JP2009039617A - Spin coater - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、回転するディスク状部材上に滴下部材を滴下して膜を形成するスピンコーターに関するものである。本発明は、各種記録媒体の記録膜、感光膜、フォトレジスト膜、絶縁膜、保護膜、色素膜等の形成、あるいは、洗浄等に使用でき、前記滴下部材の回収率がほぼ100%で無公害のスピンコーターに関するものである。 The present invention relates to a spin coater that forms a film by dropping a dropping member on a rotating disk-shaped member. The present invention can be used for forming a recording film, a photosensitive film, a photoresist film, an insulating film, a protective film, a dye film, or the like of various recording media, or for cleaning, and the recovery rate of the dropping member is almost 100%. Concerning pollution spin coater.
スピンコーターは、たとえば、特開平8−168714号公報に記載されているように、基板の中心に吐出ノズルを設け、前記吐出ノズルから塗布液が滴下される際に、初期の濃度変化した液滴を回収装置で受け止め、その後、前記回収装置を横に移動してから、所定の濃度である液滴を滴下するものである。 For example, as described in JP-A-8-168714, the spin coater is provided with a discharge nozzle at the center of the substrate, and when the coating liquid is dropped from the discharge nozzle, the initial concentration of the droplet is changed. Is collected by the collection device, and then the collection device is moved sideways, and then a droplet having a predetermined concentration is dropped.
図6は従来のスピンコーターを説明するための概略斜視図である。図7は従来のスピンコーターを説明するための概略断面図である。図6および図7において、スピンコーター61は、コーティングカップ64と、前記コーティングカップ64の内部に回転制御されるディスク載置基盤66と、前記ディスク載置基盤66上に載置されたディスク63と、ディスペンサー62とから少なくとも構成されている。
FIG. 6 is a schematic perspective view for explaining a conventional spin coater. FIG. 7 is a schematic cross-sectional view for explaining a conventional spin coater. 6 and 7, the
また、前記ディスク載置基盤66およびディスク63は、サーボモータ68によって、回転軸65を中心にして回転制御される。ディスペンサー62から滴下された溶液は、外周に移動しながらディスク63上に塗布される。前記溶液は、余剰のものがスピンアウトして、コーティングカップ64内に飛び散る。前記飛び散った溶液は、垂直面641に衝突して、コーティングカップ64内の至る所に付着する。前記コーティングカップ64の蒸気または溶液の一部は、吸引パイプ67、67′を介してブロアーファンにより吸引される。前記コーティングカップ64の底部に溜まった溶液は、ドレインパイプ68から図示されていない回収タンクに回収される。
The
たとえば、従来のスピンコーターは、追記型光ディスク(DVD−R)の記録膜を形成する際に、塗布する部材の内、有機色素が1.5重量%、溶剤が98.5重量%である。
前記従来例におけるスピンコーターは、余剰の溶液が遠心力によりコーティングカップの垂直面に激しく衝突し、ディスクのコーティング面に跳ね返ることを防止するために、コーティングカップの底部からブロアーファンにより管67、67′を介して強制的に排気している。ディスクに塗布される溶液は、約10%であり、残りのほとんどが前記ブロアーファンによって強制的に屋外に排気される。前記ブロアーファンによって強制的に排気されなかった僅かの溶液は、回収タンクに回収される。
In the conventional spin coater, in order to prevent excessive solution from violently colliding with the vertical surface of the coating cup due to centrifugal force and splashing back onto the coating surface of the disk, the
また、余剰の溶液は、空気を吸込み、強制的に排気しているため、コーティングカップの内壁に乾燥した状態で付着し、空気とともに不純物として混入される。前記ブロアーファンによって強制的に屋外に排気された前記溶液を含んだ空気は、空中にばらまかれて大きな公害問題を発生する。回収された溶液は、僅かの量であり、再利用することが困難であった。前記屋外に排気された空気は、公害を伴わない新鮮な空気にするための高価な設備投資が必要であった。 Further, since the excess solution sucks air and forcibly exhausts it, it adheres to the inner wall of the coating cup in a dry state and is mixed as impurities with the air. The air containing the solution forced to be exhausted to the outdoors by the blower fan is scattered in the air and causes a great pollution problem. The recovered solution was a small amount and difficult to reuse. The air exhausted to the outdoors required expensive capital investment to make fresh air free from pollution.
