is used in a high temperature environment, it is preferable to use the insulating sheet 21 having a linear thermal expansion coefficient of 3 × 10 ⁻⁵ / K or less. It is 1 × 10 ^{−6 to} 2 × 10 ⁻⁵ / K, particularly preferably 1 × 10 ^{−6 to} 6 × 10 ⁻⁶ / K. By using such an insulating sheet 21, it is possible to suppress the displacement of the rigid conductor 22 due to the thermal expansion of the insulating sheet 21.
Moreover, it is preferable that the thickness of the insulating sheet 21 is 10-200 micrometers, More preferably, it is 15-100 micrometers.
Moreover, it is preferable that the diameter of the through-hole 21H of the insulating sheet 21 is 20-300 micrometers, More preferably, it is 30-150 micrometers.

剛性導体２２を構成する材料としては、剛性を有する金属材料を好適に用いることができ、特に、後述する製造方法において絶縁性シートに形成される金属薄層よりもエッチングされにくいものを用いることが好ましい。このような金属材料の具体例としては、ニッケル、コバルト、金、アルミニウムなどの単体金属またはこれらの合金などを挙げることができる。
剛性導体２２における胴部１２ａの径は、１８μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは２５μｍ以上である。この径が過小である場合には、当該剛性導体２２に必要な強度が得られないことがある。また、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの径と剛性導体２２における胴部１２ａの径との差は、１μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは２μｍ以上である。この差が過小である場合には、絶縁性シート２１の厚み方向に対して剛性導体２２を移動させることが困難となることがある。
剛性導体２２における端子部２２ｂの径と絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの径との差は、５μｍ以上であることが好ましく、より好ましくは１０μｍ以上である。この差が過小である場合には、剛性導体２２が絶縁性シート２１から脱落する恐れがある。
剛性導体２２における端子部１２ｂの厚みは、５〜５０μｍであることが好ましく、より好ましくは８〜４０μｍである。
絶縁性シート２１の厚み方向における剛性導体２２の移動可能距離、すなわち剛性導体２２における胴部２２ａの長さと絶縁性シート２１の厚みとの差は、３〜１５０μｍであることが好ましく、より好ましくは５〜１００μｍ、さらに好ましくは１０〜５０μｍである。剛性導体２２の移動可能距離が過小である場合には、十分な凹凸吸収能を得ることが困難となることがある。一方、剛性導体２２の移動可能距離が過大である場合には、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈから露出する剛性導体２２の胴部２２ａの長さが大きくなり、検査に使用したときに、剛性導体２２の胴部２２ａが座屈または損傷するおそれがある。 As the material constituting the rigid conductor 22, a metal material having rigidity can be suitably used, and in particular, a material that is less likely to be etched than a thin metal layer formed on an insulating sheet in the manufacturing method described later is used. preferable. Specific examples of such a metal material include simple metals such as nickel, cobalt, gold, and aluminum, or alloys thereof.
The diameter of the trunk portion 12a in the rigid conductor 22 is preferably 18 μm or more, and more preferably 25 μm or more. If this diameter is too small, the required strength of the rigid conductor 22 may not be obtained. Further, the difference between the diameter of the through hole 21H of the insulating sheet 21 and the diameter of the body portion 12a in the rigid conductor 22 is preferably 1 μm or more, more preferably 2 μm or more. If this difference is too small, it may be difficult to move the rigid conductor 22 in the thickness direction of the insulating sheet 21.
The difference between the diameter of the terminal portion 22b in the rigid conductor 22 and the diameter of the through hole 21H of the insulating sheet 21 is preferably 5 μm or more, and more preferably 10 μm or more. If this difference is too small, the rigid conductor 22 may fall off the insulating sheet 21.
The thickness of the terminal portion 12b in the rigid conductor 22 is preferably 5 to 50 μm, more preferably 8 to 40 μm.
The movable distance of the rigid conductor 22 in the thickness direction of the insulating sheet 21, that is, the difference between the length of the trunk portion 22a in the rigid conductor 22 and the thickness of the insulating sheet 21 is preferably 3 to 150 μm, more preferably. It is 5-100 micrometers, More preferably, it is 10-50 micrometers. When the movable distance of the rigid conductor 22 is too small, it may be difficult to obtain sufficient irregularity absorbing ability. On the other hand, when the movable distance of the rigid conductor 22 is excessive, the length of the body portion 22a of the rigid conductor 22 exposed from the through hole 21H of the insulating sheet 21 becomes large, and the rigidity when used for inspection is increased. There is a possibility that the trunk portion 22a of the conductor 22 is buckled or damaged.

上記の複合導電性シート２０は、例えば以下のようにして製造することができる。
先ず、図９に示すように、絶縁性シート２１の一面に易エッチング性の金属層２３Ａが一体的に積層されてなる積層材料２０Ｂを用意し、この積層材料２０Ｂにおける金属層２３Ａに対してエッチング処理を施してその一部を除去することにより、図１０に示すように、金属層２３Ａに所要のパターンに従って複数の開口２３Ｋを形成する。次いで、図１１に示すように、積層材料２０Ｂにおける絶縁性シート２１に、それぞれ金属層２３Ａの開口２３Ｋに連通して厚み方向に伸びる貫通孔２１Ｈを形成する。そして、図１２に示すように、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの内壁面および金属層２３Ａの開口縁を覆うよう、易エッチング性の筒状の金属薄層２３Ｂを形成する。このようにして、それぞれ厚み方向に伸びる複数の貫通孔２１Ｈが形成された絶縁性シート２１と、この絶縁性シート２１の一面に積層された、それぞれ絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈに連通する複数の開口２３Ｋを有する易エッチング性の金属層２３Ａと、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの内壁面および金属層２３Ａの開口縁を覆うよう形成された易エッチング性の金属薄層２３Ｂとを有してなる複合積層材料２０Ａが製造される。
以上において、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈを形成する方法としては、レーザー加工法、ドリル加工法、エッチング加工法などを利用することができる。
金属層２３Ａおよび金属薄層２３Ｂを構成する易エッチング性の金属材料としては、銅などを用いることができる。
また、金属層２３Ａの厚みは、目的とする剛性導体２２の移動可能距離などを考慮して設定され、具体的には、３〜７５μｍであることが好ましく、より好ましくは５〜５０μｍ、さらに好ましくは８〜２５μｍである。
また、金属薄層２３Ｂの厚みは、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの径と形成すべき剛性導体２２における胴部２２ａの径とを考慮して設定される。
また、金属薄層２３Ｂを形成する方法としては、無電解メッキ法などを利用することができる。 Said composite conductive sheet 20 can be manufactured as follows, for example.
First, as shown in FIG. 9, a laminate material 20B is prepared in which an easily etchable metal layer 23A is integrally laminated on one surface of an insulating sheet 21, and etching is performed on the metal layer 23A in the laminate material 20B. By performing a process and removing a part thereof, as shown in FIG. 10, a plurality of openings 23K are formed in the metal layer 23A according to a required pattern. Next, as illustrated in FIG. 11, through holes 21 </ b> H are formed in the insulating sheet 21 of the laminated material 20 </ b> B and communicate with the openings 23 </ b> K of the metal layer 23 </ b> A and extend in the thickness direction. Then, as shown in FIG. 12, an easily etchable cylindrical metal thin layer 23B is formed so as to cover the inner wall surface of the through hole 21H of the insulating sheet 21 and the opening edge of the metal layer 23A. In this way, the insulating sheet 21 in which a plurality of through holes 21H extending in the thickness direction are formed, and a plurality of layers that are laminated on one surface of the insulating sheet 21 and communicate with the through holes 21H of the insulating sheet 21, respectively. An easily-etchable metal layer 23A having an opening 23K and an easily-etchable metal thin layer 23B formed so as to cover the inner wall surface of the through hole 21H of the insulating sheet 21 and the opening edge of the metal layer 23A. A composite laminated material 20A is manufactured.
In the above, as a method of forming the through hole 21H of the insulating sheet 21, a laser processing method, a drill processing method, an etching processing method, or the like can be used.
Copper or the like can be used as an easily-etchable metal material constituting the metal layer 23A and the metal thin layer 23B.
Further, the thickness of the metal layer 23A is set in consideration of the movable distance of the target rigid conductor 22, and is specifically preferably 3 to 75 μm, more preferably 5 to 50 μm, still more preferably. Is 8-25 μm.
Further, the thickness of the thin metal layer 23B is set in consideration of the diameter of the through hole 21H of the insulating sheet 21 and the diameter of the trunk portion 22a in the rigid conductor 22 to be formed.
Further, as a method of forming the metal thin layer 23B, an electroless plating method or the like can be used.

