JP2009028843A - 研磨装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】研磨装置は下定盤31と、下定盤に対向して形成される上定盤21と、上定盤を昇降させる昇降装置13を有する構成である。各ワークはキャリア34の各ワーク保持部34a内に収納される。キャリア34は下定盤の上面に設置され、キャリア外周にあるギアがポリウレタンからなるサンギア32aとインターナルギア33に各々噛合するように配される。通常キャリア34は下定盤上に複数設置され、複数のワークに対して研磨を行う。キャリア34を配置した後、昇降装置13により上定盤21を下降させることにより、キャリアに上定盤を当接させ、上定盤による荷重をワーク等に対して与える。
【選択図】図1
Description
次に水晶振動板の研磨を例示して、研磨装置の動作について説明する。
各ワーク(被研磨物である水晶振動板)はキャリアの各ワーク保持部34a内に収納される。キャリア34は下定盤の上面に設置され、キャリア外周にあるギア(図示せず)が前記サンギア32aとインターナルギア33に各々噛合するように配される。通常キャリア34は下定盤上に複数設置され、複数のワークに対して研磨を行う。キャリア34を配置した後、昇降装置13により上定盤21を下降させることにより、当該キャリアに上定盤を当接させ、上定盤による荷重をワーク等に対して与える。図1において、上定盤21がキャリア34まで下降することによりワークに対して荷重をかけることになる。
31 下定盤
32 駆動部
32a サンギア
33 インターナルギア
34 キャリア
Claims (1)
- 研磨面が対向配置された上定盤と下定盤と、前記各定盤間に供給される研磨液と、前記各定盤間に配置され、ワーク保持部を有するとともに外周にギアを有するキャリアと、前記ワーク保持部に収納されるワークと、前記キャリアと噛合するサンギアおよびインターナルギアとからなり、前記サンギアとインターナルギアとの回転によりキャリアが遊星回転することにより、前記ワークを前記各定盤間で研磨を行う研磨装置であって、
少なくとも前記サンギアがウレタン樹脂材からなることを特徴とする研磨装置。
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JP2007195077A JP2009028843A (ja) | 2007-07-26 | 2007-07-26 | 研磨装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN104308702A (zh) * | 2014-10-12 | 2015-01-28 | 瓮安县中坪镇华鑫水晶加工厂 | 自动换盘水晶研磨机 |
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2007
- 2007-07-26 JP JP2007195077A patent/JP2009028843A/ja active Pending
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