以上のような課題を解決するために、本発明は、滴下部材を強制的に排気することなく、100%再利用できる状態で回収し、無公害のスピンコーターを提供することを目的とする。 In order to solve the above-described problems, an object of the present invention is to provide a pollution-free spin coater that collects a dropping member in a state where it can be reused 100% without forcibly exhausting the dropping member.
(第1発明)
第1発明のスピンコーターは、ディスク状部材を載置して回転制御装置により回転させる回転基盤と、前記回転基盤の上部に所望の滴下部材を供給するノズルと、前記ディスク状部材の上部からスピンアウトした前記滴下部材を散乱させることなく、内壁面に沿って下方に流して回収できる面を有するほぼドウナツ状で、前記ディスク状部材および前記回転基盤を内部に備えているコーティングカップと、前記コーティングカップの一方から前記滴下部材を回収するドレインパイプと、前記ドレインパイプに連結された回収タンクとから少なくとも構成されていることを特徴とする。
(First invention)
A spin coater according to a first aspect of the present invention includes a rotating base on which a disk-shaped member is placed and rotated by a rotation control device, a nozzle for supplying a desired dropping member to the upper portion of the rotating base, and a spin from above the disk-shaped member. A coating cup having a substantially donut shape having a surface that can be recovered by flowing downward along an inner wall surface without scattering the dropped dripping member, and the coating cup having the disk-shaped member and the rotating base therein, and the coating It is at least comprised from the drain pipe which collects the said dripping member from one side of a cup, and the collection | recovery tank connected with the said drain pipe.
(第2発明)
第2発明のスピンコーターにおいて、第1発明における滴下部材のスピンアウト面と、内壁面からなる散乱面との角度は、前記スピンアウト面の上部において、90度より小さいことを特徴とする。
(Second invention)
In the spin coater of the second invention, the angle between the spin-out surface of the dropping member in the first invention and the scattering surface composed of the inner wall surface is smaller than 90 degrees at the upper part of the spin-out surface.
(第3発明)
第3発明のスピンコーターにおいて、第1発明における滴下部材のスピンアウト面と、内壁面からなる散乱面との角度は、前記スピンアウト面の下部において、90度より大きいことを特徴とする。
(Third invention)
In the spin coater of the third invention, the angle between the spin-out surface of the dropping member in the first invention and the scattering surface made of the inner wall surface is greater than 90 degrees below the spin-out surface.
(第4発明)
第4発明のスピンコーターにおいて、第1発明から第3発明のディスク状部材とコーティングカップの上部に設けられた環状突部との隙間は、5mm以内、好ましくは3.6mmであることを特徴とする。
(Fourth invention)
In the spin coater of the fourth invention, the gap between the disk-like member of the first to third inventions and the annular protrusion provided on the upper part of the coating cup is within 5 mm, preferably 3.6 mm. To do.
(第5発明)
第5発明のスピンコーターにおいて、第1発明から第3発明のディスク状部材と回転基盤の底部とコーティングカップの下部に設けられた環状突部との隙間は、2mm以内、好ましくは1.0mmであることを特徴とする。
(Fifth invention)
In the spin coater of the fifth invention, the gap between the disk-like member of the first to third inventions, the bottom of the rotary base and the annular protrusion provided at the lower part of the coating cup is within 2 mm, preferably 1.0 mm. It is characterized by being.
(第6発明)
第6発明のスピンコーターにおいて、第1発明から第5発明におけるコーティングカップの底部は、ドレインパイプに向かって傾斜していることを特徴とする。
(Sixth invention)
The spin coater of the sixth invention is characterized in that the bottom of the coating cup of the first to fifth inventions is inclined toward the drain pipe.