そして、この複合積層材料２０Ａに対してフォトメッキ処理を施すことにより、絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈの各々に剛性導体２２を形成する。具体的に説明すると、図１３に示すように、絶縁性シート２１の一面に形成された金属層２３Ａの表面および絶縁性シート２１の他面の各々に、形成すべき剛性導体２２における端子部２２ｂのパターンに対応するパターンに従ってそれぞれ絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈに連通する複数のパターン孔２４Ｈが形成されたレジスト膜２４を形成する。次いで、金属層２３Ａを共通電極として電解メッキ処理を施して当該金属層２３Ａにおける露出した部分に金属を堆積させると共に、金属薄層２３Ｂの表面に金属を堆積させて絶縁性シート２１の貫通孔２１Ｈ内およびレジスト膜２４のパターン孔２４Ｈ内に金属を充填することにより、図１４に示すように、絶縁性シート２１の厚み方向に伸びる剛性導体２２を形成する。
このようにして剛性導体２２を形成した後、金属層２３Ａの表面からレジスト膜２４を除去することにより、図１５に示すように、金属層２３Ａを露出させる。そして、エッチング処理を施して金属層２３Ａおよび金属薄層２３Ｂを除去することにより、複合導電性シート２０が得られる。 Then, a rigid conductor 22 is formed in each of the through holes 21H of the insulating sheet 21 by subjecting the composite laminated material 20A to a photoplating process. Specifically, as shown in FIG. 13, the terminal portion 22 b of the rigid conductor 22 to be formed on each of the surface of the metal layer 23 </ b> A formed on one surface of the insulating sheet 21 and the other surface of the insulating sheet 21. A resist film 24 in which a plurality of pattern holes 24 </ b> H communicating with the through holes 21 </ b> H of the insulating sheet 21 is formed according to a pattern corresponding to the pattern is formed. Next, electrolytic plating is performed using the metal layer 23A as a common electrode to deposit metal on the exposed portion of the metal layer 23A, and metal is deposited on the surface of the metal thin layer 23B to form the through hole 21H of the insulating sheet 21. By filling the inside and the pattern hole 24H of the resist film 24 with metal, a rigid conductor 22 extending in the thickness direction of the insulating sheet 21 is formed as shown in FIG.
After forming the rigid conductor 22 in this way, the resist film 24 is removed from the surface of the metal layer 23A, thereby exposing the metal layer 23A as shown in FIG. And the composite conductive sheet 20 is obtained by performing the etching process and removing the metal layer 23A and the metal thin layer 23B.

上記の電気抵抗測定用コネクター装置１０においては、図１６に示すように、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板１の一面に、コネクター板１１における各接続用電極組１３が当該被検査回路基板１の各一面側被検査電極２上に位置するよう配置され、適宜の手段によって押圧されることにより、被検査回路基板１の一面側被検査電極２が、第２の異方導電性シート１９、複合導電性シート２０および第１の異方導電性エラストマーシート１８を介して、コネクター板１１における接続用電極組１３における電極に電気的に接続される。
このような状態において、電流供給用電極１４を介して被検査回路基板１の被検査電極間に定電流を供給すると共に、被検査回路基板１における一面側被検査電極２に電気的に接続された電圧測定用電極１５のうち１つの電圧測定用電極１５を指定し、この指定された電圧測定用電極１５に電気的に接続された一面側被検査電極２に係る電気抵抗の測定が行われる。そして、指定する電圧測定用電極１５を順次変更することにより、全ての一面側被検査電極２に係る電気抵抗の測定が行われる。 In the electrical resistance measuring connector device 10, as shown in FIG. 16, each connection electrode set 13 in the connector plate 11 is provided on one surface of the circuit board 1 to be measured for electrical resistance. 1 is arranged so as to be positioned on each one-surface-side inspected electrode 2, and is pressed by an appropriate means, so that the one-surface-side inspected electrode 2 of the circuit board 1 to be inspected becomes the second anisotropic conductive sheet 19. The electrode is electrically connected to the electrode in the connection electrode set 13 in the connector plate 11 through the composite conductive sheet 20 and the first anisotropic conductive elastomer sheet 18.
In such a state, a constant current is supplied between the electrodes to be inspected of the circuit board 1 to be inspected via the current supply electrodes 14 and is electrically connected to the electrode 2 to be inspected 1 on the circuit board 1 to be inspected. One voltage measurement electrode 15 is designated out of the measured voltage measurement electrodes 15, and the electrical resistance of the one-surface-side inspected electrode 2 electrically connected to the designated voltage measurement electrode 15 is measured. . Then, by sequentially changing the voltage measuring electrode 15 to be designated, the electrical resistance of all the one-surface-side inspected electrodes 2 is measured.

このような電気抵抗測定用コネクター装置１０によれば、コネクター板１１における各接続用電極組１３には、２つの電流供給用電極１４が、矩形における互いに対角する頂点位置に位置され、かつ、２つの電圧測定用電極１５が、当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置されているため、当該矩形における辺方向（図３において左右方向および上下方向）に、一面側被検査電極２が位置ずれした場合であっても、当該一面側被検査電極２は、少なくとも１つの電流供給用電極１４および少なくとも１つの電圧測定用電極１５の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
具体的な例を挙げて説明すると、図１７（イ）に示すように、一面側被検査電極２の中心位置が、接続用電極組１３の中心位置から、当該図において右方に位置ずれした場合には、それぞれ図において右側に位置された電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
また、図１７（ロ）に示すように、一面側被検査電極２の中心位置が、接続用電極組１３の中心位置から、当該図において左方に位置ずれした場合には、それぞれ図において左側に位置された電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
また、図１７（ハ）に示すように、一面側被検査電極２の中心位置が、接続用電極組１３の中心位置から、当該図において上方に位置ずれした場合には、それぞれ図において上側に位置された電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方に同時に電気的に接続されるようになる。
また、図１７（ニ）に示すように、一面側被検査電極２の中心位置が、接続用電極組１３の中心位置から、当該図において下方に位置ずれした場合には、それぞれ図において下側に位置された電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方に同時に電気的に接続されるようになる。 According to such an electrical resistance measurement connector device 10, each connection electrode set 13 in the connector plate 11 has the two current supply electrodes 14 positioned at the mutually opposite vertex positions in the rectangle, and Since the two voltage measuring electrodes 15 are located at other vertex positions opposite to each other in the rectangle, the one-surface-side inspected electrode 2 is arranged in the side direction (the horizontal direction and the vertical direction in FIG. 3) in the rectangle. Even if the position is shifted, the one-surface-side inspected electrode 2 is electrically connected to both the at least one current supply electrode 14 and the at least one voltage measurement electrode 15 at the same time.
Explaining with a specific example, as shown in FIG. 17A, the center position of the one-surface-side inspected electrode 2 is shifted to the right in the figure from the center position of the connection electrode set 13. In some cases, both the current supply electrode 14 and the voltage measurement electrode 15 located on the right side in the drawing are electrically connected simultaneously.
Further, as shown in FIG. 17B, when the center position of the one-surface-side inspected electrode 2 is shifted to the left in the figure from the center position of the connection electrode set 13, the left side in the figure respectively. Are simultaneously electrically connected to both the current supply electrode 14 and the voltage measurement electrode 15 which are positioned at the same position.
In addition, as shown in FIG. 17C, when the center position of the one-surface-side inspected electrode 2 is displaced upward from the center position of the connection electrode set 13 in the drawing, Both the current supply electrode 14 and the voltage measurement electrode 15 which are positioned are electrically connected simultaneously.
In addition, as shown in FIG. 17 (d), when the center position of the one-surface-side inspected electrode 2 is shifted downward from the center position of the connection electrode assembly 13 in the figure, Are simultaneously electrically connected to both the current supply electrode 14 and the voltage measurement electrode 15 which are positioned at the same position.

また、複合導電性シート２０の剛性導体２２の各々は、絶縁性シート２１に対してその厚み方向に移動可能とされているため、一面側被検査電極２によって厚み方向に加圧されたときには、第１の異方導電性エラストマーシート１８および第２の異方導電性エラストマーシート１９は、剛性導体２２が絶縁性シート２１の厚み方向に移動することによって互いに連動して圧縮変形し、これにより、両者の有する凹凸吸収能の合計が電気抵抗測定用コネクター装置１０の凹凸吸収能として発現されるので、高い凹凸吸収能を得ることができる。そして、所要の凹凸吸収能を得るために必要な厚みは、第１の異方導電性エラストマーシート１８および第２の異方導電性エラストマーシート１９の合計の厚みによって確保すればよく、個々の異方導電性エラストマーシートとしては、厚みが小さいものを用いることができるので、高い分解能を得ることができる。   Further, since each of the rigid conductors 22 of the composite conductive sheet 20 is movable in the thickness direction with respect to the insulating sheet 21, when pressed in the thickness direction by the one-surface-side inspected electrode 2, The first anisotropic conductive elastomer sheet 18 and the second anisotropic conductive elastomer sheet 19 are compressed and deformed in conjunction with each other when the rigid conductor 22 moves in the thickness direction of the insulating sheet 21, Since the sum of the unevenness absorption capability of both is expressed as the unevenness absorption capability of the electrical resistance measuring connector device 10, a high unevenness absorption capability can be obtained. The thickness necessary for obtaining the required unevenness absorbing capability may be ensured by the total thickness of the first anisotropic conductive elastomer sheet 18 and the second anisotropic conductive elastomer sheet 19. Since a thin conductive elastomer sheet can be used, high resolution can be obtained.

