JP2009026749A - 走査形電子顕微鏡、および走査形電子顕微鏡を用いた撮像方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】試料を保持する試料保持部と、電子線源と、電子線源から放出された電子線を収束するための集束レンズと、集束された電子線を試料上に微小スポットとして照射する対物レンズと、電子線を試料上に走査する走査コイルと、電子線照射によって試料から発生した試料信号を検出する検出器と、検出器にて検出された試料信号を画像として表示する表示部とを備え、集束レンズが発生する磁界中には軸対称の電極を設置して電圧を印加する構成とする。
【選択図】図1
Description
Claims (16)
- 電子源から放出された電子線を集束するための集束レンズと、
前記集束レンズにより励起される磁場中に設けられた軸対称な形状を有する第1電極と、
前記集束された電子線を試料上に微小スポットとして照射する対物レンズと、
前記電子線を前記試料上で走査する走査コイルと、
前記電子線の照射によって前記試料から発生した試料信号を検出する検出器と、
前記対物レンズに設けられ、前記一次電子線を加速させるための加速電極とを備え、
前記第1電極に所定の電圧を印加しつつ前記加速電極の電圧を変化させることにより、前記対物レンズのフォーカスを変更することなく前記集束レンズの結像位置を変化させることを特徴とする走査形電子顕微鏡。 - 電子源から放出された電子線を集束するための集束レンズと、
前記集束レンズにより励起される磁場中に設けられた軸対称な形状を有する電極と、
前記集束された電子線を試料上に微小スポットとして照射する対物レンズと、
前記電子線を前記試料上で走査する走査コイルと、
前記電子線の照射によって前記試料から発生した試料信号を検出する検出器と、
前記一次電子線を減速させるための負電圧を前記試料または該試料を保持する保持部に印加する手段とを備え、
前記電極に所定の電圧を印加しつつ前記試料保持部の負電圧を変化させることにより、前記対物レンズのフォーカスを変更することなく前記集束レンズの結像位置を変化させることを特徴とする走査形電子顕微鏡。 - 請求項1または2において、
前記結像位置を変化させることで、前記試料に入射する前記一次電子線の開き角を切り替えることを特徴とする走査形電子顕微鏡。 - 請求項1または請求項2において、
前記検出器により検出された前記試料信号を画像として表示する表示部とを備えることを特徴とする走査形電子顕微鏡。 - 請求項1または請求項2において、
前記集束レンズと前記電子源との間の光軸を含む領域に、前記一次電子線の電子線量を制御するために前記一次電子線の一部を遮断する絞り板が配置されていることを特徴とする走査形電子顕微鏡。 - 試料上の欠陥候補を撮像し観察や解析のために画像を提供する走査形電子顕微鏡を用いた撮像方法であって、該走査形電子顕微鏡は、電子線に結増位置を生じさせる集束レンズと、撮像倍率の変更に伴って、印加する電圧を変えて前記電子線の結像位置を変化させる電極とを備え、
(a)検査装置から送信された複数の欠陥候補の座標の中のひとつの欠陥候補の座標に基づいて、該欠陥候補が画像の画素の大きさより大きい倍率で前記欠陥候補を抽出するステップ、
(b)続いて前記倍率よりも高い倍率に切替えて該欠陥候補を撮像するステップ、
を備え、前記ステップ(a)と(b)を、前記複数の欠陥候補の座標について繰り返すことを特徴とする走査形電子顕微鏡を用いた撮像方法。 - 請求項6の記載において、
前記走査形電子顕微鏡はさらに前記電子線を加速させる加速電極を備え、前記倍率の切替えに伴って、前記電極への印加電圧の変更と該加速電極への印加電圧の変更の両方を行うことを特徴とする走査形電子顕微鏡を用いた撮像方法。 - 請求項6の記載において、
前記走査形電子顕微鏡はさらに前記電子線を減速させる減速電圧を前記基板へ印加する減速電圧制御電源を備え、前記倍率の切替えに伴って、前記電極への印加電圧の変更と該減速電圧の変更の両方を行うことを特徴とする走査形電子顕微鏡を用いた撮像方法。 - 電子源から放出された電子線を集束するための第1の集束レンズと、
前記第1の集束レンズにより励起される磁場中に設けられた軸対称な形状を有する第1電極と、
前記電子源から放出され前記第1の集束レンズを通過した電子線を集束するための第2の集束レンズと、
前記第1の集束レンズと前記第2の集束レンズとの間の光軸を含む領域に配置された絞り板と、
前記集束された電子線を前記試料上に微小スポットとして照射する対物レンズと、
前記電子線を前記試料上で走査する走査コイルと、
前記電子線の照射によって前記試料から発生した試料信号を検出する検出器と、