(第7発明)
第7発明のスピンコーターにおいて、第1発明から第6発明のドレインパイプは、前記コーティングカップの底部より僅かに突出して設けられていることを特徴とする。
(Seventh invention)
In the spin coater of the seventh invention, the drain pipe of the first to sixth inventions is provided so as to slightly protrude from the bottom of the coating cup.
(第8発明)
第8発明のスピンコーターにおいて、第1発明から第7発明のコーティングカップの内面には、フッ素樹脂系の膜が形成されていることを特徴とする。
(Eighth invention)
In the spin coater of the eighth invention, a fluororesin film is formed on the inner surface of the coating cup of the first to seventh inventions.
本発明によれば、スピンコーターは、スピンアウトした滴下部材がコーティングカップの内壁面に衝突した際に側方および上方に散乱するがなく、100%再利用でき、無公害のスピンコーターとすることができる。 According to the present invention, the spin coater does not scatter to the side and the upper side when the spouted dropping member collides with the inner wall surface of the coating cup, and is 100% reusable and is a pollution-free spin coater. Can do.
本発明によれば、スピンコーターは、スピンアウトした滴下部材が内壁面に沿って下方に流れ、前記コーティングカップの底部に溜まり、不純物を含むことなく回収することが容易である。 According to the present invention, the spin coater can easily collect the spin-out dripping member flowing downward along the inner wall surface, collecting at the bottom of the coating cup, and containing no impurities.
本発明によれば、スピンコーターは、ブロアーファン等により強制的に排気することなく、密閉状態に近い状態で、所定の蒸気を満たして乾燥しないため、回収した滴下部材をそのまま、100%再利用できるだけでなく、公害を出すおそれがない。 According to the present invention, since the spin coater is not forcedly exhausted by a blower fan or the like and is not dried by filling a predetermined vapor in a state close to a sealed state, the recovered dripping member is reused 100% as it is. Not only can it not be polluted.
本発明によれば、コーティングカップの内壁面の角度を上方に飛散しないようにしたため、ディスク状部材に跳ね返ることがなく、所望の厚さの膜を形成することができる。 According to the present invention, since the angle of the inner wall surface of the coating cup is not scattered upward, the film having a desired thickness can be formed without splashing back on the disk-shaped member.
本発明によれば、コーティングカップ内の滴下部材の蒸気を一定にして、乾燥させないため、100%の再利用が可能になった。また、本発明によれば、洗浄の場合、洗浄後の水等がディスク状部材にかかることがないため、洗浄水を節約することができるとともに、回収タンクに回収された洗浄水を容易に処理することができる。 According to the present invention, since the vapor of the dropping member in the coating cup is kept constant and is not dried, 100% reuse is possible. Further, according to the present invention, in the case of cleaning, since water after cleaning does not splash on the disk-shaped member, the cleaning water can be saved and the cleaning water collected in the recovery tank can be easily treated. can do.
(第1発明)
第1発明のスピンコーターは、ディスク状部材を載置して回転する回転基盤と、前記ディスク状部材の上面に所望の滴下部材を滴下するノズルと、余剰の滴下部材の散乱を防止するほぼドウナツ状コーティングカップと、前記ほぼドウナツ状コーティングカップから前記余剰の滴下部材を回収するドレインパイプと、前記ドレインパイプに連結された回収タンクとから構成されている。
(First invention)
The spin coater according to the first aspect of the present invention includes a rotating base on which a disk-shaped member is placed and rotated, a nozzle for dropping a desired dropping member on the upper surface of the disk-shaped member, and a substantially donut that prevents scattering of excess dropping members. A coating pipe, a drain pipe for recovering the surplus dripping member from the substantially donut-shaped coating cup, and a recovery tank connected to the drain pipe.