従って、上記の電気抵抗測定用コネクター装置１０によれば、被検査回路基板１との電気的接続作業において、一面側被検査電極２に対する位置ずれの許容度が大きく、また、分解能および凹凸吸収性が共に高いものであるため、被検査回路基板１が大面積でサイズの小さい多数の一面側被検査電極２を有するものであっても、当該一面側被検査電極２に対する電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方の電気接続を確実に達成することができ、しかも、電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の間の所要の電気的絶縁状態が確保されるので、被検査回路基板１についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。   Therefore, according to the electrical resistance measurement connector device 10 described above, in the electrical connection work with the circuit board 1 to be inspected, the tolerance of the positional deviation with respect to the one-surface-side inspected electrode 2 is large, and the resolution and unevenness absorbability Therefore, even if the circuit board 1 to be inspected has a large number of single-surface-side inspected electrodes 2 having a large area and a small size, the current supply electrode 14 for the one-surface-side inspected electrode 2 and The electrical connection of both of the voltage measurement electrodes 15 can be reliably achieved, and the required electrical insulation between the current supply electrode 14 and the voltage measurement electrode 15 is ensured, so that the circuit to be inspected The electrical resistance of the substrate 1 can be measured with high accuracy.

本発明において、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板１としては、図１８（イ）に示すように、一面に形成された一面側被検査電極２のみを有し、当該一面側被検査電極２間に形成された回路４ａのみを有するもの、図１８（ロ）に示すように、一面に形成された一面側被検査電極２および他面に形成された他面側被検査電極３を有し、一面側被検査電極２と他面側被検査電極３との間に形成された回路４ｂのみを有するもの、図１８（ハ）に示すように、一面に形成された一面側被検査電極２および他面に形成された他面側被検査電極３を有し、一面側被検査電極２間に形成された回路４ａおよび一面側被検査電極２と他面側被検査電極３との間に形成された回路４ｂの両方を有するもののいずれであってもよい。   In the present invention, as the circuit board 1 to be measured for electrical resistance, as shown in FIG. 18 (a), the circuit board 1 has only one surface-side inspection electrode 2 formed on one surface, and the one surface-side inspection electrode. 18 having only the circuit 4a formed between the two electrodes, as shown in FIG. 18 (b), the one-surface-side inspected electrode 2 formed on one surface and the other-surface-side inspected electrode 3 formed on the other surface are provided. One having only the circuit 4b formed between the one-surface-side inspected electrode 2 and the other-surface-side inspected electrode 3, as shown in FIG. 18C, the one-surface-side inspected electrode formed on one surface 2 and the other surface side inspected electrode 3 formed on the other surface, the circuit 4a formed between the one surface side inspected electrode 2, and between the one surface side inspected electrode 2 and the other surface side inspected electrode 3 Any of those having both of the circuits 4b formed in the above may be used.

〈回路基板の電気抵抗測定装置〉
図１９は、本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の一例における構成を示す説明図であり、図２０は、図１９に示す回路基板の電気抵抗測定装置の要部を拡大して示す説明図である。
この回路基板の電気抵抗測定装置は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板１の一面（図１９において上面）側に配置される上部側アダプター４０と、被検査回路基板１の他面（図１９において下面）側に配置される下部側アダプター５０とが、上下に互いに対向するよう配置されて構成されている。 <Circuit board electrical resistance measurement device>
FIG. 19 is an explanatory view showing the configuration of an example of the circuit board electrical resistance measuring apparatus according to the present invention, and FIG. 20 is an enlarged view showing the main part of the circuit board electrical resistance measuring apparatus shown in FIG. FIG.
The circuit board electrical resistance measuring device includes an upper adapter 40 disposed on one surface (upper surface in FIG. 19) of the circuit board 1 to be measured for electrical resistance, and the other surface (FIG. 1). 19, the lower adapter 50 disposed on the lower surface side is disposed so as to face each other vertically.

上部側アダプター４０においては、被検査回路基板１の一面側（図１９において上側）に配置される、例えば図１に示す構成の電気抵抗測定用コネクター装置１０が設けられ、この電気抵抗測定用コネクター装置１０の裏面（図１９において上面）には、第１の上部側異方導電性シート４４を介して一面側検査用回路基板４１が配置されている。この一面側検査用回路基板４１の表面（図１９において下面）には、電気抵抗測定用コネクター装置１０における中継電極１６のパターンに対応するパターンに従って、複数の検査電極４２が配置され、当該一面側検査用回路基板４１の裏面（図１９において上面）には、後述する電極板４８の標準配列電極４９の配列パターンに対応するパターンに従って端子電極４３が配置されおり、この端子電極４３の各々は対応する検査電極４２に、電気的に接続されている。   The upper-side adapter 40 is provided with an electrical resistance measurement connector device 10 having, for example, the configuration shown in FIG. 1, which is disposed on one surface side (upper side in FIG. 19) of the circuit board 1 to be inspected. On the back surface (upper surface in FIG. 19) of the apparatus 10, the one-surface-side inspection circuit board 41 is disposed via the first upper-side anisotropic conductive sheet 44. A plurality of test electrodes 42 are arranged on the surface (the lower surface in FIG. 19) of the one-surface-side inspection circuit board 41 according to a pattern corresponding to the pattern of the relay electrode 16 in the electrical resistance measuring connector device 10. On the back surface (upper surface in FIG. 19) of the inspection circuit board 41, terminal electrodes 43 are arranged in accordance with a pattern corresponding to an array pattern of standard array electrodes 49 of an electrode plate 48 to be described later. The inspection electrode 42 is electrically connected.

一面側検査用回路基板４１の裏面上には、第２の上部側異方導電性シート４５を介して電極板４８が設けられている。この電極板４８は、その表面（図１９において下面）に、例えばピッチが２．５４ｍｍ、１．８ｍｍまたは１．２７ｍｍの標準格子点上に配置された複数の標準配列電極４９を有し、これらの標準配列電極４９の各々は、第２の上部側異方導電性シート４５を介して一面側検査用回路基板４１の端子電極４３に電気的に接続されると共に、電極板４８の内部配線（図示せず）を介してテスター５９に電気的に接続されている。   An electrode plate 48 is provided on the back surface of the one-surface-side inspection circuit board 41 via a second upper-side anisotropic conductive sheet 45. The electrode plate 48 has a plurality of standard array electrodes 49 arranged on a standard lattice point having a pitch of 2.54 mm, 1.8 mm, or 1.27 mm, for example, on the surface (the lower surface in FIG. 19). Each of the standard array electrodes 49 is electrically connected to the terminal electrode 43 of the one-surface-side inspection circuit board 41 through the second upper-side anisotropic conductive sheet 45 and the internal wiring ( It is electrically connected to the tester 59 via a not-shown).

この例における第１の上部側異方導電性シート４４は、いわゆる偏在型異方導電性シートであって、電気抵抗測定用コネクター装置１０の中継電極１６のパターンに対応するパターンに従って配置された厚み方向に伸びる複数の導電路形成部（図示省略）と、これらの導電路形成部の間に介在されてこれらを相互に絶縁する絶縁部（図示省略）とにより構成され、導電路形成部は、絶縁性の弾性高分子物質中に導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなり、絶縁部は、導電性粒子が全くあるいは殆ど含有されていない絶縁性の弾性高分子物質よりなる。
また、第２の上部側異方導電性シート４５は、いわゆる分散型の異方導電性シートであって、弾性高分子物質中に、導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向して連鎖を形成した状態で、かつ、当該導電性粒子による連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなる。
これらの第１の上部側異方導電性シート４４および第２の上部側異方導電性シート４５を構成する弾性高分子物質および導電性粒子としては、電気抵抗測定用コネクター装置１０における第１の異方導電性エラストマーシート１８を構成する弾性高分子物質および導電性粒子として例示したものの中から、適宜選択して用いることができる。 The first upper side anisotropic conductive sheet 44 in this example is a so-called unevenly distributed anisotropic conductive sheet, and has a thickness arranged according to a pattern corresponding to the pattern of the relay electrode 16 of the electrical resistance measuring connector device 10. A plurality of conductive path forming portions (not shown) extending in the direction, and an insulating portion (not shown) interposed between these conductive path forming portions to insulate them from each other. Insulating elastic polymer material is contained in a state in which conductive particles are aligned so as to be aligned in the thickness direction, and the insulating portion is made of an insulating elastic polymer material containing no or almost no conductive particles. Become.
The second upper side anisotropic conductive sheet 45 is a so-called dispersive anisotropic conductive sheet, in which the conductive particles are aligned in the thickness direction to form a chain in the elastic polymer material. In this state, a chain of conductive particles is contained in a state dispersed in the plane direction.
The elastic polymer substance and the conductive particles constituting the first upper side anisotropic conductive sheet 44 and the second upper side anisotropic conductive sheet 45 are the first in the electrical resistance measurement connector device 10. It can be appropriately selected from those exemplified as the elastic polymer substance and the conductive particles constituting the anisotropic conductive elastomer sheet 18.

