JP2009034791A - 基板搬送装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る基板搬送装置は、一端が基台63の支持軸に支持され、他端が基板支持用のハンド62に接続された多関節アーム61と、ハンドの直線移動を案内するリニアガイド66と、ハンドをリニアガイドのガイドレール67aに沿って移動させるベルト76と、ベルトを駆動する駆動機構68と、ハンドとリニアガイドのスライダー67bとの間を連結する連結部材81とを備える。連結部材は、当該ハンドの進行方向に平行な第1の方向へのハンドとスライダー間の相対移動を規制し、かつ、鉛直方向に平行な第2の方向へのハンドとスライダー間の相対移動を許容する。
【選択図】図5
Description
61 多関節アーム
62 ハンド
63 基台
66 リニアガイド
67a ガイドレール
67b スライダー
68 ベルト駆動機構(駆動機構)
69 回転機構部
70 ベースプレート
71A,71B 第1アーム
72A,72B 第2アーム
73 駆動プーリ
74a,74b 従動プーリ
75a,75b 補助プーリ
76 ベルト部材
81 連結部材
81a 本体部
81b ベルト連結部
81c ハンド連結部
82 規制部材
83A〜83C ネジ部材(軸部材)
84 係合溝
85 挿通孔
86 スリーブ(軸部材)
100 ロック機構
Claims (5)
- 一端が基台の支持軸に支持され、他端が基板支持用のハンドに接続された多関節アームと、
前記ハンドの直線移動を案内するリニアガイドと、
前記ハンドを前記リニアガイドのガイドレールに沿って移動させるベルトと、
前記ベルトを駆動する駆動機構と、
前記ハンドと前記リニアガイドのスライダーとの間を連結する連結手段とを備え、
前記連結手段は、当該ハンドの進行方向に平行な第1の方向への前記ハンドと前記スライダー間の相対移動を規制し、かつ、鉛直方向に平行な第2の方向への前記ハンドと前記スライダー間の相対移動を許容する
ことを特徴とする基板搬送装置。 - 前記連結手段は、前記スライダーと一体的に固定された連結部材と、前記連結部材と前記ハンドの下面に設けられた取付部とを連結する軸部材と、前記連結部材および前記取付部のうち何れか一方に形成された係合溝とを備え、
前記係合溝は、前記第2の方向に深さ方向を有するとともに前記軸部材の軸径と同等の大きさの溝幅を有し、
前記軸部材は、前記第1の方向と前記第2の方向のそれぞれに対して直交する第3の方向から前記係合溝に挿入されている
ことを特徴とする請求項1に記載の基板搬送装置。 - 前記係合溝は前記連結部材に形成されており、
前記軸部材の一端は前記取付部に固定され、前記軸部材の他端は、前記取付部に対する前記連結部材の前記第3の方向への最大移動量を規制する規制部材に固定されている
ことを特徴とする請求項2に記載の基板搬送装置。 - 前記連結部材は、前記スライダーと一体的に固定された本体部と、前記本体部と前記取付部との間を連結するハンド連結部と、前記本体部とベルトの間を連結するベルト連結部とからなる
ことを特徴とする請求項3に記載の基板搬送装置。 - 前記係合溝は前記取付部に形成されており、
前記軸部材の一端は前記連結部材に固定され、前記軸部材の他端は、前記連結部材に対する前記取付部の前記第3の方向への最大移動量を規制する規制部材に固定されている
ことを特徴とする請求項2に記載の基板搬送装置。
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