前記回転基盤は、上部にディスク状部材を載置して、サーボモータおよび制御回路からなる回転制御装置により所望の回転速度で回転する。前記ノズルは、前記回転基盤の上部に配置され、前記ディスク状部材上に所望の滴下部材を滴下する。前記コーティングカップは、断面がほぼ玉子形をしたほぼドウナツ状であり、中央部に前記ディスク状部材および前記回転基盤を内部に備えている。前記コーティングカップと前記ディスク状部材および前記回転基盤の位置関係は、従来のものと同じである。前記ドレインパイプは、前記コーティングカップの一方から前記滴下部材が流下して、空気に振れることなく、回収タンクに回収できる構造になっている。 The rotating base has a disk-like member mounted thereon and rotates at a desired rotation speed by a rotation control device including a servo motor and a control circuit. The nozzle is disposed on the rotating base and drops a desired dropping member on the disk-shaped member. The coating cup has a substantially donut shape with a substantially egg-shaped cross section, and includes the disk-shaped member and the rotating base in the center. The positional relationship between the coating cup, the disk-shaped member, and the rotating base is the same as the conventional one. The drain pipe has a structure in which the dripping member flows down from one of the coating cups and can be recovered in a recovery tank without being shaken by air.
前記滴下部材は、前記ディスク状部材上に滴下され、余剰のものが前記ディスク状部材の上部からスピンアウトする。前記スピンアウトした前記滴下部材は、コーティングカップの内壁面に衝突した際に上方および前記ディスク状部材方向に散乱することなく、下方向または内壁面に沿って流れ、前記コーティングカップの底部に溜まり、不純物を含むことなく回収が容易にできる。本発明のスピンコーターは、ブロアーファン等により強制的に排気することなく、密閉状態で所定の蒸気を満たし、コーティングカップの内部が乾燥しないため、回収した滴下部材をそのまま、ほぼ100%再利用でき、公害を出すおそれがなく、滴下部材の特別な回収装置が不要である。前記滴下部材は、DVD等の記録膜、感光膜、保護膜、フォトレジスト膜、色素膜等の膜形成用、および洗浄液等を含む。 The dropping member is dropped onto the disk-shaped member, and the surplus member spins out from the upper part of the disk-shaped member. The dripped member spun out flows downward or along the inner wall surface without being scattered toward the disk-shaped member when colliding with the inner wall surface of the coating cup, and accumulates at the bottom of the coating cup, Recovery can be facilitated without impurities. The spin coater of the present invention fills a predetermined vapor in a sealed state without forcibly exhausting it with a blower fan or the like, and the inside of the coating cup does not dry, so the recovered dripping member can be reused almost 100% as it is. There is no risk of causing pollution, and no special recovery device for the dropping member is required. The dropping member includes a recording film such as a DVD, a photosensitive film, a protective film, a photoresist film, a film such as a dye film, and a cleaning solution.
(第2発明)
第2発明のスピンコーターにおいて、第1発明のコーティングカップの内壁面は、スピンアウトした前記滴下部材がディスク状部材方向および上部方向に飛散しないような角度になっている。また、前記コーティングカップの内壁面は、前記滴下部材が付着せずに、前記コーティングカップの底部に溜まるような形状になっている。前記滴下部材が前記ディスク状部材からスピンアウトする水平面と、コーティングカップの内壁面となる曲面からなる散乱面との角度は、前記スピンアウト面の上部において、90度より小さくしている。前記角度は、前記スピンアウトした滴下部材が前記コーティングカップの上部に付着することが少なく、ほとんどが前記コーティングカップの底部に向かって散乱する。
(Second invention)
In the spin coater of the second invention, the inner wall surface of the coating cup of the first invention is at an angle such that the dripped member spun out does not scatter in the disk-like member direction and the upper direction. In addition, the inner wall surface of the coating cup is shaped such that the dripping member does not adhere and accumulates at the bottom of the coating cup. An angle between a horizontal plane on which the dropping member spins out from the disk-shaped member and a scattering surface formed by a curved surface serving as an inner wall surface of the coating cup is smaller than 90 degrees at the upper portion of the spin-out surface. The angle is such that the spouted dripping member is less likely to adhere to the top of the coating cup and is mostly scattered towards the bottom of the coating cup.