下部側アダプター５０においては、他面側検査用回路基板５１が設けられ、この他面側検査用回路基板５１の表面（図１９において上面）には、被検査回路基板１の他面側被検査電極３の配置パターンに対応するパターンに従って、１つの他面側被検査電極３に対して、互いに離間して配置された電流供給用検査電極５２ａおよび電圧測定用検査電極５２ｂよりなる検査電極対が、他面側被検査電極３が占有する領域と同等の面積の領域内に位置するよう配置されている。他面側検査用回路基板５１の裏面には、後述する電極板６０の標準配列電極６１の配列パターンに対応するパターンに従って電流供給用端子電極５３ａおよび電圧測定用端子電極５３ｂが配置されており、これらの電流供給用端子電極５３ａおよび電圧測定用端子電極５３ｂの各々は、対応する電流供給用検査電極５２ａおよび電圧測定用検査電極５２ｂに電気的に接続されている。   The lower-side adapter 50 is provided with a circuit board 51 for inspecting the other surface, and the other surface-side inspected circuit board 1 on the surface (the upper surface in FIG. 19) of the circuit board 51 for inspecting the other surface. According to a pattern corresponding to the arrangement pattern of the electrodes 3, an inspection electrode pair composed of a current supply inspection electrode 52 a and a voltage measurement inspection electrode 52 b which are disposed apart from each other on the other-surface-side inspection electrode 3. The other surface side inspected electrode 3 is disposed so as to be located in a region having the same area as the region occupied by the other surface side inspected electrode 3. A current supply terminal electrode 53a and a voltage measurement terminal electrode 53b are arranged on the back surface of the circuit board 51 for inspecting the other surface in accordance with a pattern corresponding to the arrangement pattern of the standard arrangement electrodes 61 of the electrode plate 60 described later. Each of the current supply terminal electrode 53a and the voltage measurement terminal electrode 53b is electrically connected to the corresponding current supply test electrode 52a and voltage measurement test electrode 52b.

他面側検査用回路基板５１の表面上には、異方導電性エラストマー層５５が一体的に形成されている。この異方導電性エラストマー層５５には、検査電極対の各々を構成する電流供給用検査電極５２ａおよび電圧測定用検査電極５２ｂの両方の表面（図１９において上面）に接する共通の導電路形成部５６が形成され、隣接する導電路形成部５６の間には、これらを相互に絶縁する絶縁部５７が形成されている。導電路形成部５６は、絶縁性の弾性高分子物質中に導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなり、絶縁部５７は、導電性粒子が全くあるいは殆ど含有されていない絶縁性の弾性高分子物質よりなる。また、この例の異方導電性エラストマー層５５においては、導電路形成部５６の表面（図３１において上面）が絶縁部５７の表面から突出した状態で形成されている。   An anisotropic conductive elastomer layer 55 is integrally formed on the surface of the other surface side inspection circuit board 51. The anisotropic conductive elastomer layer 55 has a common conductive path forming portion in contact with both surfaces (upper surface in FIG. 19) of the current supply test electrode 52a and the voltage measurement test electrode 52b constituting each of the test electrode pairs. 56 is formed, and an insulating portion 57 is formed between adjacent conductive path forming portions 56 to insulate them from each other. The conductive path forming portion 56 is contained in an insulating elastic polymer material in a state in which the conductive particles are aligned in the thickness direction, and the insulating portion 57 contains no or almost no conductive particles. It consists of an insulating elastic polymer material. Further, in the anisotropic conductive elastomer layer 55 of this example, the surface of the conductive path forming portion 56 (upper surface in FIG. 31) is formed in a state of protruding from the surface of the insulating portion 57.

他面側検査用回路基板５１の裏面（図１９において下面）には、下部側異方導電性シート６２を介して電極板６０が設けられている。
電極板６０および下部側異方導電性シート６２は、上部側アダプター４０における電極板４８および第２の上部側異方導電性シート４５に対応するものであり、電極板６０は、その表面（図１９において上面）に、例えばピッチが２．５４ｍｍ、１．８ｍｍまたは１．２７ｍｍの標準格子点上に配置された複数の標準配列電極６１を有し、これらの標準配列電極６１の各々は、下部側異方導電性シート６２を介して他面側検査用回路基板５１の電流供給用端子電極５３ａまたは電圧測定用端子電極５３ｂに電気的に接続されると共に、電極板６０の内部配線（図示せず）を介してテスター５９に電気的に接続されている。下部側異方導電性シート６２は、いわゆる分散型の異方導電性シートであって、弾性高分子物質中に、導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向して連鎖を形成した状態で、かつ、当該導電性粒子による連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなる。 An electrode plate 60 is provided on the back surface (lower surface in FIG. 19) of the other surface side inspection circuit board 51 via the lower side anisotropic conductive sheet 62.
The electrode plate 60 and the lower-side anisotropic conductive sheet 62 correspond to the electrode plate 48 and the second upper-side anisotropic conductive sheet 45 in the upper-side adapter 40, and the electrode plate 60 has its surface (see FIG. 19 has a plurality of standard array electrodes 61 disposed on standard grid points having a pitch of 2.54 mm, 1.8 mm, or 1.27 mm, for example. It is electrically connected to the current supply terminal electrode 53a or the voltage measurement terminal electrode 53b of the other surface side inspection circuit board 51 via the side anisotropic conductive sheet 62, and the internal wiring of the electrode plate 60 (not shown). )) And is electrically connected to the tester 59. The lower side anisotropic conductive sheet 62 is a so-called dispersive anisotropic conductive sheet, in a state where conductive particles are aligned in the thickness direction in the elastic polymer substance to form a chain, and The chain of the conductive particles is contained in a state dispersed in the plane direction.

異方導電性エラストマー層５５における導電路形成部５６は、その厚み方向における導電性が、厚み方向と直角な面方向における導電性より高いことが好ましく、具体的には、面方向の電気抵抗値に対する厚み方向の電気抵抗値の比が１以下、特に０．５以下であるような電気的特性を有するものであることが好ましい。
この比が１を超える場合には、導電路形成部５６を介して電流供給用検査電極５２ａと電圧測定用検査電極５２ｂとの間に流れる電流が大きくなるため、高い精度で電気抵抗を測定することが困難となることがある。
このような観点から、導電路形成部５６における導電性粒子の充填率が５〜５０体積％であることが好ましい。
このような異方導電性エラストマー層５５は、適宜の方法例えば特開２０００−７４９６５号公報に記載された方法によって形成することができる。
また、異方導電性エラストマー層５５および下部側異方導電性シート６２を構成する弾性高分子物質および導電性粒子としては、電気抵抗測定用コネクター装置１０における第１の異方導電性エラストマーシート１８を構成する弾性高分子物質および導電性粒子として例示したものの中から、適宜選択して用いることができる。 The conductive path forming portion 56 in the anisotropic conductive elastomer layer 55 is preferably higher in conductivity in the thickness direction than in the plane direction perpendicular to the thickness direction. Specifically, the electrical resistance value in the plane direction It is preferable that the ratio of the electrical resistance value in the thickness direction with respect to the thickness is 1 or less, particularly 0.5 or less.
When this ratio exceeds 1, the current flowing between the current supply test electrode 52a and the voltage measurement test electrode 52b via the conductive path forming portion 56 becomes large, so that the electrical resistance is measured with high accuracy. Can be difficult.
From such a viewpoint, it is preferable that the filling rate of the conductive particles in the conductive path forming portion 56 is 5 to 50% by volume.
Such an anisotropic conductive elastomer layer 55 can be formed by an appropriate method, for example, a method described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2000-74965.
Further, as the elastic polymer substance and the conductive particles constituting the anisotropic conductive elastomer layer 55 and the lower side anisotropic conductive sheet 62, the first anisotropic conductive elastomer sheet 18 in the electrical resistance measurement connector device 10 may be used. Can be appropriately selected and used from those exemplified as the elastic polymer substance and the conductive particles.

