JP2006258505A - 振動ジャイロ用音叉型振動子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】音叉型振動子1を支持部材でパッケージへ接合することによって生じる応力分布変化に起因して、胴部10における駆動振動(歪)に上下非対称性が生じる。本発明では、支持部材と接合される胴部10の底面における、支持部材固着領域1aを挟む両側領域に、駆動脚11の長手方向の溝10j、10kを設ける。この構造により、支持部材による拘束領域が溝10j、10kの間の領域に限定され、溝10j、10kより外側の領域の胴体部10は、支持部材2の影響を受けることなく自由に伸縮する。したがって、胴体部10の大部分は支持部材2の拘束作用を受けないので、胴体部10における歪の上下非対称性が抑制され、検出脚12に漏れる駆動振動が低減する。
【選択図】 図2
Description
前記底面に複数の溝が設けられており、
前記溝は、前記底面の支持部材固着領域を挟んだ両側に設けられ、
前記溝の方向は前記励振用駆動脚の長手方向である
ことを特徴とする振動ジャイロ用音叉型振動子。
1a 音叉型振動子1における支持部材固着領域
2 支持部材
3 パッケージ
10 胴部
10j,10k 胴部10の底面10bに設けた溝
11 駆動脚
11a,11b,111a,111b 励振用駆動脚
11c 非励振用駆動脚
12 検出脚
12a,12b,112a,112b 振動用検出脚
12c 非振動用検出脚
30 パッケージ基板
30a 支持部材搭載領域
31a,31b,32a,32b,33a,33b,34a,34b,35a,35b,36a,36b,37a,37b 端子
α1,β1,α2,β2 駆動脚の振動変位
a1,b1,a2,b2 胴部の上側(支持部材が固着されていない側)における歪
c1,d1,c2,d2 胴部の下側(支持部材が固着されている側)における歪
Claims (2)
- 一対の励振用駆動脚および一対の振動用検出脚並びに該励振用駆動脚および該振動用検出脚を結合する胴部でなり、該胴部とパッケージの間に介在し、該胴部の底面の支持部材固着領域および該パッケージの支持部材搭載領域に固着された支持部材を有する振動ジャイロ用音叉型振動子において、
前記底面に複数の溝が設けられており、
前記溝は、前記底面の支持部材固着領域を挟んだ両側に設けられ、
前記溝の方向は前記励振用駆動脚の長手方向である
ことを特徴とする振動ジャイロ用音叉型振動子。 - 前記溝は、前記胴部における前記励振用駆動脚側端面から前記振動用検出脚側端面まで設けてあることを特徴とする請求項1に記載の振動ジャイロ用音叉型振動子。
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JP2008249489A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Tdk Corp | 角速度センサ素子および角速度センサ装置 |
JP2009042222A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-02-26 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 音叉型振動ジャイロ |
JP2009058241A (ja) * | 2007-08-30 | 2009-03-19 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 音叉型振動ジャイロ |
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007292743A (ja) * | 2006-03-28 | 2007-11-08 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 音叉型振動ジャイロ |
JP4669491B2 (ja) * | 2006-03-28 | 2011-04-13 | 日本航空電子工業株式会社 | 音叉型振動ジャイロ |
JP2008249489A (ja) * | 2007-03-30 | 2008-10-16 | Tdk Corp | 角速度センサ素子および角速度センサ装置 |
JP2009042222A (ja) * | 2007-07-13 | 2009-02-26 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 音叉型振動ジャイロ |
JP2009058241A (ja) * | 2007-08-30 | 2009-03-19 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | 音叉型振動ジャイロ |
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