(第3発明)
第3発明のスピンコーターは、前記滴下部材が前記ディスク状部材からスピンアウトする水平面と、コーティングカップの内壁面からなる散乱面との角度が、前記スピンアウト面の下部において、90度より大きくしている。前記角度は、前記スピンアウトした滴下部材が前記コーティングカップの下部に向かって散乱するとともに、前記内壁面に沿って落下し、前記滴下部材が底部に溜まるような形状になっている。第2発明および第3発明におけるコーティングカップの内壁面は、連続した曲面または複数の角度をもった平面とすることができる。
(Third invention)
In the spin coater of the third invention, an angle between a horizontal surface on which the dropping member spins out from the disk-shaped member and a scattering surface formed by an inner wall surface of the coating cup is greater than 90 degrees at a lower portion of the spin-out surface. ing. The angle is such that the dripped member spun out scatters toward the lower part of the coating cup, falls along the inner wall surface, and the dripping member accumulates at the bottom. The inner wall surface of the coating cup in the second and third inventions can be a continuous curved surface or a flat surface having a plurality of angles.
(第4発明)
第4発明のスピンコーターは、前記ディスク状部材とコーティングカップとの間にできる隙間の大きさを規定することにより、滴下部材が蒸気となって逃げるのを防ぎ、再使用ができる濃度に保つことができる。すなわち、前記ディスク状部材と前記コーティングカップの上部に設けられた環状突部との隙間は、実験の結果、5mm以内、好ましくは3.6mmであることを突き止めた。
(Fourth invention)
The spin coater according to the fourth aspect of the invention prevents the dripping member from escaping as a vapor by prescribing the size of the gap formed between the disk-shaped member and the coating cup, and keeps the concentration at a reusable concentration. Can do. That is, the gap between the disk-shaped member and the annular protrusion provided on the upper part of the coating cup was determined to be within 5 mm, preferably 3.6 mm, as a result of the experiment.
(第5発明)
第5発明のスピンコーターにおいて、回転基盤の底部と前記コーティングカップの下部に設けられた環状突部との隙間は、できるだけ狭いことが望ましい。しかし、前記ディスク状部材は、高速で回転しているため、工作精度等を考慮した場合、2mm以内、好ましくは1.0mmで良いことを突き止めた。
(Fifth invention)
In the spin coater according to the fifth aspect of the invention, it is desirable that the gap between the bottom of the rotary base and the annular protrusion provided at the lower portion of the coating cup is as narrow as possible. However, since the disk-shaped member rotates at a high speed, it has been found that within a range of 2 mm, preferably 1.0 mm, in consideration of machining accuracy and the like.
(第6発明)
第6発明のスピンコーターにおいて、ほぼドウナツ状のコーティングカップの底部は、前記ドレインパイプに向かって傾斜している。すなわち、前記底部は、前記滴下部材が一部に滞留することなく、必ずドレインパイプに向かって流れ込むようになっているため、回収された滴下部材の濃度を一定にすることができるとともに、直ちに、再利用ができる。
(Sixth invention)
In the spin coater of the sixth invention, the bottom of the substantially donut-shaped coating cup is inclined toward the drain pipe. That is, since the bottom portion is designed to always flow toward the drain pipe without the dripping member staying in part, the concentration of the collected dripping member can be made constant and immediately, Can be reused.