他面側検査用回路基板５１における電流供給用検査電極５２ａと電圧測定用検査電極５２ｂとの間の離間距離は１０μｍ以上であることが好ましい。この離間距離が１０μｍ未満である場合には、導電路形成部５６を介して電流供給用検査電極５２ａと電圧測定用検査電極５２ｂとの間に流れる電流が大きくなるため、高い精度で電気抵抗を測定することが困難となることがある。
一方、この離間距離の上限は、各検査電極のサイズと、関連する他面側被検査電極３の寸法およびピッチによって定まり、通常は５００μｍ以下である。この離間距離が過大である場合には、他面側被検査電極３の１つに対して両検査電極を適切に配置することが困難となることがある。 The separation distance between the current supply inspection electrode 52a and the voltage measurement inspection electrode 52b on the other surface side inspection circuit board 51 is preferably 10 μm or more. When the separation distance is less than 10 μm, the current flowing between the current supply test electrode 52a and the voltage measurement test electrode 52b via the conductive path forming portion 56 becomes large, so that the electric resistance can be increased with high accuracy. It may be difficult to measure.
On the other hand, the upper limit of the separation distance is determined by the size of each inspection electrode and the size and pitch of the related other surface side inspection electrode 3 and is usually 500 μm or less. If this separation distance is excessive, it may be difficult to properly dispose both inspection electrodes with respect to one of the other surface side inspection electrodes 3.

以上のような回路基板の電気抵抗測定装置においては、次のようにして被検査回路基板１における任意の一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗が測定される。
被検査回路基板１を、上部側アダプター４０および下部側アダプター５０の間における所要の位置に配置し、この状態で、上部側アダプター４０を下降させると共に、下部側アダプター５０を上昇させることにより、被検査回路基板１の一面に、電気抵抗測定用コネクター装置１０における第１の異方導電性エラストマーシート１９が圧接されると共に、被検査回路基板１の他面に、他面側検査用回路基板５１の表面上に形成された異方導電性エラストマー層５５が圧接された状態となる。この状態が測定状態である。 In the circuit board electrical resistance measuring apparatus as described above, the electric current between any one of the test electrodes 2 on the circuit board 1 to be tested and the corresponding test electrode 3 on the other side as follows. Resistance is measured.
The circuit board 1 to be inspected is placed at a required position between the upper adapter 40 and the lower adapter 50. In this state, the upper adapter 40 is lowered and the lower adapter 50 is raised, The first anisotropic conductive elastomer sheet 19 in the electrical resistance measurement connector device 10 is pressed against one surface of the inspection circuit board 1 and the other surface side inspection circuit board 51 is connected to the other surface of the circuit board 1 to be inspected. Thus, the anisotropic conductive elastomer layer 55 formed on the surface is pressed. This state is a measurement state.

この測定状態において、電気抵抗測定用コネクター装置１０における電流供給用電極１４と他面側検査用回路基板５１における電流供給用検査電極５２ａとの間に一定の値の電流を供給すると共に、一面側被検査電極２に電気的に接続された電圧測定用電極１５のうち１つの電圧測定用電極１５を指定し、当該指定された１つの電圧測定用電極１５と、当該電圧測定用電極１５に電気的に接続された一面側被検査電極２に対応する他面側被検査電極３に電気的に接続された検査電極対における電圧測定用検査電極５２ｂとの間の電圧を測定し、得られた電圧値に基づいて、当該指定された電圧測定用電極１５に電気的に接続された一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗値が取得される。
そして、指定する電圧測定用電極１５を順次変更することにより、全ての一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗の測定を行うことができる。 In this measurement state, a constant value of current is supplied between the current supply electrode 14 in the electrical resistance measurement connector device 10 and the current supply test electrode 52a in the other surface side inspection circuit board 51, and one surface side One voltage measurement electrode 15 is designated out of the voltage measurement electrodes 15 electrically connected to the electrode 2 to be inspected, and the voltage measurement electrode 15 and the voltage measurement electrode 15 are electrically connected. The voltage between the test electrode pair 52b and the test electrode 52b for voltage measurement in the test electrode pair electrically connected to the test electrode 3 on the other surface side corresponding to the test electrode 2 on the first surface side connected to each other was obtained. Based on the voltage value, an electrical resistance value between the one-surface-side inspected electrode 2 electrically connected to the designated voltage measuring electrode 15 and the corresponding other-surface-side inspected electrode 3 is acquired. The
Then, by sequentially changing the voltage measuring electrode 15 to be designated, it is possible to measure the electrical resistance between all the one-surface-side inspected electrodes 2 and the corresponding other-surface-side inspected electrodes 3.

以上において、被検査回路基板１における１つの一面側被検査電極２に、電気抵抗測定用コネクター装置１０の接続用電極組１３における２つの電圧測定用電極１５が電気的に接続された場合には、図２１に示すように、当該一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間には、２つの電圧測定用回路Ｃ１，Ｃ２が形成されることになる。このような場合には、電圧測定用回路Ｃ１による電気抵抗値および電圧測定用回路Ｃ２による電圧値のうちその値が高いものが採用され、当該電圧値に基づいて一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗値が取得される。   In the above, when two voltage measurement electrodes 15 in the connection electrode set 13 of the electrical resistance measurement connector device 10 are electrically connected to one single-surface-side inspection electrode 2 in the circuit board 1 to be inspected. As shown in FIG. 21, two voltage measuring circuits C1 and C2 are formed between the one-surface-side inspected electrode 2 and the other-surface-side inspected electrode 3 corresponding thereto. In such a case, the higher one of the electrical resistance value by the voltage measuring circuit C1 and the voltage value by the voltage measuring circuit C2 is adopted, and the one-side inspection electrode 2 and this The electrical resistance value with respect to the other surface side inspected electrode 3 corresponding to is acquired.

以上のような構成の回路基板の電気抵抗測定装置によれば、その上部側アダプター４０に、一面側被検査電極２に対する位置ずれの許容度が大きく、かつ、分解能および凹凸吸収性が共に高い電気抵抗測定用コネクター装置１０が設けられていることにより、被検査回路基板１が大面積でサイズの小さい多数の一面側被検査電極２を有するものであっても、当該一面側被検査電極２に対する電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方の電気接続を確実に達成することができ、しかも、電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の間の所要の電気的絶縁状態が確保されるので、被検査回路基板１についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。   According to the electrical resistance measuring device for a circuit board having the above-described configuration, the upper adapter 40 has a large tolerance for positional deviation with respect to the one-surface-side inspected electrode 2, and has both high resolution and unevenness absorbability. Since the resistance measuring connector device 10 is provided, even if the circuit board 1 to be inspected has a large number of single-surface-side inspected electrodes 2 having a small area and a small size, Electrical connection of both the current supply electrode 14 and the voltage measurement electrode 15 can be reliably achieved, and a required electrical insulation state between the current supply electrode 14 and the voltage measurement electrode 15 is ensured. Therefore, the electrical resistance of the circuit board 1 to be inspected can be measured with high accuracy.

図２２は、本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の他の例における構成を示す説明図であり、図２３は、図２２に示す回路基板の電気抵抗測定装置の要部を拡大して示す説明図である。
この回路基板の電気抵抗測定装置は、電気抵抗を測定すべき被検査回路基板１の一面（図２２において上面）側に配置される上部側アダプター４０と、被検査回路基板１の他面（図２２において下面）側に配置される下部側アダプター５０とが、上下に互いに対向するよう配置されて構成されており、上部側アダプター４０は、図１９に示す電気抵抗測定装置における上部側アダプターと同様の構成である。 FIG. 22 is an explanatory view showing the configuration of another example of the circuit board electrical resistance measuring apparatus according to the present invention, and FIG. 23 is an enlarged view of the main part of the circuit board electrical resistance measuring apparatus shown in FIG. It is explanatory drawing shown.
The circuit board electrical resistance measuring device includes an upper adapter 40 disposed on one surface (upper surface in FIG. 22) of the circuit board 1 to be measured for electrical resistance, and the other surface (FIG. 2). 22, the lower side adapter 50 arranged on the lower surface side is arranged so as to face each other vertically, and the upper side adapter 40 is the same as the upper side adapter in the electrical resistance measuring device shown in FIG. 19. It is the composition.