前記対物レンズに設けられ、前記電子源から到達した一次電子線を加速させるための加速電極とを備え、
前記第1電極に所定の電圧を印加することにより、前記絞り板を通過する前記一次電子線の電子線量を制御することを特徴とする走査形電子顕微鏡。 - 電子源から放出された電子線を集束するための第1の集束レンズと、
前記第1の集束レンズにより励起される磁場中に設けられた軸対称な形状を有する第1の電極と、
前記電子線源から放出され前記第1の集束レンズを通過した電子線を集束するための第2の集束レンズと、
前記第2の集束レンズにより励起される磁場中に設けられた軸対称な形状を有する第2の電極と、
前記第1の集束レンズと前記第2の集束レンズとの間の光軸を含む領域に配置された絞り板と、
前記集束された電子線を試料上に微小スポットとして照射する対物レンズと、
前記電子線を前記試料上で走査する走査コイルと、
前記電子線の照射によって前記試料から発生した試料信号を検出する検出器と、
前記対物レンズに設けられ、前記電子源から到達した一次電子線を加速させるための加速電極とを備え、
前記第1の集束レンズ内の電極に所定の電圧を印加することにより、前記絞り板を通過する前記一次電子線の電子線量を制御し、
前記第2の集束レンズ内の電極に所定の電圧を印加しつつ前記加速電極の電圧を変化させることにより、前記対物レンズのフォーカスを変更することなく、前記第2の集束レンズの結像位置を変化させることを特徴とする走査形電子顕微鏡。 - 電子源から放出された電子線を集束するための第1の集束レンズと、
前記第1の集束レンズにより励起される磁場中に設けられた軸対称な形状を有する第1の電極と、
前記電子源から放出され前記第1の集束レンズを通過した電子線を集束するための第2の集束レンズと、
前記第2の集束レンズにより励起される磁場中に設けられた軸対称な形状を有する第2の電極と、
前記第1の集束レンズと前記第2の集束レンズとの間の光軸を含む領域に配置された絞り板と、
前記集束された電子線を前記試料上に微小スポットとして照射する対物レンズと、
前記電子線を試料上で走査する走査コイルと、
前記電子線の照射によって前記試料から発生した試料信号を検出する検出器と、
前記試料または該試料を保持する試料保持部に、前記一次電子線を減速させるための負電圧を印加する手段とを備え、
前記第1の集束レンズ内の電極に所定の電圧を印加することにより、前記絞り板を通過する前記一次電子線の電子線量を制御し、
前記第2の集束レンズ内の電極に所定の電圧を印加しつつ前記試料または前記試料保持部へ印加される負電圧を変化させることにより、前記対物レンズのフォーカスを変更することなく、前記第2の集束レンズの結像位置を変化させることを特徴とする走査形電子顕微鏡。 - 請求項10または11において、
前記検出器により検出された前記試料信号を画像として表示する表示部とを備えることを特徴とする走査形電子顕微鏡。 - 試料に電子線を照射して前記試料から発生する信号を検出し前記試料の画像を生成する走査形電子顕微鏡であって、
前記電子線を前記試料上で細く絞るために前記電子線を集束させる集束レンズと、
細く絞られた前記電子線を前記試料に走査するための偏向器と、
該偏向器で走査される前記電子線の走査幅を変更させる走査幅制御装置と、
前記絞られた電子線の開き角を変更させる電極とを備え、
前記走査幅制御装置により前記電子線の走査幅が変更されたとき、前記電極は前記電子線の開き角を変更することを特徴とする走査形電子顕微鏡。 - 請求項13の記載において、
前記走査幅が小さい値に変更されたときは、前記開き角は大きい値に変更されることを特徴とする走査形電子顕微鏡。 - 請求項14の記載において、
前記走査幅が大きい値に変更されたときは、前記開き角は小さい値に変更されることを特徴とする走査形電子顕微鏡。 - 試料に電子線を照射して前記試料から発生する信号を検出し前記試料の画像を生成する走査形電子顕微鏡であって、
前記電子線の照射の条件を入力する入力装置と、
該入力された条件を記憶する記憶装置と、
該記憶装置に記憶された前記条件を読み出し、該条件に従って前記電子線を前記試料へ照射する制御装置と、
前記記憶装置に記憶された前記条件を表示する表示装置とを備え、
前記入力装置は、前記電子線で前記試料を走査するときの走査幅を少なくとも2つ入力可能であり、
前記制御装置は、前記条件の中から前記少なくとも2つの走査幅に対応した各々の条件を選択して前記試料への前記電子線の照射を繰返し行うことを特徴とする走査形電子顕微鏡。
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