(第7発明)
第7発明のスピンコーターにおいて、ドレインパイプは、前記コーティングカップの底部より僅かに突出させ、常に一定量の滴下部材を前記コーティングカップの底部に溜めた後に回収されるようになっている。前記コーティングカップの底部に溜められた滴下部材は、蒸発により内部の蒸気を一定量とすることにより回収される滴下部材の濃度を同じに保つことができる。第6発明および第7発明は、滴下部材の溶剤濃度によりいずれか一方、あるいは両方が選択される。
(Seventh invention)
In the spin coater according to the seventh aspect of the invention, the drain pipe protrudes slightly from the bottom of the coating cup, and is always collected after a certain amount of dripping member is collected at the bottom of the coating cup. The dripping member stored at the bottom of the coating cup can keep the concentration of the dripping member recovered by making the internal vapor constant by evaporation. In the sixth and seventh inventions, either one or both are selected depending on the solvent concentration of the dropping member.
前記スピンコーターは、コーティングカップと回収タンクの間をドレインパイプによって接続されているため、前記滴下部材が空気に触れることなく回収することができる。すなわち、前記滴下部材は、コーティングカップ内および回収タンク内において、空気に触れることなく、所定の蒸気に包まれた状態であるため、乾燥した色素等の不純物を除去する必要がなく、直ちに再利用が可能になった。また、必要に応じて、前記回収タンクと滴下ノズルとをポンプ等によって接続することも可能である。 Since the spin coater is connected between the coating cup and the recovery tank by a drain pipe, the dripping member can be recovered without touching the air. That is, the dripping member is in a state where it is encased in a predetermined vapor without being exposed to air in the coating cup and the collection tank, so that it is not necessary to remove impurities such as dried pigments and can be reused immediately. Became possible. If necessary, the recovery tank and the dropping nozzle can be connected by a pump or the like.
(第8発明)
第8発明のスピンコーターは、コーティングカップの内面にフッ素樹脂の膜が形成されているため、前記滴下部材が表面に付着しないので、不純物の除去が不要で、100%の再利用が可能になった。
(Eighth invention)
In the spin coater of the eighth invention, since the fluororesin film is formed on the inner surface of the coating cup, the dripping member does not adhere to the surface, so that removal of impurities is unnecessary and 100% reuse is possible. It was.
図1は本発明の実施例で、スピンコーターを説明するための概略断面図である。図1において、スピンコーター11は、ディスク状部材13を上部に載置した状態で回転する回転基盤16と、前記ディスク状部材13の上面に所望の滴下部材を滴下するノズル12と、中央部に開口部を備え、余剰の滴下部材の散乱を防止する内壁面を有するほぼドウナツ状コーティングカップ14と、前記ほぼドウナツ状コーティングカップ14から前記余剰の滴下部材を回収するドレインパイプ17と、前記ドレインパイプ17に連結された回収タンク18とから構成されている。
FIG. 1 is a schematic sectional view for explaining a spin coater in an embodiment of the present invention. In FIG. 1, a
前記回転基盤16は、上部にディスク状部材13を載置した状態で、図示されていない、サーボモータおよび制御回路からなる回転制御装置により所望の回転速度で回転する。前記ノズル12は、前記回転基盤16の上部に配置され、前記ディスク状部材13上に所望の滴下部材を滴下する。前記コーティングカップ14の形状は、断面がほぼ玉子形をしたものを二つ並べたほぼドウナツ状であり、中央部に上部環状突起143と、前記上部環状突起143と上下に対向して配置された下部環状突起144を備えている。
The
前記コーティングカップ14において、前記上部環状突起143と下部環状突起144の間には、ディスク状部材13および回転基盤16の端部が接近するように構成されている。前記上部環状突起143および下部環状突起144の間隔は、前記コーティングカップ14内に空気を巻き込むことがなく、内部に滴下部材の蒸気を満たすことができ、前記コーティングカップ14内における前記滴下部材の濃度を一定に保つことができる。
