JP2009058241A - 音叉型振動ジャイロ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】リード端子P1〜P14は、測定装置のプリント基板に固定されており、環境温度の変動によりプリント基板が変形すると、その変形による応力を受ける。鋼製のパッケージ底板5には底部の肉厚が0.4mmとなるように溝50が形成してあり、溝50の底部は厚み1.5mmの周辺部分の1/5以下の厚みであるので、バネとし作用する。環境温度変動による応力がリード端子P1〜P14経由で底板5に伝達されても、そのバネが曲がるので、応力は島状部51、支持部材3にはほとんど伝達されない。すると、振動子1の振動エネルギーが支持部材3経由で漏れる量が環境温度によりほとんど影響を受けないので、検出信号のバイアス誤差は格段に軽減される。
【選択図】 図1
Description
前記平板状部の表面における前記支持部材が固着される領域を支持部材固着領域とするとき、該支持部材固着領域を囲む領域であって、該パッケージ固定部材より該支持部材固着領域側の領域の一部分を薄くした部分薄肉構造が前記平板状部に設けてあることを特徴とする振動ジャイロ。
1 振動子
2,4 接着剤
3 支持部材
5,5b,5c,5d パッケージの底板
11,12,13 駆動脚
20 胴体部
21,22,23 検出脚
50,50b,50c,50d パッケージの底板に設けられた溝
51,51b,51c,51d 島状部
52 ハーメチックシール
54 嵌め合わせ突起
55 支持部材固着領域
60 測定装置(回転検出装置)のプリント基板
P1〜P14 リード端子
Claims (5)
- 支持部材の一端および他端を圧電振動子およびパッケージの平板状部にそれぞれ固着することにより、該パッケージに該圧電振動子を搭載するとともに、リード端子その他のパッケージ固定部材でもって角速度測定対象物に該パッケージを固定する振動ジャイロにおいて、
前記平板状部の表面における前記支持部材が固着される領域を支持部材固着領域とするとき、該支持部材固着領域を囲む領域であって、該パッケージ固定部材より該支持部材固着領域側の領域の一部分を薄くした部分薄肉構造が前記平板状部に設けてあることを特徴とする振動ジャイロ。 - 前記部分薄肉構造は、前記支持部材固着領域を囲む溝であることを特徴とする請求項1に記載の振動ジャイロ。
- 前記支持部材側から前記平板状部の平面に直交する方向から見た前記溝の輪郭が前記支持部材固着領域の重心に関し点対称の形であることを特徴とする請求項2に記載の振動ジャイロ。
- 前記平板状部は、鋼、セラミック、プラスチック等の鋼と同等又は鋼に近似する程度に剛性の高い材料でなることを特徴とする請求項3に記載の振動ジャイロ。
- 前記溝の底における前記平板状部の厚みは、他の領域における該平板状部の厚みの5分の1以下であることを特徴とする請求項2乃至4に記載の振動ジャイロ。
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