下部側アダプター５０においては、被検査回路基板１の他面側（図２２において下側）に配置される、例えば図１に示す構成の電気抵抗測定用コネクター装置１０が設けられ、この電気抵抗測定用コネクター装置１０の裏面（図２２において下面）には、第１の下部側異方導電性シート６４を介して他面側検査用回路基板５１が配置されており、この他面側検査用回路基板５１の裏面上には、第２の下部側異方導電性シート６５を介して電極板６０が設けられている。この電極板６０は、図１９に示す電気抵抗測定装置の下部側アダプターにおける電極板と同様の構成である。
他面側検査用回路基板５１の表面（図２２において上面）には、電気抵抗測定用コネクター装置１０における中継電極１６のパターンに対応するパターンに従って、複数の検査電極５２が配置され、当該他面側検査用回路基板５１の裏面（図２２において下面）には、電極板６０の標準配列電極６１の配列パターンに対応するパターンに従って端子電極５３が配置されおり、この端子電極５３の各々は対応する検査電極５２に、電気的に接続されている。 The lower adapter 50 is provided with an electrical resistance measurement connector device 10 having the configuration shown in FIG. 1, for example, which is disposed on the other surface side (lower side in FIG. 22) of the circuit board 1 to be inspected. On the back surface (the lower surface in FIG. 22) of the connector device 10 for the other side, the other-surface-side inspection circuit board 51 is arranged via the first lower-side anisotropic conductive sheet 64, and this other-surface-side inspection circuit. An electrode plate 60 is provided on the back surface of the substrate 51 via a second lower side anisotropic conductive sheet 65. This electrode plate 60 has the same configuration as that of the electrode plate in the lower adapter of the electrical resistance measuring apparatus shown in FIG.
A plurality of inspection electrodes 52 are arranged on the surface (upper surface in FIG. 22) of the other surface side inspection circuit board 51 in accordance with a pattern corresponding to the pattern of the relay electrode 16 in the electrical resistance measuring connector device 10. Terminal electrodes 53 are arranged on the rear surface (lower surface in FIG. 22) of the side inspection circuit board 51 in accordance with a pattern corresponding to the arrangement pattern of the standard arrangement electrodes 61 of the electrode plate 60, and each of the terminal electrodes 53 corresponds. The test electrode 52 is electrically connected.

この例における第１の下部側異方導電性シート６４は、いわゆる偏在型異方導電性シートであって、電気抵抗測定用コネクター装置１０の中継電極１６のパターンに対応するパターンに従って配置された厚み方向に伸びる複数の導電路形成部（図示省略）と、これらの導電路形成部の間に介在されてこれらを相互に絶縁する絶縁部（図示省略）とにより構成され、導電路形成部は、絶縁性の弾性高分子物質中に導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向した状態で含有されてなり、絶縁部は、導電性粒子が全くあるいは殆ど含有されていない絶縁性の弾性高分子物質よりなる。
また、第２の下部側異方導電性シート６５は、いわゆる分散型の異方導電性シートであって、弾性高分子物質中に、導電性粒子が厚み方向に並ぶよう配向して連鎖を形成した状態で、かつ、当該導電性粒子による連鎖が面方向に分散した状態で含有されてなる。
これらの第１の下部側異方導電性シート６４および第２の下部側異方導電性シート６５を構成する弾性高分子物質および導電性粒子としては、電気抵抗測定用コネクター装置１０における第１の異方導電性エラストマーシート１８を構成する弾性高分子物質および導電性粒子として例示したものの中から、適宜選択して用いることができる。 The first lower-side anisotropic conductive sheet 64 in this example is a so-called unevenly-distributed anisotropic conductive sheet, and has a thickness arranged according to a pattern corresponding to the pattern of the relay electrode 16 of the electrical resistance measuring connector device 10. A plurality of conductive path forming portions (not shown) extending in the direction, and an insulating portion (not shown) interposed between these conductive path forming portions to insulate them from each other. Insulating elastic polymer material is contained in a state in which conductive particles are aligned so as to be aligned in the thickness direction, and the insulating portion is made of an insulating elastic polymer material containing no or almost no conductive particles. Become.
The second lower-side anisotropic conductive sheet 65 is a so-called dispersion-type anisotropic conductive sheet, and in the elastic polymer material, conductive particles are aligned in the thickness direction to form a chain. In this state, a chain of conductive particles is contained in a state dispersed in the plane direction.
The elastic polymer substance and the conductive particles constituting the first lower side anisotropic conductive sheet 64 and the second lower side anisotropic conductive sheet 65 are the first in the electrical resistance measurement connector device 10. It can be appropriately selected from those exemplified as the elastic polymer substance and the conductive particles constituting the anisotropic conductive elastomer sheet 18.

以上のような回路基板の電気抵抗測定装置においては、次のようにして被検査回路基板１における任意の一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗が測定される。
被検査回路基板１を、上部側アダプター４０および下部側アダプター５０の間における所要の位置に配置し、この状態で、上部側アダプター４０を下降させると共に、下部側アダプター５０を上昇させることにより、被検査回路基板１の一面に、上部側アダプター４０の電気抵抗測定用コネクター装置１０における第２の異方導電性エラストマーシート１９が圧接されると共に、被検査回路基板１の他面に、下部側アダプター５０の電気抵抗測定用コネクター装置１０における第２の異方導電性エラストマーシート１９が圧接された状態となる。この状態が測定状態である。 In the circuit board electrical resistance measuring apparatus as described above, the electric current between any one of the test electrodes 2 on the circuit board 1 to be tested and the corresponding test electrode 3 on the other side as follows. Resistance is measured.
The circuit board 1 to be inspected is placed at a required position between the upper adapter 40 and the lower adapter 50. In this state, the upper adapter 40 is lowered and the lower adapter 50 is raised, The second anisotropic conductive elastomer sheet 19 in the electrical resistance measurement connector device 10 of the upper adapter 40 is pressed against one surface of the test circuit board 1 and the lower adapter is mounted on the other surface of the circuit board 1 to be tested. The second anisotropically conductive elastomer sheet 19 in the 50 electrical resistance measuring connector device 10 is pressed. This state is a measurement state.

この測定状態において、上部側アダプター４０の電気抵抗測定用コネクター装置１０における電流供給用電極１４と下部側アダプター５０の電気抵抗測定用コネクター装置１０における電流供給用電極１４との間に一定の値の電流を供給すると共に、一面側被検査電極に電気的に接続された電圧測定用電極１５のうち１つの電圧測定用電極１５を指定し、当該指定された１つの電圧測定用電極１５と、当該電圧測定用電極１５に電気的に接続された一面側被検査電極２に対応する他面側被検査電極３に電気的に接続された電圧測定用電極１５との間の電圧を測定し、得られた電圧値に基づいて、当該指定された電圧測定用電極１５に電気的に接続された一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗値が取得される。
そして、指定する電圧測定用電極１５を順次変更することにより、全ての一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗の測定を行うことができる。 In this measurement state, a constant value is present between the current supply electrode 14 in the electrical resistance measurement connector device 10 of the upper adapter 40 and the current supply electrode 14 in the electrical resistance measurement connector device 10 of the lower adapter 50. While supplying a current, one voltage measuring electrode 15 is designated out of the voltage measuring electrodes 15 electrically connected to the one electrode to be inspected, and the designated one voltage measuring electrode 15 The voltage between the voltage measuring electrode 15 electrically connected to the other surface side inspected electrode 3 corresponding to the one surface side inspected electrode 2 electrically connected to the voltage measuring electrode 15 is measured and obtained. Based on the specified voltage value, an electrical resistance value between the one-surface-side inspected electrode 2 electrically connected to the designated voltage measuring electrode 15 and the corresponding other-surface-side inspected electrode 3 is Acquired .
Then, by sequentially changing the voltage measuring electrode 15 to be designated, it is possible to measure the electrical resistance between all the one-surface-side inspected electrodes 2 and the corresponding other-surface-side inspected electrodes 3.

以上において、被検査回路基板１における１つの一面側被検査電極２に、電気抵抗測定用コネクター１０の接続用電極組１３における２つの電圧測定用電極１５が電気的に接続され、当該被検査回路基板１における１つの他面側被検査電極３に、電気抵抗測定用コネクター１０の接続用電極組１３における２つの電圧測定用電極１５が電気的に接続された場合には、図２４に示すように、当該一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間には、４つの電圧測定用回路Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４が形成されることになる。このような場合には、電圧測定用回路Ｃ１、電圧測定用回路Ｃ２、電圧測定用回路Ｃ３および電圧測定用回路Ｃ４の各々による電圧値のうちその値が最も高いものが採用され、当該電圧値に基づいて、一面側被検査電極２とこれに対応する他面側被検査電極３との間の電気抵抗値が取得される。   In the above, two voltage measurement electrodes 15 in the connection electrode set 13 of the electrical resistance measurement connector 10 are electrically connected to one single-surface-side inspection electrode 2 in the circuit board 1 to be inspected, and the circuit to be inspected. When two voltage measurement electrodes 15 in the connection electrode set 13 of the electrical resistance measurement connector 10 are electrically connected to one other surface side inspected electrode 3 in the substrate 1, as shown in FIG. In addition, four voltage measuring circuits C1, C2, C3, and C4 are formed between the one-surface-side inspected electrode 2 and the other-surface-side inspected electrode 3 corresponding thereto. In such a case, the voltage value of the voltage measurement circuit C1, the voltage measurement circuit C2, the voltage measurement circuit C3, and the voltage measurement circuit C4 that has the highest value is adopted. Based on the above, the electrical resistance value between the one-surface-side inspected electrode 2 and the other-surface-side inspected electrode 3 corresponding thereto is acquired.

