JP2009012105A - バイトユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】切削ユニットのフレーム36に固定されるシャンク51と、フレーム36の回転方向と略平行なねじ67によってシャンク51に着脱可能、かつ、ねじ67を揺動軸として揺動可能に取り付けられるバイト61とを備える。一端部にチップ62が固定されたバイト61の他端部に凸部64を形成し、揺動角度に応じて凸部64が係合する複数の凹部54をシャンク51に形成する。バイト61側の凸部64とシャンク51側の凹部の凹凸係合により、バイト61の取り付け角度を調整してチップ62の刃先の被加工物への接触部分を変更する。
【選択図】図6
Description
[1]被加工物(半導体ウェーハ)
図1は、一実施形態に係るバイトユニットで表面に切削加工が施される円盤状の半導体ウェーハを示している。このウェーハ1はシリコンウェーハ等であって、表面には、複数の半導体チップ2が形成されている。これら半導体チップ2は、分割予定ライン3によって格子状に区画された矩形領域の表面にICやLSI等の図示せぬ電子回路が形成されることにより構成されている。また、ウェーハ1の周面の所定箇所には、半導体の結晶方位を示すV字状の切欠き(ノッチ)4が形成されている。
ウェーハ表面の切削加工には、図3に示す切削装置10が好適に用いられる。この切削装置10によれば、ウェーハ1の裏面を真空チャック式のチャックテーブル20の吸着面に吸着させて保持し、回転させた切削ユニット30のバイトユニット50によってウェーハ1の表面側を削ることにより、バンプ5の先端および樹脂層6の表面が切削される。この切削加工により、ウェーハ1は図2(b)に示すようにバンプ5と樹脂層6が面一となり、かつ、バンプ5の高さが均一に揃った状態に加工される。
切削装置10は直方体状の基台11を有しており、ウェーハ1は、この基台11上の所定箇所に着脱自在にセットされる供給カセット12内に、樹脂層6が形成された表面側を上にした状態で、複数が積層して収納される。その供給カセット12から1枚のウェーハ1が搬送ロボット13によって引き出され、そのウェーハ1は、表面側を上に向けた状態で位置決めテーブル14上に載置され、ここで一定の位置に決められる。
次に、上記切削ユニット30に装着されるバイトユニット50について説明する。
図5〜図7に示すように、バイトユニット50は、略直方体状のシャンク(基台)51と、このシャンク51に取り付けられるバイト61とを主体としている。
上記バイトユニット50によれば、図8に示すように、バイト61の凸部64をシャンク51側の3つの凹部54a,54b,54cのいずれかに係合させることにより、取り付け角度を3つのパターンに変更することができる。そして、このようにバイト61の取り付け角度を変更することにより、チップ62の刃先63が被加工物に接触する部分を変更させることができる。すなわち図8に示すように、凸部64を中央の凹部54aに係合させると、刃先63の中央部分Aが最下端に配されて被加工物への接触部分となる。また、凸部64を左側の凹部54bに係合させると、刃先63の左側部分Bが最下端に配されて被加工物への接触部分となり、凸部64を右側の凹部54cに係合させると、刃先63の右側部分Cが最下端に配されて被加工物への接触部分となる。
10…切削装置
30…切削ユニット
32…スピンドルシャフト(回転軸)
36…フレーム(回転体)
50…バイトユニット
51…シャンク(基台)
54(54a,54b,54c)…凹部(被係合部)
61…バイト
62…チップ
64…凸部(係合部)
65…レバー(把持部)
67…ねじ(ねじ部材)
Claims (2)
- 回転軸回りの周方向に沿って回転する回転体に固定される基台と、
該基台に、軸心が前記回転体の回転方向と略平行な状態に螺着されるねじ部材と、
該ねじ部材によって前記基台に着脱可能に、かつ、ねじ部材を揺動軸として前記回転体の回転方向に略直交する面内に沿って揺動可能に取り付けられるバイトとを備え、
前記バイトは、第1の揺動端部と第2の揺動端部とを有し、第1の揺動端部にはチップが固定されており、第2の揺動端部には係合部が設けられており、
前記基台には、前記バイトの前記係合部が係合することにより、バイトの揺動角度を任意の角度に固定する被係合部が設けられていることを特徴とするバイトユニット。 - 前記バイトに把持部が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のバイトユニット。
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