In the
前記コーティングカップ14は、環状の底部145が傾斜しており、前記ドレインパイプ17が一番低い位置なっている。したがって、前記ドレインパイプ17は、前記コーティングカップ14の一方から前記滴下部材が流下して、空気に振れることなく、回収タンク18に回収できる。
The
前記滴下部材は、前記ディスク状部材13上に滴下された後の余剰のものがスピンアウトする。前記スピンアウトした前記滴下部材は、コーティングカップ14の内壁面142に衝突した際にスピンアウト面121より上方に散乱することなく、内壁面142に沿って下方に流れ、前記コーティングカップ14の底部145に溜まり、不純物を含むことなく回収が容易にできる。
As for the dropping member, the surplus after being dropped onto the disk-shaped
本発明のスピンコーターは、ブロアーファン等により強制的に排気することなく、密閉状態で所定の蒸気を満たして乾燥しないようになっているため、回収した滴下部材をそのまま、ほぼ100%再利用できるため、公害を出すおそれがなく、滴下部材の特別な回収装置が不要である。前記滴下部材は、DVD等の各種記録媒体の記録膜、感光膜、フォトレジスト膜、絶縁膜、保護膜、色素膜等の形成、あるいは洗浄等に使用することができる。 Since the spin coater of the present invention is not forcedly exhausted by a blower fan or the like, and is filled with a predetermined vapor in a sealed state so as not to be dried, the recovered dripping member can be reused almost 100% as it is. Therefore, there is no possibility of causing pollution, and a special recovery device for the dropping member is unnecessary. The dripping member can be used for forming a recording film, a photosensitive film, a photoresist film, an insulating film, a protective film, a dye film, or the like of various recording media such as a DVD, or for cleaning.
前記コーティングカップ14の内壁面142は、スピンアウト面121において、一番多くの前記滴下部材が衝突する。前記衝突面141は、前記ディスク状部材13方向およびさらに上部方向に飛散しないような角度になっている。また、前記スピンアウト面121は、幾何学的なものではなく、ディスク状部材13の回転速度および前記滴下部材の種類により多少幅を有するものである。
The
図2は本発明のコーティングカップの形状を説明するための一部拡大断面図である。図2において、前記衝突面141の角度は、スピンアウト面121と、コーティングカップ14の内壁面142となる曲面からなる散乱面が前記スピンアウト面121の上部において、90度より小さく、前記スピンアウト面121の下部において、90度より大きくなっている。前記滴下部材は、前記スピンアウト面121より多少上に衝突した場合下方に飛散し、前記スピンアウト面121より下に衝突した場合内壁面142に沿って落下する。
FIG. 2 is a partially enlarged sectional view for explaining the shape of the coating cup of the present invention. In FIG. 2, the angle of the
図3は本発明のコーティングカップにおける上部環状突部とディスク状部材との間隔を説明するための一部拡大断面図である。図3において、前記ディスク状部材13と前記コーティングカップ14の上部に設けられた下方に向かっている上部環状突部143との隙間は、実験の結果、5mm以内、好ましくは3.6mmであった。前記環状に形成されている隙間は、内部における滴下部材の蒸気と内部に入る空気圧とがほぼ等しくなるため、互いの出入りがなく、前記コーティングカップ14の滴下部材が乾燥することなく同じ濃度を保つことができる。
FIG. 3 is a partially enlarged cross-sectional view for explaining the distance between the upper annular protrusion and the disk-shaped member in the coating cup of the present invention. In FIG. 3, the gap between the disk-shaped
図4は本発明のコーティングカップにおける回転基盤と下部環状突部との間隔を説明するための一部拡大断面図である。図4において、前記回転基盤16と前記コーティングカップ14の下部に設けられた上方に向かっている下部環状突部143との隙間は、実験の結果、2mm以内、好ましくは1.0mmであった。前記環状に形成されている隙間は、できるだけ狭いことが望ましいが、前記コーティングカップ14の滴下部材が乾燥することなく同じ濃度を保つことができる。前記上部環状突起および下部環状突起とによって構成される隙間は、前記コーティングカップ14の内面にあり、ディスク状部材13および回転基盤16の端部が回転しながら入る程度になっている。