以上のような構成の回路基板の電気抵抗測定装置によれば、その上部側アダプター４０および下部側アダプター５０の各々に、一面側被検査電極２に対する位置ずれの許容度が大きく、かつ、分解能および凹凸吸収性が共に高い電気抵抗測定用コネクター装置１０が設けられていることにより、被検査回路基板１が大面積でサイズの小さい多数の一面側被検査電極２を有するものであっても、当該一面側被検査電極２に対する電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の両方の電気接続を確実に達成することができ、しかも、電流供給用電極１４および電圧測定用電極１５の間の所要の電気的絶縁状態が確保されるので、被検査回路基板１についての電気抵抗を高い精度で測定することができる。   According to the electrical resistance measurement device for a circuit board having the above-described configuration, each of the upper adapter 40 and the lower adapter 50 has a large tolerance for positional deviation with respect to the one-surface-side inspected electrode 2, and has a resolution and By providing the electrical resistance measurement connector device 10 having both high unevenness absorbability, even if the circuit board 1 to be inspected has a large number of single-surface-side inspected electrodes 2 having a large area and a small size, Electrical connection of both the current supply electrode 14 and the voltage measurement electrode 15 to the one-surface-side inspected electrode 2 can be reliably achieved, and the required connection between the current supply electrode 14 and the voltage measurement electrode 15 can be achieved. Since the electrical insulation state is ensured, the electrical resistance of the circuit board 1 to be inspected can be measured with high accuracy.

本発明のは、上記の例に限定されず、以下のような種々の変更を加えることが可能である。
（１）電気抵抗測定用コネクター装置１０におけるコネクター板１１は、図２５に示すように、複数の電流供給用電極１４に電気的に接続された中継電極１６を有するものであってもよい。このような電気抵抗測定用コネクター装置１０によれば、コネクター板１１における中継電極１６の数が少なくなり、従って、当該電気抵抗測定用コネクター装置１０が電気的に接続される検査用回路基板における検査電極の数を少なくすることができるので、検査用回路基板の製造が容易となり、また、検査用回路基板の製造コストの低減化を図ることができる。
（２）回路基板の電気抵抗測定装置においては、下部側アダプター５０の他面側検査用回路基板５１は、１つの他面側被検査電極３に対して、検査電極対を構成する電流供給用検査電極５２および電圧測定用検査電極５３が電気的に接続された状態を達成することのできるものであれば、種々のものを用いることができる。
また、異方導電性エラストマー層５５としては、電流供給用検査電極５２および電圧測定用検査電極５３の各々に対応して導電路形成部が形成されてなるものを用いることができる。
また、個々の先端に導電性エラストマーが設けられた検査電極や、更に、許容される場合にはプローブピンを検査電極として用いることも可能である。
また、被検査回路基板が片面プリント回路基板である場合には、下部側アダプターを設けることは不要である。 The present invention is not limited to the above example, and various modifications as described below can be added.
(1) The connector plate 11 in the electrical resistance measuring connector device 10 may have a relay electrode 16 electrically connected to the plurality of current supply electrodes 14 as shown in FIG. According to such an electrical resistance measurement connector device 10, the number of relay electrodes 16 in the connector plate 11 is reduced. Therefore, the inspection on the inspection circuit board to which the electrical resistance measurement connector device 10 is electrically connected is performed. Since the number of electrodes can be reduced, the manufacturing of the inspection circuit board is facilitated, and the manufacturing cost of the inspection circuit board can be reduced.
(2) In the circuit board electrical resistance measuring device, the circuit board 51 for inspection on the other surface side of the lower adapter 50 is for supplying current that constitutes a pair of inspection electrodes with respect to one electrode 3 on the other surface side. Any device can be used as long as the test electrode 52 and the voltage measurement test electrode 53 can be electrically connected.
Further, as the anisotropic conductive elastomer layer 55, a layer in which a conductive path forming portion is formed corresponding to each of the current supply inspection electrode 52 and the voltage measurement inspection electrode 53 can be used.
Moreover, it is also possible to use a test electrode provided with a conductive elastomer at each tip, and, if permitted, a probe pin as a test electrode.
Further, when the circuit board to be inspected is a single-sided printed circuit board, it is not necessary to provide a lower adapter.

本発明に係る電気抵抗測定用コネクター装置の一例における構成を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the structure in an example of the connector apparatus for an electrical resistance measurement which concerns on this invention. 図１に示す電気抵抗測定用コネクター装置の要部を拡大して示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which expands and shows the principal part of the connector apparatus for electrical resistance measurement shown in FIG. コネクター板の平面図である。It is a top view of a connector board. 第１の異方導電性エラストマーシートを製造するための一面側成形部材、他面側成形部材およびスペーサーを示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the 1st surface side molded member, the other surface side molded member, and spacer for manufacturing a 1st anisotropically conductive elastomer sheet. 他面側成形部材の表面に導電性エラストマー用材料が塗布された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state by which the material for conductive elastomer was apply | coated to the surface of the other surface side molded member. 一面側成形部材と他面側成形部材との間に導電性エラストマー用材料層が形成された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state in which the conductive elastomer material layer was formed between the one surface side molded member and the other surface side molded member. 図６に示す導電性エラストマー用材料層を拡大して示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which expands and shows the material layer for electroconductive elastomers shown in FIG. 図６に示す導電性エラストマー用材料層に対して厚み方向に磁場を作用させた状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state which acted the magnetic field on the thickness direction with respect to the material layer for conductive elastomers shown in FIG. 複合導電性シートを製造するための積層材料の構成を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the structure of the laminated material for manufacturing a composite conductive sheet. 積層材料における金属層に開口が形成された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state by which the opening was formed in the metal layer in a laminated material. 積層材料における絶縁性シートに貫通孔が形成された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state by which the through-hole was formed in the insulating sheet in a laminated material. 複合積層材料の構成を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the structure of a composite laminated material. 複合積層材料にレジスト膜が形成された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state by which the resist film was formed in the composite laminated material. 複合積層材料における絶縁性シートの貫通孔に剛性導体が形成された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state by which the rigid conductor was formed in the through-hole of the insulating sheet in a composite laminated material. 複合積層材料からレジスト膜が除去された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state from which the resist film was removed from the composite laminated material. 被検査回路基板の一面上に、図１に示す電気抵抗測定用コネクター装置が配置された状態を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the state by which the electrical resistance measurement connector apparatus shown in FIG. 1 is arrange | positioned on one surface of a to-be-inspected circuit board. 第１の例の電気抵抗測定用コネクター装置における接続用電極組と被検査電極との間に位置ずれが生じた状態を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the state which the position shift produced between the electrode group for a connection and the to-be-inspected electrode in the electrical resistance measurement connector apparatus of a 1st example. 被検査回路基板の構成を示す説明用断面図である。It is explanatory sectional drawing which shows the structure of a to-be-inspected circuit board. 本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の一例における構成の概略を、被検査回路基板と共に示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the outline of a structure in an example of the electrical resistance measuring apparatus of the circuit board concerning this invention with a to-be-inspected circuit board. 図１９に示す回路基板の電気抵抗測定装置の要部を拡大して示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which expands and shows the principal part of the electrical resistance measuring apparatus of the circuit board shown in FIG. 図１９に示す回路基板の電気抵抗測定装置によって形成される電圧測定用回路を模式的に示す説明図である。It is explanatory drawing which shows typically the circuit for a voltage measurement formed with the electrical resistance measuring apparatus of the circuit board shown in FIG. 本発明に係る回路基板の電気抵抗測定装置の他の例における構成の概略を、被検査回路基板と共に示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the outline of the structure in the other example of the electrical resistance measuring apparatus of the circuit board concerning this invention with a to-be-tested circuit board. 図２２に示す回路基板の電気抵抗測定装置の要部を拡大して示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which expands and shows the principal part of the electrical resistance measuring apparatus of the circuit board shown in FIG. 図２２に示す回路基板の電気抵抗測定装置によって形成される電圧測定用回路を模式的に示す説明図である。It is explanatory drawing which shows typically the circuit for a voltage measurement formed with the electrical resistance measuring apparatus of the circuit board shown in FIG. コネクター板の変形例を示す説明用断面図である。It is sectional drawing for description which shows the modification of a connector board. 電流供給用プローブおよび電圧測定用プローブにより、回路基板における電極間の電気抵抗を測定する装置の模式図である。It is a schematic diagram of the apparatus which measures the electrical resistance between the electrodes in a circuit board with the probe for electric current supply, and the probe for voltage measurement. 従来の回路基板の電気抵抗測定装置において、被検査電極上に電流供給用電極および電圧測定用電極が適正に配置された状態を示す説明図である。In the conventional electrical resistance measuring device of a circuit board, it is explanatory drawing which shows the state by which the electrode for electric current supply and the electrode for a voltage measurement are arrange | positioned appropriately on a to-be-inspected electrode. 従来の回路基板の電気抵抗測定装置において、被検査電極上に電流供給用電極および電圧測定用電極が位置ずれした状態で配置された状態を示す説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram showing a state in which a current supply electrode and a voltage measurement electrode are arranged in a misaligned state on an electrode to be inspected in a conventional circuit board electrical resistance measurement device.

