JP2009038268A - 基板搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一端が基台63の支持軸91に支持され、他端が基板支持用のハンド62に接続された多関節アーム61と、ハンドの直線移動を案内するリニアガイド66と、ハンドをリニアガイドのガイドレール67aに沿って移動させるベルト76と、ベルトを駆動する駆動機構68とを備え、多関節アーム61の第1アーム71A,71Bと第2アーム72A,72Bがほぼ平行となるハンドの原点位置で、支持軸91の周りへの多関節アームの回動を規制するロック機構100を備える。ロック機構100は、ロックバー101と保持アーム102の接触によってアームの回動規制を行う。ロックバー101は、ハンドがその原点位置から所定距離移動するまでの間にわたり、ベルト76と同期して移動するとともに、保持アーム102との接触状態を維持する。
【選択図】図1
Description
前記第1アームと前記第2アームがほぼ平行となる位置で、前記支持軸の周りへの前記多関節アームの回動を規制するロック機構を備えたことを特徴とする。
61 多関節アーム
62 ハンド
63 基台
66 リニアガイド
67a ガイドレール
67b スライダー
68 ベルト駆動機構(駆動機構)
69 回転機構部
70 ベースプレート
71A,71B 第1アーム
72A,72B 第2アーム
73 駆動プーリ
74a,74b 従動プーリ
75a,75b 補助プーリ
76 ベルト部材
81 連結部材
91 第1支持軸(支持軸)
100 ロック機構
101 ロックバー
102 保持アーム
103 移動ユニット
104 可動部材
107 ピニオンギヤ(係合部材)
107a 回転軸部
108 操作軸部
109 係合孔
110 ラックギヤ
112 切欠き部
Claims (7)
- 一端が基台の支持軸に支持され、他端が基板支持用のハンドに接続された多関節アームと、前記ハンドの直線移動を案内するリニアガイドと、前記ハンドを前記リニアガイドのガイドレールに沿って移動させるベルトと、前記ベルトを駆動する駆動機構とを備え、
前記多関節アームは、一端が前記支持軸の周りに回動可能に支持された一対の第1アームと、これら一対の第1アームの各々の他端に一端が回転可能に結合された一対の第2アームとを有し、前記ハンドは、前記一対の第2アームの各々の他端に回転可能に結合されている基板搬送装置であって、
前記第1アームと前記第2アームがほぼ平行となる位置で、前記支持軸の周りへの前記多関節アームの回動を規制するロック機構を備えた
ことを特徴とする基板搬送装置。 - 前記ロック機構は、
前記ベルトの移動と同期して、前記基台に対して前記ハンドの進行方向に相対移動するロックバーと、
前記第1アームと一体的に回動するとともに前記ロックバーとの接触により前記第1アームの回動を規制する保持アームとを備え、
前記第1アームと前記第2アームが互いに平行となる位置から前記ハンドが所定距離移動するまでの間にわたって、前記ロックバーと前記保持アームとの間の接触状態を維持する
ことを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。 - 前記ロックバーは、前記基台に対して相対移動可能な移動ユニットに固定されており、
前記移動ユニットは、前記第1アームと前記第2アームが互いに平行となる位置から前記ハンドが所定距離移動するまでの間にわたって、前記ベルトとの係合状態を維持する係合部材を備えている
ことを特徴とする請求項2に記載の基板搬送装置。 - 前記ベルトは、前記係合部材に向かって突出する操作軸部を有しており、
前記係合部材は、前記基台に対する前記移動ユニットの移動量に応じて回転するとともに、その回転軸部に前記操作軸部を収容可能な係合孔を備え、
前記回転軸部には、前記係合孔と連通し前記操作軸部の通過を許容する切欠き部が設けられており、前記切欠き部が前記ベルトの移動方向に回転移動したときに、前記係合部材と前記操作軸部との間の係合状態が解除される
ことを特徴とする請求項3に記載の基板搬送装置。 - 前記操作軸部と前記係合部材の間の係合状態が解除されている間、前記切欠き部が前記ベルトの移動方向を向いている前記係合部材の回転位置を保持する保持手段を備えた
ことを特徴とする請求項4に記載の基板搬送装置。 - 前記係合部材は、前記基台に取り付けられたラックギヤと噛合するピニオンギヤである
ことを特徴とする請求項4に記載の基板搬送装置。 - 前記第2アームのアーム長は、前記第1アームのアーム長よりも長い
ことを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。
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