FIG. 4 is a partially enlarged cross-sectional view for explaining the distance between the rotating base and the lower annular protrusion in the coating cup of the present invention. In FIG. 4, the gap between the
図5は本発明のコーティングカップにおけるドレインパイプの突き出し量を説明するための一部拡大断面図である。図5において、ドレインパイプ17は、前記コーティングカップ14の底部145より長さdだけ突出させている。前記突き出し量dは、前記滴下部材の種類によって変えることができる。前記ドレインパイプ17の突き出し量は、常に一定量の滴下部材を前記コーティングカップ14の底部145に溜めた後に回収されるようになっている。前記コーティングカップ14の底部145に溜められた滴下部材は、蒸発により内部の蒸気を一定量とすることにより回収され、滴下部材の濃度を同じに保つことができる。
FIG. 5 is a partially enlarged cross-sectional view for explaining the protruding amount of the drain pipe in the coating cup of the present invention. In FIG. 5, the
前記スピンコーター11は、コーティングカップ14と回収タンク18の間をドレインパイプ17によって接続されているため、前記滴下部材が空気に触れることなく回収することができる。すなわち、前記滴下部材は、コーティングカップ14内および回収タンク18内において、空気に触れることなく、所定の蒸気に包まれた状態であるため、乾燥した色素等の不純物を除去する必要がなく、直ちに再利用が可能になった。また、必要に応じて、前記回収タンク18とノズル12とをポンプ等によって接続することも可能である。
Since the
前記スピンコーター11は、コーティングカップ14の内面にフッ素樹脂の膜を形成することができる。前記フッ素樹脂系の膜は、前記滴下部材が表面に付着しないため、不純物の除去が不要で、濃度調整を行うことなく、直ちに100%の再利用が可能になった。
The
前記コーティングカップ14は、たとえば、アルミニウムの塊を三次元旋盤によりくり抜いて作製される。また、前記コーティングカップ14は、前記アルミニウムをくり抜いた金型に、金属部材または合成樹脂部材を鋳込むことにより作製される。
The
以上、本実施例を詳述したが、本発明は、前記本実施例に限定されるものではない。そして、本発明は、特許請求の範囲に記載された本発明を逸脱することがなければ、種々の設計変更を行うことが可能である。たとえば、滴下部材は、スピンコーターに使用する公知または周知のものを利用することができる。 Although the present embodiment has been described in detail above, the present invention is not limited to the present embodiment. The present invention can be modified in various ways without departing from the scope of the present invention described in the claims. For example, as the dropping member, a known or well-known member used for a spin coater can be used.
11・・・スピンコーター
12・・・ノズル
121・・・スピンアウト面
13・・・ディスク状部材
14・・・コーティングカップ
141・・・衝突面
142・・・内壁面
143・・・上部環状突部
144・・・下部環状突部
145・・・底部
15・・・回転軸
16・・・回転基盤
17・・・ドレインパイプ
18・・・回収タンク
DESCRIPTION OF
Claims (8)
前記回転基盤の上部に所望の滴下部材を供給するノズルと、
前記ディスク状部材の上部からスピンアウトした前記滴下部材を散乱させることなく、内壁面に沿って下方に流して回収できる面を有するほぼドウナツ状で、前記ディスク状部材および前記回転基盤を内部に備えているコーティングカップと、
前記コーティングカップの一方から前記滴下部材を回収するドレインパイプと、
前記ドレインパイプに連結された回収タンクと、
から少なくとも構成されていることを特徴とするスピンコーター。 A rotating base on which a disk-shaped member is placed and rotated by a rotation control device;
A nozzle for supplying a desired dropping member to the top of the rotating base;
The dripping member spun out from the upper part of the disk-shaped member is substantially donut-shaped having a surface that can be recovered by flowing downward along the inner wall surface, and the disk-shaped member and the rotating base are provided inside. A coating cup,
A drain pipe for recovering the dripping member from one of the coating cups;
A collection tank connected to the drain pipe;
A spin coater comprising at least
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