符号の説明Explanation of symbols

１ 被検査回路基板
２ 一面側被検査電極
３ 他面側被検査電極
４ａ，４ｂ 回路
１０ 電気抵抗測定用コネクター装置
１１ コネクター板
１２ 絶縁性基板
１３ 接続用電極組
１４ 電流供給用電極
１５ 電圧測定用電極
１６ 中継電極
１７ 配線部
１８ 第１の異方導電性エラストマーシート
１８Ａ 導電性エラストマー用材料層
１８Ｂ 導電性エラストマー用材料
１９ 第２の異方導電性エラストマーシート
２０ 複合導電性シート
２０Ａ 複合積層材料
２０Ｂ 積層材料
２１ 絶縁性シート
２１Ｈ 貫通孔
２２ 剛性導体
２２ａ 胴部
２２ｂ 端子部
２３Ａ 金属層
２３Ｂ 金属薄層
２３Ｋ 開口
２４ レジスト膜
２４Ｈ パターン孔
３０ 一面側成形部材
３１ 他面側成形部材
３２ スペーサー
３２Ｋ 開口
３３ 加圧ロール
３４ 支持ロール
３５ 加圧ロール装置
４０ 上部側アダプター
４１ 一面側検査用回路基板
４２ 検査電極
４３ 端子電極
４４ 第１の上部側異方導電性シート
４５ 第２の上部側異方導電性シート
４８ 電極板
４９ 標準配列電極
５０ 下部側アダプター
５１ 他面側検査用回路基板
５２ 検査電極
５３ 端子電極
５２ａ 電流供給用検査電極
５２ｂ 電圧測定用検査電極
５３ａ 電流供給用端子電極
５３ｂ 電圧測定用端子電極
５５ 異方導電性エラストマー層
５６ 導電路形成部
５７ 絶縁部
５９ テスター
６０ 電極板
６１ 標準配列電極
６２ 下部側異方導電性シート
６４ 第１の下部側異方導電性シート
６５ 第２の下部側異方導電性シート
９０ 被検査回路基板
９１，９２ 被検査電極
ＰＡ，ＰＤ 電流供給用プローブ
ＰＢ，ＰＣ 電圧測定用プローブ
Ａ 電流供給用電極
Ｖ 電圧測定用電極
Ｔ 被検査電極
Ｐ 導電性粒子
Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３，Ｃ４ 電圧測定用回路 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Circuit board to be inspected 2 Electrode to be inspected on one side 3 Electrodes to be inspected on the other side 4a, 4b Circuit 10 Electrical resistance measuring connector device 11 Connector plate 12 Insulating substrate 13 Electrode set for connection 14 Electrode for current supply 15 For voltage measurement Electrode 16 Relay electrode 17 Wiring portion 18 First anisotropic conductive elastomer sheet 18A Conductive elastomer material layer 18B Conductive elastomer material 19 Second anisotropic conductive elastomer sheet 20 Composite conductive sheet 20A Composite laminate material 20B Laminated material 21 Insulating sheet 21H Through hole 22 Rigid conductor 22a Body portion 22b Terminal portion 23A Metal layer 23B Metal thin layer 23K Opening 24 Resist film 24H Pattern hole 30 One side molding member 31 Other side molding member 32 Spacer 32K Opening 33 Addition Pressure roll 34 Support roll 35 Pressure roll device 40 Upper side adapter Putter 41 Circuit board 42 for inspection on one side Inspection electrode 43 Terminal electrode 44 First upper side anisotropic conductive sheet 45 Second upper side anisotropic conductive sheet 48 Electrode plate 49 Standard array electrode 50 Lower side adapter 51 Other side Side inspection circuit board 52 Inspection electrode 53 Terminal electrode 52a Current supply inspection electrode 52b Voltage measurement inspection electrode 53a Current supply terminal electrode 53b Voltage measurement terminal electrode 55 Anisotropic conductive elastomer layer 56 Conductive path formation portion 57 Insulation portion 59 Tester 60 Electrode plate 61 Standard array electrode 62 Lower side anisotropic conductive sheet 64 First lower side anisotropic conductive sheet 65 Second lower side anisotropic conductive sheet 90 Inspected circuit boards 91 and 92 Inspected electrodes PA, PD Current supply probe PB, PC Voltage measurement probe A Current supply electrode V Voltage measurement electrode T Inspected electrode P Conductive particle C , C2, C3, C4 voltage measurement circuit

Claims (5)

絶縁性基板およびその表面に電気抵抗を測定すべき被検査回路基板における複数の被検査電極のパターンに対応するパターンに従って配置された複数の接続用電極組を有し、当該接続用電極組の各々が、矩形における互いに対角する頂点位置に位置する２つの電流供給用電極および当該矩形における互いに対角する他の頂点位置に位置する２つの電圧測定用電極が、互いに離間して配置されてなるコネクター板と、このコネクター板上に配置された第１の異方導電性エラストマーシートと、この第１の異方導電性エラストマーシート上に配置された複合導電性シートと、この複合導電性シート上に配置された第２の異方導電性エラストマーシートとを具えてなり、
前記複合導電性シートは、前記電流供給用電極および前記電圧測定用電極に対応するパターンに従って厚み方向に伸びる複数の貫通孔が形成された絶縁性シートと、この絶縁性シートの貫通孔の各々に、当該絶縁性シートの両面から突出するよう配置された複数の剛性導体とからなり、当該剛性導体の各々が、当該絶縁性シートに対して厚み方向に移動可能とされていることを特徴とする電気抵抗測定用コネクター装置。 Each of the connection electrode sets includes a plurality of connection electrode sets arranged in accordance with a pattern corresponding to a pattern of a plurality of test target electrodes on an insulating substrate and a circuit board to be measured whose electrical resistance is to be measured. However, two current supply electrodes located at opposite vertex positions in the rectangle and two voltage measurement electrodes located at other opposite vertex positions in the rectangle are arranged apart from each other. A connector plate, a first anisotropic conductive elastomer sheet disposed on the connector plate, a composite conductive sheet disposed on the first anisotropic conductive elastomer sheet, and the composite conductive sheet; Comprising a second anisotropically conductive elastomer sheet disposed in the
The composite conductive sheet includes an insulating sheet having a plurality of through holes extending in a thickness direction according to a pattern corresponding to the current supply electrode and the voltage measuring electrode, and each of the through holes of the insulating sheet. And a plurality of rigid conductors arranged so as to protrude from both surfaces of the insulating sheet, each of the rigid conductors being movable in the thickness direction with respect to the insulating sheet. Connector device for electrical resistance measurement. 複合導電性シートの剛性導体の各々は、絶縁性シートの貫通孔に挿通された胴部の両端に、当該絶縁性シートの貫通孔の径より大きい径を有する端子部が形成されてなることを特徴とする請求項１に記載の電気抵抗測定用コネクター装置。   Each of the rigid conductors of the composite conductive sheet is formed such that terminal portions having a diameter larger than the diameter of the through hole of the insulating sheet are formed at both ends of the body portion inserted through the through hole of the insulating sheet. The electrical resistance measuring connector device according to claim 1. コネクター板の絶縁性基板の裏面には、電流供給用電極および電圧測定用電極のいずれか一方に電気的に接続された複数の中継電極が配置されていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の電気抵抗測定用コネクター装置。   2. A plurality of relay electrodes electrically connected to one of a current supply electrode and a voltage measurement electrode are disposed on the back surface of the insulating substrate of the connector plate. Item 3. The electrical resistance measuring connector device according to Item 2. 複数の電流供給用電極に電気的に接続された中継電極を有することを特徴とする請求項３に記載の電気抵抗測定用コネクター装置。   The electrical resistance measuring connector device according to claim 3, further comprising a relay electrode electrically connected to the plurality of current supply electrodes. 請求項１乃至請求項４のいずれかに記載の電気抵抗測定用コネクター装置を具えてなることを特徴とする回路基板の電気抵抗測定装置。   An electrical resistance measuring device for a circuit board comprising the electrical resistance measuring connector device according to any one of claims 1 to 4.

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